專(zhuān)利名稱(chēng)：Led及晶圓檢查裝置、以及利用上述裝置的檢查方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及LED及晶圓檢查裝置、以及利用上述裝置的LED及晶圓檢查方法，尤其涉及可在一個(gè)裝置連續(xù)實(shí)施LED及晶圓的表面檢查及內(nèi)部檢查的晶圓檢查裝置、以及利用上述裝置的LED及晶圓檢查方法。
背景技術(shù)：
一般而言，太陽(yáng)能電池是利用半導(dǎo)體的特性將太陽(yáng)光轉(zhuǎn)換為電能的元件。近年來(lái)， 太陽(yáng)能電池用于移動(dòng)電話(huà)或PDA等便攜式信息設(shè)備的輔助電源、汽車(chē)等交通工具的驅(qū)動(dòng)電源、發(fā)電及熱水的生產(chǎn)等。而且，目前為了獲得較大的電力，積極開(kāi)展通過(guò)串聯(lián)或并聯(lián)多個(gè)太陽(yáng)電池獲得小型化及高輸出的太陽(yáng)能電池模塊的研究。在上述太陽(yáng)能電池(以下稱(chēng)為 “晶圓”)的制造過(guò)程中，將依次進(jìn)行表面檢查及內(nèi)部檢查，即對(duì)電池的均一性、熱點(diǎn)、排列不均勻及表面污染度等進(jìn)行必要的檢查，而上述表面檢查及內(nèi)部檢查在各自獨(dú)立的檢查裝置中完成。即，在表面檢查裝置上完成對(duì)晶圓的表面檢查之后，作業(yè)者將晶圓匣搬運(yùn)至另一檢查裝置進(jìn)行晶圓內(nèi)部檢查。另外，作為發(fā)光元件的LED最近因其發(fā)光率的提升，其應(yīng)用范圍從最初的用于顯示信號(hào)，擴(kuò)展至用于手機(jī)背光源(Back Light Unit, BLU)或液晶顯示裝置(IXD)等大型顯示裝置的光源及照明裝置。其原因是LED較之作為現(xiàn)有技術(shù)的照明裝置工具的燈泡或熒光燈等，其電力消耗少，壽命長(zhǎng)。作為最近常用的高亮度發(fā)光元件的LED的檢查方法，有將LED作為單品事先進(jìn)行檢查的方法和在將其組裝(內(nèi)置)于PCB的狀態(tài)下通過(guò)施加測(cè)試電源而檢查部件(LED)狀態(tài)的方法。在此，作為單品進(jìn)行檢查是指在晶圓上進(jìn)行的檢查，一般是指半導(dǎo)體生產(chǎn)企業(yè)在出廠(chǎng)前進(jìn)行的檢查。但是，上述LED及晶圓的一系列檢查作業(yè)在主生產(chǎn)線(xiàn)上被獨(dú)立區(qū)分，從而降低作業(yè)連貫性，降低生產(chǎn)效率。另外，為了進(jìn)行上述檢查過(guò)程，需由作業(yè)者手工搬運(yùn)裝載形成有多個(gè)LED或多個(gè)電池的多個(gè)晶圓的晶圓匣，因而較為繁瑣。而且，在這種LED及晶圓匣的搬運(yùn)過(guò)程中，存在因作業(yè)者的疏忽導(dǎo)致發(fā)生LED及晶圓的破損或被微粒污染的問(wèn)題。因此，為了減少LED及晶圓檢查中的晶圓破損或污染，需在檢查過(guò)程中最大限度地減少LED及晶圓的移動(dòng)。另外，因現(xiàn)有技術(shù)的LED及晶圓檢查裝置的體積比較大，在安裝及運(yùn)行過(guò)程中受到空間的限制。因此，為了提高空間利用率，要求檢查裝置小型化。此外，還提出了在不破壞晶圓檢查過(guò)程中判定為不良的晶圓的情況下，對(duì)其進(jìn)行分類(lèi)收集，從而加以回收利用的必要性。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)之不足而提供一種LED及晶圓檢查裝置，其可在一個(gè)裝置中連續(xù)實(shí)施對(duì)LED及太陽(yáng)能電池的表面檢查及內(nèi)部檢查，以提高作業(yè)效率。本發(fā)明的另一目的在于提供一種LED及晶圓檢查裝置，其最大限度地減少待檢查的LED及晶圓的移動(dòng)，以減少檢查過(guò)程中有可能發(fā)生的LED及晶圓破損或污染。本發(fā)明的又一目的在于提供一種LED及晶圓檢查裝置，其實(shí)現(xiàn)小型化，以提高空間利用率。本發(fā)明的再一目的在于提供一種LED及晶圓檢查裝置，其可以原始狀態(tài)分離收集在檢查過(guò)程中判定為不良的LED及晶圓。為解決上述問(wèn)題，本發(fā)明提供一種晶圓檢查裝置，其包括裝載部，在其一側(cè)設(shè)置推送裝置，以使裝載多個(gè)晶圓的晶圓匣通過(guò)升降裝置升降，并使上述晶圓沿水平方向一張張引出；旋轉(zhuǎn)型晶圓移送部，包括裝載上述晶圓以將其移送至后續(xù)工序的旋轉(zhuǎn)臺(tái)；表面檢查部，包括用于上述晶圓的表面檢查的第一視覺(jué)模塊及第一不良品收納部；內(nèi)部檢查部，包括用于上述晶圓的內(nèi)部檢查的第二視覺(jué)模塊及第二不良品收納部；卸載部，包括通過(guò)升降裝置升降、以依次裝載上述晶圓的晶圓匣；及控制部，根據(jù)順序控制程序控制上述晶圓的檢查過(guò)程。另外，在上述旋轉(zhuǎn)臺(tái)形成用于裝載上述晶圓的四個(gè)空間部，且在上述每個(gè)空間部均形成用于支撐上述裝載晶圓的兩個(gè)晶圓支撐臺(tái)，而且，上述兩個(gè)晶圓支撐臺(tái)可分別向左右移動(dòng)，以使上述晶圓降落。另外，上述第一視覺(jué)模塊，包括表面檢查用攝像頭，位于上述旋轉(zhuǎn)臺(tái)上側(cè)；及兩個(gè)表面檢查用紫外線(xiàn)照明裝置，設(shè)置于上述表面檢查用攝像頭兩側(cè)；而且，上述第一不良品收納部位于上述第一視覺(jué)模塊及上述旋轉(zhuǎn)臺(tái)的下方。