專利名稱：有機(jī)發(fā)光元件及其制造方法、有機(jī)顯示面板、有機(jī)顯示裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及有機(jī)發(fā)光元件及其制造方法、有機(jī)顯示面板、有機(jī)顯示裝置。
背景技術(shù)：
近年來，展開研究、開發(fā)的有機(jī)電致發(fā)光(Electroluminescence)元件(以下，記載為“有機(jī)EL元件”)是利用了有機(jī)材料的電致發(fā)光現(xiàn)象的發(fā)光元件。使用圖9對使用了現(xiàn)有技術(shù)涉及的有機(jī)EL元件的有機(jī)EL面板的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。如圖9所示，在有機(jī)EL面板中，在基板900上依次層疊薄膜晶體管層(以下，記載為“ TFT層”)901、鈍化膜902以及平坦化膜903。TFT層901包括柵電極9011、漏電極9012、 源電極9013、溝道層9014以及柵極絕緣膜9015。在有機(jī)EL面板中，在平坦化膜903的表面上，在沿著該表面相互留出了空隙的狀態(tài)下，形成陽極905和輔助電極906，在各自的上面層疊形成空穴注入層913、914。在有機(jī) EL面板中，形成了陽極905的部分相當(dāng)于像素部90a，形成了輔助電極906的部分相當(dāng)于非像素部90b。在像素部90a彼此之間以及像素部90a和非像素部90b之間形成提907在有機(jī)EL面板的像素部90a中，在由提907規(guī)定的區(qū)域內(nèi)，在空穴注入層913上依次層疊形成夾層(inter layer)908、有機(jī)發(fā)光層909、電子輸送層910以及陰極911。電子輸送層910和陰極911越過提907而也連續(xù)形成到相鄰的像素部90a和非像素部90b。 并且，在非像素部90b中，陰極911經(jīng)由空穴注入層914和電子輸送層910與輔助電極906 連接(由箭頭C指示的部分)。在有機(jī)EL面板中，用封止層912將陰極911之上覆蓋。在上述結(jié)構(gòu)中，還進(jìn)行了如下的研究、開發(fā)作為陽極905和輔助電極906的構(gòu)成材料，使用包含更為便宜的鋁(Al)的合金材料代替至今使用的包含銀(Ag)的合金材料。另外，提出了如下等技術(shù)要通過使用非晶質(zhì)的透明導(dǎo)電膜來防止水分和/或氧的侵入的技術(shù)(專利文獻(xiàn)1)；和要通過采用由電鍍等在陽極表面形成氧化覆膜、且該氧化覆膜與有機(jī)發(fā)光層相接這樣的結(jié)構(gòu)來得到高發(fā)光效率的技術(shù)(專利文獻(xiàn)2)。另外，還提出了使用過渡金屬氧化物等金屬氧化物形成空穴注入層913、914的方案等(專利文獻(xiàn)3、4)。在使用這樣的材料形成空穴注入層913、914的情況下，元件中的電壓-電流密度特性優(yōu)異，另外，在流過大電流來提高發(fā)光強(qiáng)度的情況下，也能夠得到難以劣化的效果。


發(fā)明內(nèi)容
現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
專利文獻(xiàn)1 日本特開2007-149703號公報(bào)專利文獻(xiàn)2 日本特開2002-203687號公報(bào)專利文獻(xiàn)3 日本特開2007-288071號公報(bào)專利文獻(xiàn)4 日本特開2005-203339號公報(bào)
發(fā)明要解決的問題但是，如圖9所示，對于現(xiàn)有技術(shù)涉及的有機(jī)EL面板，由于通過層疊多層來形成， 因此在成本方面不好，要求進(jìn)一步降低成本。另外，對于空穴注入層913，由于受到陽極 905的圖案化處理的精度的影響，因此在圖案化處理不充分的情況下，難以確保其覆蓋范圍 (coverage)，也認(rèn)為會產(chǎn)生空穴注入層913的剝離，在這樣的情況下，會導(dǎo)致發(fā)光特性的下降。本發(fā)明是為了解決上述問題而完成的發(fā)明，目的在于提供一種具有高發(fā)光特性、 并且能夠以低成本進(jìn)行制造的有機(jī)發(fā)光元件及其制造方法、有機(jī)顯示面板、有機(jī)顯示裝置。用于解決問題的手段本發(fā)明的一種方式涉及的有機(jī)發(fā)光元件具備第1電極，其由包含通過被氧化而具有載流子注入性的第1金屬材料、且由以具有光反射性和導(dǎo)電性的第2金屬材料為成分的合金構(gòu)成，在其表面的至少一部分，在使第1金屬材料析出的狀態(tài)下形成有第1金屬材料的金屬氧化物層；功能層，其與第1電極的表面連接設(shè)置，至少包括接受從第1電極注入的載流子的發(fā)光層；以及第2電極，其隔著功能層而設(shè)置在與第1電極不同的一側(cè)，具有與第 1電極不同的極性。發(fā)明的效果在本發(fā)明的一種方式涉及的有機(jī)發(fā)光元件中，在第1電極的表面的至少一部分， 在使第1金屬材料析出的狀態(tài)下形成該第1金屬材料的金屬氧化物層。并且，如上所述，作為第1電極的構(gòu)成材料的包含于合金中的上述第1金屬材料通過被氧化而具有載流子注入性。因此，在本發(fā)明的一種方式涉及的有機(jī)發(fā)光元件中，第1電極具有對于功能層的載流子注入性，在第1電極上可以不用形成另外的載流子注入層。因此，與能夠省略第1電極上的載流子注入層相應(yīng)地，能夠減少構(gòu)成層的數(shù)量，能夠得到成本上的效果。另外，如上所述，在本發(fā)明的一種方式涉及的有機(jī)發(fā)光元件中，第1電極中的金屬氧化物層具有載流子注入性，可以不用形成另外的載流子注入層，因此，也不會導(dǎo)致由于上述現(xiàn)有技術(shù)中的載流子注入層的剝離而引起的發(fā)光特性的下降。因此，本發(fā)明的一種方式涉及的有機(jī)發(fā)光元件，具有高發(fā)光特性，且能夠以低成本進(jìn)行制造。


