專利名稱：感光性樹脂組合物、使用該感光性樹脂組合物的層積體和固態(tài)攝像裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及感光性樹脂組合物、使用該感光性樹脂組合物的層積體和固態(tài)攝像裝
置
背景技術(shù)：
近年來，伴隨著數(shù)碼照相機(jī)和帶照相機(jī)的移動電話等的快速發(fā)展，(XD(ChargeCoupled Device,電荷稱合兀件)和 CMOS (Complementary Metal-Oxide Semiconductor,互補(bǔ)型金屬氧化物半導(dǎo)體)等固態(tài)圖像傳感器要求小型化。迄今為止，作為小型的固態(tài)攝像裝置，有文獻(xiàn)提出了下述裝置一種固態(tài)攝像裝置，其具備固態(tài)圖像傳感器、被動芯片、堤壩狀間隔物和透鏡架，上述被動芯片與該固態(tài)圖像傳感器的背面粘接，從而與上述固態(tài)圖像傳感器電連接，同時在與上述固態(tài)圖像傳感器粘接的面的相反側(cè)的面具有向外部的電連接端子，配置被動部件而形成被動芯片(例如，參見專利文獻(xiàn)I);一種照相機(jī)模塊，其具備形成有固態(tài)圖像傳感器的半導(dǎo)體基板、焊盤、2個以上的貫通電極和側(cè)面電極、在側(cè)面電極間電連接并且配置于上述半導(dǎo)體基板側(cè)面的被動部件、微透鏡、間隔物樹脂、濾光器和透鏡架(例如，參見專利文獻(xiàn)2)。固態(tài)攝像裝置的構(gòu)成的一例見圖I。在形成有固態(tài)圖像傳感器2的半導(dǎo)體基板3上具有透鏡架9，透鏡10和玻璃11被透鏡架9所夾持。在固態(tài)圖像傳感器2上形成了玻璃11，隔著間隔物12而搭載了被透鏡架9所夾持的紅外截止濾光片8。在貫通形成有固態(tài)圖像傳感器2的半導(dǎo)體基板3的貫通電極7的端部形成了焊球I，半導(dǎo)體基板3和安裝半導(dǎo)體基板3的安裝基板4通過焊球I連接。在半導(dǎo)體基板3的安裝基板4側(cè)一面具有絕緣層5。從半導(dǎo)體基板3側(cè)向固態(tài)圖像傳感器2入射的光與從透鏡入射的光發(fā)生干涉，在將光轉(zhuǎn)換成電信號時會產(chǎn)生噪聲，因此要求遮蔽這樣的入射光。硅晶片通常被用作半導(dǎo)體基板3，硅晶片具有遮蔽紫外 可見區(qū)域的光、但透過近紅外區(qū)域的光的特性，因此通過設(shè)置遮蔽近紅外區(qū)域的光的遮光層6，防止了紫外 可見 近紅外區(qū)域的光的入射。作為優(yōu)選用于固態(tài)攝像裝置等的絕緣層的絕緣材料，例如，有文獻(xiàn)提出了含有堿溶性樹脂、具有兩個以上聚合性基團(tuán)的化合物、光產(chǎn)酸劑、通過酸而反應(yīng)的交聯(lián)劑和(E)溶劑的負(fù)型感光性樹脂組合物(例如，參見專利文獻(xiàn)3)。并且，作為遮蔽近紅外區(qū)域的光的材料，例如，有文獻(xiàn)提出了一種近紅外線吸收劑的分散液，其通過將由平均粒徑為200nm以下且選自 Y、La、Ce、Pr、Nd、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、Lu、Sr、Ca 中的元素的一種以上的六硼化物顆粒構(gòu)成的近紅外線吸收劑分散于液體介質(zhì)中而得到(例如，參見專利文獻(xiàn)4);另外有文獻(xiàn)提出了一種氯乙烯系樹脂組合物，相對于氯乙烯系樹脂100質(zhì)量份，其含有選自(a)由2價銅離子構(gòu)成的金屬離子和(b)由氧化銦和/或氧化錫構(gòu)成的顆粒狀金屬氧化物中的至少一種的紅外線吸收劑0. 