專利名稱：門閥的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種門閥，更詳細(xì)而言，涉及通過(guò)具備控制開(kāi)閉部件的朝上下方向的移動(dòng)的上下動(dòng)作驅(qū)動(dòng)器和控制朝前后方向的移動(dòng)的前后退驅(qū)動(dòng)器，使打開(kāi)或關(guān)閉晶片的移動(dòng)通道的開(kāi)閉部件正確的以“L”字形動(dòng)作。
背景技術(shù)：
由本申請(qǐng)人申請(qǐng)了狹口閥，通過(guò)所述專利申請(qǐng)第10-2003-0071906號(hào)(發(fā)明名稱狹口閥)改善配置在晶片的移動(dòng)通道周圍的密封部件的配置構(gòu)造防止密封移動(dòng)通道的密封部件損傷，并通過(guò)安裝在閥門驅(qū)動(dòng)器的指示裝置能夠確認(rèn)運(yùn)行狀態(tài)。圖I表示根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)的狹口閥的截面圖，該申請(qǐng)的狹口閥，包括密封部件100，其打開(kāi)或關(guān)閉晶片的移動(dòng)通道；外殼支架200，與所述密封部件單獨(dú)形成；主軸400，在所述密封部件100和外殼支架之間延長(zhǎng)形成；氣缸310，形成在所述外殼支架200的內(nèi)部，通過(guò)空氣的壓力驅(qū)動(dòng)；活塞320，形成在所述氣缸310的內(nèi)部；活塞桿330，結(jié)合在所述活塞320 ；移動(dòng)單元340，結(jié)合在所述活塞桿330 ；閥門驅(qū)動(dòng)器300，具備結(jié)合在所述移動(dòng)單元340和主軸400的連桿。所述狹口閥，形成在外殼支架200的內(nèi)部的氣缸310的活塞320根據(jù)從外部流入的壓縮空氣的壓力變化進(jìn)行上下轉(zhuǎn)動(dòng)。隨此，移動(dòng)單元340與所述活塞同時(shí)上下轉(zhuǎn)動(dòng)，通過(guò)連桿350連接在移動(dòng)單元340的主軸400也轉(zhuǎn)動(dòng)，從而用密封部件100打開(kāi)或關(guān)閉晶片的移動(dòng)通道。所述狹口閥的閥門驅(qū)動(dòng)器300，如圖2所示，包括第一步驟的動(dòng)作，使所述主軸400垂直上下轉(zhuǎn)動(dòng)；以及第二步驟的動(dòng)作，所述主軸400朝垂直的前后方向轉(zhuǎn)動(dòng)而用所述密封部件100打開(kāi)或關(guān)閉半導(dǎo)體晶片的移動(dòng)通道，即，以“L”字形驅(qū)動(dòng)，為了以如所述的“L”字形驅(qū)動(dòng)，導(dǎo)槽被形成為“L”字形。但是，所述連桿35的結(jié)構(gòu)能夠進(jìn)行旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，因此，存在以現(xiàn)有狹口閥的“L”字形，即以直線軌跡的導(dǎo)槽是無(wú)法將閥門驅(qū)動(dòng)器300正確地引導(dǎo)為“L”字形運(yùn)動(dòng)的問(wèn)題。并且，如圖2所示，朝“L”字形的導(dǎo)槽351引導(dǎo)所述連桿350時(shí)，由于在所述連桿和導(dǎo)槽的角落部頻繁地摩擦而發(fā)生應(yīng)力集中，以在所述連桿插入在導(dǎo)槽的狀態(tài)下轉(zhuǎn)動(dòng)，則如圖2所示會(huì)發(fā)生細(xì)微的間隙，由此存在很難用所述密封部件正確地打開(kāi)或關(guān)閉半導(dǎo)體晶片的移動(dòng)通道的問(wèn)題點(diǎn)。而且，在通過(guò)如所述的連桿打開(kāi)或關(guān)閉半導(dǎo)體晶片的移動(dòng)通道的開(kāi)閉部件的接觸面設(shè)置由橡膠材料制成的“O”形環(huán)，當(dāng)所述“O”形環(huán)和半導(dǎo)體晶片的移動(dòng)通道接觸時(shí)，在上側(cè)(或下側(cè))“O”形環(huán)發(fā)生細(xì)微的旋轉(zhuǎn)。由于“O”形環(huán)的旋轉(zhuǎn)，“O”形環(huán)以設(shè)在導(dǎo)槽內(nèi)的狀態(tài)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，因此會(huì)有從導(dǎo)槽脫離或硬化的憂慮。