專利名稱：發(fā)光裝置的制造方法
技術領域：
本發(fā)明涉及發(fā)光裝置的制造方法。
背景技術：
在顯示裝置中，雖然有液晶顯示裝置和等離子體顯示裝置等各種的顯示裝置，但其中之一是作為像素的光源使用了有機EL (ElectroLuminescence電致發(fā)光)元件的顯示 裝置。就有機EL元件而言，在顯示裝置中基板上被排列地配置。在基板上，用于劃分有機EL元件的多個隔壁呈條紋狀配置。換言之，在基板上，多個隔壁所對應的多個凹部被設置成條紋狀。多個有機EL元件被分別設置在多個凹部、且在各凹部中以沿著凹部延長的方向(以下，將“凹部的延長方向”稱為行方向，與該行方向垂直的方向例如稱為列方向。)空出規(guī)定的間隔的方式被配置。在彩色顯示裝置中，為了表現(xiàn)期望的顔色，設置有發(fā)出紅色、緑色和藍色之中任意一種光的3種有機EL元件。例如，使發(fā)出紅色、緑色或藍色的多個有機EL元件配置于各凹部的以下的(I) (III)這3行反復、且以該順序沿列方向配置，由此實現(xiàn)彩色顯示裝置。(I)發(fā)出紅色光的多個有機EL元件空出規(guī)定的間隔所配置的行。(II)發(fā)出綠色光的多個有機EL元件空出規(guī)定的間隔所配置的行。(III)發(fā)出藍色光的多個有機EL元件空出規(guī)定的間隔所配置的行。有機EL元件其構成為，包括一對電極、和在該電極間所設置的多個有機層。在有機EL元件中，作為多個有機層而至少設置有ー層發(fā)光層。就上述3種有機EL元件而言，能夠根據(jù)元件種類形成發(fā)出紅色、緑色和藍色的任意一種光的發(fā)光層而得以制作。這時，需要根據(jù)有機EL元件的種類，在規(guī)定的行(凹部)形成發(fā)出規(guī)定的顏色的發(fā)光層。例如形成發(fā)出紅色光的發(fā)光層時，將含有構成發(fā)出紅色光的發(fā)光層的材料的墨水，供給到應該形成該發(fā)光層的行(凹部)，再使之固化，由此能夠形成發(fā)出紅色光的發(fā)光層。發(fā)出藍色或緑色光的發(fā)光層的形成方法也一祥。如此將3種發(fā)光層分別形成于規(guī)定的行(凹部)時，需要對應各種發(fā)光層被形成的行(凹部)，分別噴涂各種墨水。另ー方面，就對發(fā)光色不怎么造成影響的層、例如空穴注入層和空穴傳輸層等而言，與有機EL元件的發(fā)光色無關，能夠作為全部3種有機EL元件通用的層(以下稱為通用層。)進行設置。形成這樣的通用層時，不需要根據(jù)規(guī)定的行(凹部)分別噴涂含有構成通用層的材料的墨水。因此通過如旋涂法這樣在基板的整個面涂布墨水，也能夠使全部的有機EL元件的通用層一次形成(例如參照專利文獻I)。先行技術文獻專利文獻專利文獻I :特開2009-54522號公報若在形成通用層時在基板整個面涂布墨水，則墨水不僅會涂布在隔壁間(凹部)，而且會被涂布到隔壁上。隔壁上所涂布的墨水隨著干燥其大部分流入凹部，但其一部分也會殘留在隔壁上。因此在未計劃形成的隔壁上也會形成通用層。若通用層被形成到未計劃的部位，則在隔壁間(凹部)所形成的通用層的膜厚比所計劃的膜厚薄，另外由于在隔壁上所形成的通用層，導致在未計劃的部位發(fā)生電導通，而使泄漏電流產(chǎn)生這樣的問題存在。因此為了解決上述問題，替代在基板整個面涂布墨水的方法，利用噴嘴涂布法，只向相鄰的隔壁間(凹部)供給墨水，只在隔壁間(凹部)形成通用層，但對該方法的研究結果確認到在這一方法中產(chǎn)生以下的問題。在噴嘴涂布法中，按所謂的ー筆畫方式向全部的行(凹部)供給墨水。即從基板的上方所配置的噴嘴吐出液柱狀的墨水，在此狀態(tài)下，一邊使噴嘴沿著行方向來回移動，ー邊在噴嘴來回移動的折返時，使基板沿列方向移動一行的量，由此向全部的行(凹部)供給墨水。