01 10質(zhì)量份和增塑劑10 200質(zhì)量份(例如，參見專利文獻(xiàn)5)。并且，作為近紅外線吸收材料濾色器，有文獻(xiàn)提出了一種等離子體顯示板用的近紅外線吸收材料濾色器，其含有平均分散粒徑為SOOnm以下的鎢氧化物微粒和/或復(fù)合鎢氧化物微粒，波長為380nm 780nm的可見光透過率的最大值為50%以上，波長為800nm IlOOnm的近紅外線透過率的最小值為30%以下(例如，參見專利文獻(xiàn)6)。現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)I :日本特開2007-281929號公報專利文獻(xiàn)2 :日本特開2008-311280號公報專利文獻(xiàn)3 日本特開2008-76740號公報專利文獻(xiàn)4 :日本特開2003-227922號公報(權(quán)利要求4 7)專利文獻(xiàn)5 :日本特開平9-208775號公報專利文獻(xiàn)6 :日本特開2006-154516號公報

發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明要解決的問題但是，圖I所示的構(gòu)成的固態(tài)攝像裝置在半導(dǎo)體基板背面涂布絕緣材料后，涂布遮蔽近紅外區(qū)域的光的材料，由此層積絕緣層和遮光層，需要涂布多種材料，因而生產(chǎn)率方面存在問題。因此，本發(fā)明的目的在于提供一種感光性樹脂組合物，其通過涂布到波長為400nm以上且900nm以下的區(qū)域的透光率小于3. 0%且波長超過900nm且為1300nm以下的區(qū)域的透光率的最大值為3. 0%以上的基板上，能夠更簡單地賦予絕緣性和紫外 可見 近紅外區(qū)域的遮光性。用于解決問題的方案本發(fā)明涉及一種感光性樹脂組合物，其特征在于，其含有(a)堿溶性樹脂、(b)下述通式(I)或(2)表示的鎢氧化物和/或復(fù)合鎢氧化物、(C)具有兩個以上聚合性基團(tuán)的光聚合性化合物、(d)肟系光聚合引發(fā)劑和(e)溶劑。WyOz⑴(上述通式(I)中，W為鶴，0為氧，y>0、z>0并且滿足2.2蘭z/y ^ 3。)MxWyOz(2)(上述通式⑵中,M元素為選自H、He、堿金屬、堿土金屬、稀土類元素、Mg、Zr、Cr、 Mn、Fe、Ru、Co、Rh、Ir、Ni、Pd、Pt、Cu、Ag、Au、Zn、Cd、Al、Ga、In、Tl、Si、Ge、Sn、Pb、Sb、B、F、P、S、Se、Br、Te、Ti、Nb、V、Mo、Ta、Re、Be、Hf、Os、Bi、I 中的一種以上的元素，W 為鎢，0為氧，x>0、y>0、z>0 并且滿足 0. 001 ^ x/y ^ I. 1,2. 2 ^ z/y 芻 3. O。)發(fā)明效果通過將本發(fā)明的感光性樹脂組合物涂布到波長為400nm以上且900nm以下的區(qū)域的透光率小于3. 0%、且波長超過900nm且為1300nm以下的區(qū)域的透光率的最大值為3. 0%以上的基板上，能夠賦予絕緣性和紫外 可見 近紅外區(qū)域的遮光性。因此，能夠以更簡單且生產(chǎn)率高的方法提供固態(tài)攝像裝置。


