專利名稱：聚氨酯及含有它的研磨層形成用組合物、以及化學(xué)機(jī)械研磨用墊及使用它的化學(xué)機(jī)械研 ...的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及聚氨酯及含有它的研磨層形成用組合物、以及化學(xué)機(jī)械研磨用墊及使用它的化學(xué)機(jī)械研磨方法。
背景技術(shù)：
聚氨酯彈性體的力學(xué)特性優(yōu)異，具有耐磨損性、耐油性、耐彎曲性等許多優(yōu)點(diǎn)，一直以來被用作輸送帶、鞋底、軟管及高爾夫球等的原材料。另一方面，作為用于研磨玻璃及半導(dǎo)體基板的研磨墊，可以使用例如日本特開昭64-58475號公報(bào)中記載的那種使無紡布浸漬聚氨酯溶液而得到的多孔質(zhì)無紡布及聚氨酯成型物等。特別是作為適合于對半導(dǎo)體基板表面進(jìn)行平坦化的化學(xué)機(jī)械研磨方法(Chemical Mechanical Polishing，以下也稱為 “CMP法”)的研磨墊(以下也稱為“化學(xué)機(jī)械研磨用墊”)，例如研究了日本特表平8-500622 號公報(bào)中記載的在聚氨酯中使填料狀成分分散而形成的研磨墊、日本特開2000-17252號公報(bào)中記載的使用發(fā)泡聚氨酯的研磨墊等。但是，從確保被研磨面的平坦化及高品位化方面考慮，化學(xué)機(jī)械研磨用墊必須具有適度的剛性。另一方面，從確保均勻性方面考慮，化學(xué)機(jī)械研磨用墊必須能夠跟隨晶圓的曲折或彎曲，即需要有韌性。一般來說，作為剛性高的(在寬廣的水平區(qū)域變形小)化學(xué)機(jī)械研磨用墊，對于晶片的平坦度來說能以良好的精度完成加工，不好的方面是容易產(chǎn)生研磨缺陷(擦傷)，從整個(gè)晶圓表面來看容易導(dǎo)致均勻性變差。作為柔軟的化學(xué)機(jī)械研磨用墊，由于水平方向的變形區(qū)域窄，雖然相反地會導(dǎo)致每個(gè)晶片的平坦度不太好，但不容易產(chǎn)生研磨缺陷(擦傷)，提高了整個(gè)晶圓表面的均一性。如上所述，化學(xué)機(jī)械研磨用墊的剛性及韌性與各種CMP性能的協(xié)調(diào)有關(guān)。因此，對于化學(xué)機(jī)械研磨用墊，必須選擇使剛性及韌性獲得平衡的材質(zhì)。

發(fā)明內(nèi)容
但是，以往的聚氨酯墊未必使用使剛性及韌性獲得平衡的材質(zhì)。在熱塑性聚氨酯的情況下，通過與其它樹脂復(fù)合，或加入填料及交聯(lián)劑等添加劑，也可以調(diào)節(jié)剛性和韌性的平衡，但是具有適合于研磨墊的物性的熱塑性聚氨酯一般流動(dòng)起始溫度高，不適合與不耐加熱的添加劑等進(jìn)行混合。因而，本發(fā)明的目的之一在于提供剛性及韌性的平衡(力學(xué)特性)和加工性優(yōu)異的聚氨酯。本發(fā)明的目的之一在于提供化學(xué)穩(wěn)定、能夠同時(shí)達(dá)到提高被研磨面的平坦性和降低研磨缺陷(擦傷)的研磨層形成用組合物。本發(fā)明的目的之一在于提供能夠同時(shí)達(dá)到提高被研磨面的平坦性和降低研磨缺陷(擦傷)的化學(xué)機(jī)械研磨用墊。本發(fā)明是為了解決至少一部分上述問題而做出的，可以作為以下形式或適用例來實(shí)現(xiàn)。[適用例1]本發(fā)明中所述的聚氨酯的一種形式為使至少含有(A) 二異氰酸酯、(B)多元醇和(C)擴(kuò)鏈劑的混合物進(jìn)行反應(yīng)而得到的聚氨酯，其中，前述(B)多元醇的數(shù)均分子量為 400 5，000，前述(C)擴(kuò)鏈劑含有(Cl)下述通式(1)所示的化合物和(以)下述通式(2) 所示的化合物，前述化合物(Cl)及前述化合物(U)的數(shù)均分子量不足400，由前述化合物 (Cl)的摩爾數(shù)(M1)及前述化合物(C2)的摩爾數(shù)(M2)算出的M1/(MJM2)的值為0. 25 0. 9。HO-(CR1R2)2m+「0H··. (1)(上述通式(1)中，存在的多個(gè)R1及R2各自獨(dú)立地表示氫原子或碳原子數(shù)為1 6的取代或未取代的烷基。m為1 13的任意整數(shù)。)HO-(CR3R4)2n-OiHQ)(上述通式O)中，存在的多個(gè)R3及R4各自獨(dú)立地表示氫原子或碳原子數(shù)為1 6的取代或未取代的烷基。η為1 12的任意整數(shù)。)[適用例2]在適用例1中，前述化合物(Cl)的R1及R2可以為氫原子。[適用例3]在適用例1或適用例2中，前述化合物(Cl)可以為從1，3-丙二醇及1，5_戊二醇中選出的至少一種。[適用例4]在適用例1至適用例3中至少一個(gè)例子中，前述化合物(C2)的R3及R4可以為氫原子。[適用例5]在適用例1至適用例4中至少一個(gè)例子中，前述化合物(C2)為從乙二醇、1，4- 丁二醇、1，6-己二醇及1，18-十八烷二醇中選出的至少一種。[適用例6]本發(fā)明中所述的研磨層形成用組合物的一種形式是至少含有水溶性顆粒和適用例1至適用例5中任一個(gè)例子中記載的聚氨酯。[適用例7]在適用例6中可還含有交聯(lián)劑。[適用例8]本發(fā)明中所述的化學(xué)機(jī)械研磨用墊的一種形式是使用適用例6或適用例7中記載的研磨層形成用組合物進(jìn)行制造的。[適用例9]本發(fā)明中所述的化學(xué)機(jī)械研磨方法的一種形式的特征在于，使用適用例8中記載的化學(xué)機(jī)械研磨用墊進(jìn)行化學(xué)機(jī)械研磨。根據(jù)上述聚氨酯，與使用單一擴(kuò)鏈劑合成的聚氨酯相比，熔點(diǎn)(流動(dòng)起始溫度)下降，因此使得在低溫下也可以進(jìn)行加工，可以在不使添加劑(例如交聯(lián)劑、水溶性顆粒等) 反應(yīng)或劣化的情況下進(jìn)行添加。另外，根據(jù)上述聚氨酯，與使用單一擴(kuò)鏈劑合成的聚氨酯相比，可以在硬度沒有大幅度降低的情況下提高拉伸強(qiáng)度(伸長、斷裂應(yīng)力)。
