專利名稱：晶圓檢測裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種對容納于用于容納多張晶圓的晶圓容納容器內(nèi)的該晶圓的容納狀態(tài)進行檢測的晶圓檢測裝置。
背景技術(shù)：
一直以來，使用有一種晶圓容納容器，該晶圓容納容器將多張晶圓容納于位于晶圓容納容器內(nèi)的插槽中，并能夠通過晶圓容納容器的前部的開口使該所容納的晶圓出入于晶圓容納容器。這種晶圓容納容器利用機器人等進行輸送，載置于用于對晶圓容納容器的蓋進行開閉的開閉裝置(以下，稱作載埠)。該載埠例如是安裝在用于對晶圓實施規(guī)定的處理的晶圓處理裝置等上的附加的裝置。但是，晶圓的容納于上述晶圓容納容器內(nèi)的容納狀態(tài)具有以下三種異常狀態(tài)。第一，具有存在有未容納有晶圓的插槽的遺漏狀態(tài)。另外，第二，具有在一個插槽內(nèi)重疊容納有多張晶圓的多張晶圓重疊狀態(tài)。另外，第三，具有晶圓以傾斜狀容納于在左右方向上高低不等的插槽內(nèi)的所謂的錯槽(cross slot)狀態(tài)。在機器人取出上述三個狀態(tài)的晶圓的情況下，若不能夠掌握晶圓的容納狀態(tài)，則機器人不能夠取出晶圓。因此，以往，已經(jīng)提出了一種具有用于檢測晶圓的容納狀態(tài)的晶圓檢測裝置的技術(shù)(例如，參照專利文獻1、2)。專利文獻1的晶圓檢測裝置是透光型的裝置，在晶圓的左右方向的一側(cè)配置光照射用的發(fā)射器，在晶圓的左右方向的另一側(cè)配置用于接收從發(fā)射器照射的光的接收器。因而，從發(fā)射器到達接收器的光被晶圓遮擋時，通過檢測其被遮擋的上下方向的寬度，除了多張重疊狀態(tài)以外還能夠確認錯槽狀態(tài)。另外，在存在有完全未被遮擋的區(qū)域的情況下，能夠確認晶圓的遺漏狀態(tài)。但是，晶圓有時因半導體制造時的熱處理或自重而彎曲或翹曲。當利用專利文獻 1的透光型的檢測裝置檢測如此變形的晶圓時，被遮擋的上下方向的寬度增大，有時不管晶圓是否為一張均誤檢測為上述多張重疊狀態(tài)。另外，晶圓越大(例如300mm 450mm)，上述誤檢測越增多。因此，為了能夠高精度地檢測上述變形的晶圓，作為不是檢測如上所述的透過光而是檢測照射到晶圓的端面上并反射回來的反射光的檢測裝置，提出了專利文獻2的透光型的檢測裝置。該檢測裝置在檢測頭內(nèi)的上部具有照明光源，在下部具有攝像裝置。因而， 來自照明光源的光照射到晶圓的端面，利用攝像裝置拍攝來自該端面的反射光，從而即使在上述晶圓上產(chǎn)生了彎曲或翹曲，除了上述晶圓的遺漏狀態(tài)、多張重疊狀態(tài)以外，還能夠可靠地檢測出錯槽狀態(tài)，但是存在有如下三種不良情況。專利文獻1 日本國特表2002-527897號公報專利文獻2 日本國特開2003-282675號公報基于圖11 圖13說明這些不良情況。