噴嘴不僅在形成有機EL元件的區(qū)域、而且至超過該區(qū)域之處為止沿行方向來回移動。隔壁在有機EL元件形成的區(qū)域被設置、但在超過該區(qū)域之處未被設置，因此經(jīng)由噴嘴涂布 法就會使墨水涂布至隔壁未被設置的區(qū)域。在隔壁設置的區(qū)域所涂布的墨水，其移動受凹部限制，但在未設隔壁的區(qū)域所涂布的墨水、即涂布于行方向的端部的墨水，因為無法限制其移動，所以在基板上潤濕擴展而與相鄰行的墨水相連，進而在列方向相連。供給到隔壁間(凹部)的墨水，在干燥時被在列方向相連的墨水所吸引，會一部分移動。作為其結果，在行方向的端部所形成的有機EL元件的通用層的膜厚比其他的有機EL元件的通用層薄。另外，就墨水而言，是在相鄰行不溢出的程度，但因為大量供給，所以供給到規(guī)定的行的墨水與供給到相鄰行的墨水會在隔壁上連接，作為結果就在隔壁上形成通用層。這種情況下，會產(chǎn)生與全面涂布墨水的情況相同的問題。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明的目的在于，提供一種具備多個有機EL元件的發(fā)光裝置的制造方法，其中，使用液柱狀涂布墨水的方法，能夠遍及多個有機EL元件而形成膜厚相等的通用層。本發(fā)明涉及具有多個有機EL元件的發(fā)光裝置的制造方法。在本發(fā)明的制造方法中，在平面上沿規(guī)定的列方向空出規(guī)定的間隔，設置有與所述列方向的方向不同的行方向上延長的多個行，且所述多個有機EL元件在各所述行上沿所述行方向空出規(guī)定的間隔而被設置。所述多個有機EL元件其構成是分別包括一對電極、和在該電極間所設置且在各有機EL元件共通設置的通用層，在不同行所形成的所述有機EL元件的所述通用層的膜厚相
坐寸ο所述具有多個有機EL元件的發(fā)光裝置的制造方法包括如下エ序將ー對電極之中的一方電極形成的エ序；將一對電極之中的另一方電極形成的エ序；ー邊將含有構成通用層的材料的液柱狀的墨水供給到所述規(guī)定的行上，一邊使墨水的供給位置沿所述行方向移動，由此涂布成膜規(guī)定的行的通用層，形成所述通用層的エ序。在形成所述通用層的エ序中，對于未形成通用層的行，將在所述列方向空出m行(標記“m”表示自然數(shù)。)的間隔而涂布成膜通用層的程序進行(m+1)次。在本發(fā)明的所述制造方法中，為了使在不同行所形成的所述通用層的膜厚相等，將行方向的單位長度的墨水的供給量按程序進行調整也可。在本發(fā)明的所述制造方法中，行方向的單位長度的墨水的供給量，也可以后面的程序這一方比前面的程序減少。在本發(fā)明的所述制造方法中，墨水的供給量的調整，也可以通過使墨水供給的位置沿所述行方向移動時的速度調整來進行。在本發(fā)明的所述制造方法中，墨水的供給量的調整，也可以通過使墨水的單位時間的供給量調整來進行。在本發(fā)明的所述制造方法中，也可以所述m為I。另外本發(fā)明涉及多條薄膜的制造方法，在所述制造方法中，在規(guī)定的基板上沿規(guī)定的列方向空出規(guī)定的間隔，設定與所述列方向的方向不同的行方向上延長的多個行，所述多條薄膜被在各行分別形成、且彼此膜厚相等。所述多條薄膜的制造方法包括如下エ序 ー邊將含有構成薄膜的材料的液柱狀的墨水供給到所述規(guī)定的行上，一邊將供給墨水的位置沿所述行方向移動，由此涂布形成規(guī)定的行的薄膜，形成所述薄膜的エ序。在形成所述薄膜的エ序中，對于未形成薄膜的行，將沿所述列方向空出m行(標記“m”表示自然數(shù)。)間隔而涂布形成薄膜的程序進行(m+1)次。在本發(fā)明中，沿列方向空出m行的間隔而涂布成膜通用層。這種情況下，與不在列方向空出間隔而涂布成膜通用層的情況相比，涂布墨水的列方向的間隔擴大，因此能夠防止在行方向的端部有墨水在列方向上相連。另外，因為不在相鄰的行連續(xù)涂布墨水，所以能夠防止供給到規(guī)定的行的墨水與供給到相鄰行的墨水在隔壁上連接。由此，使用液柱狀涂布墨水的方法，能夠形成遍及多個有機EL元件而膜厚相等的通用層。