圖I是示出固態(tài)攝像裝置的構(gòu)成的一例的示意圖。圖2是示出本發(fā)明的固態(tài)攝像裝置的一例的示意圖。
具體實(shí)施例方式本發(fā)明的感光性樹脂組合物含有(a)堿溶性樹脂。本發(fā)明中的堿溶性是指以下性質(zhì)將樹脂溶解于Y-丁內(nèi)酯中而得到溶液，在硅晶片上涂布該溶液，在120°C下進(jìn)行4分鐘預(yù)烘焙，形成膜厚為10 ii m±0. 5 ii m的預(yù)烘焙膜，將該預(yù)烘焙膜在23± 1°C的2. 38重量％四甲基氫氧化銨水溶液中浸潰I分鐘后，用純水進(jìn)行漂洗處理，由此時的膜厚減少求出的溶解速度為50毫米/分鐘以上。為了賦予上述堿溶性，本發(fā)明中使用的(a)堿溶性樹脂優(yōu)選在樹脂的結(jié)構(gòu)單元中和/或其主鏈末端具有酸性基團(tuán)。作為酸性基團(tuán)，例如可以舉出羧基、酚羥基、磺酸基、硫羥基等。并且，優(yōu)選具有氟原子，在用堿性水溶液顯影時，能夠?qū)δさ慕缑尜x予防水性，能夠抑制界面的滲入。從防止界面的滲入的效果的方面出發(fā)，堿溶性樹脂中的氟原子含量優(yōu)選為5重量％以上，從在堿性水溶液中的溶解性的方面出發(fā)，堿溶性樹脂中的氟原子含量優(yōu)選為20重量％以下。本發(fā)明的感光性樹脂組合物優(yōu)選使用(a)聚酰亞胺、聚苯并噁唑或它們的前體作 為(a)堿溶性樹脂。聚酰亞胺和聚苯并噁唑是主鏈結(jié)構(gòu)內(nèi)具有酰亞胺環(huán)或噁唑環(huán)的環(huán)狀結(jié)構(gòu)的樹脂。聚酰亞胺前體和聚苯并噁唑前體是主鏈具有酰胺鍵的樹脂，通過利用加熱處理或化學(xué)處理而脫水閉環(huán)，從而形成上述的聚酰亞胺或聚苯并噁唑。通過含有這些樹脂，能夠得到絕緣性優(yōu)異的樹脂組合物。作為聚酰亞胺前體，例如可以舉出聚酰胺酸、聚酰胺酸酯、聚酰胺酰胺、聚異酰亞胺等。作為聚苯并噁唑前體，例如可以舉出聚羥基酰胺、聚氨基酰胺、聚酰胺、聚酰胺酰亞胺等。它們的結(jié)構(gòu)單元的重復(fù)數(shù)均優(yōu)選為10 100，000?？梢院袃煞N以上這些物質(zhì)，也可以含有具有它們的兩種以上結(jié)構(gòu)單元的共聚物。在以250°C以下的低溫進(jìn)行熱處理而固化的情況下，從耐化學(xué)藥品性的方面出發(fā)，更優(yōu)選聚酰亞胺。通常，利用加熱或酸和堿等化學(xué)處理使四羧酸二酐與二胺反應(yīng)得到的聚酰亞胺前體之一一聚酰胺酸脫水閉環(huán)，從而得到聚酰亞胺，該聚酰亞胺具有四羧酸殘基和二胺殘基。本發(fā)明中，聚酰亞胺優(yōu)選具有下述通式(3)表示的結(jié)構(gòu)單元?？梢院袃煞N以上的這些單元，也可以是與其他結(jié)構(gòu)單元的共聚物。優(yōu)選在全部結(jié)構(gòu)單元中具有50mol%以上的下述通式(3)或后述通式(4)表示的結(jié)構(gòu)單元。
權(quán)利要求
