專利名稱：半導(dǎo)體激光模塊的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及能夠使用彎曲波導(dǎo)將從半導(dǎo)體激光元件輸出的激光以傾斜的方式向輸出端面射出并降低反射光的半導(dǎo)體激光模塊。
背景技術(shù)：
以往以來，在從半導(dǎo)體激光元件輸出激光的情況下，為降低射出端面的反射返回光，例如設(shè)有相對(duì)于射出端面彎曲了 7度程度的彎曲波導(dǎo)。由此，為了降低向半導(dǎo)體激光元件的共振器的反射返回光，可以進(jìn)行穩(wěn)定的激光輸出。另一方面，將從半導(dǎo)體激光元件輸出的光向光纖導(dǎo)波并輸出的以往的半導(dǎo)體激光模塊中，將輸出的激光的一部分由束分離器等分路，使用光功率監(jiān)視器及對(duì)規(guī)定波長的光功率進(jìn)行監(jiān)視的波長監(jiān)視器進(jìn)行波長鎖定控制。此時(shí)，如果相對(duì)于光功率監(jiān)視器及波長監(jiān)視器分別設(shè)置束分離器，則光學(xué)零件數(shù)量增加，且阻礙半導(dǎo)體激光模塊的小型化，因此，有在利用一個(gè)束分離器分路的光的光束上并列配置光功率監(jiān)視器和波長監(jiān)視器，將分路的光沿光軸方向分割并分別受光的技術(shù)(參照專利文獻(xiàn)1)。以往技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)1 特開2006-216695號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
但是，如果設(shè)置彎曲波導(dǎo)，則在從射出端面輸出的激光中除沿射出端面的導(dǎo)波方向射出的導(dǎo)波光外，還存在從該彎曲波導(dǎo)泄漏的泄漏光，由于該泄漏光的存在，從射出端面輸出的激光的分布圖案即FFP (遠(yuǎn)場圖案)在泄漏光側(cè)產(chǎn)生旁瓣(寸〃 F 口一 y )，關(guān)于光軸中心成為非對(duì)稱。在此，在使用具有該彎曲波導(dǎo)的半導(dǎo)體器件，且使用由一個(gè)束分離器分路的光通過功率監(jiān)視器和波長監(jiān)視器進(jìn)行監(jiān)視時(shí)，由于上述的FFP的非對(duì)稱性，在功率監(jiān)視器和波長監(jiān)視器所檢測的光輸出中產(chǎn)生差異，因此，存在不能進(jìn)行精度高的波長鎖定控制的問題點(diǎn)。特別是FFP根據(jù)激光的光輸出而變化，所以上述差異的大小也發(fā)生變化，因此，存在不能進(jìn)行精度高的波長鎖定控制的問題點(diǎn)。因此，本發(fā)明是鑒于上述情況而創(chuàng)立的，其目的在于，提供一種半導(dǎo)體激光模塊， 即使在使用從具有彎曲波導(dǎo)的半導(dǎo)體器件輸出的光、即沿光軸方向分割的光分別監(jiān)視光功率和波長的情況下，也能夠進(jìn)行精度高且穩(wěn)定的波長鎖定控制。用于解決課題的手段為解決上述課題，實(shí)現(xiàn)目的，本發(fā)明提供一種半導(dǎo)體激光模塊，其包含集成了至少一個(gè)半導(dǎo)體激光器和彎曲波導(dǎo)的半導(dǎo)體器件、束分離器、多個(gè)檢測器，從所述半導(dǎo)體激光器射出的激光經(jīng)由所述彎曲波導(dǎo)傳播，經(jīng)由所述彎曲波導(dǎo)射出的所述激光入射向所述束分離器，入射到所述束分離器的激光的一部分由所述束分離器分路，由配置于該光束截面內(nèi)
