專利名稱：一種半導體方形基片旋轉(zhuǎn)自動緊固裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及半導體領(lǐng)域，具體為一種用以在半導體生產(chǎn)中的方形基片旋轉(zhuǎn)自動緊固裝置，達到方形基片的快速安裝和旋轉(zhuǎn)過程中的自動緊固，保護方形基片在生產(chǎn)過程中的安全運行和快速的裝卸。
背景技術(shù)：
目前，半導體方形基片的旋轉(zhuǎn)工藝處理過程中由于緊固裝置的安全要求，生產(chǎn)過程中會發(fā)生安裝不方便，耽誤生產(chǎn)時間，安裝方便的緊固裝置會有可能發(fā)生旋轉(zhuǎn)時候的安全問題，例如半導體掩模板生產(chǎn)和清洗工藝對安全性和產(chǎn)量有很高要求，復(fù)雜的緊固結(jié)構(gòu)會是生產(chǎn)產(chǎn)量降低，而簡單的緊固結(jié)構(gòu)又會使方形基片旋轉(zhuǎn)時候的安全性降低。

發(fā)明內(nèi)容
為了克服上述的種種不足，本發(fā)明提供一種半導體生產(chǎn)中半導體方形基片旋轉(zhuǎn)自動緊固裝置，通過利用旋轉(zhuǎn)離心作用，達到快速裝卸和安全旋轉(zhuǎn)方形基片的雙重需要。本發(fā)明的技術(shù)方案是一種半導體方形基片旋轉(zhuǎn)自動緊固裝置，該裝置設(shè)有緊固裝置和圓形卡盤，在圓形卡盤上方安裝有緊固裝置，需要被加工的方形基片安裝于緊固裝置上。所述的半導體方形基片旋轉(zhuǎn)自動緊固裝置，四個緊固裝置均勻分布于圓形卡盤， 方形基片的四個角直接卡在四個緊固裝置上。所述的半導體方形基片旋轉(zhuǎn)自動緊固裝置，圓形卡盤旋轉(zhuǎn)時，帶動四個緊固裝置一起旋轉(zhuǎn)，同時帶動方形基片旋轉(zhuǎn)。所述的半導體方形基片旋轉(zhuǎn)自動緊固裝置，緊固裝置設(shè)有支撐限位卡柱、離心壓片、軸孔，支撐限位卡柱上開有軸孔，離心壓片通過軸孔和支撐限位卡柱連接。5、按照權(quán)利要求4所述的半導體方形基片旋轉(zhuǎn)自動緊固裝置，其特征在于離心壓片的重心在后部，在整個裝置靜止時，離心壓片呈現(xiàn)張開的狀態(tài)；緊固裝置的離心壓片在整個裝置旋轉(zhuǎn)時，離心壓片呈現(xiàn)閉合的狀態(tài)，壓緊方形基片。本發(fā)明的優(yōu)點及有益效果是1、本發(fā)明可以實現(xiàn)快速裝卸方形基片。2、本發(fā)明可以實現(xiàn)在旋轉(zhuǎn)的時候自動安全鎖緊方形基片。3、本發(fā)明同時實現(xiàn)安全性和產(chǎn)能的雙重需求?？傊景l(fā)明用以在半導方形基片旋轉(zhuǎn)自動緊固裝置，達到半導體用方形基片，例如掩模板和LCD，清洗前后的快速裝卸和旋轉(zhuǎn)時候的自動緊固需求。通過專用卡盤結(jié)構(gòu)達到在清洗前后的快速裝卸，直接取放，無需任何多余動作和工序。在旋轉(zhuǎn)方形基片的時候， 專用卡盤結(jié)構(gòu)會自動利用離心力原理，達到自動保護住方形基片，保證旋轉(zhuǎn)時候，不會發(fā)生基片脫落和傾斜。


圖1是本發(fā)明卡盤整體結(jié)構(gòu)示意圖。圖2是本發(fā)明卡盤裝上方形基片后示意圖。圖3是本發(fā)明卡盤自動緊固裝置在靜止時示意圖。圖4是本發(fā)明卡盤自動緊固裝置在旋轉(zhuǎn)時示意圖。圖中，1緊固裝置；2圓形卡盤；3方形基片；4支撐限位卡柱；5離心壓片；6軸孔。