圖1是表示實(shí)施方式涉及的有機(jī)顯示裝置1的結(jié)構(gòu)的示意框圖。圖2是表示有機(jī)顯示面板10中的提107與陽極105及輔助電極106的配置關(guān)系的示意俯視圖。圖3是表示有機(jī)顯示面板10的一部分的結(jié)構(gòu)的示意剖視端面圖。圖4是放大表示陽極105的表層部分的一部分的示意剖視圖。圖5是表示有機(jī)顯示面板10的制造時(shí)的工序的示意剖視端面圖。圖6是表示有機(jī)顯示面板10的制造時(shí)的工序的示意剖視端面圖。圖7是表示有機(jī)顯示面板10的制造時(shí)的工序的示意剖視端面圖。圖8是表示變形例涉及的有機(jī)顯示面板中的提207與陽極105及輔助電極106的配置關(guān)系的示意俯視圖。
圖9是表示現(xiàn)有技術(shù)涉及的有機(jī)顯示面板的一部分的結(jié)構(gòu)的示意剖視端面圖。標(biāo)號說明1.有機(jī)顯示裝置10.有機(jī)顯示面板IOa.像素部IOb.非像素部20.驅(qū)動控制部21 24.驅(qū)動電路25.控制電路100.基板101. TFT 層102.鈍化膜103.平坦化膜104.接觸孔105.陽極106.輔助電極107,207.提108.夾層109.有機(jī)發(fā)光層110.電子輸送層111.陰極112.封止層113.像素限制層205,2050.合金膜1011.柵電極1012.漏電極1013.源電極1014.溝道層1015.柵極絕緣膜1050,2051.鋁層1051,2052.析出鎳1052,2053.氧化鋁層1053、2054.氧化鎳層
具體實(shí)施例方式[本發(fā)明的一種方式的概要]本發(fā)明的一種方式涉及的有機(jī)發(fā)光元件具備第1電極，其由包含通過被氧化而具有載流子注入性的第1金屬材料、且由以具有光反射性和導(dǎo)電性的第2金屬材料為成分的合金構(gòu)成，在其表面的至少一部分，在使第1金屬材料析出的狀態(tài)下形成有第1金屬材料的金屬氧化物層；功能層，其與第1電極的表面連接設(shè)置，至少包括接受從第1電極注入的載流子的發(fā)光層；以及第2電極，其隔著功能層而設(shè)置在與第1電極不同的一側(cè)，具有與第 1電極不同的極性。在本發(fā)明的一種方式涉及的有機(jī)發(fā)光元件中，在第1電極的表面的至少一部分， 在使第1金屬材料析出的狀態(tài)下形成該第1金屬材料的金屬氧化物層。并且，如上所述，作為第1電極的構(gòu)成材料的包含于合金中的上述第1金屬材料通過氧化而具有載流子注入性。因此，在本發(fā)明的一種方式涉及的有機(jī)發(fā)光元件中，第1電極具有對于功能層的載流子注入性，在第1電極上可以不形成另外的載流子注入層。因此，與能夠省略第1電極上的載流子注入層相應(yīng)地，能夠給減少構(gòu)成層的數(shù)量，能夠得到成本上的效果。另外，如上所述，在本發(fā)明的一種方式涉及的有機(jī)發(fā)光元件中，第1電極中的金屬氧化物層具有載流子注入，可以不形成另外的載流子注入層，因此，也不會導(dǎo)致由于上述現(xiàn)有技術(shù)中的載流子注入層的剝離而引起的發(fā)光特性的下降。因此，本發(fā)明的一種方式涉及的有機(jī)發(fā)光元件，具有高發(fā)光特性，且能夠以低成本進(jìn)行制造。所說的“析出”是指在原本的結(jié)晶構(gòu)造的固溶體(母材)中出現(xiàn)具有與此不同的結(jié)晶構(gòu)造的相(析出物)的現(xiàn)象，在上述中表示在合金的表面的至少一部分出現(xiàn)上述金屬材料的相的現(xiàn)象。另外，在本發(fā)明的一種方式涉及的有機(jī)發(fā)光元件中，在上述結(jié)構(gòu)中，在第1電極的表面形成有上述第2金屬材料的金屬氧化物層和析出的上述第1金屬材料的金屬氧化物層。即，在本發(fā)明的一種方式涉及的有機(jī)發(fā)光元件中，成為在第1電極的表面混合存在并形成了上述第1金屬材料的金屬氧化物層和上述第2金屬材料的金屬氧化物層的結(jié)構(gòu)。在該結(jié)構(gòu)的情況下，第2金屬材料的金屬氧化物層即使呈現(xiàn)絕緣性，由于上述第1金屬材料的金屬氧化物層具有載流子注入性，因此也能夠切實(shí)地對功能層注入載流子。另外，在本發(fā)明的一種方式涉及的有機(jī)發(fā)光元件中，在上述結(jié)構(gòu)中，析出的上述第 1金屬材料的金屬氧化物層，在上述第2金屬材料的金屬氧化物層中，形成為島狀或者不連續(xù)狀。在采用該結(jié)構(gòu)的情況下，能夠通過在第1電極的表面形成的上述第1金屬材料的金屬氧化物層對功能層注入載流子，能夠通過隔著上述第2金屬的金屬氧化物層而存在于內(nèi)部的導(dǎo)電性金屬來確保光反射性。另外，在本發(fā)明的一種方式涉及的有機(jī)發(fā)光元件中，在上述結(jié)構(gòu)中，通過被氧化而具有載流子注入性的上述第1金屬材料的具體例，是周期表第4族到第11族的任一族過渡金屬材料，或者，是周期表第12族的典型金屬材料。在這些材料中，其金屬氧化物具有半導(dǎo)體特性。因此，從載流子注入性的觀點(diǎn)來看是優(yōu)選的。另外，在本發(fā)明的一種方式涉及的有機(jī)發(fā)光元件中，在上述結(jié)構(gòu)中，第1電極構(gòu)成陽極，第2電極構(gòu)成陰極，析出的上述第1金屬材料的金屬氧化物層具備注入作為載流子的空穴的空穴注入性。另外，在本發(fā)明的一種方式涉及的有機(jī)發(fā)光元件中，在上述結(jié)構(gòu)中，功能層包括向發(fā)光層輸送空穴的空穴輸送層，空穴輸送層與第1電極連接。在該情況下，對包含在功能層中的空穴輸送層能得到良好的空穴注入性。