另外，上述第二視覺(jué)模塊，包括內(nèi)部檢查用攝像頭，位于上述旋轉(zhuǎn)臺(tái)上側(cè)；及兩個(gè)內(nèi)部檢查用紅外線(xiàn)照明裝置，設(shè)置于上述旋轉(zhuǎn)臺(tái)下側(cè)以與上述內(nèi)部檢查用攝像頭相對(duì)； 而且，上述第二不良品收納部位于上述第二視覺(jué)模塊及上述旋轉(zhuǎn)臺(tái)的下方。另外，上述兩個(gè)內(nèi)部檢查用紅外線(xiàn)照明裝置，在上述晶圓的內(nèi)部檢查過(guò)程中位于相鄰的位置，而在上述晶圓降落時(shí)分別向左右移動(dòng)，以便使上述晶圓通過(guò)。另外，上述晶圓支撐臺(tái)由藍(lán)寶石材料制作而成。另外，上述檢查裝置還包括顯示/保存部，顯示及保存通過(guò)上述第一視覺(jué)模塊及第二視覺(jué)模塊獲取的圖像；及輸入/輸出部，向上述顯示/保存部輸入圖像或輸出保存于上述顯示/保存部的圖像；而且，作業(yè)者可實(shí)時(shí)監(jiān)控上述顯示部所顯示的上述圖像。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，提供利用晶圓檢查裝置的晶圓檢查方法，其中，上述晶圓檢查裝置包括裝載部，在其一側(cè)設(shè)置推送裝置，以使裝載多個(gè)晶圓的晶圓匣通過(guò)升降裝置升降，并使上述晶圓沿水平方向一張張引出；旋轉(zhuǎn)型晶圓移送部，包括裝載上述晶圓以將其移送至后續(xù)工序的旋轉(zhuǎn)臺(tái)；表面檢查部，包括用于上述晶圓的表面檢查的第一視覺(jué)模塊及第一不良品收納部；內(nèi)部檢查部，包括用于上述晶圓的內(nèi)部檢查的第二視覺(jué)模塊及第二不良品收納部；卸載部，包括通過(guò)升降裝置升降以依次裝載上述晶圓的晶圓匣；及控制部，根據(jù)順序控制程序控制上述晶圓的檢查過(guò)程；而上述晶圓檢查方法，包括如下步驟將上述晶圓從上述裝載部裝載至上述旋轉(zhuǎn)型晶圓移送部；將裝載的上述晶圓移送至上述表面檢查部進(jìn)行表面檢查之后，將判定為不良的晶圓分離并排出至上述第一不良品收納部；將在上述表面檢查中判定為無(wú)異常的晶圓移送至上述內(nèi)部檢查部進(jìn)行內(nèi)部檢查之后，將判定為不良的晶圓分離并排出至上述第二不良品收納部；將在上述內(nèi)部檢查中判定為無(wú)異常的晶圓移送至上述卸載部；及卸載移送至上述卸載部的晶圓。根據(jù)本發(fā)明的另一方面，本發(fā)明提供一種晶圓檢查裝置，其包括裝載部，在其一側(cè)設(shè)置推送裝置，以使裝載多個(gè)晶圓的晶圓匣通過(guò)升降裝置升降，并使上述晶圓沿水平方向一張張引出；旋轉(zhuǎn)型晶圓移送部，包括裝載上述晶圓以移送至后續(xù)工序的旋轉(zhuǎn)臺(tái)；表面檢查部，包括用于上述晶圓的表面檢查的第一視覺(jué)模塊及由通過(guò)升降裝置升降的晶圓匣構(gòu)成的第一不良品收納部；內(nèi)部檢查部，包括用于上述晶圓的內(nèi)部檢查的第二視覺(jué)模塊及由通過(guò)升降裝置升降的晶圓匣構(gòu)成的第二不良品收納部；卸載部，包括通過(guò)升降裝置升降以依次裝載上述晶圓的晶圓匣；及控制部，根據(jù)順序控制程序控制上述晶圓的檢查過(guò)程。另外，在上述旋轉(zhuǎn)臺(tái)形成用于裝載上述晶圓的四個(gè)空間部，且對(duì)應(yīng)上述四個(gè)空間部均形成推送裝置，以向上述旋轉(zhuǎn)臺(tái)的外側(cè)方向推送上述裝載的晶圓，而且，上述每個(gè)空間部均形成用于支撐上述裝載晶圓的晶圓支撐臺(tái)。另外，上述第一視覺(jué)模塊包括表面檢查用攝像頭，位于上述旋轉(zhuǎn)臺(tái)上側(cè)；及兩個(gè)表面檢查用紫外線(xiàn)照明裝置，設(shè)置于上述表面檢查用攝像頭兩側(cè)；而且，上述第一不良品收納部位于與上述旋轉(zhuǎn)臺(tái)的外側(cè)相鄰的位置。另外，上述第二視覺(jué)模塊包括內(nèi)部檢查用攝像頭，位于上述旋轉(zhuǎn)臺(tái)上側(cè)；及內(nèi)部檢查用紅外線(xiàn)照明裝置，設(shè)置于上述旋轉(zhuǎn)臺(tái)下側(cè)以與上述內(nèi)部檢查用攝像頭相對(duì)；而且，上述第二不良品收納部位于與上述旋轉(zhuǎn)臺(tái)的外側(cè)相鄰的位置。另外，上述晶圓支撐臺(tái)由藍(lán)寶石材料制作而成。另外，上述檢查裝置還包括顯示/保存部，顯示及保存通過(guò)上述第一視覺(jué)模塊及第二視覺(jué)模塊獲取的圖像；及輸入/輸出部，向上述顯示/保存部輸入圖像或輸出保存于上述顯示/保存部的圖像；而且，作業(yè)者可實(shí)時(shí)監(jiān)控上述顯示部所顯示的上述圖像。