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是為解決所述問(wèn)題點(diǎn)而提出的，其目的在于，提供一種門閥，其通過(guò)具備控、制開(kāi)閉部件的朝上下方向的移動(dòng)的上下動(dòng)作驅(qū)動(dòng)器和控制朝前后方向的移動(dòng)的前后退驅(qū)動(dòng)器，使打開(kāi)或關(guān)閉晶片的移動(dòng)通道的開(kāi)閉部件正確的以“L”字形動(dòng)作。為解決所述問(wèn)題點(diǎn)，根據(jù)本發(fā)明的門閥，其特征在于，包括開(kāi)閉部件100，用于打開(kāi)或關(guān)閉半導(dǎo)體晶片的移動(dòng)通道；前后退驅(qū)動(dòng)器200，包括第一氣缸210，設(shè)于所述開(kāi)閉部件100的背面，在內(nèi)部后側(cè)形成有第一流路1，在前側(cè)形成有第二流路2，在正面形成有蓋子221 ;第一活塞220，設(shè)置在所述第一氣缸210的內(nèi)部，通過(guò)流入到所述第一流路I和第二流路2的壓縮空氣進(jìn)行前后動(dòng)作；連接部件B，用于連接所述第一活塞220和開(kāi)閉部件100，上下動(dòng)作驅(qū)動(dòng)器(300)，包括多個(gè)第二氣缸(310)，形成在所述上下動(dòng)作驅(qū)動(dòng)器的內(nèi)部；第二活塞320，設(shè)置在所述第二氣缸310的內(nèi)部，通過(guò)壓縮空氣進(jìn)行上下動(dòng)作；上下軸330，其一側(cè)連接在所述第二活塞320，另一側(cè)連接在所述前后退驅(qū)動(dòng)器200，在內(nèi)部流動(dòng)壓縮空氣，形成有與所述第一流路I連通的第三流路3以及與所述第二流路2連通的第四流路4 ;第一壓縮空氣流入孔340，在所述開(kāi)閉部件100封閉晶片的移動(dòng)通道時(shí)用于流入壓縮空氣；第五流路5，其從所述第一壓縮空氣流入孔340連接到所述第二氣缸310的下部以使所述第二 活塞320通過(guò)從所述第一壓縮空氣流入孔340流入的壓縮空氣進(jìn)行上下移動(dòng)；第六流路6，設(shè)有安全閥Rl和止回閥Cl，當(dāng)所述第二活塞320通過(guò)流入到所述第五流路5的壓縮空氣到達(dá)上死點(diǎn)時(shí)，所述安全閥Rl被選擇性地打開(kāi)，當(dāng)所述第二活塞320到達(dá)下死點(diǎn)時(shí)，所述止回閥Cl被選擇性地打開(kāi)，在所述安全閥Rl被打開(kāi)時(shí)，為了使壓縮空氣移動(dòng)到所述第一流路I，所述第六流路6與所述第一壓縮空氣流入孔340和第五流路5及第一流路I連通。為解決所述問(wèn)題點(diǎn)，根據(jù)本發(fā)明的另一實(shí)施例的門閥，其特征在于，包括開(kāi)閉部件100,用于打開(kāi)或關(guān)閉半導(dǎo)體晶片的移動(dòng)通道；前后退驅(qū)動(dòng)器200,包括第一氣缸210,設(shè)置在所述開(kāi)閉部件100的背面，在內(nèi)部后側(cè)形成有第一流路1，在前側(cè)形成有第二流路2，在正面形成有蓋子221 ;第一活塞220，設(shè)置在所述第一氣缸210的內(nèi)部，通過(guò)流入到所述第一流路I和第二流路2的壓縮空氣進(jìn)行前后動(dòng)作；連接部件B，用于連接所述第一活塞220和開(kāi)閉部件100 ;后蓋201，從外部密封所述連接部件B，上下動(dòng)作驅(qū)動(dòng)器300，包括多個(gè)第二氣缸310，形成在所述上下動(dòng)作驅(qū)動(dòng)器的內(nèi)部；第二活塞320，設(shè)置在所述第二氣缸310的內(nèi)部，通過(guò)壓縮空氣進(jìn)行上下動(dòng)作；上下軸330，其一側(cè)連接在所述第二活塞320，另一側(cè)連接在所述前后退驅(qū)動(dòng)器200，在內(nèi)部流動(dòng)壓縮空氣，形成有與所述第一流路I連通的第三流路3以及與所述第二流路2連通的第四流路4。本發(fā)明進(jìn)一步包括第二壓縮空氣流入孔350，用于流入壓縮空氣以通過(guò)所述開(kāi)閉部件100開(kāi)放晶片的移動(dòng)通道，并設(shè)置為所述第四流路4及第二流路2與所述上下動(dòng)作驅(qū)動(dòng)器300連通；第七流路7，其與所述第二壓縮空氣流入孔350連通，并設(shè)有安全閥R2和止回閥C2，當(dāng)所述第一活塞220通過(guò)從所述第二壓縮空氣流入孔350流入的壓縮空氣到達(dá)下死點(diǎn)時(shí)，所述安全閥和止回閥選擇性地被打開(kāi)，當(dāng)所述安全閥R2被打開(kāi)時(shí)，從所述第二氣缸320的上側(cè)流入壓縮空氣。本發(fā)明進(jìn)一步包括磁鐵部件321，設(shè)置在所述第二活塞320;磁鐵式傳感器360，設(shè)置在所述上下動(dòng)作驅(qū)動(dòng)器300，感應(yīng)所述磁鐵部件321檢測(cè)所述第二活塞320的位置。本發(fā)明進(jìn)一步包括接觸式傳感器361，其設(shè)置在所述上下動(dòng)作驅(qū)動(dòng)器300，接觸在通過(guò)所述上下動(dòng)作驅(qū)動(dòng)器300進(jìn)行上下動(dòng)作的所述前后退驅(qū)動(dòng)器200的上面和下面，檢測(cè)所述第二活塞320的位置。