圖I是模式化地表示本實施方式的發(fā)光裝置I的俯視圖。圖2是模式化地表示發(fā)光裝置I的剖面圖。圖3是模式化地表示進行第一次程序之后的狀態(tài)的俯視圖。圖4是模式化地表示進行第一次程序之后的狀態(tài)的剖面圖。圖5是模式化地表示進行第二次程序之后的狀態(tài)的俯視圖。圖6是模式化地表示進行第二次程序之后的狀態(tài)的剖面圖。
具體實施例方式在本發(fā)明的ー實施方式的發(fā)光裝置的制造方法中，在平面上沿規(guī)定的列方向空出規(guī)定的間隔，設定與所述列方向的方向不同的行方向上延長的多個行。在該制造方法中，在各所述行上沿所述行方向空出規(guī)定的間隔所設置的多個有機EL元件的各自，分別按照包含一對電極、和通用層的方式構成，該通用層設置在該電極間且以在各有機EL元件共通的方式設置。使在不同行所形成的所述有機EL元件的所述通用層的膜厚相等。所述具有多個有機EL元件的發(fā)光裝置的制造方法，包括如下エ序將ー對電極之中的一方電極形成的エ序；將一對電極之中的另一方電極形成的エ序；ー邊將含有構成通用層的材料的液柱狀的墨水供給到所述規(guī)定的行上，一邊將墨水被供給的位置沿所述行方向移動，而使規(guī)定的行的通用層涂布成膜，使所述通用層形成的エ序。在該通用層形成的エ序中，對于未形成通用層的行，使沿著所述列方向空出m行(標記“m”表示自然數(shù)。)的間隔而涂布成膜通用層的程序進行(m+1)次。發(fā)光裝置被利用為例如顯示裝置。在顯示裝置中，主要有有源矩陣(activematrix)驅動型的裝置、和無源矩陣(passive matrix)驅動型的裝置,但在本實施方式中，作為其一例對于有源矩陣驅動型的顯示裝置進行說明。<發(fā)光裝置的構成>
首先，對發(fā)光裝置的構成進行說明。圖I是模式化地表示本實施方式的發(fā)光裝置I的俯視圖。圖2是模式化地表示發(fā)光裝置I的剖面圖。發(fā)光裝置I其構成為，包括如下支承基板2 ;在該支承基板2上所形成的多個有機EL元件11 ;為了劃分多個有機EL元件11所設置的隔壁3 ;對于各有機EL元件11進行電絕緣的絕緣膜4。在本實施方式中，多個有機EL元件11分別在支承基板2上以矩陣狀排列地配置。即多個有機EL元件11按照分別沿行方向X空出規(guī)定的間隔、且沿列方向Y空出規(guī)定的間隔的方式配置。在本實施方式中，行方向X和列方向Y相互垂直、且各自與支承基板2的厚度方向Z垂直。在本實施方式中，沿行方向X延長的多個隔壁3被設置在支承基板2上。該隔壁3以在俯視下所謂的條紋狀設置。各隔壁3被分別設置在列方向Y上相鄰的有機EL元件11之間。換言之，多個有機EL元件11被設置在列方向Y上相鄰的隔壁3之間、且在各隔壁3間以沿行方向X空出規(guī)定的間隔的方式配置。以下，將在列方向Y上相鄰的成對的隔壁和支承基板所規(guī)定的凹陷稱為凹部5，多個凹部5分別與規(guī)定的行對應。在本實施方式中，在支承基板2和隔壁3之間，設置有對于各有機EL元件11進行電絕緣的格子狀的絕緣膜4。該絕緣膜4其構成為，沿行方向X延伸的多個板狀的構件、和沿列方向Y延伸的多個板狀的構件被一體地形成。格子狀的絕緣膜4的開ロ 6，在俯視下與有機EL元件11重疊的位置被形成。絕緣膜4的開ロ 6，被形成為在俯視下例如卵圓形(ovalgold)、近圓形、近楕圓形和近矩形等。所述的隔壁3，被設置在構成絕緣膜4的一部分的且沿行方向X延伸的構件上。