3的不同的位置的所述多個(gè)檢測器檢測所述分路后的所述激光的一部分，其中，在光路上設(shè)有用于使所述半導(dǎo)體激光器的輸出和所述多個(gè)檢測器的檢測值的相關(guān)關(guān)系接近線性的波形整形裝置。另外，本發(fā)明的半導(dǎo)體激光模塊的特征在于，在上述發(fā)明中，所述波形整形裝置將光輸出分布圖案關(guān)于所述激光的光軸大致對(duì)稱的進(jìn)行整形。另外，本發(fā)明的半導(dǎo)體激光模塊的特征在于，在上述發(fā)明中，所述波形整形裝置是彎曲半徑為1000 μ m以上的所述彎曲波導(dǎo)。另外，本發(fā)明的半導(dǎo)體激光模塊的特征在于，在上述發(fā)明中，所述波形整形裝置的所述彎曲波導(dǎo)的彎曲半徑R、所述彎曲波導(dǎo)的波導(dǎo)部和包層部的等效折射率差Δη = {(波導(dǎo)部的折射率)-(包層部的折射率)} / (波導(dǎo)部的折射率)滿足R ^ AX Δη" (_Β) (A = 0. 62、B = 1. 59)。另外，本發(fā)明的半導(dǎo)體激光模塊的特征在于，在上述發(fā)明中，所述波形整形裝置以使所述彎曲波導(dǎo)帶來的光輸出的損失為2%以下的方式對(duì)所述光輸出分布圖案進(jìn)行整形。另外，本發(fā)明的半導(dǎo)體激光模塊的特征在于，在上述發(fā)明中，所述半導(dǎo)體器件具備選擇型可變波長激光器，其具有多個(gè)半導(dǎo)體激光器，從該多個(gè)半導(dǎo)體激光器選擇一個(gè)半導(dǎo)體激光器射出可變波長激光；光合流器，其將從所述選擇型可變波長激光器輸出的激光向所述彎曲波導(dǎo)側(cè)輸出，所述波形整形裝置具有將從所述光合流器泄漏的光遮斷的泄漏光阻止部。另外，本發(fā)明的半導(dǎo)體激光模塊的特征在于，在上述發(fā)明中，所述半導(dǎo)體器件中還集成有將從所述半導(dǎo)體激光器射出的激光放大的半導(dǎo)體光放大器，所述波形整形裝置通過在向所述半導(dǎo)體光放大器的光輸入前級(jí)設(shè)置所述彎曲波導(dǎo)而對(duì)所述光輸出分布圖案進(jìn)行整形。另外，本發(fā)明的半導(dǎo)體激光模塊的特征在于，在上述發(fā)明中，所述多個(gè)檢測器是 檢測所述半導(dǎo)體器件的光輸出的輸出檢測器、檢測從所述半導(dǎo)體器件輸出的激光的規(guī)定波長區(qū)域的光輸出的波長檢測器。另外，本發(fā)明的半導(dǎo)體激光模塊的特征在于，在上述發(fā)明中，所述彎曲波導(dǎo)的彎曲部分被設(shè)于距包含所述彎曲波導(dǎo)的波導(dǎo)的激光輸入端5 30%的位置。根據(jù)本發(fā)明，波形整形裝置通過將彎曲波導(dǎo)的彎曲半徑設(shè)為ΙΟΟΟμπι以上，將與激光的光軸相垂直的面內(nèi)的光輸出分布圖案整形為不依賴于所述激光的輸出的光輸出分布圖案，因此，即使在分別檢測從具有彎曲波導(dǎo)的半導(dǎo)體器件輸出的光、即光束上的不同的位置的光的情況下，也能夠進(jìn)行精度高且穩(wěn)定的波長鎖定控制。