作為第1種不良情況，如圖11所示，在檢測頭K內(nèi)，照明裝置100位于攝像裝置 101的上方，因此從照明裝置100起始的光軸IOOa成為朝向斜下方的狀態(tài)。此時，偏離照明裝置100的光軸的光IOOb照射到晶圓容納容器的內(nèi)壁面102而被該內(nèi)壁面102反射，其反射的光IOlc與來自晶圓W的端面的反射光IOld —起入射到攝像裝置101。其結(jié)果，不能夠檢測出晶圓W的端面的圖像。另外，在上述攝像裝置101的前方配置有投影透鏡101A。另外，作為第2種不良情況，如圖12所示，例如在重疊的兩張晶圓W1、W2中的上側(cè)的晶圓Wl因打開晶圓容納容器的蓋(未圖示)時的振動等而相對于下側(cè)的晶圓W2進一步向前側(cè)(蓋側(cè))移動的狀態(tài)下，能夠使來自照明裝置100的光照射到上側(cè)的晶圓Wl的端面 Tl，但是由于上側(cè)的晶圓Wl的前側(cè)部分遮擋而不能夠使來自照明裝置100的光照射到下側(cè)的晶圓W2的端面T2。其結(jié)果，不能夠檢測出多張重疊狀態(tài)。另外，作為第3種不良情況，如圖13所示，由于位于檢測頭K內(nèi)的照明光源(未圖示)是從晶圓W的正面向XA方向照射光的結(jié)構(gòu)，因此不能夠從晶圓W的左右兩側(cè)的XB方向及)(C方向照射光。因此，利用位于檢測頭K內(nèi)的攝像裝置(未圖示)所能夠拍攝的范圍是晶圓W的左右方向中央部附近的狹窄的范圍，因此易于受到晶圓W的局部污損等的影響， 而且難以檢測出錯槽狀態(tài)。另外，雖然也能夠在圖13的左右方向上移動照明光源與攝像裝置并沿左右方向在多個位置拍攝晶圓，以能夠可靠地檢測出錯槽狀態(tài)，但是這樣做不僅使裝置整體的結(jié)構(gòu)變復雜，檢測時間也延長，難以實施。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明是鑒于該情況而做成的，其要解決的問題在于提供一種能夠準確地檢測晶圓的容納狀態(tài)的晶圓檢測裝置。S卩，為了解決上述問題，本發(fā)明的晶圓檢測裝置用于檢測晶圓容納容器內(nèi)的晶圓的容納狀態(tài)，該晶圓容納容器能夠沿上下方向?qū)盈B容納多張晶圓，能夠從前方使所容納的晶圓出入該晶圓容納容器，其特征在于，該晶圓檢測裝置具有在上下方向上較長的縱長狀的照明裝置，其用于對上述晶圓容納容器內(nèi)的晶圓進行光照射；攝像裝置，來自該照明裝置的光照射到晶圓而被該晶圓反射，其反射光入射到該攝像裝置；上述攝像裝置配置在上述晶圓容納容器的前側(cè)，上述照明裝置配置在上述攝像裝置的左右兩側(cè)中的至少一側(cè)。采用上述結(jié)構(gòu)，通過將照明裝置配置在攝像裝置的左右兩側(cè)中的至少一側(cè)，將攝像裝置配置在上述晶圓容納容器的前側(cè)，使照明裝置的光軸與攝像裝置的光軸不處于同一方向上，因此在來自照明裝置的光照射到晶圓容納容器的內(nèi)壁面而被內(nèi)壁面反射時，能夠避免來自內(nèi)壁面的反射光與照射到晶圓的端面而反射回來的光一起入射到攝像裝置的情況。即，能夠消除圖11的不良情況。而且，由于照明裝置呈在上下方向上較長的縱長狀，因此在上下方向上能夠跨越規(guī)定范圍照射光。由此，即使在重疊的兩張晶圓中的上側(cè)的晶圓向前側(cè)(蓋側(cè))移動的狀態(tài)下，也能夠使光從上下照射到這兩張晶圓，因此能夠使來自照明裝置的光可靠地照射到重疊的上側(cè)的晶圓的端面及下側(cè)的晶圓的端面這兩個面。