由于上述研磨層形成用組合物含有具備如上所述的物性的聚氨酯，就形成了不使交聯(lián)劑及水溶性顆粒等添加劑反應(yīng)或劣化的化學(xué)穩(wěn)定的組合物。由于上述化學(xué)機(jī)械研磨用墊具備研磨層，該研磨層含有具備如上所述的物性的聚氨酯，因此同時(shí)具備適度的剛性及韌性，尤其能夠抑制化學(xué)機(jī)械研磨工序中擦傷的發(fā)生。


圖1是示意性地顯示本實(shí)施方式中所述的化學(xué)機(jī)械研磨用墊的剖視圖。圖2是圖1中區(qū)域I的放大圖。圖3是示意性地顯示本實(shí)施方式中所述的化學(xué)機(jī)械研磨用墊的俯視圖。圖4是示意性地顯示第一變形例中所述的化學(xué)機(jī)械研磨用墊的俯視圖。圖5是示意性地顯示第二變形例中所述的化學(xué)機(jī)械研磨用墊的俯視圖。
具體實(shí)施例方式以下對本發(fā)明中所述的優(yōu)選實(shí)施方式進(jìn)行詳細(xì)說明。還有，本發(fā)明并不局限于下述實(shí)施方式形態(tài)，也包含在不改變本發(fā)明主旨的范圍內(nèi)實(shí)施的各種變形例。1.聚氨酯本實(shí)施方式中所述的聚氨酯為使至少含有(A) 二異氰酸酯、(B)多元醇和(C)擴(kuò)鏈劑的混合物進(jìn)行反應(yīng)而得到的聚氨酯，其特征在于，前述(B)多元醇的數(shù)均分子量為400 5，000，前述(C)擴(kuò)鏈劑含有(C 1)下述通式⑴所示的化合物和(C2)下述通式(2)所示的化合物，前述化合物(Cl)及前述化合物(U)的數(shù)均分子量不足400，由前述化合物(Cl) 的摩爾數(shù)(M1)及前述化合物(C2)的摩爾數(shù)(M2)算出的M1Z(M^M2)的值為0. 25 0. 9。HO-(CR1R2)2m+「0H··. (1)(上述通式(1)中，存在的多個(gè)R1及R2各自獨(dú)立地表示氫原子或碳原子數(shù)為1 6的取代或未取代的烷基。m為1 13的任意整數(shù)。)HO- (CR3R4) 2n_0H. . . (2)(上述通式O)中，存在的多個(gè)R3及R4各自獨(dú)立地表示氫原子或碳原子數(shù)為1 6的取代或未取代的烷基。η為1 12的任意整數(shù)。)以下，對構(gòu)成本實(shí)施方式中所述的聚氨酯的單體成分進(jìn)行詳細(xì)說明。1. 1. (A) 二異氰酸酯本實(shí)施方式中所述的聚氨酯含有作為單體成分的(A) 二異氰酸酯。二異氰酸酯為下述通式(3)所示的化合物，是用于形成聚氨酯的氨基甲酸酯鍵的必需成分。OCN-R5-NCO. . . (3)(上述通式(3)中，R5表示任意的二價(jià)有機(jī)基團(tuán)。)作為二異氰酸酯，可以列舉例如2，4_甲苯二異氰酸酯、2，6_甲苯二異氰酸酯、2， 2’-二苯基甲烷二異氰酸酯、2，4’_ 二苯基甲烷二異氰酸酯、4，4’_ 二苯基甲烷二異氰酸酯、 萘二異氰酸酯、1，5_萘二異氰酸酯、對苯二異氰酸酯、間苯二異氰酸酯、對二甲苯二異氰酸酯、間苯二異氰酸酯等芳香族二異氰酸酯類；亞乙基二異氰酸酯、2，2，4_三甲基六亞甲基二異氰酸酯、1，6_六亞甲基二異氰酸酯等的脂肪族二異氰酸酯類；異佛爾酮二異氰酸酯、 降莰烷二異氰酸酯等脂環(huán)式二異氰酸酯類等。
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在這些物質(zhì)中，從容易獲得及容易控制與后述羥基的反應(yīng)方面考慮，優(yōu)選2，4_甲苯二異氰酸酯、2，6_甲苯二異氰酸酯、4，4’ - 二苯基甲烷二異氰酸酯、異佛爾酮二異氰酸酯。另外，這些二異氰酸酯可以單獨(dú)使用一種，也可以組合使用兩種以上。1. 2. (B)多元醇本實(shí)施方式中所述的聚氨酯含有作為單體成分的(B)多元醇。多元醇是具有2個(gè)以上羥基的醇類的統(tǒng)稱，在本實(shí)施方式中，優(yōu)選具有2 3個(gè)羥基的品種。另外，(B)多元醇的通過凝膠滲透色譜(GPC)法測定的苯乙烯換算數(shù)均分子量為400 5，000，更優(yōu)選為 400 4，100，特別優(yōu)選為400 2，500。如果(B)多元醇的數(shù)均分子量處于前述范圍內(nèi)，則可以合成剛性(硬度、彈性模量)和韌性(拉伸強(qiáng)度)的平衡良好的聚氨酯。(B)多元醇的數(shù)均分子量超過5，000時(shí)，易導(dǎo)致得到的聚氨酯的剛性低。另一方面，(B)多元醇的數(shù)均分子量不足400時(shí)，易導(dǎo)致得到的聚氨酯的韌性低。作為(B)多元醇，可以使用聚氨酯技術(shù)領(lǐng)域中通常使用的多元醇，可以列舉例如羥基封端聚酯、聚醚多元醇、聚酯多元醇、聚碳酸酯多元醇、聚烯烴多元醇、聚酯碳酸酯多元醇、聚醚碳酸酯多元醇、聚酯酰胺多元醇等。在這些物質(zhì)中，從耐水解性良好方面考慮，優(yōu)選聚醚多元醇、聚烯烴多元醇、聚碳酸酯多元醇。作為上述聚醚多元醇，可以列舉聚四亞甲基二醇(PTMG)、聚丙二醇(PPG)、聚乙二醇(PEG)、聚環(huán)氧乙烷-丙二醇(EO-PO)、聚環(huán)氧乙烷-雙酚A醚、聚環(huán)氧丙烷-雙酚A等。作為上述聚酯多元醇，可以列舉聚丁烯己二酯、聚己撐己二酯、聚己內(nèi)酯多元醇寸。作為上述聚碳酸酯多元醇，可以列舉聚己內(nèi)酯多元醇等聚酯二醇和碳酸亞烷基酯的反應(yīng)生成物、使碳酸亞乙酯和多元醇反應(yīng)所得到的反應(yīng)混合物和有機(jī)二羧酸的反應(yīng)生成物等。另外，還可列舉1，3-丙二醇、1，4-丁二醇、1，6-己二醇、二乙二醇、聚乙二醇、聚丙二醇、聚四亞甲基二醇等二醇和碳酰氯、碳酸二烯丙酯(例如，碳酸二苯酯)、環(huán)式碳酸酯(例如，碳酸亞丙酯)的反應(yīng)生成物。