另外，在本發(fā)明的一種方式的有機(jī)發(fā)光元件中，在上述結(jié)構(gòu)中，在元件中具有像素部和非像素部，在像素部中包括第1電極、發(fā)光層以及第2電極，在非像素部中包括輔助電極，其由包含通過被氧化而具有載流子注入性的第1金屬材料、且由以具有光反射性和導(dǎo)電性的第2金屬材料為成分的合金構(gòu)成，在其表面的至少一部分，在使第1金屬材料析出的狀態(tài)下形成有第1金屬材料的金屬氧化物層；以及第2電極，在非像素部中不包括發(fā)光層， 第2電極遍及像素部和非像素部相連接。在該結(jié)構(gòu)中，第1電極和輔助電極都以相同的結(jié)構(gòu)形成。即，第1電極和輔助電極都由包含通過被氧化而具有載流子注入性的第1金屬材料、由以具有光反射性和導(dǎo)電性的第2金屬材料為成分的合金構(gòu)成，在各自的表面的至少一部分，在使上述第1金屬材料析出的狀態(tài)下形成該第1金屬材料的金屬氧化物層。在采用這樣的結(jié)構(gòu)的情況下，在像素部中， 不需要另外設(shè)置用于注入載流子的層，能通過第1電極中的析出的上述第1金屬材料的金屬氧化物層得到良好的載流子注入性。另一方面，在非像素部中，由于在輔助電極和第2電極之間沒有用于注入載流子的層作為另外的層存在，因此能夠消除使輔助電極和第2電極之間的接觸電阻變大的一個(gè)主要原因。其結(jié)果，析出的上述第1金屬材料的金屬氧化物層發(fā)揮用于確保輔助電極和第 2電極之間的良好的電連接的作用。另外，在本發(fā)明的一種方式涉及的有機(jī)發(fā)光元件中，在上述結(jié)構(gòu)中，第1金屬材料具體而言為鎳(Ni)，第2金屬材料具體而言為鋁(Al)。另外，在本發(fā)明的一種方式涉及的有機(jī)發(fā)光元件中，在上述結(jié)構(gòu)中，合金中的第1 金屬材料的含有量在3. Oat% (原子濃度)且以上5.0at% (原子濃度)以下。這是因?yàn)?在合金中的第1金屬材料的含有量比3. 0at% (原子濃度)小的情況下，在載流子注入性方面并不充分，另一方面，在第1金屬材料的含有量比5. 0at%大的情況下，可能會導(dǎo)致難以確保光反射性。本發(fā)明的一種方式涉及的有機(jī)顯示面板具備上述本發(fā)明的一種方式涉及的有機(jī)發(fā)光元件。因此，在本發(fā)明的一種方式涉及的有機(jī)顯示面板中，由于上述同樣的理由，具有高發(fā)光特性，且能夠以低成本進(jìn)行制造。本發(fā)明的一種方式涉及的有機(jī)顯示裝置具備上述本發(fā)明的一種方式涉及的有機(jī)顯示面板。因此，本發(fā)明的一種方式涉及的有機(jī)顯示裝置，由于上述同樣的理由，具有高發(fā)光特性，且能夠以低成本進(jìn)行制造。在本發(fā)明的一種方式涉及的有機(jī)發(fā)光元件的制造方法中，特征在于執(zhí)行如下各工序(第1工序)形成由包含通過被氧化而具有載流子注入性的第1金屬材料、且由以具有光反射性和導(dǎo)電性的第2金屬材料為成分的合金構(gòu)成的第1電極層；(第2工序)通過加熱所形成的第1電極層而進(jìn)行氧化處理，使所述第1金屬材料析出，在所述第1電極層的表面的至少一部分形成所述第1金屬材料的金屬氧化物層；(第3工序)在所述第1電極層的上方形成功能層，所述功能層與所述第1電極層的所述表面連接設(shè)置，包括接受從所述第1 電極層注入的載流子的發(fā)光層；以及(第4工序)，在所述功能層的上方，形成極性與所述第1電極層不同的第2電極。在本發(fā)明的一種方式涉及的有機(jī)發(fā)光元件的制造方式中，能夠給在第1電極層的表面的至少一部分，在使第1金屬材料析出的狀態(tài)下形成該第1金屬材料的金屬氧化物層。 并且，如上所述，作為第1電極層的構(gòu)成材料的包含于合金中的上述第1金屬材料，由于被氧化而具有載流子注入性，因此，在使用本發(fā)明的一種方式涉及的制造方式制造的有機(jī)發(fā)光元件中，第1電極層具有對于功能層的載流子注入性，可以在第1電極層上不形成另外的載流子注入層。因此，與能夠省略第1電極上的載流子注入層相應(yīng)地，能夠減少構(gòu)成層的數(shù)量，能夠得到成本上的效果。另外，如上所述，在使用本發(fā)明的一種方式的制造方法制造的有機(jī)發(fā)光元件中，第 1電極層中析出的上述第1金屬材料的金屬氧化物層具有載流子注入，可以不用形成另外的載流子注入層，因此，也不會導(dǎo)致由于上述現(xiàn)有技術(shù)中的載流子注入層的剝離而引起的發(fā)光特性的下降。因此，在本發(fā)明的一種方式涉及的有機(jī)發(fā)光元件的制造方法中，能夠制造具有高發(fā)光特性、且能夠以低成本進(jìn)行制造的有機(jī)發(fā)光元件。在本發(fā)明的一種方式涉及的有機(jī)發(fā)光元件的制造方法中，在上述結(jié)構(gòu)中，第2工序是通過加熱在其之前的第1工序中形成的第1電極層而進(jìn)行氧化處理，形成上述第2金屬材料的金屬氧化物層的所析出的上述第1金屬材料的金屬氧化物層的工序。通過這樣地加熱來進(jìn)行氧化處理，可以不執(zhí)行繁雜的工序，能實(shí)現(xiàn)第1金屬材料的析出及其氧化。在本發(fā)明的一種方式涉及的有機(jī)發(fā)光元件的制造方法中，在上述結(jié)構(gòu)中，第2工序是通過加熱在其之前的第1工序中形成的第1電極層而進(jìn)行氧化處理，使析出的上述第 1金屬材料的金屬氧化物層，在上述第2金屬材料的金屬氧化物層中，形成為島狀或者不連續(xù)狀的工序。這樣，在使上述第1金屬材料的金屬氧化物層在上述第2金屬材料的金屬氧化物層中形成為島狀或者不連續(xù)狀的情況下，在制造的有機(jī)發(fā)光元件中，能夠通過在第1電極的表面形成的上述第1金屬材料的金屬氧化物層對功能層注入載流子，能夠通過隔著上述第2金屬材料的金屬氧化物層而存在于內(nèi)部的第2金屬材料確保光反射性和導(dǎo)電性。