專利名稱：太陽(yáng)能電池板檢查裝置、太陽(yáng)能電池板檢查方法及太陽(yáng)能電池板的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及太陽(yáng)能電池板檢查裝置、太陽(yáng)能電池板檢查方法及太陽(yáng)能電池板的制
造方法。
背景技術(shù)：
目前的太陽(yáng)能電池板具有(日本)特開(kāi)2008-109041號(hào)公報(bào)(專利文獻(xiàn)1)所示的結(jié)構(gòu)，注意專利文獻(xiàn)1所示的太陽(yáng)能電池板的一例，圖23表示其端部附近的剖面放大圖。 太陽(yáng)能電池板100包括具有主表面2u的透明絕緣基板2、以及在透明絕緣基板2的主表面 2u上依次層疊的透明電極層3、半導(dǎo)體光電轉(zhuǎn)換層4及背面電極層5，太陽(yáng)能電池板100在透明絕緣基板2的外周附近具有露出透明絕緣基板2的主表面2u的外周絕緣區(qū)域21。專利文獻(xiàn)1 (日本)特開(kāi)2008-109041號(hào)公報(bào)如圖23所示的結(jié)構(gòu)是在將各層成膜后通過(guò)激光構(gòu)圖而制作出的，該結(jié)構(gòu)在制作后由樹(shù)脂(未圖示)及保護(hù)膜整體密封。如圖23所示，在外周絕緣區(qū)域21上直接露出透明絕緣基板2的主表面2u，主表面 2u上應(yīng)該為空無(wú)一物的狀態(tài)。但是實(shí)際上，如圖24所示，構(gòu)圖時(shí)某些材料的殘?jiān)?3可能會(huì)殘留在外周絕緣區(qū)域21上。當(dāng)利用樹(shù)脂進(jìn)行整體密封時(shí)，這樣的殘?jiān)?3也被一起密封。 另一方面，還要考慮在密封后樹(shù)脂層的內(nèi)部進(jìn)水的問(wèn)題。在殘?jiān)鼩埓嬗谕庵芙^緣區(qū)域21中而直接由樹(shù)脂進(jìn)行密封的情況下，浸入的水與殘?jiān)l(fā)生反應(yīng)，生成金屬離子。在這種情況下將經(jīng)由水而發(fā)生泄漏。因此，為避免發(fā)生這樣的泄漏，要求外周絕緣區(qū)域的主表面上完全沒(méi)有殘?jiān)⑶彝庵芙^緣區(qū)域完全處于絕緣狀態(tài)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明旨在提供太陽(yáng)能電池板檢查裝置及太陽(yáng)能電池板檢查方法，以檢查太陽(yáng)能電池板的外周絕緣區(qū)域的絕緣狀態(tài)；并且還旨在提供太陽(yáng)能電池板的制造方法，以能夠獲得確保外周絕緣區(qū)域的絕緣狀態(tài)的太陽(yáng)能電池板。為達(dá)到上述目的，基于本發(fā)明的太陽(yáng)能電池板檢查裝置是對(duì)太陽(yáng)能電池板的外周絕緣區(qū)域進(jìn)行絕緣性能的檢查；該太陽(yáng)能電池板包括具有主表面的透明絕緣基板以及在所述透明絕緣基板的所述主表面上依次層疊的透明電極層、半導(dǎo)體光電轉(zhuǎn)換層及背面電極層，并且在所述透明絕緣基板的外周附近具有露出所述透明絕緣基板的所述主表面的所述外周絕緣區(qū)域，該太陽(yáng)能電池板檢查裝置的特征在于，具有用來(lái)與所述透明電極層或所述背面電極層抵接的第一端子，用來(lái)與所述外周絕緣區(qū)域的外周端附近抵接的第二端子，用來(lái)在所述第一端子與所述第二端子之間與所述外周絕緣區(qū)域抵接的一個(gè)以上的第三端子， 用來(lái)在從所述第一端子、所述第二端子及所述一個(gè)以上的第三端子中選擇的兩個(gè)端子之間分別施加電壓的電壓施加部，以及檢測(cè)在通過(guò)所述電壓施加部施加了電壓的所述兩個(gè)端子之間流過(guò)的電流的電流檢測(cè)部。根據(jù)本發(fā)明，能夠?qū)ν庵芙^緣區(qū)域施加電壓，檢查是否有電流通過(guò)，所以能夠檢測(cè)工序過(guò)程中是否有未清除的殘?jiān)?。由此，可以提前發(fā)現(xiàn)不良產(chǎn)品，進(jìn)行不良產(chǎn)品的排除、不良產(chǎn)品的修正等，因此能夠減少浪費(fèi)，謀求生產(chǎn)性的提高。進(jìn)而，由于可以在包括透明電極層或背面電極層、外周絕緣區(qū)域的外周緣附近、以及夾在它們之間的區(qū)域的三個(gè)以上的位置任意地選擇端子進(jìn)行抵接，對(duì)每個(gè)組合施加電壓，檢查是否有電流流過(guò)，因此能夠細(xì)致地檢查外周絕緣區(qū)域的絕緣狀態(tài)。


圖1是利用本發(fā)明的第一實(shí)施方式的太陽(yáng)能電池板檢查裝置進(jìn)行檢查的情況的說(shuō)明圖；圖2是在本發(fā)明的第一實(shí)施方式的太陽(yáng)能電池板檢查裝置上假設(shè)的端子組合的說(shuō)明圖；圖3是在本發(fā)明的第一實(shí)施方式的太陽(yáng)能電池板檢查裝置上第三端子為兩個(gè)的例子的說(shuō)明圖；圖4是在本發(fā)明的第一實(shí)施方式的太陽(yáng)能電池板檢查裝置上當(dāng)?shù)谌俗訛閮蓚€(gè)時(shí)假設(shè)的端子組合的說(shuō)明圖；圖5是在本發(fā)明的第一實(shí)施方式的太陽(yáng)能電池板檢查裝置的一般性模型上假設(shè)的端子組合的說(shuō)明圖；圖6是在本發(fā)明的第一實(shí)施方式的太陽(yáng)能電池板檢查裝置上改變第二端子的抵接方式的例子的說(shuō)明圖；圖7是對(duì)于外周端附近的第二端子的抵接方式的第一說(shuō)明圖；圖8是對(duì)于外周端附近的第二端子的抵接方式的第二說(shuō)明圖；圖9是位于太陽(yáng)能電池板外周附近一部分的太陽(yáng)能電池板與各端子的位置關(guān)系的說(shuō)明圖；圖10是各端子形狀的第一例的俯視圖；圖11是各端子形狀的第二例的俯視圖；圖12是各端子形狀的第三例的俯視圖；圖13是各端子形狀的第四例的俯視圖；圖14是通過(guò)本發(fā)明的第二實(shí)施方式的太陽(yáng)能電池板檢查裝置進(jìn)行檢查的情況的說(shuō)明圖；圖15是本發(fā)明的第二實(shí)施方式的太陽(yáng)能電池板檢查裝置的流程圖；圖16是本發(fā)明的第三實(shí)施方式的太陽(yáng)能電池板檢查裝置的第一狀態(tài)的說(shuō)明圖；圖17是本發(fā)明的第三實(shí)施方式的太陽(yáng)能電池板檢查裝置的第二狀態(tài)的說(shuō)明圖；圖18是本發(fā)明的第三實(shí)施方式的太陽(yáng)能電池板檢查裝置的變形例的說(shuō)明圖；圖19是作為實(shí)施例表示太陽(yáng)能電池板檢查裝置的各端子的位置關(guān)系的俯視圖；圖20是作為實(shí)施例表示太陽(yáng)能電池板檢查裝置的各端子的位置關(guān)系的剖面圖；圖21是本發(fā)明的第四實(shí)施方式的太陽(yáng)能電池板檢查方法的流程圖；圖22是本發(fā)明第四實(shí)施方式的太陽(yáng)能電池板檢查方法的優(yōu)選例的流程圖23是基于現(xiàn)有技術(shù)的太陽(yáng)能電池板的外周絕緣區(qū)域附近的剖面放大圖；圖24是基于現(xiàn)有技術(shù)的太陽(yáng)能電池板外周絕緣區(qū)域存在殘?jiān)睦拥钠拭娣糯髨D；圖25是通過(guò)本發(fā)明的第六實(shí)施方式的太陽(yáng)能電池板檢查裝置進(jìn)行檢查的情況的說(shuō)明圖。附圖標(biāo)記說(shuō)明2透明絕緣基板；2u (透明絕緣基板的)主表面；2e (透明絕緣基板的)真正的端面；3透明電極層；4半導(dǎo)體光電轉(zhuǎn)換層；5背面電極層；21外周絕緣區(qū)域；23殘?jiān)?1 第一端子；32第二端子；33，33a，33b，33c第三端子；34電壓施加部；35電流檢測(cè)部；36判斷部；37數(shù)據(jù)保持部；38第三端子切換機(jī)構(gòu)；39重試控制部；100太陽(yáng)能電池板。
具體實(shí)施例方式(第一實(shí)施方式)參照?qǐng)D1、圖2，針對(duì)本發(fā)明的第一實(shí)施方式的太陽(yáng)能電池板檢查裝置進(jìn)行說(shuō)明。 該太陽(yáng)能電池板檢查裝置用來(lái)對(duì)太陽(yáng)能電池板100的外周絕緣區(qū)域21檢查絕緣性能，該太陽(yáng)能電池板100包括具有主表面2u的透明絕緣基板2以及在透明絕緣基板2的主表面2u 上依次層疊的透明電極層3、半導(dǎo)體光電轉(zhuǎn)換層4及背面電極層5，并且在透明絕緣基板2 的外周附近具有露出透明絕緣基板2的主表面2u的外周絕緣區(qū)域21的。該太陽(yáng)能電池板檢查裝置具有用來(lái)與背面電極層5抵接的第一端子31 ；用來(lái)與外周絕緣區(qū)域21的外周端附近抵接的第二端子32 ；用來(lái)在第一端子31與第二端子32之間與外周絕緣區(qū)域21抵接的一個(gè)以上的第三端子33 ；用來(lái)在從第一端子31、第二端子32及一個(gè)以上的第三端子33 中選擇的兩個(gè)端子之間分別施加電壓的電壓施加部34 ；檢測(cè)在通過(guò)電壓施加部34施加了電壓的所述兩個(gè)端子之間流過(guò)的電流的電流檢測(cè)部35。即圖1所示的電壓施加部34能夠分別對(duì)如圖2所示的組合Cl、C2、C3施加電壓，圖1示意性地表示電壓施加部34及電流檢測(cè)部35。本實(shí)施方式的太陽(yáng)能電池板檢查裝置能夠在太陽(yáng)能電池板的制造工序內(nèi)檢測(cè)出由于外周絕緣區(qū)域的未清除的殘?jiān)葐?wèn)題造成的絕緣不良產(chǎn)品，并且，還因?yàn)榭梢栽诎ū趁骐姌O層和外周緣附近以及夾在其間的區(qū)域的三個(gè)以上位置上分別抵接端子，對(duì)各組合施加電壓，檢查是否有電流流過(guò)，因此能夠細(xì)致地檢查外周絕緣區(qū)域的絕緣狀態(tài)。另外，在圖1、圖2中表示了第三端子為一個(gè)的例子，但在外周絕緣區(qū)域的寬度大小允許的范圍內(nèi)，越是增加第三端子的數(shù)目越能夠精確地進(jìn)行檢查。作為例子，圖3表示了第三端子為兩個(gè)的例子，在此配置了第三端子33a、33b。在該情況下，電壓施加部34只要能夠分別對(duì)圖4所示的組合C1、C2、C3、C4施加電壓即可。在第一端子31、第二端子32、第三端子33a、33b這共計(jì)四個(gè)端子之間，選擇任意的兩個(gè)端子的組合數(shù)在數(shù)學(xué)上為六種組合， 即C42 = 4 ！ /((4-2) ！ X2 ！ ) = 24/4 = 6優(yōu)選在所有這六種組合上都能夠分別施加電壓，但不必在所有這六種組合上都能夠分別施加電壓。假設(shè)第三端子為η個(gè)進(jìn)行一般性的說(shuō)明。在該情況下，加上第一端子、第二端子，端子數(shù)合計(jì)為(n+2)，從這些端子中選擇任意兩個(gè)端子進(jìn)行組合的組合數(shù)在數(shù)學(xué)上為Cn+22 = (n+2) ！ / (η ！ X 2 ！)