作為上述聚烯烴多元醇，優(yōu)選分子內(nèi)具有碳-碳雙鍵的多元醇，可以列舉例如羥基封端聚丁二烯、蓖麻油系多元醇、部分皂化的乙烯-醋酸乙烯酯共聚物等。通過使用分子內(nèi)具有碳-碳雙鍵的多元醇，可以在聚氨酯骨架上導(dǎo)入碳-碳雙鍵，形成使聚氨酯骨架交聯(lián)時(shí)的交聯(lián)點(diǎn)。另外，這些多元醇可以單獨(dú)使用1種，也可以組合使用兩種以上。1. 3. (C)擴(kuò)鏈劑本實(shí)施方式中所述的聚氨酯含有作為單體成分的(C)擴(kuò)鏈劑。本實(shí)施方式中所述的聚氨酯的特征在于，含有(Cl)下述通式(1)所示的化合物(以下也稱為“化合物(Cl)”) 及(C2)下述通式(2)所示的化合物(以下也稱為“化合物(C2)”)作為(C)擴(kuò)鏈劑。HO-(CR1R2)2m+「0H··. (1)(上述通式(1)中，存在的多個(gè)R1及R2各自獨(dú)立地表示氫原子或碳原子數(shù)為1 6的取代或未取代的烷基。m為1 13的任意整數(shù)，優(yōu)選為1 6的任意整數(shù)。)HO- (CR3R4) 2η_0Η· · · (2)(上述通式O)中，存在的多個(gè)R3及R4各自獨(dú)立地表示氫原子或碳原子數(shù)為1 6的取代或未取代的烷基。η為1 12的任意整數(shù)，優(yōu)選為1 5的任意整數(shù)。)
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還有，化合物(Cl)及化合物(以)的通過凝膠滲透色譜(GPC)測定的苯乙烯換算數(shù)均分子量不足400，優(yōu)選為300以下，特別優(yōu)選為40 300。作為本實(shí)施方式中所述的聚氨酯，通過并用上述化合物(Cl)及上述化合物(C2) 作為(C)擴(kuò)鏈劑，與使用單一擴(kuò)鏈劑合成的聚氨酯相比，熔點(diǎn)(流動(dòng)起始溫度)低，加工性優(yōu)異，顯示出較高力學(xué)特性。以下對化合物(Cl)及化合物(以)進(jìn)行說明。1. 3. 1.化合物(Cl)作為上述化合物((1)，可以列舉例如1，3-丙二醇、1，3-丁二醇、1，5_戊二醇、新戊二醇、3-甲基-1，5-戊二醇、2-乙基-1，3-己二醇、1，9-壬二醇、二羥甲基丁酸等低分子量
二元醇。在這些物質(zhì)中，從容易控制與異氰酸酯基的反應(yīng)方面考慮，優(yōu)選1，3_丙二醇、1， 3- 丁二醇、1，5-戊二醇。另外，從與異氰酸酯基的反應(yīng)性良好方面考慮，更優(yōu)選R1及R2為氫原子的1，3-丙二醇、1，5-戊二醇。1. 3. 2.化合物(C2)作為上述化合物(C2)，可以列舉例如乙二醇、1，2-丙二醇、1，4-丁二醇、1，6-己二醇、1，18-十八烷二醇、2-甲基-1，8-辛二醇等低分子量二元醇。在這些物質(zhì)中，從容易控制與異氰酸酯基的反應(yīng)方面考慮，優(yōu)選乙二醇、1，2-丙二醇、1，4-丁二醇、1，6-己二醇、1，18-十八烷二醇。1. 3. 3.化合物(Cl)及化合物(C2)的含有比率在本實(shí)施方式中所述的聚氨酯中，由上述化合物(Cl)的摩爾數(shù)(M1)及上述化合物(C2)的摩爾數(shù)(M2)算出的M1/ (MfM2)的值為0. 25 0. 9，優(yōu)選為0. 3 0. 85，更優(yōu)選為 0.4 0.8。如果M1/(MJM2)的值處于上述范圍內(nèi)，與使用單一擴(kuò)鏈劑合成的聚氨酯相比， 熔點(diǎn)(流動(dòng)起始溫度)降低，因此在低溫下也容易加工。另外，與使用單一擴(kuò)鏈劑合成的聚氨酯相比，可以在硬度沒有大幅度降低的情況下提高拉伸強(qiáng)度(伸長、斷裂應(yīng)力)。另一方面，如果M1/ (M^M2)的值不足0. 25或超過0. 9，則流動(dòng)性下降，因此損害了加工性，也容易導(dǎo)致力學(xué)特性變差?？梢哉J(rèn)為本實(shí)施方式中所述的聚氨酯是通過如下所述方式實(shí)現(xiàn)上述特性的?！銇碚f，聚氨酯是由異氰酸酯和擴(kuò)鏈劑(短鏈二醇)形成的硬鏈段和由多元醇形成軟鏈段結(jié)合得到的嵌段共聚物。聚氨酯的剛性(硬度、彈性模量等)主要是具有結(jié)晶性的硬鏈段賦予的。另一方面，聚氨酯的韌性(拉伸強(qiáng)度等)主要是具有非晶性的軟鏈段賦予的。此處，例如硬鏈段由單一重復(fù)單元組成的二醇單元構(gòu)成時(shí)，構(gòu)成硬鏈段的氨基甲酸酯鍵形成規(guī)則的排列，因此提高了結(jié)晶性，具有優(yōu)異的剛性。另一方面，由于硬鏈段的結(jié)構(gòu)為剛性，聚氨酯的熔點(diǎn)上升，并且連接硬鏈段之間的軟鏈段的自由度明顯減弱，因此韌性差。其結(jié)果是不能得到同時(shí)滿足力學(xué)特性及加工性的聚氨酯。另一方面，如本發(fā)明申請這樣硬鏈段由羥基間的碳鏈長度不同的兩種以上重復(fù)單元組成，并且重復(fù)單元數(shù)分別由偶數(shù)、奇數(shù)個(gè)二元醇單元構(gòu)成時(shí)，構(gòu)成硬鏈段的氨基甲酸酯鍵呈不規(guī)則排列，因此結(jié)晶性打亂、熔點(diǎn)低。另外，與由單一重復(fù)單元組成的二元醇單元構(gòu)成的硬鏈段相比，對軟鏈段自由度的影響小，顯示出高韌性。其結(jié)果是加熱時(shí)混練及成型等加工容易，可得到力學(xué)特性優(yōu)異的聚氨酯。