圖1是從上方觀察本發(fā)明實(shí)施方式1的半導(dǎo)體激光模塊的剖面示意圖。圖2是表示圖1所示的半導(dǎo)體器件的構(gòu)成的示意圖。圖3是表示以往的FFP及將彎曲半徑設(shè)為1000 μ m以上的情況下的FFP的圖。圖4是表示從彎曲波導(dǎo)輸出的導(dǎo)波光和泄漏光的說明圖。圖5是表示以往及該實(shí)施方式1的光纖端光輸出的功率監(jiān)視器電流值依存性的圖。
圖6是表示以往及該實(shí)施方式1的波長監(jiān)視器電流值/功率監(jiān)視器電流值的振蕩頻率依存性的圖。圖7是表示透過率的彎曲半徑依存性的圖。圖8是表示彎曲半徑的等效折射率差依存性的圖。圖9是表示本發(fā)明實(shí)施方式2的半導(dǎo)體器件的構(gòu)成的示意圖。圖10是表示本發(fā)明實(shí)施方式3的半導(dǎo)體器件的構(gòu)成的示意圖。圖11是表示將彎曲波導(dǎo)設(shè)于輸出端附近的半導(dǎo)體器件的構(gòu)成的示意圖。圖12是表示將彎曲波導(dǎo)設(shè)于波導(dǎo)的輸入端附近的半導(dǎo)體器件的構(gòu)成的示意圖。圖13是表示圖11所示的半導(dǎo)體器件的光纖端光輸出的FFP的圖。圖14是表示圖12所示的半導(dǎo)體器件的光纖端光輸出的FFP的圖。
具體實(shí)施例方式下面，參照附圖對(duì)本發(fā)明的半導(dǎo)體激光模塊的最佳實(shí)施方式進(jìn)行詳細(xì)說明。另外， 本發(fā)明不受該實(shí)施方式限定。(實(shí)施方式1)圖1是從上方觀察本發(fā)明實(shí)施方式1的半導(dǎo)體激光模塊的構(gòu)成的剖面示意圖。該半導(dǎo)體激光模塊1在框體2內(nèi)具有輸出激光的半導(dǎo)體器件3，從該半導(dǎo)體器件3輸出的激光由設(shè)于該激光的射出端面附近的準(zhǔn)直透鏡4變換為平行光。該準(zhǔn)直光通過束分離器5反射例如4%的光，而使96%的光透過。由束分離器5反射的光通過功率監(jiān)視器PD6檢測光輸出，并通過波長監(jiān)視器8檢測經(jīng)由校準(zhǔn)器7進(jìn)行了波長選擇的波長區(qū)域的光輸出。由該功率監(jiān)視器PD6及波長監(jiān)視器 PD8檢測到的光輸出被用于波長鎖定控制。另一方面，透過了束分離器5后的光經(jīng)由光隔離器9及聚光透鏡10與單模光纖即光纖11耦合并輸出。另外，半導(dǎo)體器件3被配置于作為調(diào)溫元件的珀耳帖(《>★-)元件21上，通過該珀耳帖元件21的溫度控制來控制激光的振蕩波長。另外，校準(zhǔn)器7被配置于作為調(diào)溫元件的珀耳帖元件22上，通過珀耳帖元件22的溫度控制來控制選擇波長。半導(dǎo)體器件3為圖2所示的波長選擇型的可變波長激光器，將多個(gè)半導(dǎo)體激光器 12陣列狀排列。各半導(dǎo)體激光器12例如可進(jìn)行3 4nm程度的波長變化，各半導(dǎo)體激光器 12以其振蕩波長按3 4nm程度的間隔并排的方式設(shè)計(jì)。而且，通過驅(qū)動(dòng)的半導(dǎo)體激光器 12的切換和元件溫度的控制，可覆蓋比單體的半導(dǎo)體激光器更寬帶域的連續(xù)的波長帶。在此，為覆蓋WDM光通信用的波長帶域、例如1.53 1.56μπι的C帶或1.57 1.61μπι的L 帶整體，例如只要將10個(gè)以上的半導(dǎo)體激光器12(3 4nm可變)集成化，即可遍及30nm 以上的波長范圍使波長可變。