在本發(fā)明的一種方式涉及的有機(jī)發(fā)光元件的制造方法中，在上述結(jié)構(gòu)中，第2工序具體而言是燒結(jié)溫度在230°C以上且燒制時(shí)間在30分鐘以上的工序。當(dāng)采用這樣的燒結(jié)條件時(shí)，能夠有效地進(jìn)行上述第1金屬材料的析出、以及該析出的第1金屬材料的金屬氧化物的形成，在制造出的有機(jī)發(fā)光元件中，能夠確保對于功能層的良好的載流子注入性。在本發(fā)明的一種方式涉及的有機(jī)發(fā)光元件的制造方法中，在上述結(jié)構(gòu)中，在第2 工序和第3工序之間，具有對通過其之前的第2工序形成了析出的上述第1金屬材料的金屬氧化物層的第1電極層進(jìn)行圖案化處理的工序；以及形成對在第1電極層中的進(jìn)行了上述圖案化處理的部位彼此之間進(jìn)行區(qū)劃的隔壁的工序。在本發(fā)明的一種方式涉及的有機(jī)發(fā)光元件的制造方法中，在上述結(jié)構(gòu)中，功能層包括向發(fā)光層輸送空穴的空穴輸送層，第1工序是通過作為第2金屬材料使用構(gòu)成陽極的材料，并且作為所述第1金屬材料使用通過被氧化而具備注入空穴的空穴注入性的材料， 從而形成第1電極層的工序，所述第4工序是使用構(gòu)成作為第2電極的陰極的材料來形成第2電極的工序。以下，使用多個(gè)例子對用于實(shí)施本發(fā)明的方式進(jìn)行說明。以下的說明中使用的實(shí)施方式是為了容易理解地說明本發(fā)明的構(gòu)成、作用、效果而使用的例示，本發(fā)明除了其本質(zhì)的部分以外不受以下方式的任何限定。[實(shí)施方式]1.顯示裝置1的整體結(jié)構(gòu)
以下，使用圖1對實(shí)施方式涉及的有機(jī)顯示裝置1進(jìn)行說明。如圖1所示，有機(jī)顯示裝置1構(gòu)成為具有有機(jī)顯示面板10和與其連接的驅(qū)動控制部20。有機(jī)顯示面板10是利用了有機(jī)發(fā)光材料的電致發(fā)光現(xiàn)象的有機(jī)EL面板，構(gòu)成為排列有多個(gè)有機(jī)發(fā)光元件。驅(qū)動控制部20包括控制電路25和4個(gè)驅(qū)動電路21 M。在實(shí)際的顯示裝置1中，相對于顯示面板10的驅(qū)動控制部20的配置和/或連接關(guān)系不限于此。2.有機(jī)顯示面板10的結(jié)構(gòu)使用圖2和圖3對有機(jī)顯示面板10的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。圖2為表示有機(jī)顯示面板 10中的提107與陽極105及輔助電極106的配置關(guān)系的示意俯視圖，圖3為表示有機(jī)顯示面板10的一部分結(jié)構(gòu)的示意剖視端面圖，表示圖2的A-A'剖面。首先，如圖2所示，在本實(shí)施方式涉及的有機(jī)顯示面板10中，具有沿Y軸方向延伸的多個(gè)提107 (線提)。并且，在相鄰的提107之間，在相當(dāng)于像素部的部分中設(shè)置陽極105， 在相當(dāng)于非像素部的部分中形成輔助電極106。在本實(shí)施方式涉及的有機(jī)顯示面板10中，由在X軸方向上相鄰的3個(gè)子像素構(gòu)成一個(gè)像素，與每個(gè)子像素對應(yīng)而形成輔助電極106。在Y軸方向上相鄰的子像素彼此之間， 用像素限制層113進(jìn)行區(qū)劃，在與該像素限制層113相鄰的部位形成接觸孔104。接著，如圖3所示，在有機(jī)顯示面板10中，在基板100的Z軸方向上側(cè)的表面，依次層疊形成TFT層101和鈍化膜102，進(jìn)一步在其上面層疊形成平坦化膜103。在有機(jī)顯示面板10中，在X-Y平面中(參照圖1和圖幻，包括像素部IOa和非像素部10b。如上所述， 在像素部IOa中，在平坦化膜103上形成陽極105，在非像素部IOb中，在平坦化膜103上形成輔助電極106。在本實(shí)施方式中，陽極105和輔助電極106通過相同的材料以相同的膜厚來形成。TFT層101包括柵電極1011、漏電極1012、源電極1013、溝道層1014以及柵極絕緣膜1015，與陽極105通過接觸孔104進(jìn)行連接(在圖3中省略圖示)。在相鄰的陽極105彼此之間以及相鄰的陽極105和輔助電極106之間，分別立設(shè)有提107。提107以爬上到陽極105和輔助電極106的側(cè)邊緣部上面的狀態(tài)來形成。在像素部IOa中，在陽極105上，依次層疊形成夾層108、有機(jī)發(fā)光層109、電子輸送層110以及陰極111。這其中，電子輸送層110和陰極111越過提107的上面，也連續(xù)形成到非像素部10b。因此，在輔助電極106上，沒有層疊形成有機(jī)發(fā)光層109，而是依次層疊形成電子輸送層110和陰極111。通過該結(jié)構(gòu)，陰極111和輔助電極106在中間夾有電子輸送層Iio的狀態(tài)下電連接(用箭頭B指示的部分)。通過封止層112將陰極111的上面覆蓋。接著描述有機(jī)顯示面板10中的各構(gòu)成材料的一例。a)基板 100基板100例如以無堿玻璃、碳酸鈉玻璃、無熒光玻璃、磷酸類玻璃、硼酸類玻璃、石英、丙烯類樹脂、苯乙烯類樹脂、聚碳酸酯類樹脂、環(huán)氧類樹脂、聚乙烯、聚酯、硅酮類樹脂、 或者氧化鋁等的絕緣性材料為基礎(chǔ)來形成。b)平坦化膜103