還有，對于聚氨酯，也可以通過改變構(gòu)成軟鏈段的多元醇的種類來控制其物性。但是，即使并用碳鏈長度不同的兩種以上多元醇及組合使用分別顯示結(jié)晶性/非晶性的多元醇，也不能得到如上所述加工性、力學(xué)特性優(yōu)異的聚氨酯。1. 4.其它添加劑雖然本實(shí)施方式中所述的聚氨酯含有(A) 二異氰酸酯、(B)多元醇、(C)擴(kuò)鏈劑作為必需成分，但是也可以含有這些成分以外的添加劑。作為所述添加劑，可以列舉催化劑、 抗氧化劑、紫外線吸收劑、潤滑劑、塑解劑等。1. 5.聚氨酯的制造方法作為制造本實(shí)施方式中所述的聚氨酯的方法，可以使用公知的聚氨酯化反應(yīng)技術(shù)。具體來說，可以將(A) 二異氰酸酯、(B)多元醇、作為(C)擴(kuò)鏈劑的上述化合物(Cl)及上述化合物⑴幻各單體進(jìn)行混合、攪拌，配制單體混合物，使其在大氣壓下于常溫至150°C 下進(jìn)行反應(yīng)，從而制造聚氨酯。上述各單體的反應(yīng)順序沒有特別的限制，可以同時(shí)加入進(jìn)行反應(yīng)。在上述單體混合物中，(A) 二異氰酸酯的含量優(yōu)選為20 60質(zhì)量％，更優(yōu)選為 25 55質(zhì)量％。在上述單體混合物中，(B)多元醇的含量優(yōu)選為30 70質(zhì)量％，更優(yōu)選為35 65質(zhì)量％。在上述單體混合物中，(C)擴(kuò)鏈劑的含量優(yōu)選為1 15質(zhì)量％，更優(yōu)選為2 12
質(zhì)量％。當(dāng)單體混合物中的各成分含量處于上述范圍內(nèi)時(shí)，可得到高分子化的聚氨酯，顯示出良好的物性。含有作為(C)擴(kuò)鏈劑的上述化合物(Cl)及上述化合物(C2)，而在(C)擴(kuò)鏈劑中各自所占比例在如上所述的特定范圍內(nèi)，在這一點(diǎn)上本實(shí)施方式中所述的聚氨酯具有本申請的發(fā)明的特征。還有，對于聚氨酯的多元醇種類的分析，關(guān)于通過熱分解進(jìn)行的方法在日本特開2002-371121號公報(bào)中公開，可以通過使用該方法進(jìn)行測定。1.6.聚氨酯的物性1. 6. 1. Duro D 硬度作為判斷聚氨酯硬度的指標(biāo)，可以列舉“Duro D硬度”。DuroD硬度可以按照“JIS K6253”進(jìn)行測定。本實(shí)施方式中所述的聚氨酯的Duro D硬度優(yōu)選為30以上，更優(yōu)選為35以上。1.6.2.斷裂應(yīng)力、斷裂應(yīng)變、抗張積作為判斷聚氨酯的力學(xué)特性的指標(biāo)，可以列舉“斷裂應(yīng)力”、“斷裂應(yīng)變”、“抗張積”。斷裂應(yīng)力及斷裂應(yīng)變可由基于“ Jis K6251”的拉伸試驗(yàn)求出?？箯埛e可通過計(jì)算斷裂應(yīng)力和斷裂應(yīng)變之積求出。本實(shí)施方式中所述的聚氨酯的斷裂應(yīng)力優(yōu)選為4MPa以上，更優(yōu)選為5MPa以上，特別優(yōu)選為6MPa以上。本實(shí)施方式中所述的聚氨酯的斷裂應(yīng)變優(yōu)選為200%以上，更優(yōu)選為 300%以上，特別優(yōu)選為400%以上。本實(shí)施方式中所述的聚氨酯的抗張積優(yōu)選為SOOMPa以上，更優(yōu)選為1500MPa以上，特別優(yōu)選為MOOMPa以上。如果這些物性處于上述范圍內(nèi)，則可形成拉伸強(qiáng)度(伸長、斷裂應(yīng)力)優(yōu)異的聚氨酯。1.6. 3.流動(dòng)起始溫度
作為從溫度角度判斷聚氨酯加工容易性的指標(biāo)，可以列舉“流動(dòng)起始溫度”。流動(dòng)起始溫度可按照“JIS K7311”的“10.流動(dòng)試驗(yàn)”進(jìn)行測定。具體的測定條件如實(shí)施例中所記載。本實(shí)施方式中所述的聚氨酯的流動(dòng)起始溫度優(yōu)選為60 120°C，更優(yōu)選為70 110°C，進(jìn)一步優(yōu)選為80 100°C。如果流動(dòng)起始溫度在上述范圍內(nèi)，則在70 130°C的低溫也可進(jìn)行加工，因此使得可以在不使添加劑(例如交聯(lián)劑、水溶性顆粒等)反應(yīng)或劣化的情況下進(jìn)行添加。2.研磨層形成用組合物本實(shí)施方式中所述的研磨層形成用組合物至少含有水溶性顆粒和上述聚氨酯。由于本實(shí)施方式中所述的研磨層形成用組合物含有上述聚氨酯，可以形成不會使水溶性顆粒及交聯(lián)劑等添加劑反應(yīng)或劣化的化學(xué)穩(wěn)定的組合物。2. 1.水溶性顆粒本實(shí)施方式中所述的研磨層形成用組合物含有水溶性顆粒。水溶性顆粒被用于以下目的對于將本實(shí)施方式中所述的研磨層形成用組合物進(jìn)行成型而得到的化學(xué)機(jī)械研磨用墊，通過與化學(xué)機(jī)械研磨用水系分散體(以下也稱為“漿液”)進(jìn)行接觸而從前述化學(xué)機(jī)械研磨用墊的研磨層表面上游離出來，形成能夠保持住該漿液的微孔(pore)。上述游離是通過與化學(xué)機(jī)械研磨用分散體中含有的水或水系混合介質(zhì)接觸而進(jìn)行溶解、溶脹等而發(fā)生的。作為上述水溶性顆粒，沒有特別的限制，可以列舉例如，有機(jī)水溶性顆粒及無機(jī)水溶性顆粒。作為構(gòu)成上述有機(jī)水溶性顆粒的材料，可以列舉例如糖類(多糖類(例如，淀粉、 糊精及環(huán)糊精等)、乳糖、甘露糖醇等)、纖維素類(羥基丙基纖維素、甲基纖維素等)、蛋白質(zhì)、聚乙烯醇、聚乙烯基吡咯烷酮、聚丙烯酸、聚環(huán)氧乙烷、水溶性的感光性樹脂、磺化聚異戊二烯、磺化異戊二烯共聚物等。作為構(gòu)成上述無機(jī)水溶性顆粒的材料，可以列舉例如，醋酸鉀、硝酸鉀、碳酸鉀、碳酸氫鉀、氯化鉀、溴化鉀、磷酸鉀、硝酸鎂、硫酸鉀、硫酸鎂、硝酸鈣等。這些水溶性顆?？梢詥为?dú)使用或組合使用兩種以上的上述各原材料。而且，水溶性顆粒可以是由上述材料形成的1種水溶性顆粒，也可以是由不同材料形成的兩種以上水溶性顆粒。上述水溶性顆粒的平均粒徑優(yōu)選為0. 1 500 μ m,更優(yōu)選為0. 5 100 μ m。