從排列的多個(gè)半導(dǎo)體激光器12即半導(dǎo)體激光器陣列13選擇性輸出的激光經(jīng)由多個(gè)波導(dǎo)14的任一個(gè)被輸入到光合流器15，且向一個(gè)波導(dǎo)16輸出。在波導(dǎo)16導(dǎo)波的光經(jīng)由半導(dǎo)體光放大器(SOA) 17進(jìn)行光放大，然后，經(jīng)由彎曲波導(dǎo)18相對(duì)于射出端面以約7度的傾斜輸出。另外，該傾斜角度優(yōu)選為6度 12度的范圍。由此，可減少向半導(dǎo)體激光器陣列13側(cè)的反射返回光。在此，彎曲波導(dǎo)18作為波形整形裝置，將彎曲半徑R設(shè)為1000 μ m 以上。另外，彎曲波導(dǎo)18的波導(dǎo)的波導(dǎo)部和包層部的等效折射率差Δη = {(波導(dǎo)部的折射率)_(包層部的折射率)}/(波導(dǎo)部的折射率)為1.06。圖3 (a)表示設(shè)彎曲半徑為不足1000 μ m的以往的半導(dǎo)體器件中使光輸出變化時(shí)的從射出端面輸出的激光的FFP，圖3(b)表示設(shè)彎曲半徑為1000 μ m以上的本發(fā)明實(shí)施方式1的半導(dǎo)體器件3中使光輸出變化時(shí)的從射出端面輸出的激光的FFP。另外，對(duì)于圖3所示的角度θ而言，如圖2所示，設(shè)激光的光軸為0度，并設(shè)定其正負(fù)的朝向。圖3(a)所示的以往的FFP在波長監(jiān)視器PD8側(cè)產(chǎn)生旁瓣SB，同時(shí)，在使光輸出每次變化為10mW、15mW、20mW、25mW時(shí)，F(xiàn)FP發(fā)生變化。特別是，角度0度附近及旁瓣SB附近的變動(dòng)大。與之相對(duì)，在將彎曲半徑設(shè)為1000 μ m以上的情況下，如圖3(b)所示，即使使光輸出變化，F(xiàn)FP也幾乎不變化，而呈現(xiàn)穩(wěn)定的FFP。而且，以角度0度為中心呈現(xiàn)大致對(duì)稱的高斯分布。這認(rèn)為是由于，如圖4所示，如果將彎曲波導(dǎo)18的彎曲半徑R設(shè)為不足1000 μ m， 則產(chǎn)生被導(dǎo)波的光直接直行并輸出的泄漏光12，因該泄漏光12而產(chǎn)生旁瓣SB，而且，每次使輸出變化時(shí)，該泄漏光12的量發(fā)生變化。與之相對(duì)，在該實(shí)施方式1中，認(rèn)為是由于，通過將彎曲波導(dǎo)18的彎曲半徑R設(shè)為1000 μ m以上，消減泄漏光12，可完全作為射出端面的導(dǎo)波方向的光即導(dǎo)波光Il輸出。在此，如圖3(a)所示，當(dāng)FFP因光輸出的變化而發(fā)生變化時(shí)，泄漏光12的成分損耗，向光纖11的光耦合效率發(fā)生變化，因此，如圖5所示，相對(duì)于功率監(jiān)視器PD6檢測到的功率監(jiān)視器電流值^ιι(μΑ)的光纖端光輸出Pf(mW)相對(duì)不成比例。另一方面，在該實(shí)施方式1中，由于泄漏光12少且如圖3(b)所示FFP不因光輸出而發(fā)生變化，因此，向光纖11的光耦合效率恒定。結(jié)果如圖5所示，相對(duì)于功率監(jiān)視器電流值^的光纖端光輸出Pf (及所選擇的半導(dǎo)體激光器12的光輸出)為大致成比例的相關(guān)關(guān)系。