本發(fā)明進(jìn)一步包括波紋管400，其分別設(shè)置在所述開(kāi)閉部件100和前后退驅(qū)動(dòng)器200之間以及所述前后退驅(qū)動(dòng)器200和上下動(dòng)作驅(qū)動(dòng)器300之間。而且，在所述述上下動(dòng)作驅(qū)動(dòng)器300的上部和下部，進(jìn)一步包括上蓋301及下蓋302，用于密封所述第二氣缸310 ;導(dǎo)向部303，形成在所述上蓋301引導(dǎo)所述上下軸330 ;軸套304，設(shè)置在所述導(dǎo)向部303的內(nèi)部并與所述上下軸330的外周面接觸，在因所述開(kāi)閉部件100的負(fù)載而發(fā)生偏心時(shí)，防止所述上下軸330和導(dǎo)向部303的磨損。所述止回閥是快速排氣閥。根據(jù)如上所述的本發(fā)明具有以下效果。即通過(guò)具備控制開(kāi)閉部件的朝上下方向的移動(dòng)的上下動(dòng)作驅(qū)動(dòng)器和控制朝前后方向的移動(dòng)的前后退驅(qū)動(dòng)器，使打開(kāi)或關(guān)閉晶片的移 動(dòng)通道的開(kāi)閉部件正確的以“L”字形動(dòng)作。


圖I是現(xiàn)有狹口閥的構(gòu)成截面圖。圖2是示出現(xiàn)有狹口閥的連桿的動(dòng)作的狀態(tài)圖。圖3是根據(jù)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例的門閥的正面立體圖。圖4是根據(jù)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例的門閥的背面立體圖。圖5是圖3的分解立體圖。圖6是根據(jù)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例的門閥的前后退驅(qū)動(dòng)器的正面及A-A，B-B截面圖。圖7是圖6的A-A截面的截面立體圖以及B-B截面的截面立體圖。圖8是根據(jù)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例的門閥的上下動(dòng)作驅(qū)動(dòng)器的截面、平面及底面圖。圖9是圖8的C-C截面的截面立體圖。圖10至13是示出本發(fā)明的動(dòng)作的側(cè)面圖。圖14是圖10的D-D截面圖。圖15是圖11的E-E截面圖。圖16及圖17是前后退驅(qū)動(dòng)器的前進(jìn)及后退的狀態(tài)的截面圖。圖18至20是本發(fā)明開(kāi)放半導(dǎo)體晶片的移動(dòng)通道的同時(shí)回復(fù)到初期狀態(tài)的截面圖。
具體實(shí)施例方式以下，參照附圖詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明的實(shí)施例。首先，圖中，對(duì)相同的構(gòu)成要素或零件標(biāo)注相同的符號(hào)。在說(shuō)明本發(fā)明時(shí)，為了明確本發(fā)明的要旨將省略對(duì)相關(guān)公知功能或構(gòu)成的具體說(shuō)明。圖3是根據(jù)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例的門閥的正面立體圖，圖4是根據(jù)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例的門閥的背面立體圖，圖5是圖3的分解立體圖，圖6是根據(jù)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例的門閥的前后退驅(qū)動(dòng)器的正面及A-A，B-B截面圖，圖7是圖6的A-A截面的截面立體圖以及B-B截面的截面立體圖，圖8是根據(jù)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例的門閥的上下動(dòng)作驅(qū)動(dòng)器的截面、平面及底面圖，圖9是圖8的C-C截面的截面立體圖。