1.一種感光性樹脂組合物，其特征在于，其含有(a)堿溶性樹脂、(b)下述通式(I)或(2)表示的鎢氧化物和/或復(fù)合鎢氧化物、(c)具有兩個以上聚合性基團(tuán)的光聚合性化合物、(d)肟系光聚合引發(fā)劑和(e)溶劑， WyOz(I) 上述通式(I)中，W為鎢，0為氧，y>0、z>0并且滿足2. 2蘭z/y<3, MxWyOz (2) 上述通式⑵中，M元素為選自H、He、堿金屬、堿土金屬、稀土類元素、Mg、Zr、Cr、Mn、Fe、Ru、Co、Rh、Ir、Ni、Pd、Pt、Cu、Ag、Au、Zn、Cd、Al、Ga、In、Tl、Si、Ge、Sn、Pb、Sb、B、F、P、S、Se、Br、Te、Ti、Nb、V、Mo、Ta、Re、Be、Hf、Os、Bi、I 中的一種以上的元素，W 為鎢，0 為氧，x>0、y>0、z>0 并且滿足 0. 001 ^ x/y ^ I. 1,2. 2 ^ z/y ^ 3. O。
2.如權(quán)利要求I所述的感光性樹脂組合物，其特征在于，(a)堿溶性樹脂為聚酰亞胺、聚苯并噁唑或它們的前體。
3.如權(quán)利要求I或2所述的感光性樹脂組合物，其特征在于，其還含有(c)’僅具有一個聚合性基團(tuán)的光聚合性化合物。
4.如權(quán)利要求I 3的任一項所述的感光性樹脂組合物，其特征在于，除去上述(e)溶劑而形成膜厚為25 ii m的感光性樹脂膜，用100°C的加熱板熱處理3分鐘后，在180°C的烘箱中、在氧濃度為IOppm以下的氮?dú)鈿夥障聼崽幚?20分鐘時，波長500nm的透光率為40.0%以上，并且波長超過900nm且為1300nm以下的區(qū)域的透光率小于3. 0%。
5.一種層積體，其特征在于，其在基板上具有固化膜，所述固化膜通過對由權(quán)利要求I 4的任一項所述的感光性樹脂組合物形成的感光性樹脂膜進(jìn)行熱處理而形成，所述固化膜的波長500nm的透光率為40. 0%以上，并且所述固化膜的波長超過900nm且為1300nm以下的區(qū)域的透光率小于3. 0%，所述基板的波長為400nm以上且900nm以下的區(qū)域的透光率小于3. 0%，并且所述基板的波長超過900nm且為1300nm以下的區(qū)域的透光率的最大值為3.0%以上。
6.如權(quán)利要求5所述的層積體，其特征在于，波長為400nm以上且1300nm以下的區(qū)域的透光率為1.0%以下。
7.一種層積體的制造方法，該方法通過在基板上對感光性樹脂膜進(jìn)行熱處理，從而形成層積體，該感光性樹脂膜是由權(quán)利要求I 4的任一項所述的感光性樹脂組合物形成的，該基板的波長為400nm以上且900nm以下的區(qū)域的透光率小于3. 0%，并且波長超過900nm且為1300nm以下的區(qū)域的透光率的最大值為3. 0%以上。
8.一種固態(tài)攝像裝置，其搭載了權(quán)利要求5或6所述的層積體。
全文摘要
本發(fā)明提供一種感光性樹脂組合物，其通過涂布到波長為400nm以上且900nm以下的區(qū)域的透光率小于3.0%、且波長超過900nm且為1300nm以下的區(qū)域的透光率的最大值為3.0%以上的基板上，能夠更簡單地賦予絕緣性和紫外～可見～近紅外區(qū)域的遮光性。一種感光性樹脂組合物，其特征在于，其含有(a)堿溶性樹脂、(b)特定的鎢氧化物和/或復(fù)合鎢氧化物、(c)具有兩個以上聚合性基團(tuán)的光聚合性化合物、(d)肟系光聚合引發(fā)劑和(e)溶劑。
文檔編號H01L27/14GK102640054SQ20108005502
公開日2012年8月15日 申請日期2010年10月26日 優(yōu)先權(quán)日2009年12月4日
發(fā)明者岡沢徹, 奧田裕美子, 諏訪充史, 鴨川政雄 申請人:東麗株式會社