另外，在該實(shí)施方式1中， 由于FFP幾乎不因光輸出而變化，因此，相對(duì)于作為波長監(jiān)視器PD8的輸出的波長監(jiān)視器電流Iwm的光纖端光輸出Pf (及所選擇的半導(dǎo)體激光器12的光輸出)也大致成比例。在此，對(duì)功率監(jiān)視器PD6及波長監(jiān)視器PD8的監(jiān)視結(jié)果的波長鎖定控制進(jìn)行說明。 該波長鎖定控制首先預(yù)先測定成為所希望的光纖端光輸出Pf及振蕩波長λ時(shí)的波長監(jiān)視器電流Iwm、和波長監(jiān)視器電流Iwm與功率監(jiān)視器電流值之比Iwm/Im，以光纖端光輸出Pf 和值IwmAm為目標(biāo)值控制半導(dǎo)體光放大器17的驅(qū)動(dòng)電流Isoa，并由珀耳帖元件21控制半導(dǎo)體器件3的溫度。S卩，通過將值IwmAm的比設(shè)為恒定，進(jìn)行波長鎖定控制。在以往的半導(dǎo)體激光模塊中，如圖5所示，為光纖端光輸出Pf與功率監(jiān)視器電流值加及波長監(jiān)視器電流Iwm不成比例的特性，因此，在進(jìn)行使用了該特性的波長鎖定控制的情況下，如圖6所示，值IwmAm發(fā)生變化。例如，圖6中，以與光纖端光輸出Pf = 17mff 時(shí)相同的值IwmAm為目標(biāo)值Pl，進(jìn)行設(shè)為Pf = 6. 5mff或Pf = 13mff的光輸出變化(光輸出控制)時(shí)，振蕩頻率(振蕩波長)發(fā)生錯(cuò)位，不能維持波長鎖定控制。另一方面，該實(shí)施方式1中，由于具有光纖端光輸出Pf與功率監(jiān)視器電流值Lii及波長監(jiān)視器電流Iwm成比例的特性(線形性)，所以，即使光輸出發(fā)生變化，值IwmAm也不會(huì)變化，而如圖5所示，可以與光輸出變化無關(guān)地設(shè)為相同的目標(biāo)值P2，不使振蕩頻率(振蕩波長)發(fā)生偏差。因此，可以進(jìn)行精度高的波長鎖定控制。在此，在上述的實(shí)施方式1中，在彎曲波導(dǎo)18的等效折射率差Δη為1. 06時(shí)，將彎曲半徑R設(shè)為IOOOym以上。這是由于，如圖7所示，如果將彎曲半徑R設(shè)為IOOOym以上，則透射率為98%以上，被認(rèn)為是由泄漏光引起的光功率損耗PL為2%以下，如果光功率損耗PL為2%以下，則即使光輸出發(fā)生變化，F(xiàn)FP也幾乎不變化。在此，光功率損耗PL為2%的彎曲半徑R和等效折射率差Δη的關(guān)系如圖8所示。 該曲線可以由下式R = AX Δη" (_Β) (A = 0. 62、B = 1. 59)表示。其中，是表示指數(shù)的標(biāo)記。因此，在使用某等效折射率差Δη的波導(dǎo)的情況下，通過做成具有由上述的式計(jì)算出的彎曲半徑R以上的彎曲半徑的彎曲波導(dǎo)18，F(xiàn)FP 不會(huì)因光輸出變化而大致變化，可以進(jìn)行精度高的光輸出控制及波長鎖定控制。(實(shí)施方式2)該實(shí)施方式2中，如圖9所示，在上述的實(shí)施方式1的光合流器15和彎曲波導(dǎo)18 之間設(shè)有遮斷來自光合流器15等的泄漏光的作為波形整形裝置的泄漏光阻止部20。由此， 由于來自光合流器15的泄漏光不會(huì)對(duì)FFP造成影響，所以可以得到穩(wěn)定的FFP。特別是在來自光合流器15的泄漏光中有時(shí)含有高次模，可以防止該高次模引起的FFP的晃動(dòng)。