其結(jié)果，能夠可靠地檢測出晶圓的多張重疊狀態(tài)。即，能夠消除圖12的不良情況。而且，利用配置在攝像裝置的左右兩側(cè)中的至少一側(cè)的照明裝置，向晶圓的左右兩側(cè)中的至少一側(cè)的端面照射光，利用攝像裝置拍攝晶圓的兩側(cè)中的至少一側(cè)的端面。通過如此設置，如果是錯槽狀態(tài)，就成為與左右中央部的在水平方向上的傾斜的情況相比，左右兩側(cè)的在水平方向上的傾斜大不相同的晶圓的圖像，因此利用左右兩側(cè)中的至少一側(cè)的晶圓的圖像能夠可靠地檢測出錯槽狀態(tài)。即，能夠消除圖13的不良情況。進而，通過使用反射型的晶圓檢測裝置，即使對于晶圓的彎曲或翹曲，也不會產(chǎn)生任何不良情況，并能夠檢測晶圓。上述照明裝置照射晶圓的范圍既可以是在上下方向上照射所有的晶圓的端面的結(jié)構(gòu)，也可以設定為能夠至少使光可靠地照射到重疊的兩張晶圓的端面，以能夠可靠地檢測出晶圓的多張重疊狀態(tài)的范圍。另外，照射一部分晶圓的端面的結(jié)構(gòu)優(yōu)選為照明裝置與攝像裝置一體進行升降同時進行攝像的結(jié)構(gòu)。另外，攝像裝置優(yōu)選配置在相對于晶圓容納容器為正面的位置，但是只要在兩側(cè)的照明裝置之間，也可以未必是正面。即，只要在晶圓容納容器的前側(cè)，就可以是任意位置。采用本發(fā)明，能夠提供一種通過具有配置在晶圓容納容器的前側(cè)的攝像裝置和配置在攝像裝置的左右兩側(cè)中的至少一側(cè)的縱長狀的照明裝置進而能夠準確地檢測出晶圓的容納狀態(tài)的晶圓檢測裝置。


圖1是用于檢測載置在載埠上的晶圓容納容器內(nèi)的晶圓的檢測裝置的側(cè)視圖。圖2是用于檢測載置在載埠上的晶圓容納容器內(nèi)的晶圓的檢測裝置的俯視圖。圖3表示照明裝置，圖3的(a)是照明裝置的側(cè)視圖，圖3的(b)是照明裝置的俯視圖。圖4是表示攝像裝置的在上下方向上的攝像范圍的說明圖。圖5的(a)是表示晶圓的容納狀態(tài)為正常狀態(tài)的主視圖，圖5的(b)是表示拍攝圖5的(a)而獲得的圖像的圖。圖6的(a)是表示晶圓的多張重疊狀態(tài)的主視圖，圖6的(b)是表示拍攝圖6的 (a)而獲得的圖像的圖。圖7的(a)是表示晶圓的錯槽狀態(tài)的主視圖，圖7的(b)是表示拍攝圖7的(a) 而獲得的圖像的圖。圖8是拍攝方形的晶圓容納容器內(nèi)的晶圓時的俯視圖。圖9是拍攝圓形的晶圓容納容器內(nèi)的晶圓時的俯視圖。圖10是以兩張重疊的晶圓中的上側(cè)的晶圓比下側(cè)的晶圓向前方移動的狀態(tài)拍攝時的側(cè)視圖。圖11是表示在以往的晶圓檢測裝置中被晶圓容納容器的內(nèi)壁面反射的光與來自晶圓端面的反射光一起入射到攝像裝置的狀態(tài)的側(cè)視圖。圖12是表示在以往的晶圓檢測裝置中以上側(cè)的晶圓比下側(cè)的晶圓向前方錯位了位置的狀態(tài)拍攝的狀態(tài)的側(cè)視圖。圖13是表示在以往的晶圓檢測裝置中從正面拍攝晶圓的狀態(tài)的俯視圖。