根據(jù)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例的門閥，包括開(kāi)閉部件100、前后退驅(qū)動(dòng)器200、上下動(dòng)作驅(qū)動(dòng)器300、進(jìn)一步包括第一流路I、第二流路2、第三流路3、第四流路4、第五流路5、第六流路6、第七流路7、第一氣缸210、第一活塞220、第二氣缸310、第二活塞320、磁鐵部件321、上下軸330、第一壓縮空氣流入孔340、第二壓縮空氣流入孔320、磁鐵式傳感器360、接觸式傳感器361及連接部件B。并且，在后述的第一流路至第七流路流動(dòng)著壓縮空氣，通過(guò)流動(dòng)在所述第一流路至第七流路的壓縮空氣驅(qū)動(dòng)前后退驅(qū)動(dòng)器200和上下動(dòng)作驅(qū)動(dòng)器300。所述開(kāi)閉部件100是設(shè)置在后述的前后退驅(qū)動(dòng)器200的正面，通過(guò)流入到所述前后退驅(qū)動(dòng)器200的壓縮空氣進(jìn)行前進(jìn)或后退 的同時(shí)，打開(kāi)或關(guān)閉半導(dǎo)體晶片的移動(dòng)通道(省略圖示)的部件，優(yōu)選在與半導(dǎo)體晶片的移動(dòng)通道接觸的面設(shè)置“O”形環(huán)。如圖6及圖7所不,所述前后退驅(qū)動(dòng)器200,包括第一氣缸210、第一活塞220,設(shè)置在所述第一氣缸210的內(nèi)部；連接部件B，貫穿所述第一活塞220的中心部而結(jié)合在開(kāi)閉部件100的背面，所述連接部件B發(fā)揮將所述第一活塞220的前后移動(dòng)傳遞至開(kāi)閉部件的作用。如圖16及圖17所示，所述第一氣缸210，在其后側(cè)形成有第一流路1，在其前側(cè)形成有第二流路2，在此與所述開(kāi)閉部件100相鄰接的部位是前側(cè)。在所述第一氣缸210的內(nèi)部設(shè)置第一活塞220，使得所述第一活塞220僅在第一氣缸210的內(nèi)部動(dòng)作，如圖5所示，優(yōu)選設(shè)置覆蓋所述第一氣缸210的正面的蓋子221。所述第一活塞220朝前后移動(dòng)，當(dāng)壓縮空氣流入到第一流路I時(shí)進(jìn)行前進(jìn)，當(dāng)壓縮空氣流入到所述第二流路2時(shí)進(jìn)行后退。而且，連接部件B貫穿所述第一活塞220，并發(fā)揮連接所述第一活塞220和所述開(kāi)閉部件100的作用，所述連接部件B，例如優(yōu)選由螺栓或結(jié)合銷制作。如上所述，通過(guò)連接部件B結(jié)合在第一活塞220的開(kāi)閉部件100通過(guò)第一活塞220的前進(jìn)及后退進(jìn)行動(dòng)作，同時(shí)打開(kāi)或關(guān)閉半導(dǎo)體晶片的移動(dòng)通道。所述上下動(dòng)作驅(qū)動(dòng)器300包括第二氣缸310、第二活塞320、上下軸330、第一壓縮空氣流入孔340及第二壓縮空氣流入孔350。如圖14及圖15，圖18至圖20所示，所述第二氣缸310設(shè)置在上下動(dòng)作驅(qū)動(dòng)器300的內(nèi)部，在所述第二氣缸310的內(nèi)部設(shè)有第二活塞320，在所述第二活塞320的中心部設(shè)有上下軸330。所述第二活塞320是設(shè)置在第二氣缸310的內(nèi)部并通過(guò)壓縮空氣進(jìn)行上下動(dòng)作的部件，所述第二活塞320通過(guò)從第一壓縮空氣流入孔340和第二壓縮空氣流入孔350流入的壓縮空氣朝上下方向動(dòng)作。所述上下軸330，其一側(cè)連接在所述第二活塞320的中心部，另一側(cè)連接在所述前后退驅(qū)動(dòng)器200，由此，所述上下軸330將第二活塞的上升或下降的動(dòng)作傳遞至前后退驅(qū)動(dòng)器200，使開(kāi)閉部件100上升至與半導(dǎo)體晶片的移動(dòng)通道相同的高度或下降到初期狀態(tài)。如圖14所示，所述第一壓縮空氣流入孔340是在所述開(kāi)閉部件100關(guān)閉半導(dǎo)體晶片的移動(dòng)通道時(shí)流入壓縮空氣的部件，從所述第一壓縮空氣流入孔340流入的壓縮空氣在后述的多個(gè)流路中供應(yīng)到參與開(kāi)閉部件100的前進(jìn)的流路，對(duì)此在后面詳細(xì)說(shuō)明。如圖15所示，所述第二壓縮空氣流入孔350是與所述第一壓縮空氣流入孔340做相反的作用，即，在所述開(kāi)閉部件100打開(kāi)半導(dǎo)體晶片的移動(dòng)通道時(shí)流入壓縮空氣的部件。