水溶性顆粒的平均粒徑可以通過激光散射衍射型測定機(jī)進(jìn)行測定。如果水溶性顆粒的平均粒徑處于上述范圍內(nèi)，則可以將因水溶性顆粒脫離而產(chǎn)生的微孔的尺寸控制在適當(dāng)?shù)姆秶鷥?nèi)， 由此可以得到在化學(xué)機(jī)械研磨工藝中化學(xué)機(jī)械研磨用水系分散體的保持能力及研磨速度優(yōu)異，并且機(jī)械強(qiáng)度優(yōu)異的化學(xué)機(jī)械研磨用墊。本實(shí)施方式中所述的研磨層形成用組合物中的水溶性顆粒的含量，相對于聚氨酯 100質(zhì)量份優(yōu)選為1 300質(zhì)量份，更優(yōu)選為1 200質(zhì)量份，特別優(yōu)選為3 150質(zhì)量份。 如果水溶性顆粒的含量處于上述范圍內(nèi)，則可以制造在化學(xué)機(jī)械研磨工藝中具有高研磨速度，并且除適宜的硬度外還具有機(jī)械強(qiáng)度的化學(xué)機(jī)械研磨用墊。2. 2.交聯(lián)劑
本實(shí)施方式中所述的研磨層形成用組合物可以含有交聯(lián)劑。交聯(lián)劑是為了使聚氨酯交聯(lián)而混入的。通過混入交聯(lián)劑，在使用本實(shí)施方式中所述的研磨層形成用組合物形成研磨層時(shí)，可以使該研磨層中具有交聯(lián)結(jié)構(gòu)。作為本實(shí)施方式中所述的研磨層形成用組合物，可以在低溫下混合上述未交聯(lián)的聚氨酯和交聯(lián)劑。由此，可以在得到未使交聯(lián)劑反應(yīng)的含有聚氨酯和交聯(lián)劑的化學(xué)穩(wěn)定的組合物。另外，通過在交聯(lián)劑發(fā)生反應(yīng)的溫度范圍內(nèi)加熱引入了交聯(lián)劑的上述研磨層形成用組合物，可以使成型體中所含的聚氨酯容易地進(jìn)行交聯(lián)。作為使聚氨酯交聯(lián)的方法，沒有特別的限制，但是優(yōu)選化學(xué)交聯(lián)法。作為化學(xué)交聯(lián)法中使用的交聯(lián)劑，可以列舉例如有機(jī)過氧化物、硫、硫化合物等。在這些物質(zhì)中，從處理性好及在化學(xué)機(jī)械研磨工藝中對被研磨物的污染性少方面考慮，更優(yōu)選使用因加熱而產(chǎn)生自由基的有機(jī)過氧化物的化學(xué)交聯(lián)法。作為上述有機(jī)過氧化物，可以列舉例如過氧化酮、過氧化縮酮、過氧化氫、二烷基過氧化物、二酰基過氧化物、過氧化碳酸酯、過氧酯等。在這些物質(zhì)中，特別是從交聯(lián)速度上考慮，優(yōu)選二烷基過氧化物，具體來說，可列舉二枯基過氧化物、2，5- 二甲基-2，5-雙(叔丁基過氧化)己烷等。上述有機(jī)過氧化物可單獨(dú)使用1種，也可并用兩種以上。本實(shí)施方式中所述的研磨層形成用組合物中交聯(lián)劑的含量，相對于聚氨酯100質(zhì)量份優(yōu)選為0. 1 10質(zhì)量份，更優(yōu)選為0. 1 5質(zhì)量份，特別優(yōu)選為0. 1 3質(zhì)量份。如果交聯(lián)劑的含量處于上述范圍內(nèi)，則可以形成硬度、彈性模量、殘留應(yīng)變等機(jī)械特性優(yōu)異的研磨層。如果交聯(lián)劑的含量達(dá)不到上述范圍，則不能使聚氨酯充分交聯(lián)，得到的研磨層的硬度及彈性模量低。如果使用具有這種研磨層的化學(xué)機(jī)械研磨用墊進(jìn)行化學(xué)機(jī)械研磨，則對被研磨物的研磨速度低，而且該研磨層的殘留應(yīng)變大，因此可能難以使被研磨物達(dá)到均勻的平坦化。另一方面，如果交聯(lián)劑的含量超過上述范圍，則得到的研磨層的硬度及彈性模量高，因此研磨層的壽命下降。如果使用具有這種研磨層的化學(xué)機(jī)械研磨用墊進(jìn)行化學(xué)機(jī)械研磨，則被研磨物的擦傷可能會增加。2. 3.其它添加劑作為本實(shí)施方式中所述的研磨層形成用組合物，也可以在不損害本發(fā)明目的的范圍內(nèi)，混入用于促進(jìn)交聯(lián)反應(yīng)的交聯(lián)助劑、用于使研磨層的硬度達(dá)到適宜值的有機(jī)填料或無機(jī)填料等添加劑。2.4.研磨層形成用組合物的制造方法本實(shí)施方式中所述的研磨層形成用組合物的制造方法沒有特別的限制。例如可以通過按規(guī)定量稱取上述材料，將它們用混練機(jī)等進(jìn)行混練而得到。作為混練機(jī)，可以使用以往公知的品種，例如可以列舉軋輥、捏合機(jī)、班伯里混合機(jī)、擠壓機(jī)(單軸、多軸)等。3.化學(xué)機(jī)械研磨用墊本實(shí)施方式中所述的化學(xué)機(jī)械研磨用墊的特征是具有通過對上述研磨層形成用組合物進(jìn)行成型而得到的研磨層。由于本實(shí)施方式中所述的化學(xué)機(jī)械研磨用墊具備含有如上所述物性的聚氨酯的研磨層，因此同時(shí)具備適度的剛性及韌性，尤其能夠抑制化學(xué)機(jī)械研磨工序中擦傷的發(fā)生。作為本實(shí)施方式中所述的化學(xué)機(jī)械研磨用墊的構(gòu)成，并不特別局限于具有對上述研磨層形成用組合物進(jìn)行成型而得到的研磨層。以下，參照附圖對本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式中所述的化學(xué)機(jī)械研磨用墊的構(gòu)成進(jìn)行說明。圖1是示意性地顯示本實(shí)施方式中所述的化學(xué)機(jī)械研磨用墊的一個(gè)例子的剖視圖。如圖1所示，化學(xué)機(jī)械研磨用墊100包含研磨層10、研磨層10的與研磨裝置用平臺14 接觸的面上形成的支持層12。以下對研磨層10和支持層12進(jìn)行詳細(xì)說明。3. 1.研磨層研磨層10的平面形狀沒有特別的限制，例如可以為圓形。