該絕緣膜4按照其目的且根據(jù)需要而設。例如絕緣膜4為了確保行方向X的有機EL元件的電絕緣而設。就有機EL元件11而言，按照包括一對電極、和在該電極間所設置的ー層以上的發(fā)光層的方式構成。在本實施方式中，各有機EL元件11所共通設置的通用層被設置在ー對電極間。在該通用層中，有例如與發(fā)光層不同的有機層、含有無機物和有機物的層、以及無機層等。具體來說，作為通用層設置有所謂的空穴注入層、空穴傳輸層、電子阻擋層、空穴阻擋層、電子傳輸層和電子注入層等。在圖2中，作為一例示出了在一對電極12、13間設置有ー層通用層14和ー層的發(fā)光層15的有機EL兀件11。如后述,例如有機EL兀件11其構成為，一對電極12、13之中一方的電極12所相當?shù)年枠O，通用層14所相當?shù)目昭ㄗ⑷雽?、發(fā)光層15，一對電極12、13之中另一方的電極13所相當?shù)年帢O，被從支承基板2側起順次層疊。以下，對于比發(fā)光層15更靠一方的電極12配置通用層14的這ー構成的有機EL元件進行說明，但本發(fā)明并不限于這ー構成，也可以比發(fā)光層15更靠另一方的電極13配置通用層14,另外，也可以相對于發(fā)光層15在一方的電極12側和另一方的電極13側這兩方配置通用層14。就一對電極12、13而言，由陽極和陰極構成。陽極和陰極之中的一方電極,作為一對電極12、13之中的一方電極12而靠近支承基板2配置，陽極和陰極之中的另一方電極，作為ー對電極12、13之中的另一方的電極13，比一方的電極12更遠離支承基板2配置。本實施方式的發(fā)光裝置1，其是有源矩陣型的裝置，因此一方的電極12按有機EL元件11単獨地設置。例如一方的電極12為板狀、且被形成為在俯視下大致矩形。一方的電極12按照對應于設置有各有機EL元件的位置的方式以矩陣狀被設置在支承基板2上、并且分別沿行方向X空出規(guī)定的間隔且沿列方向Y空出規(guī)定的間隔而配置。即，就一方的 電極12而言，在俯視下，被設置在列方向Y上相鄰的隔壁3之間，在各隔壁3間按照沿行方向X空出規(guī)定的間隔的方式配置。前述以格子狀所設置的絕緣膜4，在俯視下，被主要形成在除去一方的電極12的區(qū)域、且其一部分覆蓋一方的電極12的周邊而形成。換言之，在絕緣膜4中，在一方的電極12上形成有開ロ 6。經(jīng)由該開ロ 6，一方的電極12的表面從絕緣膜4露出。前述的多個隔壁3，被設置在構成絕緣膜4的一部分的沿行方向X延伸的多個板狀的構件上。通用層14在隔壁3所夾住的區(qū)域中沿行方向X延伸地配置。即，通用層14在由列方向Y上相鄰的隔壁3所規(guī)定的凹部5中以板狀形成。通用層14被分別形成在多個行，但在本實施方式中，以全部的行的膜厚相等的方式形成。也就是，按照使不同的行所形成的所述通用層的膜厚相等的方式形成通用層14。就發(fā)光層15而言，與通用層14 一祥，在隔壁3所夾的區(qū)域中沿行方向X延伸地配置。即，發(fā)光層15在由列方向Y上相鄰的隔壁3所規(guī)定的凹部5中以板狀形成。在本實施方式中，發(fā)光層15在通用層14上層疊設置。彩色顯示裝置的情況下，如上述，需要將例如發(fā)出紅色、緑色和藍色任意一種光的3種的有機EL元件設置在支承基板2上。具體來說，(I)發(fā)出紅色光的多個有機EL元件空出規(guī)定的間隔而配置的行、(II)發(fā)出綠色光的多個有機EL元件空出規(guī)定的間隔而配置的行、(III)發(fā)出藍色光的多個有機EL元件空出規(guī)定的間隔而配置的行，按此順序沿列方向Y重復配置，由此能夠實現(xiàn)彩色顯示裝置用的發(fā)光裝置。在本實施方式中，通過使發(fā)光層的種類不同，制作發(fā)出紅色、緑色和藍色任意ー種光的3種有機EL元件。因此，⑴設置有發(fā)出紅色光的發(fā)光層的行、(ii)設置有發(fā)出綠色光的發(fā)光層的行、(iii)設置有發(fā)出藍色光的發(fā)光層的行這三種行，接此順序沿列方向Y重復配置。即發(fā)出紅色光的發(fā)光層、發(fā)出緑色光的發(fā)光層和發(fā)出藍色光的發(fā)光層，分別沿著列方向Y空出2行的間隔作為沿行方向X延長的板狀的層被依次層疊在通用層上。一對電極12、13之中的另一方的電極13被設置在發(fā)光層15上。在本實施方式中，另一方的電極13跨過多個有機EL元件而連續(xù)形成，作為在多個有機EL元件11共通的電極被設置。即另一方的電極13不僅在發(fā)光層15上形成、也在隔壁3上形成，發(fā)光層15上的電極和隔壁3上的電極連接而被全面地形成?！窗l(fā)光裝置的制造方法〉接著對于顯示裝置的制造方法進行說明。首先，準備支承基板2。有源矩陣型的顯示裝置的情況下，作為其支承基板2，能夠使用預先形成有個別驅動多個有機EL元件11的驅動電路的基板。例如能夠使用TFT (薄膜晶體管Thin Film Transistor)基板作為支承基板。(將ー對電極之中一方的電極形成于支承基板上的エ序)
其次，在所準備的支承基板2上，將多個一方的電極12形成為矩陣狀。一方的電極12其形成方式為，例如在支承基板2上全面地形成導電性薄膜，運用光刻法將該導電性薄膜圖案化而成為矩陣狀。另外，例如也可以將在形成一方的電極12的圖案所對應的部位形成有開ロ的掩膜配置在支承基板2上，經(jīng)由該掩膜將導電性材料選擇性地堆積在支承基板2上的規(guī)定的部位，由此將一方的電極12圖案化形成。關于一方的電極12的材料后述。在本エ序中，也可以準備預先形成有一方的電極12的支承基板。接著，在本實施方式中，在支承基板2上以格子狀形成絕緣膜4。絕緣膜4由有機物或無機物構成。作為構成絕緣膜4的有機物，能夠列舉丙烯酸樹脂、酚醛樹脂和聚酰亞胺樹脂等的樹脂。另外作為構成絕緣膜的無機物，能夠列舉Si02、SiN等。在由有機物構成的絕緣膜的形成之際，首先，全面地涂布例如正片型或負片型的感光性樹脂，使規(guī)定的部位曝光、顯影。通過使該所曝光、顯影后的感光性樹脂固化，而使在規(guī)定的部位有開ロ6的絕緣膜4形成。作為感光性樹脂能夠使用光致抗蝕劑。在由無機物 構成的絕緣膜的形成之際，通過等離子體CVD法和濺射法等全面地形成由無機物構成的薄膜。接著，在規(guī)定的部位形成開ロ 6，由此形成絕緣膜4。開ロ 6例如通過光刻法形成。通過形成該開ロ 6,—方的電極12的表面露出。接著在本實施方式中，將多個條紋狀的隔壁3形成在絕緣膜4上。就隔壁3而言，使用例如作為絕緣膜的材料所例示的材料，與形成絕緣膜4的方法一祥，而形成為條紋狀。隔壁3和絕緣膜4的形狀及其配置，根據(jù)像素數(shù)和分辨率等的顯示裝置的規(guī)格和制造的容易程度等而被適宜設定。例如隔壁3的列方向Y的厚度LI為10 μ m 100 μ m左右，隔壁3的高度L2為O. 5 μ m 5 μ m左右，列方向Y上相鄰的隔壁3之間的間隔L3、即凹部5的列方向Y的寬度L3為50 μ m 300 μ m左右。絕緣膜4所形成的開ロ 6的行方向X和列方向Y的寬度分別為50μπι 300μπι左右。(形成通用層的エ序)接著，在本實施方式中，在一方的電極12上形成通用層14。在本エ序中，ー邊將含有構成通用層14的材料的液柱狀的墨水供給到所述規(guī)定的行上，一邊使墨水的供給位置沿所述行方向移動，由此使規(guī)定的行的通用層涂布成膜，來形成所述通用層14。S卩，通過所謂的噴嘴涂布法形成通用層14。在本實施方式中，按照含有例如構成空穴注入層的材料的墨水通過噴嘴涂布法使在不同行所形成的所述通用層14的膜厚相等的方式，形成通用層14。