實(shí)際上，本發(fā)明不必對(duì)所有這些組合類型都能夠分別施加電壓，如圖5所示，在這些組合中，至少能夠?qū)ο噜彾俗拥慕M合C2，C3，C4，...，C (n+2)施加電壓，并且能夠?qū)Φ谝欢俗觃第二端子間的Cl施加電壓，就是優(yōu)選的。另外，在圖1、圖2所示的例子中，雖然第二端子32從側(cè)面與外周端的端面抵接，但不限定于這種抵接方式。例如如圖6所示，第二端子32也可以在外周絕緣區(qū)域的外周端附近從上方與主表面2u抵接。但是，在第二端子從上方抵接的情況下，如圖7所示，對(duì)于端面為圓弧面的透明絕緣基板來(lái)說(shuō)，第二端子必須避開(kāi)帶有圓弧面的部分，與主表面2u的平坦部位抵接，例如在從真正的頂端2e后退距離D的位置進(jìn)行測(cè)定。與此相對(duì)，在使第二端子從側(cè)面抵接的情況下，不論透明絕緣基板的端面垂直豎立還是成為圓面，如圖8所示，都能夠切實(shí)地與真正的頂端2e抵接，所以優(yōu)選。雖然在圖7、圖8中表示了透明絕緣基板的端部的剖面為標(biāo)準(zhǔn)的半圓狀的例子，但可以說(shuō)對(duì)于端部的剖面為不規(guī)則形狀的情況來(lái)說(shuō)也是一樣的。因此，在本發(fā)明中，可以說(shuō)優(yōu)選第二端子從側(cè)面與外周絕緣區(qū)域的外周端部抵接。另外，利用本實(shí)施方式的太陽(yáng)能電池板檢查裝置，作為檢查對(duì)象的太陽(yáng)能電池板 100不限定于已制作完成的產(chǎn)品，也可以是未制作完成的產(chǎn)品。這一點(diǎn)同樣適用于以下的實(shí)施方式。第一端子31、第二端子32、第三端子33在目前為止的各圖中看起來(lái)都是棒狀的部件，但實(shí)際上，第二端子32、第三端子33優(yōu)選是在垂直紙面的方向上長(zhǎng)長(zhǎng)地延伸的帶狀部件，第一端子可以是棒狀部件。關(guān)于第二端子32、第三端子33，雖然也可以沿太陽(yáng)能電池板的邊緣并列多個(gè)棒狀部件而形成，但優(yōu)選在太陽(yáng)能電池板的邊緣平行地配置帶狀部件，使之與太陽(yáng)能電池板的上表面或端面抵接。圖9表示在太陽(yáng)能電池板外周附近的一部分，太陽(yáng)能電池板與各端子的位置關(guān)系的一例，像這樣優(yōu)選作為棒狀部件的第一端子31以及作為帶狀部件的第二、第三端子32、33從不同的方向與太陽(yáng)能電池板抵接。另外，在俯視圖上觀察時(shí)，各端子也可以是如圖10所示的長(zhǎng)方形的框狀物，該長(zhǎng)方形的大小恰好將太陽(yáng)能電池板的外形收納于其內(nèi)側(cè)。作為各端子的其他配置例也可以是如圖11、圖12、圖13所示的樣子，可以說(shuō)都是大致的矩形狀。但是如果如圖12、圖13所示的例子那樣增大間隙，則遺漏外周絕緣區(qū)域的殘?jiān)目赡苄詴?huì)加大，所以優(yōu)選如圖10、圖 11所示的例子那樣、盡可能地接近完全的矩形。但即使是如圖10那樣的完全的矩形的情況下，如果將端子作為矩形的一體結(jié)構(gòu)而形成，則有可能難以制作或維護(hù)，所以優(yōu)選是能夠分解成每個(gè)邊的結(jié)構(gòu)。(第二實(shí)施方式)參照?qǐng)D14、圖15，針對(duì)本發(fā)明的第二實(shí)施方式的太陽(yáng)能電池板檢查裝置進(jìn)行說(shuō)明。本實(shí)施方式的太陽(yáng)能電池板檢查裝置基本上與第一實(shí)施方式所說(shuō)明的裝置相同， 只是進(jìn)一步能夠存儲(chǔ)電流的基準(zhǔn)值數(shù)據(jù)。并且如圖14所示具有判斷部36，該判斷部36用來(lái)從通過(guò)所述電壓施加部施加電壓開(kāi)始，在經(jīng)過(guò)規(guī)定時(shí)間后將所述電流檢測(cè)部檢測(cè)到的電流值與所述基準(zhǔn)值相比較，根據(jù)其比較結(jié)果判斷是否繼續(xù)對(duì)所述兩個(gè)端子施加電壓。在圖 14中，通過(guò)數(shù)據(jù)保持部37保持電壓的基準(zhǔn)值數(shù)據(jù)，判斷部36能夠從數(shù)據(jù)保持部37讀出適合的數(shù)據(jù)。圖15表示本實(shí)施方式的太陽(yáng)能電池板檢查裝置的動(dòng)作的流程圖。從開(kāi)始施加電壓至經(jīng)過(guò)規(guī)定時(shí)間后，如果電流檢測(cè)部所檢測(cè)出的電流值在基準(zhǔn)值以下，則停止施加電壓； 如果不是在基準(zhǔn)值以下，則進(jìn)一步地繼續(xù)施加電壓。在此作為一例，假設(shè)“如果電流值在基準(zhǔn)值以下”則停止施加電壓，也可以是“如果電流值小于基準(zhǔn)值”則停止施加電壓。在外緣絕緣區(qū)域的表面存在殘?jiān)那闆r下，當(dāng)在配置于殘?jiān)鼉蓚?cè)的兩個(gè)端子間施加電壓時(shí)，因?yàn)楦唠娏髁鬟^(guò)該殘?jiān)?，所以由于電阻熱使殘?jiān)兂筛邷?。高溫的殘?jiān)?jīng)過(guò)氣化，結(jié)果被蒸發(fā)，這樣來(lái)除去殘?jiān)?。在本?shí)施方式中，因?yàn)榫哂袑㈦妷菏┘恿艘?guī)定時(shí)間后的電流值與基準(zhǔn)值比較的判斷部，因而能夠判斷是否完成了殘?jiān)那宄?。在原本就沒(méi)有殘?jiān)?或者曾存有殘?jiān)驯磺宄那闆r下，由于電流值在基準(zhǔn)值以下或者小于基準(zhǔn)值，所以停止施加電壓。在電流值大于基準(zhǔn)值或在基準(zhǔn)值以上的情況下，可以認(rèn)為盡管施加有電壓，但兩個(gè)端子間的某個(gè)部位仍殘留有殘?jiān)?