具體實施例方式圖1及圖2示出了本實施方式的晶圓檢測裝置。該晶圓檢測裝置具有照明裝置3、3和攝像裝置4，該照明裝置3、3配置在用于載置晶圓容納容器1的載埠2的左右兩側(cè)，該晶圓容納容器1用于容納晶圓W ；來自照明裝置3、3的光照射到晶圓W的端面，從端面反射來的反射光入射到該攝像裝置4，該攝像裝置4用于拍攝該端面。這樣，通過使用反射型的晶圓檢測裝置，即使對于晶圓的彎曲或翹曲，也不會產(chǎn)生任何不良情況，并能夠檢測到晶圓。上述晶圓容納容器1具有前方敞開的殼體11、用于沿上下方向隔開規(guī)定間隔地在該殼體11內(nèi)層疊容納晶圓W的多個插槽12 (參照圖5的(a))、和用于關(guān)閉供晶圓W從上述殼體11的前方出入的開口部的蓋13。上述殼體11及蓋13的一部分或全部由透明或半透明的材料構(gòu)成，以能夠透視內(nèi)部的晶圓W，但是也可以由不能透視的材料構(gòu)成。上述載埠2具有用于載置上述晶圓容納容器1的載置臺21和用于對上述蓋13進行開閉操作的開閉部22。上述輸送機器人5構(gòu)成為在取出上述晶圓容納容器1內(nèi)的晶圓W并在未圖示的制造裝置內(nèi)對晶圓W進行了處理之后能夠?qū)⒕AW送回到該晶圓容納容器1內(nèi)。具體而言， 輸送機器人5具有用于抓住晶圓W的手部51、用于使該手部51向前后方向移動的伸縮臂 52、53、和用于使手部51及伸縮臂52、53升降的升降軸M。而且，在手部51的基端部的上表面安裝有上述攝像裝置4，能夠利用升降軸M對攝像裝置4進行升降操作。另外，上述攝像裝置4與圖像處理部6相連接，對由攝像裝置4獲取的圖像進行處理，例如如圖5的(b) 所示，制作晶圓W的左右兩側(cè)的圖像。如圖3的(a)、圖3的(b)所示，上述各個照明裝置3具有縱長狀的外殼31和配置在該外殼31內(nèi)的許多紅外LED元件32，該外殼31具有跨越晶圓容納容器1的上下方向整個區(qū)域的長度。而且，左右的照明裝置3、3借助未圖示的安裝構(gòu)件分別安裝在上述載埠2 的左右兩側(cè)，但是也可以獨立地設置。上述許多紅外LED元件32共由60個紅外LED元件 32構(gòu)成，在縱橫方向上呈格子狀配置這60個紅外LED元件32。在上述外殼31的前表面安裝有光擴散板33，照明裝置3構(gòu)成為能夠跨越晶圓容納容器1的上下方向整個區(qū)域毫無遺漏地照射光且具有縱長形狀的擴散光源。返回圖1及圖2，上述攝像裝置4具有C⑶相機41、一體形成在C⑶相機41的前端的透鏡42、和安裝在透鏡42的整個面上的濾光器43。濾光器43具有透過上述紅外LED 元件的發(fā)光波長、阻隔(cut)可見光的特性，由此能夠遮擋或減弱從上述殼體11射入的干擾光(設置在無塵室內(nèi)的熒光燈的照明光等)，使干擾光不會給來自晶圓端面的反射光檢測造成障礙。說明使用如上構(gòu)成的晶圓檢測裝置檢測晶圓容納容器1內(nèi)的晶圓W的容納狀態(tài)的過程。首先，載埠2的開閉部22打開蓋13，之后在保持蓋13的狀態(tài)下使開閉部22向下方下降(參照圖1)。由此，輸送機器人5能夠進出晶圓容納容器1內(nèi)。在成為如上所述輸送機器人5能夠進出的狀態(tài)之后，開始進行檢測內(nèi)部的晶圓W 的容納狀態(tài)的作業(yè)。首先，向左右兩側(cè)的照明裝置3、3通電并向晶圓W的左右兩側(cè)照射照明裝置3、3的光。接著，使攝像裝置4例如從位于最上部的晶圓W向位于最下方的晶圓W 下降規(guī)定距離，對能夠攝像的規(guī)定范圍內(nèi)的晶圓W進行拍攝。在該情況下，也可以對每張晶圓W逐一拍攝，但是考慮到拍攝效率也可以如圖4所示設定攝像裝置4的攝像范圍S以能夠拍攝多張(例如三張)晶圓W。