更具體地說，就是對于未形成通用層14的行，將沿所述列方向空出m行(標記“m”表示自然數(shù)。)的間隔而涂布成膜通用層14的程序進行(m+1)次，由此形成各行的通用層14。只要m是自然數(shù)，則不限定為“1”，以下對于m = I的情況ー邊參照圖3、4 ー邊進行更具體的說明。m = I時，將空出I行的間隔而涂布成膜通用層的程序進行兩次，由此在全部的行形成通用層14。換言之。就是區(qū)別為偶數(shù)行和奇數(shù)行來涂布成膜通用層14。在噴嘴涂布法中，以所謂的ー筆畫方式向各行(凹部)供給墨水。在本實施方式中，因為Hl= 1，所以空出I行的間隔，以所謂的ー筆畫方式，向各行(凹部)供給墨水，對偶數(shù)行、奇數(shù)行分成兩次程序供給墨水。即從支承基板2的上方所配置的噴嘴吐出液柱狀的墨水，在此狀態(tài)下，一邊使噴嘴沿行方向X來回移動，一邊在噴嘴來回移動的折返吋，使基板沿列方向移動2行的量，由此空出I行的間隔來供給墨水。具體來說，以從噴嘴吐出液柱狀的墨水的狀態(tài)，通過將如下(I) (4)的操作按此順序反復(I)在規(guī)定的行上，從行方向X的一端朝向另一端移動噴嘴(去路)；(2)使支承基板2沿列方向Y移動2行的量(折返)；(3)在規(guī)定的行上，從行方向X的另一端朝向一端移動噴嘴(回路)；(4)使支承基板2沿列方向Y移動2行的量(折返)，由此 空出I行的間隔來供給墨水。在第一次的程序中，在圖I所示的基板上，對偶數(shù)行涂布墨水。圖3、4模式化地表示進行第一次程序之后的狀態(tài)的圖。在圖3中對于涂布有墨水的區(qū)域施加影線。如圖4所示，在與行方向X垂直的平面切割的涂布液的截面為圓頂狀，但在相鄰行(奇數(shù)行)沒有涂布墨水，因此在隔壁3上，供給到偶數(shù)行的墨水不會與相鄰行(奇數(shù)行)的墨水相連。另外若與在每一行涂布墨水的情況相比，則涂布墨水的列方向Y的間隔擴大，因此能夠在行方向的端部防止墨水相連。在第二次的程序中，在圖I所示的基板上，對奇數(shù)行涂布墨水。在第二次的程序中，對于未形成通用層14的行，與第一次的程序同樣，以所謂的ー筆畫方式向各行(凹部)供給墨水。即，對于在第一次的程序中沒有涂布的奇數(shù)行供給墨水。圖5、6是模式化地表示進行第二次程序之后的狀態(tài)的圖。如圖5所示，將空出I行的間隔而涂布成膜通用層14的程序進行兩次，由此對全部的行涂布墨水。在圖5中，對于第二次的程序中所涂布的墨水也施加影線，在第一次的程序中涂布的墨水和在第二次的程序中涂布的墨水，使影線的斜線的傾斜度不同。如圖6所示，在進行第二次的程序時，在第一次的程序中涂布的墨水撤退到凹部5內(nèi)。這是由于墨水會隨著時間流逝而其溶劑蒸發(fā)使一部分干燥從而體積收縮、且涂布到隔壁上的墨水隨著體積的收縮移動到凹部5內(nèi)。如此在進行第二次的程序時，在第一次的程序中涂布的墨水不會存在于隔壁3上，因此，即使在第二次的程序有墨水涂布到隔壁上，也能夠避免該隔壁3上的墨水和相鄰行的墨水連接。如果像這樣不是與相鄰行的墨水連接而是分離，則在隔壁3上所涂布的墨水隨著溶劑的蒸發(fā)而收縮，不會被相鄰的墨水吸引，而是被收納到隔壁3間的凹陷中，因此能夠防止在隔壁3上形成中間層。另外在圖5中可見，與不空出間隔而按每一行供給墨水的情況一祥，由第一次的程序和第二次的程序所涂布的墨水，在行方向X的兩端部在列方向接近。但是如前述，在第二次的程序中涂布涂布液時，在第一次的程序中所涂布的墨水的一部分干燥，因此難以受到在第一次的程序中在行方向X的端部所涂布的墨水的影響。因此在第二次的程序中，通過空出I行的間隔而涂布墨水，與第一次的程序一祥，涂布墨水的列方向Y的間隔擴大，因此能夠防止在行方向X的端部墨水相連。