平坦化膜103例如由丙烯、聚酰亞胺(polyimide)、溶膠-凝膠(Sol-gel)等的有機(jī)絕緣材料、SiN, SiOx等的無機(jī)絕緣材料等形成。c)陽極105和輔助電極106陽極105和輔助電極106使用由包含鎳(Ni)且以鋁為成分的合金材料來形成。在此，鎳為屬于周期表第10族的過渡金屬材料，通過氧化而具有半導(dǎo)體性，由此具有空穴注入性。另外，鋁為具有光反射性的導(dǎo)電性金屬材料。在陽極105和輔助電極106中，在表面的至少一部分析出鎳，該析出的鎳的表面發(fā)生氧化，形成氧化鎳層。下文對該結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。d)提 107提107由樹脂等的有機(jī)材料形成，具有絕緣性。作為用于形成提107的有機(jī)材料的例子，可以列舉丙烯類樹脂、聚酰亞胺類樹脂、酚醛(novolac)型苯酚樹脂等。提107優(yōu)選具有有機(jī)溶劑耐性。進(jìn)一步，提107有時(shí)被蝕刻處理、烘焙處理等，因此優(yōu)選通過對于這些處理不會過度地發(fā)生變形、變質(zhì)等的的耐性較高的材料來形成。另外，為了使之具有撥水性，也可以對表面進(jìn)行氟處理。對于用于形成提107的絕緣材料，可以使用以上述各材料為中心、特別是電阻率為IO5 Ω -cm以上且具有撥水性的材料。這是因?yàn)樵谑褂昧穗娮杪蕿镮O5Ω -cm以下的材料的情況下，以提107為主要原因，成為陽極105和陰極111之間產(chǎn)生泄露電流、或者相鄰的子像素之間產(chǎn)生泄露電流的原因，會產(chǎn)生消耗電力增加等各種問題。另外，對于提107的構(gòu)造，不僅可以為圖3示出的單層構(gòu)造，也可以采用雙層以上的多層構(gòu)造。在該情況下，也可以在每層組合上述材料，也可以在每層使用無機(jī)材料和有機(jī)材料。e)夾層 108夾層108使用不具備親水基的高分子化合物來形成。例如，可以使用作為聚芴 (polyfluorene)和/或其衍生物、或者聚丙烯胺(polyallylamine)和/或其衍生物等高分子化合物的不具備親水基的材料等。f)有機(jī)發(fā)光層109有機(jī)發(fā)光層109具有通過注入空穴和電子而使之復(fù)合來產(chǎn)生激發(fā)態(tài)而進(jìn)行發(fā)光的功能。用于形成有機(jī)發(fā)光層109的材料需要使用能夠使用濕式印刷法進(jìn)行制膜的發(fā)光性的有機(jī)材料。具體而言，優(yōu)選例如由特許公開公報(bào)(日本特開平5-163488號公報(bào))所記載的類喔星(oxinoid)化合物、茈化合物、香豆素化合物、氮雜香豆素化合物、噁唑化合物、噁二唑化合物、紫環(huán)酮(perinone)化合物、吡咯并吡咯化合物、萘化合物、蒽化合物、芴化合物、熒蒽化合物、并四苯化合物、芘化合物、暈苯化合物、喹諾酮化合物及氮雜喹諾酮化合物、吡唑啉衍生物及吡唑啉酮衍生物、若丹明化合物、奠(chrysene)化合物、菲化合物、環(huán)戊二烯化合物、芪化合物、二苯基苯醌化合物、苯乙烯基化合物、丁二烯化合物、雙氰亞甲基吡喃化合物、雙氰亞甲基噻喃化合物、熒光素化合物、吡喃鐺化合物、噻喃鐺化合物、硒雜環(huán)己二烯鐺化合物、碲雜環(huán)己二烯鐺化合物、芳香族坎利酮化合物、低聚亞苯基化合物、噻噸化合物、蒽化合物、花青苷化合物、吖啶化合物、8-羥基喹啉化合物的金屬配合物、2，2’ -聯(lián)吡啶化合物的金屬配合物、席夫堿與III族金屬的配合物、8-羥基喹啉(喔星)金屬配合物、稀土類配合物等熒光物質(zhì)形成。g)電子輸送層110電子輸送層110具有將從陰極111注入的電子輸送給有機(jī)發(fā)光層109的功能，例如，可以使用如下所述的材料來形成。作為用于形成電子輸送層110的材料的例子，可以列舉噁二唑衍生物、苯醌 (benzoquinone)或者其衍生物、蒽醌(anthraquinone)或者其衍生物、或者8_羥基喹啉或者其衍生物的金屬配合物、聚喹啉(polyquinoline)或者其衍生物、聚喹喔啉 (polyquinoxaline)或者其衍生物、聚芴(polyfluorene)或者其衍生物等。h)陰極 111陰極111由例如ΙΤ0、ΙΖ0(氧化銦鋅)等形成。在頂部發(fā)射型的有機(jī)顯示面板10 中，優(yōu)選使用如上述列舉的光透射性的材料來形成。對于光透射性，優(yōu)選透射率為80%以上。作為用于形成陰極111的材料，除了上述之外，例如，還可以使用將包含堿金屬、 堿土類金屬或者它們的鹵化物的層和包含銀的層按照該順序進(jìn)行層疊而得到的構(gòu)造。在上述中，包含銀的層可以由銀單獨(dú)形成，也可以由銀合金形成。另外，為了提高光取出效率，也可以在該包含銀的層之上設(shè)置透明度高的折射率調(diào)整層。i)封止層 112封止層112具有抑制有機(jī)發(fā)光層109等被暴露于水分中、或者被暴露于空氣中的功能，使用例如SiN(氮化硅)、SiON(氮氧化硅)等材料來形成。在頂部發(fā)射型的情況下， 優(yōu)選用光透射性的材料來形成。3.陽極105的結(jié)構(gòu)使用圖4對陽極105的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。圖4選出圖3所示的有機(jī)顯示面板10的陽極105及其周邊部分進(jìn)行描繪。陽極105如上所述由包含作為第一金屬材料的鎳、以及包含以作為第二金屬材料的鋁為成分的合金構(gòu)成。并且，如圖4所示，在作為成分的鋁(Al)層1050的Z軸上側(cè)的表面析出鎳(析出鎳1051)。在此，作為陽極105中的第一金屬材料的鎳是通過被氧化而具有空穴注入性的材料，作為陽極105中的第二金屬材料的鋁是具有光發(fā)射性和導(dǎo)電性的材料。析出鎳1051不是在陽極105的Z軸方向上側(cè)的整個(gè)表面析出，而是成為在表面的一部分析出的狀態(tài)。并且，在析出鎳1051的表面內(nèi)，在析出部分形成氧化鎳層1053。另外，在鋁層1050的表面、不存在析出鎳1051的部分形成氧化鋁層1052。在此，在圖4中雖末作圖示，但陽極105的Z軸方向上側(cè)的表面的氧化鎳層1053 的分布形態(tài)，在氧化鋁層1052中為島狀或不連續(xù)狀。如圖4所示，在有機(jī)顯示面板10中，在陽極105上層疊形成夾層108，在兩者之間沒有另外的空穴注入層介入。在有機(jī)顯示面板10中，在析出鎳1051的表面形成的氧化鎳層1053具有空穴注入性，陽極105具備空穴注入性。另外，構(gòu)成陽極105的合金，在鎳的含有量比3.0at% (原子濃度)小的情況下，在空穴注入性的方面不一定充分，另一方面，在鎳的含有量比5. 0at%大的情況下，可能難以確保光反射性。