然后，借助于上述攝像裝置4完成所有晶圓W的攝像后，或者在完成每次攝像后， 利用上述圖像處理部6進行圖像處理且晶圓容納容器1內(nèi)的晶圓W的容納狀態(tài)的檢測結(jié)
束ο圖5 圖7中示出了上述晶圓W的容納狀態(tài)的檢測結(jié)果。在圖5的(b)中，如圖5的(a)所示，示出了晶圓W的容納狀態(tài)正常的情況下的拍攝圖像，各個晶圓W的僅左右兩側(cè)的端面的圖像顯示于顯示畫面H。在圖6的(b)中，如圖6的(a)所示，示出了在第3層的插槽12中沒有晶圓W、在第2層的插槽12中重疊配置有兩張晶圓W、W的狀態(tài)(多張重疊狀態(tài))的拍攝圖像G1，各個晶圓W的僅左右兩側(cè)的端面的圖像顯示于顯示畫面H。這是因為，通過將照明裝置設為在上下方向上較長的縱長狀，能夠針對晶圓W、W照射來自上方的光及來自下方的光，因此能夠可靠地檢測出多張重疊狀態(tài)，能夠顯示拍攝圖像G1。在圖7的(b)中，如圖7的(a)所示，示出了成為預定載置在第2層的插槽12中的晶圓W的右側(cè)端部載置在第3層的插槽12中的、所謂的錯槽狀態(tài)的拍攝圖像G2，各個晶圓W的僅左右兩側(cè)的端面的圖像顯示于顯示畫面H。這是因為，通過取得晶圓的左右兩端的圖像，在上下方向上成為了在兩側(cè)上下方向的位置(或者水平方向上的傾斜)大不相同的晶圓的圖像，因此能夠可靠地檢測出錯槽狀態(tài)，能夠顯示拍攝圖像G2。如上所述將照明裝置3、3分別配置在載埠2的左右兩側(cè)，使光從大致60度(可以是任意角度)的傾斜方向照射到載埠2的前表面，從而例如在圖8的晶圓容納容器1的殼體11為方形的情況下，具有如下優(yōu)點。即，當從照明裝置3、3照射光時，照射光的一部分未到達晶圓W而到達殼體11的壁面IlA并被壁面IlA反射，但是其反射光不會入射到未與殼體11的壁面IlA相對的攝像裝置4。其結(jié)果，不會出現(xiàn)所說的不能夠拍攝晶圓W的情況，具有能夠可靠地拍攝晶圓W的優(yōu)點。另外，在圖8的殼體11具有曲面形狀的情況下，如圖9所示，來自一個(圖中的下側(cè)的)照明裝置3的光在曲面的A點反射，其反射光Al與從另一個(圖中的上側(cè)的)照明裝置3照射而在晶圓W的端面B點反射的光線Bl重疊并入射到攝像裝置4，不能夠顯示準確的晶圓W的圖像。在該情況下，只要交替點亮兩個照明裝置3、3并進行兩次攝像，就不會產(chǎn)生兩束光Al、Bl重疊并入射到攝像裝置4的情況而能夠可靠地拍攝晶圓W。另外，通過在照明裝置3、3中使用LED等響應速度較快的元件，能夠?qū)⒂蛇M行兩次攝像引起的處理時間的增大抑制得較小。而且，在圖10中，示出了晶圓W上下重疊、而且上側(cè)的晶圓W 1相對于下側(cè)的晶圓 W2向前方側(cè)錯位了位置的情況。