根據(jù)本發(fā)明的又一方面，提供利用晶圓檢查裝置的晶圓檢查方法，其中，上述晶圓檢查裝置包括裝載部，在其一側(cè)設(shè)置推送裝置，以使裝載多個(gè)晶圓的晶圓匣通過(guò)升降裝置升降，并使上述晶圓沿水平方向一張張引出；旋轉(zhuǎn)型晶圓移送部，包括裝載上述晶圓以將其移送至后續(xù)工序的旋轉(zhuǎn)臺(tái)；表面檢查部，包括用于上述晶圓的表面檢查的第一視覺(jué)模塊及由通過(guò)升降裝置升降的晶圓匣構(gòu)成的第一不良品收納部；內(nèi)部檢查部，包括用于上述晶圓的內(nèi)部檢查的第二視覺(jué)模塊及由通過(guò)升降裝置升降的晶圓匣構(gòu)成的第二不良品收納部；卸載部，包括通過(guò)升降裝置升降以依次裝載上述晶圓的晶圓匣；及控制部，根據(jù)順序控制程序控制上述晶圓的檢查過(guò)程；而上述晶圓檢查方法，包括如下步驟將上述晶圓從上述裝載部裝載至上述旋轉(zhuǎn)型晶圓移送部；將裝載的上述晶圓移送至上述表面檢查部進(jìn)行表面檢查之后，將判定為不良的晶圓分離收集至上述第一不良品收納部；將在上述表面檢查中判定為無(wú)異常的晶圓移送至上述內(nèi)部檢查部進(jìn)行內(nèi)部檢查之后，將判定為不良的晶圓分離收集至上述第二不良品收納部；將在上述內(nèi)部檢查中判定為無(wú)異常的晶圓移送至上述卸載部；及卸載移送至上述卸載部的晶圓。如上所述，本發(fā)明LED及晶圓檢查裝置，在一個(gè)裝置連續(xù)實(shí)施對(duì)檢查對(duì)象的表面檢查及內(nèi)部檢查，從而提高作業(yè)效率。
另外，在檢查過(guò)程中減少待檢查的LED及晶圓的移動(dòng)，以減少檢查過(guò)程中有可能發(fā)生的檢查對(duì)象的破損或污染。另外，利用簡(jiǎn)單的方法迅速分離并排出在表面檢查及內(nèi)部檢查過(guò)程中判定為不良的LED及晶圓，從而提高生產(chǎn)量，并可選擇性地以原始狀態(tài)分離收集在檢查過(guò)程中判定為不良的LED及晶圓，從而回收利用。
圖1為本發(fā)明LED及晶圓檢查裝置的立體圖；圖2為圖1所示的LED及晶圓檢查裝置的平面圖；圖3為圖1所示的LED及晶圓檢查裝置結(jié)構(gòu)的模式圖；圖4為圖1所示的LED及晶圓檢查裝置的裝載部的示意圖；圖5為圖1所示的LED及晶圓檢查裝置的推送裝置的平面圖；圖6為圖1所示的LED及晶圓檢查裝置的第一視覺(jué)模塊的概略圖；圖7為圖1所示的LED及晶圓檢查裝置的不良品收納部的立體圖；圖8為表示圖1所示的LED及晶圓檢查裝置的晶圓支撐臺(tái)啟動(dòng)的平面圖；圖9為圖1所示的LED及晶圓檢查裝置的第二視覺(jué)模塊的概略圖；圖10為圖1所示的LED及晶圓檢查裝置的卸載部的立體圖；圖11為本發(fā)明另一實(shí)施例LED及晶圓檢查裝置的立體圖；圖12為本發(fā)明的圖11所示的LED及晶圓檢查裝置的平面圖；圖13為本發(fā)明的圖11所示的LED及晶圓檢查裝置的第一不良品收納部的立體圖；圖14為本發(fā)明的圖11所示的LED及晶圓檢查裝置的第二視覺(jué)模塊的概略圖；圖15為本發(fā)明的圖11所示的LED及晶圓檢查裝置的第二不良品收納部的立體圖。附圖標(biāo)記1:晶圓檢查裝置30:表面檢查部70:內(nèi)部檢查部110:控制部10 裝載部51 旋轉(zhuǎn)臺(tái)90 卸載部
具體實(shí)施例方式下面，結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的結(jié)構(gòu)及作用進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。在本發(fā)明說(shuō)明書(shū)中，對(duì)于附圖中的相同結(jié)構(gòu)，即使標(biāo)示于不同的附圖中，也盡可能用相同的標(biāo)記表示。下面，為便于說(shuō)明，將“LED及晶圓檢查裝置”簡(jiǎn)稱(chēng)為“晶圓檢查裝置”。實(shí)施例1如圖1至圖3所示，本發(fā)明晶圓檢查裝置1包括裝載部10、表面檢查部30、旋轉(zhuǎn)型晶圓移送部50、內(nèi)部檢查部70、卸載部90及控制部110。上述裝載部10是一張張依次引出裝載于晶圓匣11內(nèi)的晶圓W以便進(jìn)行檢查的部分，且上述晶圓匣11內(nèi)部形成有多個(gè)插槽，以使晶圓W裝載于上述多個(gè)插槽。另外，上述裝載部10包括升降裝置13，用于升降上述晶圓匣11 ；及推送裝置15，固定設(shè)置于上述晶圓匣11 一側(cè)并可沿水平方向前進(jìn)或后退，以向外部推送裝載于晶圓匣11內(nèi)的晶圓。只要能夠升降上述晶圓匣，上述升降裝置13可以是升降機(jī)等任何裝置。為將裝載于晶圓匣11內(nèi)的晶圓W裝載至稍后述及的旋轉(zhuǎn)臺(tái)51，上述升降裝置13使引出對(duì)象晶圓W 位于與上述旋轉(zhuǎn)臺(tái)51及上述推送裝置15相同的平面。如圖4及圖5所示，上述推送裝置15包括利用空壓的氣缸15a ；及推桿15b，以可前進(jìn)或后退地方式結(jié)合于上述氣缸15a內(nèi)部并在其前端結(jié)合有水平往復(fù)部件15c。為將裝載于上述晶圓匣11內(nèi)的晶圓W引出至外部，上述水平往復(fù)部件15c通過(guò)前進(jìn)和后退，向上述旋轉(zhuǎn)臺(tái)51沿水平方向推出上述晶圓W。如圖1及圖2所示，上述旋轉(zhuǎn)臺(tái)51可利用電機(jī)(未圖示)等動(dòng)力旋轉(zhuǎn)。而且，用于裝載晶圓W的多個(gè)空間部53形成為以旋轉(zhuǎn)軸52為中心按一定角度隔開(kāi)。在本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例中，上述空間部53的數(shù)量為四個(gè)，而上述空間部相互隔開(kāi)的角度為90°。上述四個(gè)空間部53分別對(duì)應(yīng)裝載部、表面檢查部、內(nèi)部檢查部及卸載部。