為此，構(gòu)成陽極105的合金優(yōu)選鎳的含有量在3. Oat %以上且5. Oat %以下的范圍內(nèi)。在合金為鎳和鋁的兩成分類的構(gòu)造、或者合金為在鎳、鋁以外包含其他成分的三成分類且其他成分微量的構(gòu)造、或者合金為包含雜質(zhì)的構(gòu)造且雜質(zhì)的含有量為可以忽視的程度的構(gòu)造中，除了鎳的含有量為3. 0at%以上且5. 0at%以下之外，還優(yōu)選鋁的含有量為 94at%以上且96at%以下。4.效果如圖3和圖4所示，在本實(shí)施方式涉及的有機(jī)顯示面板10中，在像素部IOa中，在陽極105的表面的至少一部分使鎳析出(析出鎳1051)，在析出鎳1051的上側(cè)表面形成氧化鎳層1053。在此，如上所述，作為過渡金屬的氧化物層的氧化鎳層1053具有空穴注入性。對此，在下文示出的參考文獻(xiàn)中也得到了確認(rèn)。(參考文獻(xiàn))"Enhanced hole injections in organic light-emitting devices bydepositing nickel oxide on indium tin oxide anode，，、I-Min Chan、Tsung-Yi Hsu, and Franklin C. Hong、“2002American Institute of Physics、Applied PhysicsLetters、 volume 81, number 10，，因此，在本實(shí)施方式涉及的有機(jī)顯示面板10以及具備該有機(jī)顯示面板的有機(jī)顯示裝置1中，陽極105具有對于有機(jī)發(fā)光層109的載流子注入性，在陽極105上可以不形成另外的空穴注入層。因此，與能夠省略陽極105上的空穴注入層相應(yīng)地，能夠減少有機(jī)顯示面板10的整體的構(gòu)成層的數(shù)量，能夠得到成本上的效果。另外，如上所述，在本實(shí)施方式涉及的有機(jī)顯示面板10中，陽極105中的氧化鎳層 1053具有空穴注入性，也可以不形成另外的空穴注入層，因此，也不會導(dǎo)致由于上述現(xiàn)有技術(shù)中的空穴注入層的剝離而引起的發(fā)光特性的下降。因此，在本實(shí)施方式涉及的有機(jī)顯示面板10以及具備該有機(jī)顯示面板的有機(jī)顯示裝置1中，具有高發(fā)光特性，且能夠以低成本進(jìn)行制造。另外，如由圖3的箭頭B所指示的部分所示，在有機(jī)顯示面板10的非像素部IOb 中，雖然在輔助電極106和陰極111之間夾有夾層110，然而與圖9所示的現(xiàn)有技術(shù)涉及的有機(jī)顯示面板相比，在輔助電極106和陰極111之間不存在空穴注入層這一點(diǎn)是不同的。因此，在本實(shí)施方式涉及的有機(jī)顯示面板10中，在非像素部IOb中，與在輔助電極106和陰極 111之間不存在空穴注入層相應(yīng)地，能謀求降低接觸電阻。另外，在輔助電極106中，也與圖4所示的陽極105同樣地，在其表面析出鎳，該析出的鎳的表面發(fā)生氧化而形成氧化鎳層。因此，能夠?qū)崿F(xiàn)輔助電極106和電子輸送層110 之間的良好的電連接。5.制造方法使用圖5至圖7對有機(jī)顯示面板10的制造方法進(jìn)行說明。如圖5(a)所示，在基板100的Z軸方向上側(cè)的主面，依次形成漏電極1012和源電極1013、覆蓋它們的溝道層1014、柵極絕緣膜1015以及柵電極1011，由此形成TFT層101。 之后，在覆蓋形成了鈍化膜102之后，使用無機(jī)材料(例如、311310!￡等)或者有機(jī)材料(例如、丙烯、聚酰亞胺、溶膠-凝膠等)形成平坦化膜103。
接著，如圖5(b)所示，對于平坦化膜103的表面，形成合金膜2050。合金膜2050 的成膜中，通過使用至少包含鎳(Ni)，以鋁(Al)為成分的合金，例如使用濺射法來進(jìn)行成膜。接著，如圖5(c)所示，對于在平坦化膜103上形成的合金膜2050，在氧氣(O2)環(huán)境下進(jìn)行燒結(jié)。燒結(jié)的條件為燒結(jié)溫度在230°C以上、燒制時(shí)間在30分鐘以上。通過如此燒結(jié)合金膜2050，如由圖5(c)的雙點(diǎn)劃線包圍的部分所示，在鋁層2051的表面的一部分析出鎳(析出鎳2052)，析出鎳2052的表面發(fā)生氧化，形成氧化鎳層2(^4。另外，鋁層2051 的表面也被氧化而形成氧化鋁層2053，完成燒結(jié)后的合金膜205。接著，如圖6(a)所示，通過光刻和蝕刻，對合金膜205進(jìn)行圖案形成 (patterning)，由此形成陽極105和輔助電極106。在該情況下，在陽極105和輔助電極106 中的各自的Z軸方向上側(cè)的表面部分會形成析出鎳1051和氧化鎳層1053(參照圖4)。作為圖案形成時(shí)的蝕刻，使用濕蝕刻和干蝕刻中的哪一個(gè)都可以。例如，在選擇濕蝕刻的情況下，作為蝕刻液可以使用稀氟酸等，在選擇干蝕刻的情況下，作為蝕刻氣體可以使用CF4等。接著，形成由提材料形成的層，使得將通過圖案化而形成的陽極105和輔助電極 106各自之上、以及相互之間露出的平坦化膜103的整個(gè)表面覆蓋。對于該形成，可以使用例如丙烯類樹脂、聚酰亞胺類樹脂、酚醛(novolac)類苯酚樹脂等的絕緣材料，通過例如旋涂(spin coat)法等進(jìn)行形成。