就通用層14而言，能夠通過使供給到隔壁3間的墨水固化而形成。薄膜的固化例如能夠通過除去溶劑來進行。溶劑的除去能夠通過自然干燥、加熱干燥和真空干燥等進行。另外，使用含有通過施加光和熱等能量而聚合的材料的墨水時，通過在印刷墨水之后施加光和熱等能量，也可以使薄膜固化。如上，通過在列方向上空出m行的間隔而涂布成膜通用層14，從而涂布墨水時，能夠防止在行方向的端部發(fā)生墨水連接、和在隔壁3上夾隔該隔壁3而供給到相鄰行的墨水相連，由此，能夠形成遍及多個行而膜厚相等的通用層14。在本實施方式中，膜厚意思是在一方的電極12上最薄的部位的膜厚。所謂膜厚相等，意思是在使用發(fā)光裝置時，察覺不到由于膜厚的差異而產(chǎn)生的亮度的差別這ー程度的相等。具體來說意思就是，若以全部行的膜厚的算木平均為基準，各通用層的膜厚收納在(膜厚的算木平均)X0.8至(膜厚的算木平均)XL 2的范圍內(nèi)。在本實施方式中對于m = I的情況進行了說明，但如前述，m并不限于1，只要是自然數(shù)，也可以在2以上。如此m為2以上，通過沿列方向空出m行的間隔來供給墨水，與m為I的情況同樣，也能夠防止在方向的端部發(fā)生墨水相連、和在隔壁上與供給到相鄰行的墨水相連，由此，能夠形成遍及多個行而膜厚相等的通用層14。雖然m是自然數(shù)即可，但優(yōu)選其數(shù)值小的一方，最優(yōu)選為I。這是由干，為了對全部的行涂布墨水而需要(m+1)次的程序，但是m的數(shù)值越小，程序的數(shù)量越少，用于形成全部的通用層所需要的時間越短。在本實施方式中，對于使用I個噴嘴涂布墨水的エ序進行了說明，但并不限于I個，也可以使用多個噴嘴來涂布墨水。這種情況下，沿列方向空出m行的間隔而配置多個噴嘴即可，在噴嘴的沿行方向X的來回移動的折返時，沿列方向空出m行的間隔涂布墨水，如此對應噴嘴的個數(shù)而使支承基板2沿列方向Y移動規(guī)定的距離即可。 在本實施方式中，以噴嘴涂布法形成ー層通用層14，但在I個有機EL元件上設置有多個通用層時，通過上述的噴嘴涂布法形成多個通用層之中的至少ー層通用層即可，另外也可以通過上述的噴嘴涂布法形成多個通用層。如上，通過沿列方向空出m行的間隔而涂布成膜通用層14，能夠形成遍及多個行而膜厚相等的通用層14。但是，如以下的實驗例所示，在全部的程序中，即使供給同等量的墨水，就通用層14的膜厚而言，雖然在相等的范圍內(nèi)但按程序也會稍有不同。即m= I吋，由第一次的程序形成的通用層14的膜厚、和在第二次程序中形成的通用層14的膜厚，雖然在相等的范圍內(nèi)但是會稍有不同。此各程序的膜厚的差異被認為是由于墨水干燥的氣氛按程序會有所不同。例如在第二次程序中，是在第一次所供給的墨水干燥的氣氛中涂布墨水，在這樣的氣氛中干燥。若與第一次所供給的墨水相比，氣氛中的溶劑氣化的氣體的濃度高，因此第二次所供給的墨水難以干燥，有干燥費時的傾向。隨著墨水干燥，沿著隔壁3的表面其體積減少，但認為根據(jù)干燥的速度，最終形成的通用層14的形狀不同，會成為圓頂狀和研缽狀。作為其結果，認為干燥速度會影響膜厚。(實驗例)在作為一方的電極12形成有由ITO構成的薄膜、作為格子狀的絕緣膜4形成有由SiO2構成的絕緣膜、和作為條紋狀的隔壁3形成有由聚酰亞胺樹脂構成的隔壁的基板上，作為通用層14而形成由聚(3，4_亞こニ氧基噻吩)/聚(苯こ烯磺酸)(PED0T/PSS構成的空穴注入層。設定m= I而空出I行的間隔，依次形成通用層，分成兩次程序在全部的行形成通用層。使用在水中溶解有35重量^^々PEDOT/PSS的墨水而形成空穴注入層。在各程序中，分別對偶數(shù)行、奇數(shù)行涂布等量的墨水。從形成的多個行的通用層之中，選擇列方向Y上連續(xù)的7行，測量這7行的通用層的膜厚。在測定中使用觸針式膜厚計(KLA-Tencor社制，P-16+)。其結果示出在表I中。在表I中，偶數(shù)行表示由第一次的程序形成的通用層的膜厚，奇數(shù)行表示由第二次的程序形成的通用層的膜厚。還有，確認到每隔一行涂布墨水時，不會形成在隔壁上相鄰的行連接的通用層，另外在行方向X的端部墨水在列方向Y上相連不存在。表I