在本發(fā)明中，可通過(guò)調(diào)節(jié)上述空間部53的大小，對(duì)各種大小的晶圓W進(jìn)行檢查。為此，較佳地，以可裝拆的方式構(gòu)成上述旋轉(zhuǎn)臺(tái)51。另外，如圖8所示，在上述四個(gè)空間部53形成可向兩側(cè)擴(kuò)展的兩個(gè)晶圓支撐臺(tái)33， 以在檢查過(guò)程中支撐晶圓，并在晶圓判定為不良時(shí)，分離并排出上述晶圓。較佳地，上述晶圓支撐臺(tái)33由透過(guò)率及強(qiáng)度優(yōu)異的藍(lán)寶石材料制作而成。在上述空間部53形成有推送裝置陽(yáng)，其用于將上述晶圓支撐臺(tái)33支撐的晶圓W推送至上述空間部53的外側(cè)。較佳地，上述推送裝置55位于上述旋轉(zhuǎn)臺(tái)51的中心方向。上述兩個(gè)晶圓支撐臺(tái)33，均具備晶圓檢測(cè)傳感器33c。上述晶圓檢測(cè)傳感器33c 可使用棱鏡傳感器等任意傳感器。由上述晶圓檢測(cè)傳感器33c獲取的信息被傳送至控制部 110，而上述控制部110基于上述所檢測(cè)的信息調(diào)節(jié)上述裝載部10的晶圓匣11的高度。艮口， 較佳地，上述控制部110的程序設(shè)計(jì)為，在通過(guò)上述晶圓檢測(cè)傳感器33c檢測(cè)到晶圓的裝載之后，將上述裝載部10的晶圓匣的高度上升相當(dāng)于一個(gè)插槽的高度，以準(zhǔn)備晶圓W下一次的裝載。如圖6所示，表面檢查部30是對(duì)從上述裝載部10裝載至上述旋轉(zhuǎn)臺(tái)51的晶圓W 表面進(jìn)行是否存在劃痕、破裂、污染等現(xiàn)象的檢查的部分。并且，若晶圓W表面存在異常，也可分離并排出晶圓W。具體而言，上述表面檢查部30包括第一視覺(jué)模塊35，上述第一視覺(jué)模塊包括表面檢查用攝像頭35a，位于上述旋轉(zhuǎn)臺(tái)51上側(cè)；及表面檢查用紫外線(xiàn)照明裝置35b，設(shè)置于上述表面檢查用攝像頭3 兩側(cè)。對(duì)上述表面檢查用攝像頭3 沒(méi)有特殊的限制，但較佳地，選用可獲得高質(zhì)量電子圖像的設(shè)備。較佳地，上述表面檢查用紫外線(xiàn)照明裝置3 選用 LED照明裝置。在此，之所以選用紫外線(xiàn)照明裝置，是因?yàn)樽贤饩€(xiàn)具有因波長(zhǎng)短而滲透力弱、 但可發(fā)現(xiàn)表面上的細(xì)微劃痕等的特性。控制部110在接收上述第一視覺(jué)模塊35所攝取的圖像之后，將接收?qǐng)D像與事先保存的規(guī)定的標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)進(jìn)行比較，以判定表面不良與否。此時(shí)，若判定為不良，則上述控制部 110將分離并排出相應(yīng)晶圓W ；而若判定為無(wú)異常，則將該晶圓W移送至作為下一步驟的內(nèi)部檢查部70。如圖7所示，為分離并排出在表面檢查中判定為不良的晶圓，在設(shè)置有上述第一視覺(jué)模塊35的上述旋轉(zhuǎn)臺(tái)51的下端，設(shè)置第一不良品收納部37。上述第一不良品收納部 37與上述旋轉(zhuǎn)臺(tái)51相隔一定間距，且延長(zhǎng)至上述旋轉(zhuǎn)臺(tái)51的下方。具體而言，如圖7及圖8所示，在上述空間部53，晶圓W受由氣缸33b的啟動(dòng)向兩側(cè)移動(dòng)的兩個(gè)晶圓支撐臺(tái)33a的支撐。因此，當(dāng)晶圓W被控制部110判斷為不良、并需將該不良晶圓分離并排出至上述第一不良品收納部37時(shí)，啟動(dòng)上述氣缸33b以使上述支撐臺(tái) 33a分別向左右移動(dòng)，從而擴(kuò)大兩個(gè)支撐臺(tái)33a之間的距離。因此，受上述支撐臺(tái)支撐的上述晶圓W將降落至上述第一不良品收納部37。此時(shí)，由于上述第一不良品收納部37對(duì)晶圓W的回收數(shù)量有限制，因此，較佳地， 由控制部Iio計(jì)算降落至上述第一不良品收納部37的不良晶圓W的數(shù)量，并在達(dá)到預(yù)先設(shè)定的數(shù)量之后，中止晶圓檢查裝置1的運(yùn)行并發(fā)出警報(bào)。根據(jù)情況，可不使用如上所述的可向兩側(cè)移動(dòng)的兩個(gè)晶圓支撐臺(tái)33a，而利用形成于上述旋轉(zhuǎn)臺(tái)51的推送裝置，將不良晶圓W推落至上述第一不良品收納部37。此時(shí)，無(wú)需擴(kuò)展上述晶圓支撐臺(tái)33a，而由上述推送裝置將位于上述晶圓支撐臺(tái)33a的不良晶圓W推向上述空間部53外側(cè)，以使其降落至上述第一不良品收納部37。在表面檢查部30完成表面檢查的晶圓W，即在表面檢查中判定為無(wú)異常的晶圓W， 被上述旋轉(zhuǎn)型晶圓移送部50移送至作為下一步驟的內(nèi)部檢查部70。與此同時(shí)，裝載部10 將新裝載的晶圓移送至上述表面檢查部30。上述內(nèi)部檢查部70是對(duì)旋轉(zhuǎn)型晶圓移送部50移送的晶圓內(nèi)部進(jìn)行是否存在劃痕、空隙等內(nèi)部缺陷的檢查的部分。另外，可根據(jù)上述晶圓W的異常與否，分離并排出晶圓 I如圖9所示，上述內(nèi)部檢查部70包括第二視覺(jué)模塊75，上述第二視覺(jué)模塊75包括內(nèi)部檢查用攝像頭7 及兩個(gè)內(nèi)部檢查用紅外線(xiàn)照明裝置75b。