從所述第二壓縮空氣流入孔350流入的壓縮空氣供應(yīng)到在后述的多個(gè)流路中參與開(kāi)閉部件的后退的流路，對(duì)此在后面詳細(xì)說(shuō)明。以下，參照?qǐng)D10至20說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的門閥的動(dòng)作順序。圖10至13是示出本發(fā)明的動(dòng)作 的側(cè)面圖，圖14是圖10的D-D截面圖，圖15是圖11的E-E截面圖，圖16及圖17是前后退驅(qū)動(dòng)器的前進(jìn)及后退的狀態(tài)的截面圖，圖18至20是本發(fā)明開(kāi)放半導(dǎo)體晶片的移動(dòng)通道的同時(shí)回復(fù)到初期狀態(tài)的截面圖。尤其，通過(guò)供應(yīng)到第一流路至第七流路的壓縮空氣的流動(dòng)重點(diǎn)說(shuō)明本發(fā)明的動(dòng)作。后述的初期狀態(tài)是，如圖10、14及20所示，開(kāi)閉部件100完全朝下移動(dòng)的狀態(tài)。第一流路I形成在第一氣缸210的下側(cè)，第二流路2形成在第一氣缸210的上側(cè)，第三流路3朝上下方向形成在兩個(gè)上下軸330中的一側(cè)上下軸的內(nèi)部，第四流路4朝上下方向形成在兩個(gè)上下軸330中的另一側(cè)上下軸的內(nèi)部。第五流路5與第一壓縮空氣流入孔340和第六流路6連通，在第六流路6設(shè)有當(dāng)產(chǎn)生預(yù)定以上的壓力時(shí)被打開(kāi)的安全閥Rl和止回閥Cl，第七流路7與第二壓縮空氣流入孔350連通，在第七流路7也設(shè)有安全閥R2和止回閥Cl。首先，說(shuō)明用開(kāi)閉部件100封閉半導(dǎo)體晶片的移動(dòng)通道的動(dòng)作。在初期狀態(tài)下，通過(guò)第一壓縮空氣流入孔340流入壓縮空氣，當(dāng)壓縮空氣開(kāi)始從第一壓縮空氣流入孔340流入時(shí)，壓縮空氣同時(shí)進(jìn)入到與第一壓縮空氣流入孔340連通的第五流路5和第六流路6，從圖10、14的狀態(tài)成為圖11、15的狀態(tài)。此時(shí)，在第五流路5和第六流路6產(chǎn)生相同的壓力，在所述第六流路6設(shè)有僅在產(chǎn)生預(yù)定以上的壓力時(shí)選擇性地打開(kāi)的安全閥R1，因此壓縮空氣先流入到第五流路5。所述安全閥Rl還設(shè)置在后述的第七流路7，所述安全閥R1、R2應(yīng)承受從第一壓縮空氣流入孔340和第二壓縮空氣流入孔350的流入的壓縮空氣流入到流路而產(chǎn)生的第一次壓力，優(yōu)選最后被打開(kāi)。因此，在設(shè)計(jì)本發(fā)明時(shí)，優(yōu)選適當(dāng)?shù)倪x擇設(shè)有安全閥Rl的彈簧反彈系數(shù)。如上所述，流入到第五流路5的壓縮空氣流入到與第五流路5連通的第二氣缸310的下部，當(dāng)壓縮空氣流入到第二氣缸310的內(nèi)部時(shí)，第二活塞向上移動(dòng)，隨此，設(shè)在所述第二活塞320的中心部的上下軸330也向上移動(dòng)。此時(shí)，設(shè)置在第六流路6的安全閥Rl需要保持關(guān)閉的狀態(tài)。如上所述，當(dāng)?shù)诙钊?20向上移動(dòng)而達(dá)到上死點(diǎn)(如圖11及15所示)時(shí)，從第一壓縮空氣孔340流入的壓縮空氣集中在第六流路6，此時(shí)若繼續(xù)供應(yīng)壓縮空氣則安全閥Rl逐漸地開(kāi)始打開(kāi)。如上所述，當(dāng)安全閥Rl逐漸開(kāi)始打開(kāi)時(shí)，壓縮空氣經(jīng)由形成在一側(cè)上下軸的內(nèi)部的第三流路3流入到第一流路I，此時(shí)，如圖12及16所示，第一活塞220通過(guò)流入到第一流路I的壓縮空氣進(jìn)行前進(jìn)。隨此，通過(guò)連接部件B連接在第一活塞220的開(kāi)閉部件100也進(jìn)行前進(jìn)而密封半導(dǎo)體晶片的移動(dòng)通道，將此狀態(tài)叫做密封狀態(tài)。接著，說(shuō)明從如上所述用開(kāi)閉部件密封半導(dǎo)體晶片的移動(dòng)通道的狀態(tài)下回復(fù)到初期狀態(tài)的動(dòng)作。