，因此繼續(xù)施加電壓，繼續(xù)進(jìn)行殘?jiān)那宄幚?。在本?shí)施方式的太陽(yáng)能電池板檢查裝置中，不只是被動(dòng)地進(jìn)行現(xiàn)狀的檢查，而是對(duì)于存在的殘?jiān)?，能夠像這樣積極地進(jìn)行清除處理，因此，經(jīng)過(guò)利用該太陽(yáng)能電池板檢查裝置進(jìn)行檢查，太陽(yáng)能電池板能夠看作是無(wú)殘?jiān)?、可靠性高的太?yáng)能電池板。進(jìn)而，優(yōu)選具有重試控制部39，該重試控制部39用來(lái)在判斷部36判斷的結(jié)果是確定繼續(xù)施加電壓的情況下，電壓施加部34施加比上一次更高的電壓。如果形成這樣的結(jié)構(gòu)，在通過(guò)判斷部確定繼續(xù)施加電壓的情況下，就不只是單純地以相同的電壓繼續(xù)施加電壓，而是施加比上一次更高的電壓，由此能夠更強(qiáng)有力地清除在上一次施加電壓時(shí)未除盡的殘?jiān)?，所以是?yōu)選的。(第三實(shí)施方式)參照?qǐng)D16、圖17，針對(duì)本發(fā)明的第三實(shí)施方式的太陽(yáng)能電池板檢查裝置進(jìn)行說(shuō)明。本實(shí)施方式的太陽(yáng)能電池板檢查裝置基本上與在第一實(shí)施方式中所說(shuō)明的裝置相同，只是如圖16、圖17所示，具有第三端子切換機(jī)構(gòu)38，用來(lái)在維持第一端子31與背面電極層5抵接且第二端子32與所述透明絕緣基板2抵接的狀態(tài)下，對(duì)于所述一個(gè)以上的第三端子的全部或一部分，在與外周絕緣區(qū)域21抵接的第一狀態(tài)和與外周絕緣區(qū)域21不抵接的第二狀態(tài)之間進(jìn)行切換，圖16表示第一狀態(tài)，圖17表示第二狀態(tài)。第三端子切換機(jī)構(gòu) 38可以是能從第一狀態(tài)向第二狀態(tài)、或者從第二狀態(tài)向第一狀態(tài)切換的單向切換機(jī)構(gòu)，也可以是能在第一狀態(tài)-第二狀態(tài)之間進(jìn)行雙向切換的機(jī)構(gòu)。在第三端子通過(guò)從上方落下而與外周絕緣區(qū)域21抵接的情況下，能夠?qū)崿F(xiàn)將第三端子切換機(jī)構(gòu)38作為進(jìn)行第三端子的升降的機(jī)構(gòu)。在本實(shí)施方式中，由于具有第三端子切換機(jī)構(gòu)，所以能夠?qū)Φ谌俗邮欠衽c外周絕緣區(qū)域抵接進(jìn)行切換。因此，當(dāng)在第一端子和第二端子之間施加電壓時(shí)，可以將位于其間的第三端子暫且設(shè)置為與透明絕緣基板的主表面不抵接的狀態(tài)。因此能夠避免在第一端子與第二端子之間施加電壓時(shí)因?yàn)榈谌俗佣l(fā)生泄漏，能夠使絕緣狀態(tài)的檢查更準(zhǔn)確。優(yōu)選所述一個(gè)以上的第三端子的數(shù)目為兩個(gè)以上，并且所述第三端子切換機(jī)構(gòu)是對(duì)每個(gè)所述第三端子獨(dú)立存在而能夠在所述第一狀態(tài)與第二狀態(tài)之間進(jìn)行切換的結(jié)構(gòu)，即優(yōu)選如圖18所示的結(jié)構(gòu)。在圖18所示的例子中，在第三端子33a、33b、33c上分別設(shè)有第三端子切換機(jī)構(gòu)38a、38b、38c，能夠分別使第三端子33a、33b、33c升降。在圖18所示的例子中，第三端子的數(shù)目為三，但第三端子的數(shù)目也可以為二，或者第三端子的數(shù)目為四個(gè)以上。但是，如果第三端子數(shù)目過(guò)多則結(jié)構(gòu)將變得復(fù)雜。而且為了相對(duì)外周絕緣區(qū)域的幅度合理地配置第三端子及端子間的間隙，第三端子數(shù)不宜過(guò)多?？紤]到這樣的情況，在實(shí)際中優(yōu)選所述一個(gè)以上的第三端子的數(shù)目為二。在這樣的第三端子的數(shù)目為兩個(gè)以上的情況下，因?yàn)槟軌蚍謩e對(duì)第三端子是否抵接進(jìn)行切換，所以在任意兩個(gè)端子之間施加電壓時(shí)，能夠暫且將位于其間的多余的第三端子設(shè)置為與主表面2u不抵接的狀態(tài)，其結(jié)果就是能夠避免由于位于其間的第三端子而發(fā)生的泄漏，能夠更準(zhǔn)確地進(jìn)行殘?jiān)鼨z查。所述一個(gè)以上的第三端子每個(gè)都優(yōu)選配置為大致矩形的帶狀導(dǎo)電性部件，即參照?qǐng)D9 圖11，正如已經(jīng)說(shuō)明的那樣，優(yōu)選各個(gè)第三端子為帶狀的導(dǎo)電性部件。第一 第三端子只要是導(dǎo)電性部件即可，但例如也可以是金屬制部件。只要是這樣的形狀，那么就能夠?qū)φ麄€(gè)太陽(yáng)能電池板高效地、準(zhǔn)確地進(jìn)行殘?jiān)臋z查和殘?jiān)那宄幚怼?實(shí)施例)參照?qǐng)D19、圖20，針對(duì)對(duì)應(yīng)第一實(shí)施方式的太陽(yáng)能電池板檢查裝置的具體實(shí)施例進(jìn)行說(shuō)明。如圖19所示，作為太陽(yáng)能電池板檢查裝置的第一端子31，設(shè)有兩個(gè)圓柱狀物，從內(nèi)側(cè)向外依次配置第三端子33a、33b及第二端子32以在第一端子31的外側(cè)圍成矩形。第二端子32配置為與作為檢查對(duì)象的太陽(yáng)能電池板100的外周緊密連接，將該外周合圍成矩形而配置。