對(duì)上述內(nèi)部檢查用攝像頭7 沒(méi)有特殊的限制，但較佳地，選用可獲得高質(zhì)量電子圖像的設(shè)備。較佳地，上述內(nèi)部檢查用紅外線(xiàn)照明裝置7 選用LED照明裝置。在此，之所以選用紅外線(xiàn)照明裝置，是因?yàn)榧t外線(xiàn)的波長(zhǎng)長(zhǎng)，從而滲透力好。另外，較佳地，上述內(nèi)部檢查用攝像頭7 和內(nèi)部檢查用紅外線(xiàn)照明裝置75b以相隔設(shè)定空間的方式相對(duì)而設(shè)。根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例，上述內(nèi)部檢查用攝像頭7 位于上述旋轉(zhuǎn)臺(tái)51的上側(cè)，而上述內(nèi)部檢查用紅外線(xiàn)照明裝置7 位于上述旋轉(zhuǎn)臺(tái)51的下側(cè)。另外，上述兩個(gè)內(nèi)部檢查用紅外線(xiàn)照明裝置75b，在檢查過(guò)程中位于相鄰的位置， 以輔助圖像的獲取(見(jiàn)圖9(a))，而在使檢查中判定為不良的晶圓W降落時(shí)分別向左右移動(dòng)，以形成便于上述晶圓通過(guò)的空間(見(jiàn)圖9(b))?？刂撇?10在接收上述第二視覺(jué)模塊75所攝取的圖像之后，將接收?qǐng)D像與事先保存的規(guī)定的標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)進(jìn)行比較，以判定晶圓W的內(nèi)部不良與否。此時(shí)，若判定為不良，則上述控制部110將分離并排出相應(yīng)晶圓W ；而若判定為無(wú)異常，則將該晶圓W移送至作為下一步驟的卸載部。為分離并排出在表面檢查中判定為不良的晶圓，在設(shè)置有上述第二視覺(jué)模塊75 的上述旋轉(zhuǎn)臺(tái)51的下端，設(shè)置第二不良品收納部(未圖示)。與如上所述的第一不良品收納部一樣，上述第二不良品收納部與上述兩個(gè)內(nèi)部檢查用紅外線(xiàn)照明裝置7 相隔一定間距，且延長(zhǎng)至上述兩個(gè)內(nèi)部檢查用紅外線(xiàn)照明裝置75b的下方。具體而言，如圖9所示，在上述空間部53，晶圓W受由氣缸33b的啟動(dòng)向兩側(cè)移動(dòng)的兩個(gè)晶圓支撐臺(tái)33a的支撐。因此，當(dāng)晶圓W被控制部110判斷為不良并需將不良晶圓分離并排出至上述第二不良品收納部時(shí)，啟動(dòng)上述氣缸33b以使上述支撐臺(tái)33a分別向左右移動(dòng)，從而擴(kuò)大兩個(gè)支撐臺(tái)33a之間的距離。此時(shí)，因上述兩個(gè)內(nèi)部檢查用紅外線(xiàn)照明裝置7 位于上述晶圓支撐臺(tái)33a的垂直方向下方。因此，為了使判定為不良的晶圓W降落， 上述兩個(gè)內(nèi)部檢查用紅外線(xiàn)照明裝置75b需在上述支撐臺(tái)33a擴(kuò)展時(shí)一并擴(kuò)展。因此，受上述支撐臺(tái)33a支撐的上述晶圓W，在被上述控制部110判定為不良的同時(shí)，通過(guò)上述支撐臺(tái)及上述內(nèi)部檢查用紅外線(xiàn)照明裝置75b，降落至上述第二不良品收納部47。根據(jù)情況，可不擴(kuò)展上述支撐臺(tái)33a，而利用形成于上述旋轉(zhuǎn)臺(tái)51的推送裝置，將不良晶圓W推落至上述第二不良品收納部47。接著，在內(nèi)部檢查部完成內(nèi)部檢查的晶圓W，即在內(nèi)部檢查中判定為無(wú)異常的晶圓 W，被上述旋轉(zhuǎn)型晶圓移送部50移送至作為下一步驟的卸載部90。與此同時(shí)，在上述表面檢查部30被判定為無(wú)異常的晶圓移送至上述內(nèi)部檢查部，而新裝載于上述裝載部10的晶圓移送至上述表面檢查部30，且在裝載部10裝載新的晶圓。上述卸載部90包括通過(guò)升降機(jī)等升降裝置93升降的晶圓匣91。完成內(nèi)部檢查的上述晶圓W依次進(jìn)入并裝載于上述晶圓匣91。具體而言，在形成于上述旋轉(zhuǎn)臺(tái)51的空間部53的里面中，上述旋轉(zhuǎn)臺(tái)51的中心 52方向內(nèi)，設(shè)置有用于推送晶圓的推送裝置55。上述推送裝置55的結(jié)構(gòu)與用于上述裝載部10的推送裝置15的結(jié)構(gòu)相同。此時(shí)，上述晶圓匣91的每個(gè)內(nèi)部插槽均具備晶圓檢測(cè)傳感器(未圖示)，用于檢測(cè)是否裝載有晶圓W，之后將其信息傳送到控制部110。控制部110根據(jù)收到的檢測(cè)信息，利用上述升降裝置93調(diào)節(jié)上述晶圓匣91的高度。如圖3所示，本發(fā)明LED以及晶圓檢查裝置1還包括顯示/保存部130，顯示及保存通過(guò)上述第一視覺(jué)模塊35及第二視覺(jué)模塊75獲取的圖像；及輸入/輸出部150，向上述顯示/保存部130輸入圖像或輸出保存于上述顯示/保存部130的圖像。因此，使用上述檢查裝置1的作業(yè)者可實(shí)時(shí)監(jiān)控及控制上述顯示部130所顯示的上述圖像。實(shí)施例2實(shí)施例2涉及利用上述實(shí)施例1的檢查裝置的晶圓檢查方法。