如上所述，若要在密封狀態(tài)下移動(dòng)半導(dǎo)體晶片，則開(kāi)閉部件100應(yīng)開(kāi)放半導(dǎo)體晶片的移動(dòng)通道，此時(shí)，需要從第二壓縮空氣流入孔350流入壓縮空氣。如上所述，從第二壓縮空氣流入孔350流入的壓縮空氣同時(shí)流入到形成在另一側(cè)上下軸的內(nèi)部的第四流路4和第七流路7，由于在所述第七流路7設(shè)有安全閥R2，因此，壓縮空氣先流入到第四流路4，流入到第四流路的壓縮空氣流入到與第四流路4連通的第二流路2。如上所述，如圖17所示，若壓縮空氣流入到第二流路2，則第一活塞220后退，連接在所述第一活塞220的連接部件B也后退，隨此連接在連接部件B的開(kāi)閉部件100也后退。如上所述，若開(kāi)閉部件100后退，則保持密封狀態(tài)的半導(dǎo)體晶片的移動(dòng)通道被開(kāi)放，如圖17所示，所述第一活塞220后退到下死點(diǎn)。如上所述，當(dāng)?shù)谝换钊?20移動(dòng)到下死點(diǎn)為止時(shí)，從第二壓縮空氣流入孔350流入 的壓縮空氣集中在第七流路7，當(dāng)產(chǎn)生預(yù)定以上的壓力時(shí)，安全閥R2逐漸開(kāi)始打開(kāi)，如圖20所示，壓縮空氣經(jīng)由第七流路7從第二氣缸310的上側(cè)流入。如上所述，從第二氣缸310的上側(cè)流入壓縮空氣時(shí)，位于上死點(diǎn)的第二氣缸310朝下移動(dòng)，最終移動(dòng)到下死點(diǎn)而回復(fù)到初期狀態(tài)。并且，當(dāng)從第二壓縮空氣流入孔350流入壓縮空氣時(shí)，通過(guò)第一壓縮空氣流入孔340流入到內(nèi)部的壓縮空氣排放到外部以使前后軸230后退并使上下軸330朝下移動(dòng)，將此狀態(tài)叫做開(kāi)放狀態(tài)。另外，為了在外部能夠確認(rèn)第二活塞320的上死點(diǎn)或下死點(diǎn)的位置，優(yōu)選在所述第二活塞320設(shè)置磁鐵部件321，如圖4所示，在上下動(dòng)作驅(qū)動(dòng)器300優(yōu)選具備感應(yīng)所述磁鐵部件321的傳感器360。而且，所述上下動(dòng)作驅(qū)動(dòng)器300，為了容易維修，優(yōu)選在所述上下動(dòng)作驅(qū)動(dòng)器300的上部可分離地設(shè)置上蓋301，在所述上下動(dòng)作驅(qū)動(dòng)器300的下部可分離地設(shè)置下蓋302，在各結(jié)合部位優(yōu)選設(shè)置由橡膠材料形成的密封部件(“O”形環(huán))以使第二氣缸310的內(nèi)部保持密封狀態(tài)。如圖5所示，在所述下蓋302形成有吸管形管，所述管連通結(jié)合在第三流路3和第四流路4的內(nèi)部，在所述上下軸330朝上下方向移動(dòng)時(shí)，能夠穩(wěn)定地引導(dǎo)上下軸330。由此，所述管的長(zhǎng)度大于等于所述上下軸330朝上下方向移動(dòng)的距離，從而，即使所述第二活塞320移動(dòng)到上死點(diǎn)也與第三流路3和第四流路4連通，為佳。并且，如圖5所示，在所述上蓋301向上突出形成有導(dǎo)向部303用以正確地引導(dǎo)上下軸330的上下方向的移動(dòng)，在所述導(dǎo)向部303的內(nèi)部?jī)?yōu)選設(shè)置由橡膠材料制成的密封部件(“O”形環(huán))，從而密封第二氣缸310。另外，如圖5所示，在所述導(dǎo)向部303的內(nèi)部?jī)?yōu)選設(shè)置軸套304，因在所述開(kāi)閉部件100前進(jìn)及后退時(shí)發(fā)生的偏心而所述上下軸304和導(dǎo)向部303接觸并產(chǎn)生應(yīng)力，所述軸套304發(fā)揮減低該應(yīng)力的作用，并與所述密封部件一起發(fā)揮密封第二氣缸310的作用。如上所述，由于所述軸套304設(shè)置在直接發(fā)生應(yīng)力的部位，因此優(yōu)選由銅或塑料等硬度較低的材料制成。并且，在所述導(dǎo)向部303的上端和前后退驅(qū)動(dòng)器200之間以及所述開(kāi)閉部件100和前后退驅(qū)動(dòng)器200之間優(yōu)選設(shè)置波紋管400，所述波紋管400發(fā)揮在本發(fā)明動(dòng)作時(shí)發(fā)生的振動(dòng)及噪音的作用，并且，在真空狀態(tài)下設(shè)置本發(fā)明時(shí)，發(fā)揮從半導(dǎo)體的制造過(guò)程中發(fā)生的粉體保護(hù)本發(fā)明的主要部分的作用。接著，說(shuō)明設(shè)置在第六流路6和第七流路7的止回閥C1、C2。止回閥Cl、C2設(shè)置在所述第六流路6和第七流路7，止回閥與所述安全閥Rl、R2同樣僅向一方向開(kāi)放的部件，所述止回閥Cl、C2在將從第一壓縮空氣流入孔340和第二壓縮空氣流入孔350流入的壓縮空氣排放至外部時(shí)被打開(kāi)，流體的流動(dòng)與所述安全閥Rl、R2相反。