第一端子31在太陽(yáng)能電池板的背面電極層5存在的區(qū)域內(nèi)側(cè)，沿相向的、平行的兩邊的位置分別配置。第三端子33a與太陽(yáng)能電池板的背面電極層5存在的區(qū)域外側(cè)分離，合圍配置成矩形。在圖20中透明絕緣基板2的下側(cè)所表示的尺寸線的數(shù)值單位為“mm”，如圖20所示，外周絕緣區(qū)域的寬度為12mm，第三端子33a、33b的厚度都為1mm，第一端子31與第三端子33a之間的間隙為3mm，第三端子33a與第三端子33b之間的間隙為3mm，第三端子33b 與第二端子32之間的間隙為4mm。在第一端子31與第三端子33a之間施加1500V的電壓。在第三端子33a與第三端子33b之間施加1500V的電壓。在第三端子33b與第二端子32之間施加2000V的電壓。在第一端子31與第二端子32之間施加6000V的電壓。施加電壓的順序不必按照該順序，可以按照任意的順序施加電壓。通過(guò)利用該結(jié)構(gòu)的太陽(yáng)能電池板檢查裝置，能夠細(xì)致地檢查外周絕緣區(qū)域的絕緣狀態(tài)。而且在檢查時(shí)，通過(guò)一定時(shí)間內(nèi)施加這樣的高電壓，能夠使殘?jiān)鼩饣宄龤堅(jiān)?。另外，該?shí)施例中也可以適當(dāng)?shù)夭捎玫诙?、第三?shí)施方式所示的結(jié)構(gòu)。(第四實(shí)施方式)在上述各實(shí)施方式中，主要針對(duì)作為檢查裝置的方面進(jìn)行了說(shuō)明，對(duì)于與檢查方法相關(guān)的發(fā)明也需要能夠掌握。因此，在第四實(shí)施方式中，針對(duì)太陽(yáng)能電池板檢查方法進(jìn)行說(shuō)明。圖21表示本實(shí)施方式的太陽(yáng)能電池板檢查方法的流程圖。該太陽(yáng)能電池板檢查方法是用來(lái)對(duì)太陽(yáng)能電池板，檢查其外周絕緣區(qū)域的絕緣性能的太陽(yáng)能電池板檢查方法，該太陽(yáng)能電池板包括具有主表面的透明絕緣基板以及在所述透明絕緣基板的所述主表面上依次層疊的透明電極層、半導(dǎo)體光電轉(zhuǎn)換層及背面電極層、 并且在所述透明絕緣基板的外周附近具有露出所述透明絕緣基板的所述主表面的外周絕緣區(qū)域。在該太陽(yáng)能電池板檢查方法中，利用具有用來(lái)與所述背面電極層抵接的第一端子、 用來(lái)與所述外周絕緣區(qū)域的外周端部附近抵接的第二端子、用來(lái)在所述第一端子與所述第二端子之間與所述外周絕緣區(qū)域抵接的一個(gè)以上的第三端子的裝置，該太陽(yáng)能電池板檢查方法包括將所述第一端子與所述背面電極層抵接的工序Sl ；將所述第二端子與所述外周端部附近抵接的工序S2 ；將從所述一個(gè)以上的第三端子中選擇的一個(gè)以上的端子與所述外周絕緣區(qū)域抵接的工序S3 ；在從所述第一端子、所述第二端子及所述一個(gè)以上的第三端子中選擇的兩個(gè)端子之間施加電壓的工序S4;在施加了電壓的所述兩個(gè)端子之間檢測(cè)流過(guò)的電流的工序S5。該檢查方法所使用的“裝置”可以是第一實(shí)施方式中說(shuō)明的太陽(yáng)能電池板檢查裝置。各個(gè)術(shù)語(yǔ)的含義與第一 第三實(shí)施方式中所述的含義相同。工序Sl S3不必一定按照?qǐng)D21所示的順序進(jìn)行，可以按照與圖21所示的不同的順序進(jìn)行，也可以同時(shí)進(jìn)行工序Sl S3中的兩個(gè)工序或三個(gè)工序。但是，在進(jìn)行施加電壓的工序S4之前，作為電壓施加對(duì)象的、必要的兩個(gè)端子必須分別與對(duì)應(yīng)的位置抵接。也可以對(duì)端子的每個(gè)不同組合多次進(jìn)行工序S4，在每次改變工序S4所選擇的端子組合時(shí)，作為之前的準(zhǔn)備，也可以進(jìn)行工序Sl S3中的必要的工序。檢測(cè)電流的工序S5在通過(guò)施加電壓的工序S4開(kāi)始施加電壓后且結(jié)束施加電壓前進(jìn)行，因此，在進(jìn)行工序S4的一部分時(shí)間帶內(nèi)進(jìn)行工序S5。在對(duì)端子的每個(gè)不同組合多次進(jìn)行工序S4的情況下，也同樣多次進(jìn)行工序S5。在本實(shí)施方式的太陽(yáng)能電池板檢查方法中，能夠在太陽(yáng)能電池板的制造工序內(nèi)盡早地檢測(cè)出外周絕緣區(qū)域的絕緣不良產(chǎn)品，并且能夠在背面電極層和外周緣附近以及這兩者之間夾著的區(qū)域等三個(gè)以上的位置分別抵接端子，對(duì)每個(gè)組合施加電壓，檢查是否有電流流過(guò)，因此能夠細(xì)致地檢查外周絕緣區(qū)域的絕緣狀態(tài)。在上述發(fā)明中，使所述第二端子抵接的工序S2優(yōu)選是使所述第二端子從側(cè)面與所述外周絕緣區(qū)域的外周端部抵接。如果是這樣來(lái)進(jìn)行工序S2，那么，不論外周絕緣區(qū)域的外周端的剖面形狀是豎直還是圓弧面等，都能夠切實(shí)地與端面抵接。從作為檢查裝置的發(fā)明的觀點(diǎn)出發(fā)，已經(jīng)在第一實(shí)施方式中說(shuō)明了相同的情況。在上述發(fā)明中如圖22所示，優(yōu)選包括工序S6，該工序S6在檢測(cè)電流的工序S5之后，將檢測(cè)出的電流的值與事先所存儲(chǔ)的基準(zhǔn)值進(jìn)行比較，根據(jù)比較結(jié)果判斷是否對(duì)所述兩個(gè)端子繼續(xù)施加電壓。在上述發(fā)明中優(yōu)選包括工序S7，該工序S7在所述工序S6的判斷結(jié)果為決定繼續(xù)施加電壓的情況下，所述電壓施加部施加比上一次更高的電壓。