權利要求
1.一種發(fā)光裝置的制造方法，是具有如下多個有機EL元件的發(fā)光裝置的制造方法，即在平面上沿規(guī)定的列方向空出規(guī)定的間隔、設定與所述列方向的方向不同的行方向上延長的多個行，且在各所述行上沿所述行方向空出規(guī)定的間隔而設置的多個有機EL元件，各有機EL元件包括一對電極、和在該電極間所設置并在各有機EL元件共通設置的通用層，并且在不同行所形成的所述有機EL元件的所述通用層的膜厚相等，其中，該制造方法包括如下工序 將一對電極之中的一方的電極形成的工序； 將一對電極之中的另一方的電極形成的工序； 一邊將含有構成通用層的材料的液柱狀的墨水供給到所述規(guī)定的行上，一邊使墨水供給的位置沿所述行方向移動，從而涂布成膜規(guī)定的行的通用層，形成所述通用層的工序， 在形成所述通用層的工序中，對于未形成通用層的行，將沿所述列方向空出m行的間隔而涂布成膜通用層的程序進行(m+1)次，且標記“m”表示自然數(shù)。
2.根據(jù)權利要求I所述的發(fā)光裝置的制造方法，其中，為了使在不同行所形成的所述通用層的膜厚相等，將行方向的單位長度的墨水的供給量按所述程序進行調整。
3.根據(jù)權利要求2所述的發(fā)光裝置的制造方法，其中，行方向的單位長度的墨水的供給量，后面的程序一方比前面的程序減少。
4.根據(jù)權利要求2或3所述的發(fā)光裝置的制造方法，其中，墨水的供給量的調整，通過使墨水供給的位置沿著所述行方向移動時的速度調整來進行。
5.根據(jù)權利要求2或3所述的發(fā)光裝置的制造方法，其中，墨水的供給量的調整，通過使墨水的單位時間的供給量調整來進行。
6.根據(jù)權利要求I 5中任一項所述的所述發(fā)光裝置的制造方法，其中，m為I。
7.一種薄膜的制造方法，是在規(guī)定的基板上沿規(guī)定的列方向空出規(guī)定的間隔、設定與所述列方向的方向不同的行方向上延長的多個行，且在各行被分別形成并且膜厚彼此相等的多條薄膜的制造方法，其中，該制造方法包括如下工序 一邊將含有構成薄膜的材料的液柱狀的墨水供給到所述規(guī)定的行上，一邊使供給墨水的位置沿所述行方向移動，從而涂布成膜規(guī)定的行的薄膜，形成所述薄膜的工序； 在形成所述薄膜的工序中，對于未形成薄膜的行，將沿著所述列方向空出m行間隔而涂布成膜薄膜的程序進行(m+1)次，并且標記“m”表示自然數(shù)。
全文摘要
一種具有多個有機EL元件的發(fā)光裝置的制造方法，其中，在平面上沿規(guī)定的列方向空出規(guī)定的間隔，設定與所述列方向的方向不同的行方向上延長的多個行，并且所述多個有機EL元件在各所述行上沿所述行方向空出規(guī)定的間隔而被設置。所述多個有機EL元件各自含有一對電極、和在該電極間所設置并且在各有機EL元件共通設置的通用層。該發(fā)光裝置的制造方法包括形成所述通用層的工序，在形成通用層的工序中，對于未形成通用層的行，將沿所述列方向空出m行的間隔而涂布成膜通用層的程序進行(m+1)次。
文檔編號H01L51/50GK102668705SQ20108005296
公開日2012年9月12日 申請日期2010年11月18日 優(yōu)先權日2009年11月24日
發(fā)明者合田匡志, 赤対真人 申請人:住友化學株式會社