另外， 泄漏光阻止部20可以空間上遮斷，也可以積極地由吸收光的部件形成。(實(shí)施方式3)該實(shí)施方式3中，如圖10所示，彎曲波導(dǎo)18不是最終波導(dǎo)，而由光合流器15和半導(dǎo)體光放大器17之間的波導(dǎo)實(shí)現(xiàn)。半導(dǎo)體光放大器17的后段的波導(dǎo)30相對(duì)于射出端面傾斜形成，因此，可以抑制反射返回光。(實(shí)施方式4)該實(shí)施方式4中，將用于使彎曲波導(dǎo)18傾斜7度的彎曲部分不僅設(shè)于如圖11所示的輸出端附近，而且設(shè)于如圖12所示的由彎曲波導(dǎo)18、半導(dǎo)體光放大器17、波導(dǎo)30構(gòu)成的輸出側(cè)波導(dǎo)的激光的輸入端附近。圖13是表示圖11所示的構(gòu)成的光纖端光輸出的FFP 的圖。圖14是表示圖12所示的構(gòu)成的光纖端光輸出的FFP的圖。另外，圖13、14中，將彎曲波導(dǎo)18的彎曲半徑R設(shè)為不足1000 μ m。根據(jù)以往的構(gòu)造，可以在分布形狀的邊緣(裾) 有變化為如箭頭所示的包(瘤)那樣的非線性的區(qū)域。但是，根據(jù)本發(fā)明的構(gòu)造，得到激光輸出和檢測器的檢測值成為線性的關(guān)系的如圖14的理想的分布形狀。彎曲部分根據(jù)使波導(dǎo)傾斜的角度、波導(dǎo)的材料特性、及輸出光的光束利用狀況而變化，但大多情況下如果設(shè)為從輸出側(cè)波導(dǎo)的輸入端到輸出端的距離的5 30%的范圍的位置，則可以得到良好的結(jié)果。
產(chǎn)業(yè)上的可利用性本發(fā)明的半導(dǎo)體激光模塊例如適用于光通信用的信號(hào)光源的用途。符號(hào)說明1半導(dǎo)體激光模塊2 框體3、23、33 半導(dǎo)體器件4準(zhǔn)直透鏡5束分離器6功率監(jiān)視器PD7校準(zhǔn)器(二夕口 > )
8波長監(jiān)視器PD
9光隔離器
10聚光透鏡
11光纖
12半導(dǎo)體激光器
13半導(dǎo)體激光器陣列
14,16,30 波導(dǎo)
15光合流器
17半導(dǎo)體光放大器
18彎曲波導(dǎo)
20泄漏光阻止部
21、22 珀耳帖元件
權(quán)利要求
1.一種半導(dǎo)體激光模塊，其包含集成了至少一個(gè)半導(dǎo)體激光器和彎曲波導(dǎo)的半導(dǎo)體器件、束分離器、多個(gè)檢測器，從所述半導(dǎo)體激光器射出的激光經(jīng)由所述彎曲波導(dǎo)傳播，經(jīng)由所述彎曲波導(dǎo)射出的所述激光入射向所述束分離器，入射到所述束分離器的激光的一部分由所述束分離器分路，由配置于該光束截面內(nèi)的不同的位置的所述多個(gè)檢測器檢測所述分路后的所述激光的一部分，其特征在于，在光路上設(shè)有用于使所述半導(dǎo)體激光器的輸出和所述多個(gè)檢測器的檢測值的相關(guān)關(guān)系接近線性的波形整形裝置。
2.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體激光模塊，其特征在于，所述波形整形裝置將光輸出分布圖案整形為關(guān)于所述激光的光軸大致對(duì)稱。