研磨層10的平面形狀為圓形時(shí)，其尺寸優(yōu)選為直徑150mm 1200mm，更優(yōu)選為直徑500mm 800mm。研磨層10 的厚度優(yōu)選為0. 5mm 5. Omm,更優(yōu)選為1. Omm 3. Omm,特別優(yōu)選為1. 5mm 3. 0mm。圖2是圖1中區(qū)域I的放大圖，是示意性地顯示研磨層10的詳細(xì)形狀的剖視圖。 如圖2所示，研磨層10的與被研磨物接觸的面(以下稱為“研磨面”)20上可以形成多個(gè)溝槽16。溝槽I6具有以下功能，即，用于保持進(jìn)行化學(xué)機(jī)械研磨時(shí)供給的化學(xué)機(jī)械研磨用水系分散體，將其均勻分配到研磨面上，同時(shí)使研磨屑及使用完的化學(xué)機(jī)械研磨用水系分散體等廢棄物得到暫時(shí)滯留，并作為排放到外部的通道。溝槽16的斷面形狀沒有特別的限制，例如為如圖2所示那樣呈長方形等多邊形形狀、U字形等。溝槽16的深度a優(yōu)選為0. Imm 2. 5mm,更優(yōu)選為0. 2mm 2. 0mm。溝槽16 的溝槽寬度b優(yōu)選為0. Imm 5. Omm,更優(yōu)選為0. 2mm 3. 0mm。研磨面20上，相鄰溝槽16 的間隔c優(yōu)選為0. 05mm 100mm，更優(yōu)選為0. Imm 10mm。溝槽16可以是通過設(shè)置處于上述范圍內(nèi)的規(guī)定間隔而形成的。通過具有上述范圍的形狀的溝槽16，可以容易地制造被研磨面的擦傷降低效果優(yōu)異、壽命長的化學(xué)機(jī)械研磨用墊。圖3是本實(shí)施方式中所述的化學(xué)機(jī)械研磨用墊100的俯視圖。如圖3所示，溝槽 16，可以形成從研磨面20的中心向邊緣方向直徑緩慢增大的多個(gè)同心圓形狀。研磨層10是通過對上述研磨層形成用組合物進(jìn)行成型而得到的。作為成型研磨層10的方法，上述研磨層形成用組合物中含有交聯(lián)劑時(shí)，優(yōu)選在160 220°C，更優(yōu)選在 170 200°C下進(jìn)行交聯(lián)而進(jìn)行成型即可。另一方面，上述研磨層形成用組合物中不含交聯(lián)劑時(shí)，使用通過壓力機(jī)或注射成型機(jī)對可塑化的研磨層形成用組合物進(jìn)行成型和冷卻固化的方法、或利用具備T型模的擠壓機(jī)進(jìn)行塑化、片材化的方法進(jìn)行成型即可。按上述方式成型后，可以通過切削加工形成溝槽16。另外，也可以使用形成了作為溝槽16的圖案的模具對上述研磨層形成用組合物進(jìn)行模具成型，從而將研磨層10外形和溝槽16同時(shí)形成。圖4是第1變形例中所述化學(xué)機(jī)械研磨用墊200的俯視圖，是與圖3對應(yīng)的圖。 作為第1變形例中所述的化學(xué)機(jī)械研磨用墊200，除了環(huán)狀溝槽16之外，還包含從研磨面 20的中心向邊緣方向呈放射狀呈延伸的多個(gè)溝槽17及溝槽18，在這一點(diǎn)上與研磨層10不同。作為溝槽17及溝槽18，只要是從該“中心部位”中的任意位置向邊緣方向延伸即可，其形狀可以為例如直線狀或圓弧狀或它們組合的形狀。此處，中心部位是指以研磨層的重心為中心的半徑50mm的圓所包圍的區(qū)域。溝槽17及溝槽18的斷面形狀可以與上述溝槽16 相同。關(guān)于第1變形例中所述的化學(xué)機(jī)械研磨用墊200的其它結(jié)構(gòu)，由于與使用圖1及圖 2說明的研磨層10的構(gòu)成相同，不再進(jìn)行說明。圖5是第2變形例中所述化學(xué)機(jī)械研磨用墊300的俯視圖，是與圖3對應(yīng)的圖。作為第2變形例中所述的化學(xué)機(jī)械研磨用墊300，除了環(huán)狀溝槽16之外，還包含從研磨面20
11的中心向邊緣方向呈放射狀延伸的多個(gè)溝槽19，在這一點(diǎn)上與研磨層10不同。溝槽19的斷面形狀可以與上述溝槽16相同。關(guān)于第2變形例中所述的化學(xué)機(jī)械研磨用墊300的其它結(jié)構(gòu)，由于與使用圖1及圖2說明的研磨層10的構(gòu)成相同，不再進(jìn)行說明。3. 2.支持層支持層12在化學(xué)機(jī)械研磨用墊100中被用于支撐研磨裝置用平臺14上的研磨層 10。支持層12可以是粘接層，也可以是兩個(gè)而上具有粘接層的緩沖層。粘接層可以由例如粘附片組成。粘附片的厚度優(yōu)選為50 μ m 250 μ m。由于50 μ m 以上的厚度，可以充分緩沖來自研磨層10的研磨面20 —側(cè)的壓力，由于具有250 μ m以下的厚度，可以得到具有凹凸的不會對研磨性能產(chǎn)生影響的程度的均勻厚度的化學(xué)機(jī)械研磨用墊100。作為粘附片的材質(zhì)，只要能將研磨層10固定在研磨裝置用平臺14上即可，沒有特別的限制，但是優(yōu)選為彈性模量比研磨層10低的丙烯酸類或橡膠類材質(zhì)。對于粘附片的粘接強(qiáng)度，只要能將化學(xué)機(jī)械研磨用墊固定在研磨裝置用平臺14 上即可，沒有特別的限制，但是在按照“JISZ0237”標(biāo)準(zhǔn)測定粘附片的粘接強(qiáng)度時(shí)，其粘接強(qiáng)度優(yōu)選為3N/25mm以上，更優(yōu)選為4N/cm以上，特別優(yōu)選為10N/25mm以上。如果緩沖層由硬度比研磨層10低的材質(zhì)組成，其材質(zhì)沒有特別的限制，可以是多孔質(zhì)體(發(fā)泡體)或非多孔質(zhì)體。作為緩沖層，可以列舉例如對發(fā)泡聚氨酯等成型而得到的層。緩沖層的厚度優(yōu)選為0. Imm 5. Omm,更優(yōu)選為0. 5mm 2. 0mm。4.化學(xué)機(jī)械研磨方法本實(shí)施方式中所述的化學(xué)機(jī)械研磨方法的特征在于使用上述化學(xué)機(jī)械研磨用墊進(jìn)行化學(xué)機(jī)械研磨。由于上述化學(xué)機(jī)械研磨用墊具備含有如上所述物性的聚氨酯的研磨層，因此同時(shí)具備適度條件剛性及韌性，尤其可以抑制化學(xué)機(jī)械研磨工藝中擦傷的發(fā)生。對于本實(shí)施方式中所述的化學(xué)機(jī)械研磨方法，可以使用市售的化學(xué)機(jī)械研磨裝置。作為市售的化學(xué)機(jī)械研磨裝置，可以列舉例如，荏原制作所社制造的型號為“EP0-112”、 “EP0-222”的裝置;，夕叉夕一 SFT社制造的型號為“LGP-510”、“LGP_552”的裝置；7