如果包括這樣的工序S7，那么在通過(guò)第一次施加電壓未除盡殘?jiān)那闆r下，就不只是單純地繼續(xù)施加相同的電壓，而是通過(guò)施加比上一次更高的電壓，能夠更強(qiáng)有力地清除上一次施加電壓時(shí)未除盡的殘?jiān)?因而優(yōu)選包括該工序S7。在圖22中，當(dāng)不繼續(xù)施加電壓時(shí)，為“停止”，這表示停止在該兩個(gè)端子之間施加電壓，在其他組合的兩個(gè)端子之間則可能繼續(xù)進(jìn)行工序S4的電壓施加。在該情況下，在新的兩個(gè)端子還未與對(duì)象物抵接的情況下，需要在進(jìn)行該端子與對(duì)象物抵接的工序，即工序 Sl S3中必要的工序后，進(jìn)行工序S4的電壓施加。在上述發(fā)明中優(yōu)選包括端子排除工序(端子除外工程)(未圖示)，該端子排除工序是在施加電壓的工序S4之前，在所述兩個(gè)端子之間將與所述外周絕緣區(qū)域抵接的端子設(shè)置為與所述外周絕緣區(qū)域不抵接的狀態(tài)。在端子排除工序中，可以進(jìn)行例如從如圖16所示的第一狀態(tài)如圖17所示的第二狀態(tài)的切換。有時(shí)，在例如圖20所示的實(shí)施例中，在進(jìn)行第一端子31與第二端子32之間的施加電壓的工序S4之前，作為端子排除工序，第一端子31與第二端子32之間與外周絕緣區(qū)域抵接的第三端子33a、33b從主表面2u離開(kāi)。在進(jìn)行第一端子31與第三端子33b之間的施加電壓的工序S4之前，作為端子排除工序，第三端子33a從主表面2u離開(kāi)。在進(jìn)行第三端子33a與第二端子32之間的施加電壓的工序S4之前，作為端子排除工序，第三端子33b 從主表面2u離開(kāi)。不過(guò)，像這樣通過(guò)端子排除工序使兩個(gè)端子之間存在的端子從主表面2u 離開(kāi)的情況也只是在該位于中間的端子與外周絕緣區(qū)域抵接的情況下，在該端子最初并未與外周絕緣區(qū)域抵接的情況下，不需要進(jìn)行端子排除工序。在上述發(fā)明中優(yōu)選所述一個(gè)以上的第三端子數(shù)為2。為了不使裝置的結(jié)果過(guò)于復(fù)雜，在外周絕緣區(qū)域的有限的寬度內(nèi)全部配置一個(gè)以上的第三端子，并且為了在某種程度上細(xì)致地實(shí)施檢查，第三端子的數(shù)目為兩個(gè)左右是恰當(dāng)?shù)?。在上述發(fā)明中優(yōu)選一個(gè)以上的第三端子每個(gè)都是配置成大致矩形的帶狀導(dǎo)電性部件。只要一個(gè)以上的第三端子每個(gè)都是帶狀的導(dǎo)電性部件，則通過(guò)沿太陽(yáng)能電池板的邊緣配置并使之抵接，能夠高效地、精確地進(jìn)行檢查。關(guān)于這一點(diǎn)，從作為檢查裝置的發(fā)明的觀點(diǎn)出發(fā)，已經(jīng)在第一實(shí)施方式中進(jìn)行了相同情況的說(shuō)明。(第五實(shí)施方式)在上述各實(shí)施方式中，主要從作為與檢查裝置或檢查方法相關(guān)的發(fā)明的角度進(jìn)行了說(shuō)明，但也要能夠把握作為與太陽(yáng)能電池板的制造方法相關(guān)的發(fā)明。因此，在第五實(shí)施方式中，針對(duì)太陽(yáng)能電池板制造方法進(jìn)行說(shuō)明。太陽(yáng)能電池板的制造方法包括準(zhǔn)備光電轉(zhuǎn)換元件的第一工序和通過(guò)第一 第三實(shí)施方式的任一方式所說(shuō)明的太陽(yáng)能電池板檢查裝置對(duì)所述光電轉(zhuǎn)換元件進(jìn)行檢查的第二工序，其中，該光電轉(zhuǎn)換元件包括具有主表面的透明絕緣基板以及在所述透明絕緣基板的所述主表面上依次層疊的透明電極層、半導(dǎo)體光電轉(zhuǎn)換層及背面電極層，并且在所述透明絕緣基板的外周附近具有露出所述透明絕緣基板的所述主表面的外周絕緣區(qū)域。太陽(yáng)能電池板的制造方法包括準(zhǔn)備光電轉(zhuǎn)換元件的第一工序和對(duì)所述光電轉(zhuǎn)換元件進(jìn)行第四實(shí)施方式所說(shuō)明的太陽(yáng)能電池板檢查方法的第二工序，其中，該光電轉(zhuǎn)換元件包括具有主表面的透明絕緣基板以及在所述透明絕緣基板的所述主表面上依次層疊的透明電極層、半導(dǎo)體光電轉(zhuǎn)換層及背面電極層，并且在所述透明絕緣基板的外周附近具有露出所述透明絕緣基板的所述主表面的外周絕緣區(qū)域。另外，對(duì)于第一工序的“準(zhǔn)備光電轉(zhuǎn)換元件”，也包括從其他地方調(diào)配已制成的光電轉(zhuǎn)換元件的行為。此外，當(dāng)然也包括從其他地方獲取形成透明電極層的玻璃基板、只親自實(shí)施形成半導(dǎo)體光電轉(zhuǎn)換層工序之后的工序而制作光電轉(zhuǎn)換元件的行為。在第二工序中， 將通過(guò)第一工序準(zhǔn)備的“光電轉(zhuǎn)換元件”看作未檢查的太陽(yáng)能電池板，將之作為檢查對(duì)象進(jìn)