并且，對于由提材料形成的層，通過執(zhí)行曝光、顯影，如圖6(b)所示，在相鄰的陽極105彼此之間、以及相鄰的陽極105和輔助電極106之間形成提107。此時(shí)，提107成為其一部分爬上陽極105和輔助電極106的側(cè)緣部上面的狀態(tài)。接著，如圖6(c)所示，在由提107所區(qū)劃的像素部10a(參照圖3)中，在陽極105 上層疊形成夾層108。對于夾層108的形成，如上所述，可以使用沒有親水基的高分子化合物。接著，對于夾層108上，例如通過噴墨法等滴下包含有機(jī)發(fā)光材料的墨水，使滴下的墨水干燥，由此如圖7(a)所示，能夠形成有機(jī)發(fā)光層109。對于有機(jī)發(fā)光層109，在每個(gè)相鄰的子像素分別進(jìn)行涂覆，使得如紅(R)、綠(G)、藍(lán)(B)這樣發(fā)光色不同。之后，如圖7(b)所示，在有機(jī)發(fā)光層109上、提107上以及輔助電極106上的整個(gè)面形成電子輸送層110，然后，如圖7(c)所示，在電子輸送層110上形成陰極111。雖然省略了圖示，但通過在陰極111上形成封止層112，從而完成圖3所示的有機(jī)顯示面板10。在采用如上所述的制造方法的本實(shí)施方式中，與制造圖9所示的現(xiàn)有的有機(jī)顯示面板的情況相比，不需要另外設(shè)置空穴注入層，因此，能夠與之相應(yīng)地簡化制造工序，能夠謀求降低制造成本。另外，對于使用本實(shí)施方式涉及的方法制造的有機(jī)顯示面板10，能實(shí)現(xiàn)如上所述的效果。[變形例]使用圖8說明變形例涉及的有機(jī)顯示面板的結(jié)構(gòu)。如圖8所示，在變形例涉及的有機(jī)顯示面板中，與上述實(shí)施方式涉及的有機(jī)顯示面板10相比，提207的形態(tài)不同，除此以外的結(jié)構(gòu)是同樣的。
本變形例涉及的有機(jī)顯示面板的提207為在X軸方向延伸的部分207a和在Y軸方向延伸的部分207b —體形成的所謂的像素提。在本變形例涉及的有機(jī)顯示面板中，在X 軸方向上相鄰的子像素彼此之間用部分207b進(jìn)行區(qū)劃，在Y軸方向上相鄰的子像素彼此之間用部分207a進(jìn)行區(qū)劃。并且，從提207上所開的窗部露出與各子像素對應(yīng)的陽極105和以像素為單位設(shè)置的輔助電極106。在本變形例的有機(jī)顯示面板中，陽極105和輔助電極106的結(jié)構(gòu)也與上述實(shí)施方式是同樣的，除了提207的形態(tài)之外的其他結(jié)構(gòu)也是同樣的，因此具有與上述實(shí)施方式涉及的有機(jī)顯示面板10同樣的效果。[其他的事項(xiàng)]在上述實(shí)施方式和上述變形例涉及的有機(jī)顯示面板10中，采用了在平坦化膜103 上設(shè)置陽極105的結(jié)構(gòu)，但相反地也可以采用在平坦化膜103上設(shè)置陰極的結(jié)構(gòu)。在該情況下，能夠通過對于陰極應(yīng)用圖4那樣的結(jié)構(gòu)來得到上述同樣的效果。另外，在上述實(shí)施方式和上述變形例涉及的有機(jī)顯示面板10中，采用了按每個(gè)像素設(shè)置輔助電極106的結(jié)構(gòu)，但根據(jù)面板尺寸也不一定需要輔助電極。即，在小型的面板的情況下，有時(shí)面板中央部的電壓下降不成問題的水平，在這樣的情況下不需要設(shè)置輔助電極。在設(shè)置輔助電極的情況下，按3個(gè)子像素設(shè)置一個(gè)輔助電極的結(jié)構(gòu)也不是必須的，可以考慮面板尺寸和電壓下降的程度等進(jìn)行設(shè)計(jì)。另外，在上述實(shí)施方式和上述變形例涉及的有機(jī)顯示面板10中，作為陽極105和輔助電極106的母材，采用了包含鎳(Ni)、且以鋁(Al)為成分的合金，但對于合金也可以進(jìn)行適當(dāng)?shù)淖兏?。但是，需要將包含通過氧化而具有載流子注入性的金屬材料、且由以具有光反射性的導(dǎo)電性金屬材料為成分的合金作為母材，在其表面的一部分析出所述金屬材料， 在析出的金屬材料的表面形成其氧化物層。在上述中，作為陽極105的第一金屬材料，除了在上述實(shí)施方式中采用的鎳之外， 只要周期表第4族至第11族的任一族過渡金屬材料、或者周期表第12族的典型金屬材料等則也可以使用。另外，在上述實(shí)施方式中，在其制造方法中，在使合金膜2050在氧(O2)環(huán)境下燒結(jié)之后，進(jìn)行圖案形成來形成了陽極105和輔助電極106，但也可以在圖案形成之后執(zhí)行氧 (O2)環(huán)境下的燒結(jié)。另外，對于燒結(jié)條件，當(dāng)使燒結(jié)溫度上升時(shí)，則析出的金屬材料(鎳)增加，能夠謀求導(dǎo)電性和載流子注入性的提高等。但是，需要考慮陽極的光發(fā)射性。產(chǎn)業(yè)上的可利用性本發(fā)明對實(shí)現(xiàn)具有高發(fā)光特性、能夠以低成本進(jìn)行制造的有機(jī)發(fā)光元件及其制造方法、以及有機(jī)顯示面板、有機(jī)顯示裝置是有用的。
權(quán)利要求
1.一種有機(jī)發(fā)光元件，具備第1電極，其由包含通過被氧化而具有載流子注入性的第1金屬材料、且由以具有光反射性和導(dǎo)電性的第2金屬材料為成分的合金構(gòu)成，在其表面的至少一部分，在使所述第1金屬材料析出的狀態(tài)下形成有所述第1金屬材料的金屬氧化物層；功能層，其與所述第1電極的所述表面連接設(shè)置，至少包括接受從所述第1電極注入的載流子的發(fā)光層；以及第2電極，其隔著所述功能層而設(shè)置在與所述第1電極不同的一側(cè)，具有與所述第1電極不同的極性。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的有機(jī)發(fā)光元件，在所述第1電極的所述表面，形成有所述第2金屬材料的金屬氧化物層和所述析出的所述第1金屬材料的金屬氧化物層。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的有機(jī)發(fā)光元件，所述析出的所述第1金屬材料的金屬氧化物層，在所述第2金屬材料的金屬氧化物層中，形成為島狀或者不連續(xù)狀。