而且是該兩個晶圓重疊的狀態(tài)在上下方向上連續(xù)(在圖 10中，在上下方向上連續(xù)有三處)的情況。即使在該情況下，通過使用本實施方式的晶圓檢測裝置，也能夠利用照明裝置3的來自上側(cè)的光或來自下側(cè)的光可靠地照射圖10中在三處重疊的晶圓W、W的所有端面，因此即使在所有的位置存在有像圖10那樣的兩張重疊的晶圓Wl、W2，也能夠利用攝像裝置4可靠地拍攝該所有的晶圓Wl、W2的端面。在圖10中，攝像裝置4的視場角成為能夠拍攝實線所示的在兩處重疊的晶圓Wl、W2和晶圓Wl、W2的端面的角度。因而，在拍攝實線所示的在兩個位置重疊的晶圓W1、W2和晶圓W1、W2的端面之后，使攝像裝置4升降(實際上下降)至使虛線所示的晶圓Wl、W2進入攝像裝置4的視場角中的高度來拍攝虛線所示的晶圓W1、W2。這樣，通過在一次攝像中，限定所拍攝的范圍并進行多次檢測，從而具有防止例如在一次攝像中拍攝所有的晶圓的情況下使晶圓的高度位置檢測產(chǎn)生誤差的效果。另外，本發(fā)明并不限定于上述實施方式，在不脫離本發(fā)明的主旨的范圍內(nèi)能夠?qū)嵤└鞣N變更。在上述實施方式中，在照明裝置3中使用了紅外LED元件32，但是也可以使用白熾燈等用于照射近紅外線的各種光源。另外，也可以是上下較長的熒光燈等。另外，通過在照明裝置3中使用紅外LED元件32，并且在攝像裝置4上安裝用于遮擋可見光線的濾光器 43，謀求了使進入晶圓容納容器1內(nèi)的干擾光的影響減小。由此，在半導體工廠的無塵室內(nèi)使用的作為室內(nèi)照明的熒光燈的光，能夠被減少至對攝像大致不構(gòu)成問題的水平，但是當存在有太陽光等包括近紅外線的干擾光時，有時利用濾光器43不能夠去除干擾光。在該情況下，也可以隔著晶圓容納容器1在與攝像裝置4相反的一側(cè)設置用于遮擋干擾光的遮光板。另外，也能夠具有用于根據(jù)需要使該遮光板升降的升降結(jié)構(gòu)來進行實施。即，也可以設為在沒有晶圓容納容器1時，利用升降機構(gòu)使遮光板升降以能夠?qū)⒄诠獍迦菁{于載置臺21 內(nèi)，在晶圓容納容器1移載到載置臺21上并利用攝像裝置4開始攝像之前，利用升降機構(gòu)使遮光板從載置臺21向上方突出以能夠遮擋干擾光。作為上述遮光板的材料，能夠使用非透明的金屬板、樹脂板等，但是只要使用讓能夠被濾光器43遮擋的可見光線透過、并對透過了濾光器43的近紅外光線進行遮擋的材料，就能夠不受到干擾光的影響地從外部通過遮光板目視確認載埠2或晶圓容納容器1內(nèi)的晶圓W。另外，在上述實施方式中，將照明裝置3構(gòu)成為了跨越晶圓容納容器1的上下方向整個區(qū)域進行照射的縱長狀，但是也可以設為僅向晶圓容納容器1的上下方向的規(guī)定區(qū)域照射光的照明裝置。在該情況下，設置與攝像裝置4的升降同步地使照明裝置升降的升降機構(gòu)來進行實施。另外，在上述實施方式中，左右具有兩個照明裝置3、3，通過拍攝晶圓W的左右兩個位置的端面的圖像，能夠提高晶圓W的容納狀態(tài)的檢測的可靠性，但是根據(jù)情況，也可以僅在左右任意一側(cè)配置照明裝置來進行攝像。在該情況下，例如通過僅拍攝圖7的(b)的右側(cè)，由于能夠檢測出晶圓W的傾斜，因此能夠判斷為錯槽狀態(tài)。