7 F -^r-JT義社制造的型號為“Mirra”的裝置等。作為優(yōu)選的研磨條件，可以根據(jù)所使用的化學(xué)機(jī)械研磨裝置進(jìn)行適當(dāng)?shù)脑O(shè)定，但是例如使用“Mirra”作為化學(xué)機(jī)械研磨裝置時(shí)，可以設(shè)定為下述條件?！C(jī)頭轉(zhuǎn)數(shù)優(yōu)選為30 150rpm，更優(yōu)選為40 120rpm·機(jī)頭載荷優(yōu)選為0. 8 2. 8psi，更優(yōu)選為1. 4 2. Ipsi·平臺轉(zhuǎn)數(shù)優(yōu)選為30 150rpm，更優(yōu)選為40 120rpm·平臺轉(zhuǎn)數(shù)/機(jī)頭轉(zhuǎn)數(shù)比優(yōu)選為0. 5 2，更優(yōu)選為0. 7 1. 5·化學(xué)機(jī)械研磨用水系分散體的供給速度優(yōu)選為50 300cm3/分，更優(yōu)選為 100 200cm3/ 分還有，作為化學(xué)機(jī)械研磨用水系分散體，可根據(jù)研磨對象(銅膜、絕緣膜、低介電常數(shù)絕緣膜等)選擇最適宜的品種。5.實(shí)施例以下，通過實(shí)施例對本發(fā)明進(jìn)行更詳細(xì)地說明，但是本發(fā)明絕不受這些實(shí)施例的限制。
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5. 1.聚氨酯的制造5. 1. 1.實(shí)施例 1在空氣環(huán)境下，在配備了攪拌器的2L的四口可分離式燒瓶中，投入35.0質(zhì)量份作為(B)多元醇成分的末端羥基化聚丁二烯(Mn = 1516，日本曹達(dá)株式會社制，商品名“NISS0 PB G-1000”;以下記為“G-1000”)及沘.5質(zhì)量份聚四亞甲基二醇(Mn = 1012，保土谷化學(xué)工業(yè)株式會社制，商品名“PTG-1000SN”;以下記為“PTG-1000”)，調(diào)節(jié)溫度到60°C并進(jìn)行攪拌。然后，在上述燒瓶中加入四.8質(zhì)量份作為(A) 二異氰酸酯成分的在80°C油浴中溶解的4，4’ - 二苯基甲烷二異氰酸酯(日本聚氨酯工業(yè)株式會社制，商品名“MILLI0NATE MT”;以下記為“MDI”)，攪拌混合10分鐘后，加入1.9質(zhì)量份作為(C)擴(kuò)鏈劑的(Cl)成分的 1，5_戊二醇(宇部興產(chǎn)株式會社制，商品名“1，5_戊二醇”；以下記為“15PD”)及4.8質(zhì)量份作為(C2)成分的1，4_ 丁二醇(三菱化學(xué)株式會社制，商品名“14BG”;以下記為“14BG”)， 進(jìn)行攪拌混合。然后，將得到的混合物擴(kuò)展到經(jīng)過表面加工的SUS制棒上，在110°C下靜置1小時(shí)進(jìn)行反應(yīng)，再在80°C下退火16小時(shí)，得到熱塑性聚氨酯A。5. 1. 2.實(shí)施例2 18、比較例1 9除了將(A) 二異氰酸酯、(B)多元醇、(C)擴(kuò)鏈劑的各種成分的種類及含量改為表 1 表3中記載的那樣以外，進(jìn)行與實(shí)施例1相同的操作，得到實(shí)施例2 18、比較例1 9的熱塑性聚氨酯B AA。還有，表1 表3中的化合物名的簡稱如下。."PTGISO":聚四亞甲基二醇(Mn = 657，保土谷化學(xué)工業(yè)株式會社制，商品名 “PTG-650SN”· “PTG-2000” 聚四亞甲基二醇(Mn = 2004，保土谷化學(xué)工業(yè)株式會社制，商品名 “PTG-2000SN”."PEGIOO":聚乙二醇(Mn = 200，三洋化成工業(yè)株式會社制，商品名“PEG-200”)."PEGIOO":聚乙二醇(Mn = 401，三洋化成工業(yè)株式會社制，商品名“PEG-400”)· “PEG-4000” 聚乙二醇(Mn = 4026，三洋化成工業(yè)株式會社制，商品名 “PEG-4000”)."PEG-IOOOO":聚乙二醇(Mn = 10000，三洋化成工業(yè)株式會社制，商品名 “PEG-10000”)."nPD^ld-丙二醇(*工卟夕S力卟文>株式會社制，商品名“1，3_丙二醇”)· “ 16HD” :1,6-己二醇(宇部興產(chǎn)株式會社制，商品名“ 1，6_己二醇”)."11800^1,18-十八烷二醇(Aldrich Chemical 公司制)· “EG”乙二醇(株式會社日本催化劑制，商品名“乙二醇”)另外，在表1 表3中，(B)多元醇的數(shù)均分子量(Mn)是使用凝膠滲透色譜(GPC) (東乂一社制，裝置型號“HLC-8120”，柱型號“TSK-GEL α-M")測定的值。5.2.聚氨酯的物性評價(jià)5. 2.1.硬度