具體而言，本發(fā)明提供了利用晶圓檢查裝置的晶圓檢查方法，其中，上述晶圓檢查裝置包括裝載部，在其一側(cè)設(shè)置推送裝置，以使裝載多個(gè)晶圓的晶圓匣通過(guò)升降裝置升降，并使上述晶圓沿水平方向一張張引出；旋轉(zhuǎn)型晶圓移送部，包括裝載上述晶圓以將其移送至后續(xù)工序的旋轉(zhuǎn)臺(tái)；表面檢查部，包括用于上述晶圓的表面檢查的第一視覺(jué)模塊及第一不良品收納部；內(nèi)部檢查部，包括用于上述晶圓的內(nèi)部檢查的第二視覺(jué)模塊及第二不良品收納部；卸載部，包括晶圓匣，晶圓匣通過(guò)升降裝置升降，并依次裝載上述晶圓；及控制部，根據(jù)順序控制程序控制上述晶圓的檢查過(guò)程；而上述晶圓檢查方法，包括如下步驟將上述晶圓從上述裝載部裝載至上述旋轉(zhuǎn)型晶圓移送部；將裝載的上述晶圓移送至上述表面檢查部進(jìn)行表面檢查之后，將判定為不良的晶圓分離并排出至上述第一不良品收納部；將在上述表面檢查中判定為無(wú)異常的晶圓移送至上述內(nèi)部檢查部進(jìn)行內(nèi)部檢查之后，將判定為不良的晶圓分離并排出至上述第二不良品收納部；將在上述內(nèi)部檢查中判定為無(wú)異常的晶圓移送至上述卸載部；及卸載移送至上述卸載部的晶圓。下面，對(duì)實(shí)施例2的晶圓檢查方法進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。首先，若裝載部10向設(shè)置于旋轉(zhuǎn)臺(tái)51的多個(gè)空間部53中的一個(gè)空間部53裝載晶圓W，則控制部110通過(guò)晶圓檢測(cè)傳感器檢測(cè)晶圓W裝載信息，從而將旋轉(zhuǎn)臺(tái)51逆時(shí)針旋轉(zhuǎn) 90°。此時(shí)，第一個(gè)裝載至上述空間部53的晶圓W旋轉(zhuǎn)移送至表面檢查部30的同時(shí)，將在裝載部10的空間部53裝載第二個(gè)晶圓W，而這樣的對(duì)晶圓W的裝載操作將連續(xù)進(jìn)行。另外，利用設(shè)置于上述表面檢查部30的第一視覺(jué)模塊35對(duì)裝載晶圓W進(jìn)行表面檢查。在表面檢查中判定為不良的晶圓W，在空間部的晶圓支撐臺(tái)33a向兩側(cè)擴(kuò)展的同時(shí)，分離并排出至第一不良品收納部37。根據(jù)情況，可不擴(kuò)展上述晶圓支撐臺(tái)33a，而利用形成于上述旋轉(zhuǎn)臺(tái)51的推送裝置，將不良晶圓W推落至上述第一不良品收納部37。在表面檢查中判定為無(wú)異常的晶圓W，將旋轉(zhuǎn)移送至作為下一個(gè)檢查步驟的內(nèi)部檢查部70，并利用設(shè)置于上述內(nèi)部檢查部70的第二視覺(jué)模塊75對(duì)裝載的晶圓進(jìn)行內(nèi)部檢查。在內(nèi)部檢查中判定為不良的晶圓W，在空間部的晶圓支撐臺(tái)33a及內(nèi)部檢查用紅外線(xiàn)照明裝置75b向兩側(cè)擴(kuò)展的同時(shí)，分離并排出至第二不良品收納部47。根據(jù)情況，可不擴(kuò)展上述晶圓支撐臺(tái)33a及上述內(nèi)部檢查用紅外線(xiàn)照明裝置75b，而利用形成于上述旋轉(zhuǎn)臺(tái)51的推送裝置55，將不良晶圓W推落至上述第二不良品收納部47。在內(nèi)部檢查中判定為無(wú)異常的晶圓W，將旋轉(zhuǎn)移送至卸載部90。移送至上述卸載部90的晶圓，通過(guò)推送裝置55轉(zhuǎn)載于晶圓匣91。在上述晶圓檢查過(guò)程中，控制部110控制在裝載部10中對(duì)晶圓的檢測(cè)及晶圓匣的升降、在表面檢查部30及內(nèi)部檢查部70中對(duì)不良與否的判定、及在卸載部90中裝載晶圓與否等一系列過(guò)程。實(shí)施例3如圖11至圖12所示，與上述實(shí)施例1 一樣，本發(fā)明實(shí)施例3的晶圓檢查裝置1 包括裝載部10、旋轉(zhuǎn)型晶圓移送部50、表面檢查部30、內(nèi)部檢查部70、卸載部90及控制部 110。除上述結(jié)構(gòu)之外，升降裝置93、旋轉(zhuǎn)臺(tái)51、推送裝置15、晶圓支撐臺(tái)33的結(jié)構(gòu)與上述實(shí)施例1相同。因此，在此不再贅述。如圖13所示，為分離收集在表面檢查中判定為不良的晶圓W，在設(shè)置有上述第一視覺(jué)模塊35的上述旋轉(zhuǎn)臺(tái)的外側(cè)，設(shè)置第一不良品收納部37。上述第一不良品收納部37 設(shè)置于與上述旋轉(zhuǎn)臺(tái)51相鄰的位置。上述第一不良品收納部37包括與上述裝載部的晶圓裝載晶圓匣11相同的晶圓匣，及可升降上述晶圓匣的升降裝置93。在上述晶圓匣沿垂直方向形成多個(gè)插槽，而在上述插槽上均設(shè)置晶圓檢測(cè)傳感器(未圖示)。若上述晶圓檢測(cè)傳感器檢測(cè)到晶圓W的裝載，則控制部110調(diào)節(jié)上述晶圓匣的高度。因此，本發(fā)明可以原始狀態(tài)分離收集在表面檢查過(guò)程中判定為不良的晶圓。選擇性地，若無(wú)需以原始狀態(tài)分離收集晶圓，則可不在上述第一不良品收納部37 設(shè)置晶圓匣，而設(shè)置獨(dú)立的回收盒。此時(shí)，較佳地，若設(shè)置于第一不良品收納部37的晶圓匣裝滿(mǎn)了不良晶圓，則上述控制部110中止晶圓檢查裝置1的運(yùn)行并發(fā)出警報(bào)。為此，較佳地，上述控制部110計(jì)算被判定為不良而再次裝載于上述第一不良品收納部37的晶圓W的數(shù)量。在表面檢查部30完成表面檢查的晶圓W，即在表面檢查中判定為無(wú)異常的晶圓W， 被上述旋轉(zhuǎn)型晶圓移送部50移送至作為下一步驟的內(nèi)部檢查部70。