4.根據(jù)權(quán)利要求1 3中的任一項(xiàng)所述的有機(jī)發(fā)光元件，所述第1金屬材料為周期表第4族 第11族的任一族的過渡金屬材料或者周期表第 12族的典型金屬材料。
5.根據(jù)權(quán)利要求1 4中的任一項(xiàng)所述的有機(jī)發(fā)光元件， 所述第1電極構(gòu)成陽極，所述第2電極構(gòu)成陰極，所述析出的所述第1金屬材料的金屬氧化物層具備注入作為載流子的空穴的空穴注入性。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的有機(jī)發(fā)光元件，所述功能層包括向所述發(fā)光層輸送空穴的空穴輸送層，所述空穴輸送層與所述第1電極連接。
7.根據(jù)權(quán)利要求1 6中的任一項(xiàng)所述的有機(jī)發(fā)光元件， 所述有機(jī)發(fā)光元件具有像素部和非像素部，在所述像素部中包括所述第1電極、所述發(fā)光層以及所述第2電極， 在所述非像素部中包括輔助電極，其由包含通過被氧化而具有載流子注入性的第1金屬材料、且由以具有光反射性和導(dǎo)電性的第2金屬材料為成分的合金構(gòu)成，在其表面的至少一部分，在使所述第1 金屬材料析出的狀態(tài)下形成有所述第1金屬材料的金屬氧化物層；以及所述第2電極，在所述非像素部中不包括所述發(fā)光層，所述第2電極遍及所述像素部和所述非像素部相連接。
8.根據(jù)權(quán)利要求1 7中的任一項(xiàng)所述的有機(jī)發(fā)光元件， 所述第1金屬材料為鎳，所述第2金屬材料為鋁。
9.根據(jù)權(quán)利要求1 8中的任一項(xiàng)所述的有機(jī)發(fā)光元件，所述合金中的所述第1金屬材料的含有量為3. 0at%原子濃度以上且5. 0at%原子濃度以下。
10.一種有機(jī)顯示面板，具備權(quán)利要求1 9中的任一項(xiàng)所述的有機(jī)發(fā)光元件。
11.一種有機(jī)顯示裝置，具備權(quán)利要求10所述的有機(jī)顯示面板。
12.—種有機(jī)發(fā)光元件的制造方法，包括第1工序，形成由包含通過被氧化而具有載流子注入性的第1金屬材料、且由以具有光反射性和導(dǎo)電性的第2金屬材料為成分的合金構(gòu)成的第1電極層；第2工序，通過加熱所述形成的第1電極層而進(jìn)行氧化處理，使所述第1金屬材料析出，在所述第1電極層的表面的至少一部分形成所述第1金屬材料的金屬氧化物層；第3工序，在所述第1電極層的上方形成功能層，所述功能層與所述第1電極層的所述表面連接設(shè)置，包括接受從所述第1電極層注入的載流子的發(fā)光層；以及第4工序，在所述功能層的上方，形成極性與所述第1電極層不同的第2電極。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的有機(jī)發(fā)光元件的制造方法， 所述第2工序是通過加熱在所述第1工序中形成的第1電極層而進(jìn)行氧化處理，形成所述第2金屬材料的金屬氧化物層和所述析出的所述第1金屬材料的金屬氧化物層的工序。
14.根據(jù)權(quán)利要求12所述的有機(jī)發(fā)光元件的制造方法，所述第2工序是通過加熱在所述第1工序中形成的第1電極層而進(jìn)行氧化處理，將所述析出的所述第1金屬材料的金屬氧化物層在所述第2金屬材料的金屬氧化物層中形成為島狀或者不連續(xù)狀的工序。
15.根據(jù)權(quán)利要求12所述的有機(jī)發(fā)光元件的制造方法，所述第2工序是燒結(jié)溫度在230°C以上、且燒結(jié)時(shí)間在30分鐘以上的工序。
16.根據(jù)權(quán)利要求12所述的有機(jī)發(fā)光元件的制造方法， 在所述第2工序和所述第3工序之間，具有對通過所述第2工序形成了所述金屬氧化物層的第1電極層進(jìn)行圖案化處理的工序；和形成對所述第1電極層中的進(jìn)行了所述圖案化處理的部位彼此之間進(jìn)行區(qū)劃的隔壁的工序。
17.根據(jù)權(quán)利要求12所述的有機(jī)發(fā)光元件的制造方法， 所述功能層包括向所述發(fā)光層輸送空穴的空穴輸送層，所述第1工序是通過作為所述導(dǎo)電性金屬材料使用構(gòu)成陽極的材料，并且作為所述第 1金屬材料使用具備注入空穴的空穴注入性的材料，從而形成第1電極層的工序，所述第4工序是作為所述第2電極使用構(gòu)成陰極的材料來形成所述第2電極的工序。
全文摘要
本發(fā)明提供一種有機(jī)發(fā)光元件及其制造方法、有機(jī)顯示面板、有機(jī)顯示裝置。陽極(105)由將鋁作為成分、且包含鎳的合金構(gòu)成。鋁為具有光反射性和導(dǎo)電性的金屬材料，鎳為通過被氧化而具有空穴注入性的金屬材料。在陽極(105)的表面的至少一部分，析出鎳(析出鎳1051)，在該析出鎳(1051)的表面形成氧化鎳層(1053)。另外，在鋁層(1050)的表面，形成氧化鋁層(1052)。氧化鎳層(1053)與夾層(108)連接。并且，在夾層(108)上，層疊形成至少包括有機(jī)發(fā)光層的功能層以及陰極等。
文檔編號H01L51/50GK102388674SQ20108000693
公開日2012年3月21日 申請日期2010年6月28日 優(yōu)先權(quán)日2010年6月28日
發(fā)明者年代健一 申請人:松下電器產(chǎn)業(yè)株式會社