更詳細(xì)而言，設(shè)置在第六流路6的止回閥Cl，從密封狀態(tài)轉(zhuǎn)換到開(kāi)放狀態(tài)時(shí)，在排放從第一壓縮空氣流入孔340流入的壓縮空氣時(shí)被打開(kāi)，設(shè)置在第七流路7的止回閥C2， 從開(kāi)放狀態(tài)轉(zhuǎn)換到密封狀態(tài)時(shí)，在排放從第二壓縮空氣流入孔350流入的壓縮空氣時(shí)被打開(kāi)。并且，所述止回閥Cl、C2可由快速排氣閥來(lái)代替，如所述被代替時(shí)，排氣時(shí)所需的時(shí)間顯著減低，并能夠更迅速地打開(kāi)或關(guān)閉半導(dǎo)體晶片的移動(dòng)通道。所述快速排氣閥公開(kāi)在大韓民國(guó)專利申請(qǐng)第10-2006-0023872號(hào)公報(bào)中(發(fā)明名稱快速排氣閥裝置)，由于是公知技術(shù)，因此省略詳細(xì)說(shuō)明。以上，在附圖及說(shuō)明書(shū)說(shuō)明了最佳實(shí)施例。此處，雖然使用了特定的術(shù)語(yǔ)，但是這些術(shù)語(yǔ)只不過(guò)是用來(lái)說(shuō)明本發(fā)明而已，并不限定其含義或權(quán)利要求范圍所記載的本發(fā)明的范圍。因此，可以設(shè)想只要是本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員可由此進(jìn)行各種變形或均等實(shí)施。并且，本發(fā)明的真正的技術(shù)保護(hù)范圍應(yīng)由權(quán)利要求范圍的技術(shù)思想而決定。
權(quán)利要求
1.一種門閥，其特征在于，包括 開(kāi)閉部件(100)，用于打開(kāi)或關(guān)閉半導(dǎo)體晶片的移動(dòng)通道； 前后退驅(qū)動(dòng)器(200)，包括第一氣缸(210)，設(shè)于所述開(kāi)閉部件(100)的背面，在內(nèi)部后側(cè)形成有第一流路(I)，在前側(cè)形成有第二流路(2)，在正面形成有蓋子(221);第ー活塞(220)，設(shè)置在所述第一氣缸(210)的內(nèi)部，通過(guò)流入到所述第一流路(I)和第二流路(2)的壓縮空氣進(jìn)行前后動(dòng)作；連接部件(B)，用于連接所述第一活塞(220)和開(kāi)閉部件(100)， 上下動(dòng)作驅(qū)動(dòng)器(300)，包括多個(gè)第二氣缸(310)，形成在所述上下動(dòng)作驅(qū)動(dòng)器的內(nèi)部；第ニ活塞(320)，設(shè)置在所述第二氣缸(310)的內(nèi)部，通過(guò)壓縮空氣進(jìn)行上下動(dòng)作；上下軸(330)，其一側(cè)連接在所述第二活塞(320)，另ー側(cè)連接在所述前后退驅(qū)動(dòng)器(200)，在內(nèi)部流動(dòng)壓縮空氣，形成有與所述第一流路(I)連通的第三流路(3)以及與所述第二流路(2)連通的第四流路(4);第一壓縮空氣流入孔(340)，在所述開(kāi)閉部件(100)封閉晶片的移動(dòng)通道時(shí)用于流入壓縮空氣；第五流路(5)，其從所述第一壓縮空氣流入孔(340)連接到所述第二氣缸(310)的下部以使所述第二活塞(320)通過(guò)從所述第一壓縮空氣流入孔(340)流入的壓縮空氣進(jìn)行上下移動(dòng)；第六流路出)，設(shè)有安全閥(Rl)和止回閥(Cl)，當(dāng)所述第二活塞(320)通過(guò)流入到所述第五流路(5)的壓縮空氣到達(dá)上死點(diǎn)時(shí)，所述安全閥(Rl)被選擇性地打開(kāi)，當(dāng)所述第二活塞(320)到達(dá)下死點(diǎn)時(shí)，所述止回閥(Cl)被選擇性地打開(kāi)，在所述安全閥(Rl)被打開(kāi)時(shí)，為了使壓縮空氣移動(dòng)到所述第一流路(1)，所述第六流路(6)與所述第一壓縮空氣流入孔(340)和第五流路(5)及第一流路(I)連通。
2.一種門閥，其特征在于，包括 開(kāi)閉部件(100)，用于打開(kāi)或關(guān)閉半導(dǎo)體晶片的移動(dòng)通道； 前后退驅(qū)動(dòng)器(200)，包括第一氣缸(210)，設(shè)置在所述開(kāi)閉部件(100)的背面，在內(nèi)部后側(cè)形成有第一流路(I)，在前側(cè)形成有第二流路(2)，在正面形成有蓋子(221);第一活塞(220)，設(shè)置在所述第一氣缸(210)的內(nèi)部，通過(guò)流入到所述第一流路(I)和第二流路(2)的壓縮空氣進(jìn)行前后動(dòng)作；連接部件(B)，用于連接所述第一活塞(220)和開(kāi)閉部件(100);后蓋(201)，從外部密封所述連接部件(B)， 上下動(dòng)作驅(qū)動(dòng)器(300)，包括多個(gè)第二氣缸(310)，形成在所述上下動(dòng)作驅(qū)動(dòng)器的內(nèi)部；第ニ活塞(320)，設(shè)置在所述第二氣缸(310)的內(nèi)部，通過(guò)壓縮空氣進(jìn)行上下動(dòng)作；上下軸(330)，其一側(cè)連接在所述第二活塞(320)，另ー側(cè)連接在所述前后退驅(qū)動(dòng)器(200)，在內(nèi)部流動(dòng)壓縮空氣，形成有與所述第一流路(I)連通的第三流路(3)以及與所述第二流路(2)連通的第四流路(4)。