與此同時(shí)，裝載部10 將新裝載的晶圓移送至上述表面檢查部30。上述內(nèi)部檢查部70是對(duì)旋轉(zhuǎn)型晶圓移送部50移送的晶圓W內(nèi)部依次進(jìn)行是否存在劃痕、空隙等內(nèi)部缺陷的部分。另外，可根據(jù)上述晶圓W的異常與否，分離收集晶圓W。如圖14所示，上述內(nèi)部檢查部70包括第二視覺(jué)模塊75，上述第二視覺(jué)模塊75包括內(nèi)部檢查用攝像頭7 及內(nèi)部檢查用紅外線(xiàn)照明裝置75b。對(duì)上述內(nèi)部檢查用攝像頭 7 沒(méi)有特殊的限制，但較佳地，選用可獲得高質(zhì)量電子圖像的設(shè)備。較佳地，上述內(nèi)部檢查用紅外線(xiàn)照明裝置75b選用紅外線(xiàn)(IR)照明裝置。另外，較佳地，上述內(nèi)部檢查用攝像頭7 和內(nèi)部檢查用紅外線(xiàn)照明裝置7 相隔一定空間并相對(duì)而設(shè)。根據(jù)本發(fā)明較佳實(shí)施例，上述內(nèi)部檢查用攝像頭7 位于上述旋轉(zhuǎn)臺(tái)51的上側(cè)，而上述內(nèi)部檢查用紅外線(xiàn)照明裝置7 位于上述旋轉(zhuǎn)臺(tái)51的下側(cè)。此時(shí)，在上述內(nèi)部檢查用攝像頭7 和上述內(nèi)部檢查用紅外線(xiàn)照明裝置7 之間， 設(shè)置晶圓支撐臺(tái)33。因此，較佳地，上述晶圓支撐臺(tái)33由透光性及強(qiáng)度好的藍(lán)寶石材料或藍(lán)寶石水晶材料制作而成?？刂撇?10接收上述第二視覺(jué)模塊73所攝取的圖像之后，將接收?qǐng)D像與事先保存的規(guī)定的標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)進(jìn)行比較，以判定晶圓W的內(nèi)部不良與否。此時(shí)，若判定為不良，在上述控制部110將分離收集相應(yīng)晶圓W ；而若判定為無(wú)異常，則將該晶圓W移送至作為下一步驟的卸載部90。如圖9所示，為分離收集在內(nèi)部檢查中判定為不良的晶圓，在設(shè)置上述第二視覺(jué)模塊35的上述旋轉(zhuǎn)臺(tái)51的外側(cè)，設(shè)置第二不良品收納部47。上述第二不良品收納部47設(shè)置于與上述旋轉(zhuǎn)臺(tái)51相鄰的位置。上述第二不良品收納部47，包括與上述裝載部10的晶圓裝載晶圓匣11相同的晶圓匣，及可升降上述晶圓匣的升降裝置。在上述晶圓匣沿垂直方向形成多個(gè)插槽，而在上述插槽上均設(shè)置晶圓檢測(cè)傳感器(未圖示)。若上述晶圓檢測(cè)傳感器檢測(cè)到晶圓的裝載，則控制部110調(diào)節(jié)上述晶圓匣的高度。因此，本發(fā)明可以原始狀態(tài)分離收集在表面檢查過(guò)程中判定為不良的晶圓。選擇性地，若無(wú)需以原始狀態(tài)分離收集晶圓，則可不在上述第二不良品收納部47 設(shè)置晶圓匣，而設(shè)置獨(dú)立的回收盒。與上述表面檢查部30 —樣，較佳地，在上述內(nèi)部檢查部70，也由在判定晶圓W的不良與否之后，計(jì)算被判定為不良的晶圓W的數(shù)量，從而當(dāng)達(dá)到上述第二不良品收納部47可裝載的最大數(shù)量之后，中斷晶圓檢查裝置1的運(yùn)行并發(fā)出警報(bào)。
接著，在上述內(nèi)部檢查部完成內(nèi)部檢查的晶圓W，即在內(nèi)部檢查中判定為無(wú)異常的晶圓W，被上述旋轉(zhuǎn)臺(tái)51移送至作為下一步驟的卸載部90。與此同時(shí)，在上述表面檢查部 30被判定為無(wú)異常的晶圓W移送至上述內(nèi)部檢查部70，而新裝載于上述裝載部10的晶圓 W移送至上述表面檢查部30，且在裝載部10裝載新的晶圓。之后的過(guò)程與上述實(shí)施例1相同。因此，在此不再贅述。實(shí)施例4實(shí)施例4涉及利用上述實(shí)施例3的晶圓檢查裝置的晶圓檢查方法。根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例4，利用晶圓檢查裝置的晶圓檢查方法，其中，上述晶圓檢查裝置包括裝載部，在其一側(cè)設(shè)置推送裝置，以使裝載多個(gè)晶圓的晶圓匣通過(guò)升降裝置升降， 并使上述晶圓沿水平方向一張張引出；旋轉(zhuǎn)型晶圓移送部，包括裝載上述晶圓以將其移送至后續(xù)工序的旋轉(zhuǎn)臺(tái)；表面檢查部，包括用于上述晶圓的表面檢查的第一視覺(jué)模塊及第一不良品收納部；內(nèi)部檢查部，包括用于上述晶圓的內(nèi)部檢查的第二視覺(jué)模塊及第二不良品收納部；卸載部，包括通過(guò)升降裝置升降的晶圓匣，以依次裝載上述晶圓；及控制部，根據(jù)順序控制程序控制上述晶圓的檢查過(guò)程；而上述晶圓檢查方法，包括如下步驟將上述晶圓從上述裝載部裝載至上述旋轉(zhuǎn)型晶圓移送部；將裝載的上述晶圓移送至上述表面檢查部進(jìn)行表面檢查之后，將判定為不良的晶圓分離收集至上述第一不良品收納部；將在上述表面檢查中判定為無(wú)異常的晶圓移送至上述內(nèi)部檢查部進(jìn)行內(nèi)部檢查之后，將判定為不良的晶圓分離收集至上述第二不良品收納部；將在上述內(nèi)部檢查中判定為無(wú)異常的晶圓移送至上述卸載部；及卸載移送至上述卸載部的晶圓。下面，對(duì)實(shí)施例4的晶圓檢查方法進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。