11行檢查。但在檢查時(shí)不僅僅只是被動(dòng)地檢測(cè)現(xiàn)狀，還能如上所述通過(guò)電流對(duì)殘?jiān)M(jìn)行積極的清除處理。無(wú)論哪一種上述的太陽(yáng)能電池板的制造方法都是即使在外周絕緣區(qū)域的主表面上殘留例如使絕緣耐壓降低的殘?jiān)?，也能夠通過(guò)第二工序中施加用于檢查的電壓，使殘?jiān)鼩饣磺宄Ｒ虼?，能夠得到確保外周絕緣區(qū)域的絕緣狀態(tài)的太陽(yáng)能電池板。(第六實(shí)施方式)在上述的第一 第五實(shí)施方式中，基本上針對(duì)第一端子31與背面電極層5抵接的結(jié)構(gòu)進(jìn)行了說(shuō)明，但第一端子31也可以與透明電極層3抵接。作為本發(fā)明的第六實(shí)施方式， 針對(duì)第一端子與透明電極層抵接情況下的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說(shuō)明。如圖25所示，本實(shí)施方式的太陽(yáng)能電池板制造裝置為第一端子與透明電極層3抵接的結(jié)構(gòu)。另外。圖25與在第一實(shí)施方式中所使用的圖1對(duì)應(yīng)。本實(shí)施方式與第一實(shí)施方式的不同之處只有兩點(diǎn)，即太陽(yáng)能電池板100的透明電極層3從半導(dǎo)體光電轉(zhuǎn)換層4及背面電極層5向外周側(cè)突出、以及形成第一端子31與透明電極層3抵接的結(jié)構(gòu)。除此之外的其他方面都與在第一實(shí)施方式所說(shuō)明的情況相同。本實(shí)施方式能夠獲得與第一實(shí)施方式相同的作用和效果。而且，即使在其他的實(shí)施方式中，也可以與本實(shí)施方式一樣，采用太陽(yáng)能電池板 100的透明電極層3從半導(dǎo)體光電轉(zhuǎn)換層4及背面電極層5向外周側(cè)突出的結(jié)構(gòu)，并且也可以將第一端子31與透明電極層3抵接，這樣也能獲得相同的作用和效果。本次公開(kāi)的上述實(shí)施方式在所有的點(diǎn)上都是例示而不應(yīng)該認(rèn)為是限制。本發(fā)明的范圍不是上述的說(shuō)明而是由權(quán)利要求范圍來(lái)表示，包括與權(quán)利要求范圍等同的含義和范圍內(nèi)的所有變更。工業(yè)上的應(yīng)用性本發(fā)明可應(yīng)用于太陽(yáng)能電池檢查裝置、太陽(yáng)能電池板檢查方法及太陽(yáng)能電池板的制造方法。
權(quán)利要求
1.一種太陽(yáng)能電池板檢查裝置，用來(lái)對(duì)太陽(yáng)能電池板的外周絕緣區(qū)域進(jìn)行絕緣性能的檢查；該太陽(yáng)能電池板包括具有主表面(2u)的透明絕緣基板(2)以及在所述透明絕緣基板的所述主表面上依次層疊的透明電極層(3)、半導(dǎo)體光電轉(zhuǎn)換層(4)及背面電極層(5)，并且在所述透明絕緣基板的外周附近具有露出所述透明絕緣基板的所述主表面的所述外周絕緣區(qū)域(21)，該太陽(yáng)能電池板檢查裝置的特征在于，具有用來(lái)與所述透明電極層或所述背面電極層抵接的第一端子(31)，用來(lái)與所述外周絕緣區(qū)域的外周端附近抵接的第二端子(32)，用來(lái)在所述第一端子與所述第二端子之間與所述外周絕緣區(qū)域抵接的一個(gè)以上的第三端子(33，33a，33b，33c)，用來(lái)在從所述第一端子、所述第二端子及所述一個(gè)以上的第三端子中選擇的兩個(gè)端子之間分別施加電壓的電壓施加部(34)，以及檢測(cè)在通過(guò)所述電壓施加部施加了電壓的所述兩個(gè)端子之間流過(guò)的電流的電流檢測(cè)部(35)。
2.如權(quán)利要求1所述的太陽(yáng)能電池板檢查裝置，其特征在于，所述第二端子用來(lái)從側(cè)面與所述外周絕緣區(qū)域的外周端抵接。
3.如權(quán)利要求1或2所述的太陽(yáng)能電池板檢查裝置，其特征在于，具有判斷部(36)，該判斷部用來(lái)保持電流的基準(zhǔn)值數(shù)據(jù)；并且將從通過(guò)所述電壓施加部施加電壓開(kāi)始至規(guī)定時(shí)間后所述電流檢測(cè)部檢測(cè)出的電流值與所述基準(zhǔn)值進(jìn)行比較，根據(jù)其結(jié)果判斷是否繼續(xù)對(duì)所述兩個(gè)端子施加電壓。
4.如權(quán)利要求3所述的太陽(yáng)能電池板檢查裝置，其特征在于，具有重試控制部(39)，該重試控制部(39)用來(lái)在根據(jù)通過(guò)所述判斷部的判斷結(jié)果而決定繼續(xù)施加電壓的情況下， 使所述電壓施加部施加比上一次更高的電壓。
5.如權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的太陽(yáng)能電池板檢查裝置，其特征在于，具有第三端子切換機(jī)構(gòu)(38)，該第三端子切換機(jī)構(gòu)用來(lái)在維持所述第一端子與所述透明電極層或所述背面電極層抵接且所述第二端子與所述透明絕緣基板抵接的狀態(tài)下，在與所述外周絕緣區(qū)域抵接的第一狀態(tài)和與所述外周絕緣區(qū)域不抵接的第二狀態(tài)之間對(duì)所述一個(gè)以上的第三端子的全部或一部分進(jìn)行切換。
6.如權(quán)利要求5所述的太陽(yáng)能電池板檢查裝置，其特征在于，所述一個(gè)以上的第三端子的數(shù)目為兩個(gè)以上，并且所述第三端子切換機(jī)構(gòu)是能夠?qū)λ龅谌俗又械拿恳粋€(gè)獨(dú)立地在所述第一狀態(tài)與所述第二狀態(tài)之間進(jìn)行切換的結(jié)構(gòu)。
7.如權(quán)利要求1至6中任一項(xiàng)所述的太陽(yáng)能電池板檢查裝置，其特征在于，所述一個(gè)以上的第三端子的數(shù)目為2。
8.如權(quán)利要求1至7中任一項(xiàng)所述的太陽(yáng)能電池板檢查裝置，其特征在于，所述一個(gè)以上的第三端子各個(gè)都是配置成大致矩形狀的帶狀導(dǎo)電部件。