3.如權(quán)利要求1或2所述的半導(dǎo)體激光模塊，其特征在于， 所述波形整形裝置是彎曲半徑為1000 μ m以上的所述彎曲波導(dǎo)。
4.如權(quán)利要求1 3中任一項(xiàng)所述的半導(dǎo)體激光模塊，其特征在于，所述波形整形裝置的所述彎曲波導(dǎo)的彎曲半徑R、所述彎曲波導(dǎo)的波導(dǎo)部和包層部的等效折射率差Δη = {(波導(dǎo)部的折射率)-(包層部的折射率)}/(波導(dǎo)部的折射率)滿足 R 彡 AX Δη" (-Β) (A = 0. 62，B=L 59)。
5.如權(quán)利要求1 4中任一項(xiàng)所述的半導(dǎo)體激光模塊，其特征在于，所述波形整形裝置按照使由所述彎曲波導(dǎo)引起的光輸出的損失為2%以下的方式對(duì)所述光輸出分布圖案進(jìn)行整形。
6.如權(quán)利要求1 5中任一項(xiàng)所述的半導(dǎo)體激光模塊，其特征在于， 所述半導(dǎo)體器件具備選擇型可變波長激光器，其具有多個(gè)半導(dǎo)體激光器，從該多個(gè)半導(dǎo)體激光器選擇一個(gè)半導(dǎo)體激光器射出可變波長激光。光合流器，其將從所述選擇型可變波長激光器輸出的激光向所述彎曲波導(dǎo)側(cè)輸出， 所述波形整形裝置具有將從所述光合流器泄漏的光遮斷的泄漏光阻止部。
7.如權(quán)利要求2 6中任一項(xiàng)所述的半導(dǎo)體激光模塊，其特征在于，所述半導(dǎo)體器件中還集成有將從所述半導(dǎo)體激光器射出的激光放大的半導(dǎo)體光放大器，所述波形整形裝置通過在向所述半導(dǎo)體光放大器的光輸入前級(jí)設(shè)置所述彎曲波導(dǎo)而對(duì)所述光輸出分布圖案進(jìn)行整形。
8.如權(quán)利要求1 7中任一項(xiàng)所述的半導(dǎo)體激光模塊，其特征在于， 所述多個(gè)檢測器是檢測所述半導(dǎo)體器件的光輸出的輸出檢測器，檢測從所述半導(dǎo)體器件輸出的激光的規(guī)定波長區(qū)域的光輸出的波長檢測器。
9.如權(quán)利要求1 8中任一項(xiàng)所述的半導(dǎo)體激光模塊，其特征在于，所述彎曲波導(dǎo)的彎曲部分，被設(shè)于距包含所述彎曲波導(dǎo)的波導(dǎo)的激光輸入端5 30% 的位置。
全文摘要
本發(fā)明公開一種半導(dǎo)體激光模塊，包含集成了至少一個(gè)半導(dǎo)體激光器和彎曲波導(dǎo)的半導(dǎo)體器件、束分離器、多個(gè)檢測器，從所述半導(dǎo)體激光器射出的激光經(jīng)由所述彎曲波導(dǎo)傳播，經(jīng)由所述彎曲波導(dǎo)射出的所述激光入射向所述束分離器，入射到所述束分離器的激光的一部分由所述束分離器分路，由配置于該光束斷面內(nèi)的不同的位置的所述多個(gè)檢測器檢測所述分路的所述激光的一部分，其中，在光路上設(shè)有用于使所述半導(dǎo)體激光器的輸出和所述多個(gè)檢測器的檢測值的相關(guān)關(guān)系接近線性的波形整形裝置。由此，可以進(jìn)行精度高且穩(wěn)定的波長鎖定控制。
文檔編號(hào)H01S5/022GK102362400SQ20108001344
公開日2012年2月22日 申請(qǐng)日期2010年3月17日 優(yōu)先權(quán)日2009年3月26日
發(fā)明者木本龍也, 清田和明 申請(qǐng)人:古河電氣工業(yè)株式會(huì)社