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的門閥，其特征在干，進(jìn)ー步包括 第二壓縮空氣流入孔(350)，用于流入壓縮空氣以通過(guò)所述開(kāi)閉部件(100)開(kāi)放晶片的移動(dòng)通道，并設(shè)置為所述第四流路(4)及第二流路(2)與所述上下動(dòng)作驅(qū)動(dòng)器(300)連通； 第七流路(7)，其與所述第二壓縮空氣流入孔(350)連通，并設(shè)有安全閥(R2)和止回閥(C2)，當(dāng)所述第一活塞(220)通過(guò)從所述第二壓縮空氣流入孔(350)流入的壓縮空氣到達(dá)下死點(diǎn)時(shí)，所述安全閥和止回閥選擇性地被打開(kāi)，當(dāng)所述安全閥(R2)被打開(kāi)時(shí)，從所述第二氣缸(320)的上側(cè)流入壓縮空氣。
4.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的門閥，其特征在干，進(jìn)ー步包括磁鐵部件(321)，設(shè)置在所述第二活塞(320)； 磁鐵式傳感器(360)，設(shè)置在所述上下動(dòng)作驅(qū)動(dòng)器(300)，感應(yīng)所述磁鐵部件(321)檢測(cè)所述第二活塞(320)的位置。
5.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的門閥，其特征在干，進(jìn)ー步包括接觸式傳感器(361)，其設(shè)置在所述上下動(dòng)作驅(qū)動(dòng)器(300)，接觸在通過(guò)所述上下動(dòng)作驅(qū)動(dòng)器(300)進(jìn)行上下動(dòng)作的所述前后退驅(qū)動(dòng)器(200)的上面和下面，檢測(cè)所述第二活塞(320)的位置。
6.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的門閥，其特征在干，進(jìn)ー步包括波紋管(400)，其分別設(shè)置在所述開(kāi)閉部件(100)和前后退驅(qū)動(dòng)器(200)之間以及所述前后退驅(qū)動(dòng)器(200)和上下動(dòng)作驅(qū)動(dòng)器(300)之間。
7.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的門閥，其特征在于，在所述上下動(dòng)作驅(qū)動(dòng)器(300)的上部和下部，進(jìn)ー步包括 上蓋(301)及下蓋(302)，用于密封所述第二氣缸(310)； 導(dǎo)向部(303)，形成在所述上蓋(301)引導(dǎo)所述上下軸(330)； 軸套(304)，設(shè)置在所述導(dǎo)向部(303)的內(nèi)部并與所述上下軸(330)的外周面接觸，在因所述開(kāi)閉部件(100)的負(fù)載而發(fā)生偏心時(shí)，防止所述上下軸(330)和導(dǎo)向部(303)的磨損。
8.根據(jù)權(quán)利要求I或3所述的門閥，其特征在于，所述止回閥是快速排氣閥。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種門閥，其通過(guò)具備控制開(kāi)閉部件的朝上下方向的移動(dòng)的上下動(dòng)作驅(qū)動(dòng)器和，控制朝前后方向的移動(dòng)的前后退驅(qū)動(dòng)器，使打開(kāi)或關(guān)閉晶片的移動(dòng)通道的開(kāi)閉部件正確的以“L”字形動(dòng)作，這是本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)。
文檔編號(hào)H01L21/02GK102668022SQ201080055034
公開(kāi)日2012年9月12日 申請(qǐng)日期2010年6月21日 優(yōu)先權(quán)日2010年1月18日
發(fā)明者金培鎮(zhèn) 申請(qǐng)人:普利西斯株式會(huì)社