9.一種太陽(yáng)能電池板檢查方法，用來(lái)對(duì)太陽(yáng)能電池板的外周絕緣區(qū)域進(jìn)行絕緣性能的檢查；所述太陽(yáng)能電池板包括具有主表面的透明絕緣基板以及在所述透明絕緣基板的所述主表面上依次層疊的透明電極層、半導(dǎo)體光電轉(zhuǎn)換層及背面電極層，并且在所述透明絕緣基板的外周附近具有露出所述透明絕緣基板的所述主表面的所述外周絕緣區(qū)域，該太陽(yáng)能電池板檢查方法的特征在于，利用具有用來(lái)與所述透明電極層或所述背面電極層抵接的第一端子、用來(lái)與所述外周絕緣區(qū)域的外周端附近抵接的第二端子、以及用來(lái)在所述第一端子與所述第二端子之間與所述外周絕緣區(qū)域抵接的一個(gè)以上的第三端子的裝置，該檢查方法包括將所述第一端子與所述透明電極層或所述背面電極層抵接的工序， 將所述第二端子與所述外周端附近抵接的工序，將從所述一個(gè)以上的第三端子中選擇的一個(gè)以上的第三端子與所述外周絕緣抵接的工序，在從所述第一端子、所述第二端子及所述一個(gè)以上的第三端子中選擇的兩個(gè)端子之間施加電壓的工序，以及檢測(cè)在施加了電壓的所述兩個(gè)端子之間流過(guò)的電流的工序。
10.如權(quán)利要求9所述的太陽(yáng)能電池板檢查方法，其特征在于，將所述第二端子抵接的工序是將所述第二端子從側(cè)面與所述外周絕緣區(qū)域的外周端抵接的工序。
11.如權(quán)利要求9或10所述的太陽(yáng)能電池板檢查方法，其特征在于，包括在檢測(cè)所述電流的工序之后，將檢測(cè)出的電流值與預(yù)先保持的基準(zhǔn)值進(jìn)行比較，根據(jù)其結(jié)果判斷是否繼續(xù)對(duì)所述兩個(gè)端子施加電壓的判斷工序。
12.如權(quán)利要求11所述的太陽(yáng)能電池板檢查方法，其特征在于，包括在根據(jù)所述判斷工序的判斷結(jié)果決定繼續(xù)施加電壓的情況下，所述電壓施加部施加比上一次更高的電壓的施加電壓工序。
13.如權(quán)利要求9至12中任一項(xiàng)所述的太陽(yáng)能電池板檢查方法，其特征在于，包括在施加所述電壓的工序前，將在所述兩個(gè)端子之間與所述外周絕緣區(qū)域抵接的端子設(shè)置為與所述外周絕緣區(qū)域不抵接的狀態(tài)的端子排除工序。
14.如權(quán)利要求9至13中任一項(xiàng)所述的太陽(yáng)能電池板檢查方法，其特征在于，所述一個(gè)以上的第三端子的數(shù)目為2。
15.如權(quán)利要求9至14中任一項(xiàng)所述的太陽(yáng)能電池板檢查方法，其特征在于，所述一個(gè)以上的第三端子各個(gè)都是配置成大致矩形的帶狀導(dǎo)電性部件。
16.一種太陽(yáng)能電池板的制造方法，其特征在于，包括兩個(gè)工序，即準(zhǔn)備光電轉(zhuǎn)換元件的第一工序，該光電轉(zhuǎn)換元件包括具有主表面的透明絕緣基板以及在所述透明絕緣基板的所述主表面上依次層疊的透明電極層、半導(dǎo)體光電轉(zhuǎn)換層及背面電極層，并且在所述透明絕緣基板的外周附近具有露出所述透明絕緣基板的所述主表面的外周絕緣區(qū)域；以及通過(guò)權(quán)利要求1至8中任一項(xiàng)所述的太陽(yáng)能電池板檢查裝置對(duì)所述光電轉(zhuǎn)換元件進(jìn)行檢查的第二工序。
17.一種太陽(yáng)能電池板的制造方法，其特征在于，包括如下兩個(gè)工序，即準(zhǔn)備光電轉(zhuǎn)換元件的第一工序，該光電轉(zhuǎn)換元件包括具有主表面的透明絕緣基板以及在所述透明絕緣基板的所述主表面上依次層疊的透明電極層、半導(dǎo)體光電轉(zhuǎn)換層及背面電極層，并且在所述透明絕緣基板的外周附近具有露出所述透明絕緣基板的所述主表面的外周絕緣區(qū)域；以及對(duì)所述光電轉(zhuǎn)換元件進(jìn)行如權(quán)利要求9至15中任一項(xiàng)所述的太陽(yáng)能電池板檢查方法的第二工序。
全文摘要
本發(fā)明提供一種太陽(yáng)能電池板檢查裝置、太陽(yáng)能電池板檢查方法及太陽(yáng)能電池板的制造方法。太陽(yáng)能電池板檢查裝置是用來(lái)對(duì)太陽(yáng)能電池板(100)的外周絕緣區(qū)域(21)進(jìn)行絕緣性能檢查的裝置，該太陽(yáng)能電池板包括具有主表面(2u)的透明絕緣基板(2)以及依次層疊的透明電極層(3)、半導(dǎo)體光電轉(zhuǎn)換層(4)及背面電極層(5)，并且具有露出主表面(2u)的外周絕緣區(qū)域(21)；該太陽(yáng)能電池板檢查裝置具有用來(lái)與背面電極層(5)抵接的第一端子(31)、用來(lái)與外周絕緣區(qū)域(21)的外周端附近抵接的第二端子(32)、用來(lái)在第一端子(31)與第二端子(32)之間與外周絕緣區(qū)域(21)抵接的一個(gè)以上的第三端子(33，33a，33b，33c)、用來(lái)在從這些端子中選擇的兩個(gè)端子之間分別施加電壓的電壓施加部(34)、以及檢測(cè)在施加了電壓的所述兩個(gè)端子之間流過(guò)的電流的電流檢測(cè)部(35)。
文檔編號(hào)H01L31/04GK102460723SQ20108002653
公開(kāi)日2012年5月16日 申請(qǐng)日期2010年4月12日 優(yōu)先權(quán)日2009年4月15日
發(fā)明者清水彰, 立花伸介 申請(qǐng)人:夏普株式會(huì)社