對于通過上述“5.1.聚氨酯的制造”得到的聚氨酯，測定DuroD硬度。Duro D硬度按照“JIS K6253”進(jìn)行測定。其結(jié)果一起列于表1 表3中。5. 2. 2.斷裂應(yīng)力及斷裂應(yīng)變對于通過上述“5. 1.聚氨酯的制造”得到的聚氨酯，測定斷裂應(yīng)力及斷裂應(yīng)變。斷裂應(yīng)力及斷裂應(yīng)變由基于“JIS K6251”的拉伸試驗(yàn)求出。然后，算出得到的斷裂應(yīng)力和斷裂應(yīng)變之積作為抗張積?？箯埛e是聚氨酯的力學(xué)特性的一個(gè)指標(biāo)。其結(jié)果一起列于表1 表3。還有，斷裂應(yīng)力優(yōu)選為4MPa以上，更優(yōu)選為5MPa以上，特別優(yōu)選為6MPa以上。斷裂應(yīng)變優(yōu)選為200%以上，更優(yōu)選為300%以上，特別優(yōu)選為400%以上?？箯埛e優(yōu)選為800MPa 以上，更優(yōu)選為1500MPa以上，特別優(yōu)選為MOOMPa以上。5. 2. 3.流動(dòng)起始溫度對于通過上述“5. 1.聚氨酯的制造”得到的聚氨酯，測定流動(dòng)起始溫度(加工溫度)。流動(dòng)起始溫度的測定通過基于“Jis K7311”的“10.流動(dòng)試驗(yàn)”的方法進(jìn)行。流動(dòng)起始溫度的測定裝置及測定條件在以下示出?！ぴ囼?yàn)機(jī)CFT_500 (株式會社島津制作所制)·預(yù)熱條件90°C X4分鐘 升溫速度3°C/分 起始溫度90°C 試驗(yàn)載荷98N·使用口模直徑1_，長度具體的來說，將由熱塑性聚氨酯組成的試驗(yàn)樣品在上述條件下預(yù)熱后，在承載上述試驗(yàn)載荷的同時(shí)開始升溫，將從噴嘴開始流出的溫度作為聚氨酯的流動(dòng)起始溫度(加工溫度)。流動(dòng)起始溫度是聚氨酯的加工性的一個(gè)指標(biāo)。其結(jié)果一起列于表1 表3中。還有，流動(dòng)起始溫度優(yōu)選為60°C 120°C，更優(yōu)選為70°C 110°C，特別優(yōu)選為80°C 100°C。5. 2. 4.熔體流動(dòng)速率(MFR)測定對于通過上述“5. 1.聚氨酯的制造”得到的聚氨酯，測定MFR。MFR的測定通過基于 "JIS K7210”的“塑料-熱塑性塑料的熔體質(zhì)量流動(dòng)速率(MFR)及熔體體積流動(dòng)速率I (MVR) 的試驗(yàn)方法”的方法進(jìn)行。具體來說，按下述條件進(jìn)行熱塑性聚氨酯的MFR(g/10分)測定。 MFR是聚氨酯的加工性的一個(gè)指標(biāo)。其結(jié)果一起列于表1 3中。還有，MFR優(yōu)選為10以上，更優(yōu)選為15以上，特別優(yōu)選為25以上?！ぴ囼?yàn)機(jī)120-SAS-2000 (株式會社安田精機(jī)制作所制) 機(jī)筒溫度130°C 試驗(yàn)載荷98N
權(quán)利要求
1.一種聚氨酯，其為使至少含有(A) 二異氰酸酯、(B)多元醇和(C)擴(kuò)鏈劑的混合物進(jìn)行反應(yīng)而得到的聚氨酯，其中，前述(B)多元醇的數(shù)均分子量為400 5，000，前述(C)擴(kuò)鏈劑含有(Cl)下述通式(1)所示的化合物和(以)下述通式( 所示的化合物，前述化合物 (Cl)及前述化合物(U)的數(shù)均分子量不足400，由前述化合物(Cl)的摩爾數(shù)(M1)及前述化合物(C2)的摩爾數(shù)(M2)算出的M1/ (M^M2)的值為0. 25 0. 9，HO-(CR1R2)2lrt-OH. · · (1)(上述通式(1)中，存在的多個(gè)R1及R2各自獨(dú)立地表示氫原子或碳原子數(shù)為1 6的取代或未取代的烷基，m為1 13的任意整數(shù))HO- (CR3R4) 2n-0H. . . (2)(上述通式O)中，存在的多個(gè)R3及R4各自獨(dú)立地表示氫原子或碳原子數(shù)為1 6的取代或未取代的烷基，η為1 12的任意整數(shù))。
2.權(quán)利要求1中所述的聚氨酯，其中前述化合物(Cl)的R1及R2為氫原子。
3.權(quán)利要求1或權(quán)利要求2中所述的聚氨酯，其中前述化合物(Cl)為從1，3_丙二醇及1，5_戊二醇中選出的至少一種。
4.權(quán)利要求1至權(quán)利要求3中任一項(xiàng)所述的聚氨酯，其中前述化合物(以)的R3及R4 為氫原子。
5.權(quán)利要求1至權(quán)利要求4中任一項(xiàng)所述的聚氨酯，其中前述化合物(以)為從乙二醇、1，4-丁二醇、1，6-己二醇及1，18-十八烷二醇中選出的至少一種。
6.一種研磨層形成用組合物，其中至少含有水溶性顆粒和權(quán)利要求1至權(quán)利要求5中任一項(xiàng)所述的聚氨酯。
7.權(quán)利要求6中所述的研磨層形成用組合物，其中還含有交聯(lián)劑。
8.一種化學(xué)機(jī)械研磨用墊，其使用權(quán)利要求6或權(quán)利要求7中所述的研磨層形成用組合物制造。
9.一種化學(xué)機(jī)械研磨方法，其使用權(quán)利要求8中所述的化學(xué)機(jī)械研磨用墊進(jìn)行化學(xué)機(jī)械研磨。
全文摘要
本發(fā)明中所述的聚氨酯是使至少含有(A)二異氰酸酯、(B)多元醇和(C)擴(kuò)鏈劑的混合物進(jìn)行反應(yīng)而得到的，其特征在于，前述(B)多元醇的數(shù)均分子量為400～5,000，前述(C)擴(kuò)鏈劑含有(C1)下述通式(1)所示的化合物和(C2)下述通式(2)所示的化合物，前述化合物(C1)及前述化合物(C2)的數(shù)均分子量不足400，由前述化合物(C1)的摩爾數(shù)(M1)及前述化合物(C2)的摩爾數(shù)(M2)算出的M1/(M1+M2)的值為0.25～0.9。HO-(CR1R2)2m+1-OH...(1)HO-(CR3R4)2n-OH...(2)
文檔編號H01L21/304GK102449017SQ20108002362
公開日2012年5月9日 申請日期2010年5月31日 優(yōu)先權(quán)日2009年6月18日
發(fā)明者岡本隆浩, 桑原力丸 申請人:Jsr株式會社