另外，為了進一步提高晶圓W的容納狀態(tài)的檢測的可靠性，也可以具有三個以上的照明裝置。在該情況下，當照明裝置妨礙晶圓W的取出時，設置用于使照明裝置移動到不妨礙晶圓取出的位置的移動機構(gòu)來進行實施。另外，在利用吊裝行走式的輸送裝置等從載埠2的上方移載晶圓容納容器1的情況下，不必將上述遮光板容納在載置臺21上。另外，在上述實施方式中，將攝像裝置4安裝在了輸送機器人5上，但是也可以將攝像裝置4設置在與輸送機器人5不同的升降機構(gòu)上來進行實施。另外，在上述實施方式中，設置了一個攝像裝置4，但是也可以設置多個攝像裝置。另外，在上述實施方式中，示出了水平設置攝像裝置4的光軸的情況，但是也可以設定為使光軸朝下或朝上。若如此設定，則即使未能被濾光器43充分遮擋的較強的干擾光通過殼體11進行入射，也不會出現(xiàn)晶圓端部的反射光與干擾光重疊并入射到攝像裝置4的情況，因此能夠進一步提高晶圓檢測的可靠性。另外，朝下的角度的范圍或朝上的角度的范圍設定為在上述晶圓向前方側(cè)錯位了位置時不會無法檢測出下側(cè)的晶圓端面的程度的范圍。
附圖標記說明1、晶圓容納容器；2、載埠；3、照明裝置；4、攝像裝置；5、輸送機器人；6、圖像處理部；11、殼體；12、插槽；13、蓋；21、載置臺；22、開閉部；31、外殼；32、紅外LED元件；33、光擴散板；41、相機；42、透鏡；43、濾光器；51、手部力2、53、伸縮臂；54、升降軸；W、晶圓。
權(quán)利要求
1. 一種晶圓檢測裝置，其用于檢測晶圓容納容器內(nèi)的晶圓的容納狀態(tài)，該晶圓容納容器能夠沿上下方向?qū)盈B容納多張晶圓，并能夠從前方使所容納的晶圓出入該晶圓容納容器，其特征在于，該晶圓檢測裝置具有在上下方向上較長的縱長狀的照明裝置，其用于對上述晶圓容納容器內(nèi)的晶圓進行光照射；攝像裝置，來自該照明裝置的光照射到晶圓并被該晶圓反射，其反射光入射到該攝像裝置；上述攝像裝置配置在上述晶圓容納容器的前側(cè)，上述照明裝置配置在上述攝像裝置的左右兩側(cè)中的至少一側(cè)。
全文摘要
本發(fā)明提供一種能夠準確地檢測出晶圓的容納狀態(tài)的晶圓檢測裝置。該晶圓檢測裝置用于檢測晶圓容納容器(1)內(nèi)的晶圓的容納狀態(tài)，該晶圓容納容器(1)能夠沿上下方向?qū)盈B容納多張晶圓(W)，能夠從前方使所容納的晶圓出入該晶圓容納容器(1)，其中，該晶圓檢測裝置具有在上下方向上較長的縱長狀的照明裝置(3)，其用于對上述晶圓容納容器(1)內(nèi)的晶圓進行光照射；攝像裝置(4)，來自該照明裝置(3)的光照射到晶圓(W)而被晶圓(W)反射，其反射光入射到該攝像裝置(4)；上述攝像裝置(4)配置在上述晶圓容納容器(1)的前側(cè)，上述照明裝置(3)配置在上述攝像裝置(4)的左右兩側(cè)中的至少一側(cè)。
文檔編號H01L21/67GK102576687SQ201080045740
公開日2012年7月11日 申請日期2010年11月15日 優(yōu)先權(quán)日2009年11月17日
發(fā)明者安田克己, 溝河巧, 神垣敏雄 申請人:昕芙旎雅有限公司