具體實施例方式如圖1-4所示，本發(fā)明在半導體生產(chǎn)中方形基片旋轉(zhuǎn)自動緊固裝置，主要包括緊固裝置1、圓形卡盤2、方形基片3 (比如石英掩模板)、支撐限位卡柱4、離心壓片5、軸孔6 等，具體結(jié)構(gòu)如下如圖1所示，在圓形卡盤2上方安裝有四個緊固裝置1，方形基片3安裝于四個緊固裝置1上，通過這四個緊固裝置1限制方形基片3的橫向移動，使其在旋轉(zhuǎn)的時候不會發(fā)生側(cè)滑。如圖2所示，四個緊固裝置1均勻分布于圓形卡盤2，方形基片3的四個角直接卡在四個緊固裝置1上，圓形卡盤2旋轉(zhuǎn)的時候，帶動四個緊固裝置1 一起旋轉(zhuǎn)；同時，帶動方形基片3旋轉(zhuǎn)。如圖3所示，緊固裝置1設(shè)有支撐限位卡柱4、離心壓片5、軸孔6等，支撐限位卡柱4上開有軸孔6，離心壓片5通過軸孔6和支撐限位卡柱4連接，由于離心壓片5的重心在后部(外側(cè))，在整個裝置靜止的時候，離心壓片5呈現(xiàn)張開的狀態(tài)，從而在裝卸方形基片 3的時候，達到快速和方便。如圖4所示，緊固裝置1的離心壓片5在整個裝置旋轉(zhuǎn)的時候，由于離心力的作用，離心壓片5呈現(xiàn)出閉合的狀態(tài)，從而壓緊方形基片3的四個角，達到在旋轉(zhuǎn)的時候，不會造成方形基片3的脫離。結(jié)果表明，本發(fā)明通過特殊設(shè)計的卡盤和離心緊固裝置，達到在方形基片裝卸的時候，不需要任何附加的裝卸工具和裝卸時間，直接取放，快速方便。在工藝需要旋轉(zhuǎn)方形基片的時候，通過特殊的安全緊固裝置達到自動的卡緊方形基片，保證旋轉(zhuǎn)過程中，方形基片穩(wěn)定在卡盤上方，不會發(fā)生脫落和滑動。
權(quán)利要求
1.一種半導體方形基片旋轉(zhuǎn)自動緊固裝置，其特征在于該裝置設(shè)有緊固裝置和圓形卡盤，在圓形卡盤上方安裝有緊固裝置，需要被加工的方形基片安裝于緊固裝置上。
2.按照權(quán)利要求1所述的半導體方形基片旋轉(zhuǎn)自動緊固裝置，其特征在于四個緊固裝置均勻分布于圓形卡盤，方形基片的四個角直接卡在四個緊固裝置上。
3.按照權(quán)利要求2所述的半導體方形基片旋轉(zhuǎn)自動緊固裝置，其特征在于圓形卡盤旋轉(zhuǎn)時，帶動四個緊固裝置一起旋轉(zhuǎn)，同時帶動方形基片旋轉(zhuǎn)。
4.按照權(quán)利要求1所述的半導體方形基片旋轉(zhuǎn)自動緊固裝置，其特征在于緊固裝置設(shè)有支撐限位卡柱、離心壓片、軸孔，支撐限位卡柱上開有軸孔，離心壓片通過軸孔和支撐限位卡柱連接。
5.按照權(quán)利要求4所述的半導體方形基片旋轉(zhuǎn)自動緊固裝置，其特征在于離心壓片的重心在后部，在整個裝置靜止時，離心壓片呈現(xiàn)張開的狀態(tài)；緊固裝置的離心壓片在整個裝置旋轉(zhuǎn)時，離心壓片呈現(xiàn)閉合的狀態(tài)，壓緊方形基片。
全文摘要
本發(fā)明涉及半導體領(lǐng)域，具體為一種用以在半導體生產(chǎn)中的方形基片旋轉(zhuǎn)自動緊固裝置，達到方形基片的快速安裝和旋轉(zhuǎn)過程中的自動緊固，保護方形基片在生產(chǎn)過程中的安全運行和快速的裝卸。該裝置設(shè)有緊固裝置、圓形卡盤、方形基片，在圓形卡盤上方安裝有緊固裝置，方形基片安裝于緊固裝置上。本發(fā)明用以在半導方形基片旋轉(zhuǎn)自動緊固裝置，達到半導體用方形基片，例如掩模板和LCD，清洗前后的快速裝卸和旋轉(zhuǎn)時候的自動緊固需求。通過專用卡盤結(jié)構(gòu)達到在清洗前后的快速裝卸，直接取放，無需任何多余動作和工序。在旋轉(zhuǎn)方形基片的時候，專用卡盤結(jié)構(gòu)會自動利用離心力原理，達到自動保護住方形基片，保證旋轉(zhuǎn)時候，不會發(fā)生基片脫落和傾斜。
文檔編號H01L21/687GK102270592SQ20111002134
公開日2011年12月7日 申請日期2011年1月19日 優(yōu)先權(quán)日2011年1月19日
發(fā)明者王紹勇, 王陽 申請人:沈陽芯源微電子設(shè)備有限公司