首先，若裝載部10利用推送裝置15向設(shè)置于旋轉(zhuǎn)臺(tái)51的多個(gè)空間部53中的一個(gè)空間部53裝載晶圓W，則旋轉(zhuǎn)臺(tái)51逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)90°。此時(shí)，第一個(gè)裝載至上述空間部53的晶圓W旋轉(zhuǎn)移送至表面檢查部30的同時(shí)，將在裝載部10的空間部53裝載第二個(gè)晶圓W，而這樣的對(duì)晶圓W的裝載操作將連續(xù)進(jìn)行。另外，利用設(shè)置于上述表面檢查部30的第一視覺(jué)模塊35對(duì)裝載晶圓W進(jìn)行表面檢查。在表面檢查中判定為不良的晶圓W，被旋轉(zhuǎn)臺(tái)的推送裝置55分離回收至第一不良品收納部37。在表面檢查中判定為無(wú)異常的晶圓W，將旋轉(zhuǎn)移送至作為下一個(gè)檢查步驟的內(nèi)部檢查部70，并利用設(shè)置于上述內(nèi)部檢查部70的第二視覺(jué)模塊75對(duì)裝載的晶圓進(jìn)行內(nèi)部檢查。在表面檢查中判定為不良的晶圓W，被旋轉(zhuǎn)臺(tái)的推送裝置55分離回收至第二不良品收納部47。在內(nèi)部檢查中判定為無(wú)異常的晶圓W，將旋轉(zhuǎn)移送至卸載部90。移送至上述卸載部90的晶圓，通過(guò)推送裝置55轉(zhuǎn)載至晶圓匣91。與實(shí)施例2相同，在上述晶圓檢查過(guò)程中，控制部110控制在裝載部10中對(duì)晶圓的檢測(cè)及晶圓匣的升降、在表面檢查部30及內(nèi)部檢查部70中對(duì)不良與否的判定、及在卸載部90中裝載晶圓與否等一系列過(guò)程。
本發(fā)明晶圓檢查裝置，以用于晶圓(太陽(yáng)能電池)的表面及內(nèi)部檢查的為例進(jìn)行了說(shuō)明，但本發(fā)明不受上述實(shí)施例的限制。本發(fā)明還可用于手機(jī)攝像頭用鏡頭或數(shù)碼相機(jī)用鏡頭、CCTV用鏡頭JR相機(jī)用鏡頭(人造藍(lán)寶石)、寶石類(lèi)等的表面及內(nèi)部檢查，而且，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解，可以對(duì)本發(fā)明進(jìn)行修改、變形或者等同替換，而不脫離本發(fā)明的精神和范圍，其均應(yīng)涵蓋在本發(fā)明的權(quán)利要求范圍當(dāng)中。
權(quán)利要求
1.一種LED及晶圓檢查裝置，包括裝載部，在其一側(cè)設(shè)置推送裝置，以使裝載多個(gè)LED及晶圓的晶圓匣通過(guò)升降裝置升降，并使上述LED及晶圓沿水平方向一張張引出；旋轉(zhuǎn)型LED及晶圓移送部，包括裝載上述LED及晶圓以將其移送至后續(xù)工序的旋轉(zhuǎn)臺(tái)；表面檢查部，包括用于上述LED及晶圓的表面檢查的第一視覺(jué)模塊及第一不良品收納部；內(nèi)部檢查部，包括用于上述LED及晶圓的內(nèi)部檢查的第二視覺(jué)模塊及第二不良品收納部；卸載部，包括通過(guò)升降裝置升降以依次裝載上述LED及晶圓的晶圓匣；及控制部，根據(jù)順序控制程序控制上述LED及晶圓的檢查過(guò)程。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的LED及晶圓檢查裝置，其特征在于 在上述旋轉(zhuǎn)臺(tái)中形成的用于裝載上述LED及晶圓的四個(gè)空間部，且在上述每個(gè)空間部均形成有兩個(gè)LED及晶圓支撐臺(tái)，用于支撐上述裝載的LED及晶圓，而且，上述兩個(gè)LED及晶圓支撐臺(tái)可分別向左右移動(dòng)，以使上述LED及晶圓降落。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的LED及晶圓檢查裝置，其特征在于 上述第一視覺(jué)模塊包括表面檢查用攝像頭，位于上述旋轉(zhuǎn)臺(tái)上側(cè)；及兩個(gè)表面檢查用紫外線(xiàn)照明裝置，設(shè)置于上述表面檢查用攝像頭兩側(cè)；而且，上述第一不良品收納部位于上述第一視覺(jué)模塊及上述旋轉(zhuǎn)臺(tái)的下方。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的LED及晶圓檢查裝置，其特征在于 上述第二視覺(jué)模塊包括內(nèi)部檢查用攝像頭，位于上述旋轉(zhuǎn)臺(tái)上側(cè)；及兩個(gè)內(nèi)部檢查用紅外線(xiàn)照明裝置，設(shè)置于上述旋轉(zhuǎn)臺(tái)下側(cè)以與上述內(nèi)部檢查用攝像頭相對(duì)；而且，上述第二不良品收納部位于上述第二視覺(jué)模塊及上述旋轉(zhuǎn)臺(tái)的下方。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的LED及晶圓檢查裝置，其特征在于在上述LED及晶圓的內(nèi)部檢查過(guò)程中，上述兩個(gè)內(nèi)部檢查用紅外線(xiàn)照明裝置位于相鄰的位置，而在上述LED及晶圓降落時(shí)分別向左右移動(dòng)，以便使上述LED及晶圓通過(guò)。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的LED及晶圓檢查裝置，其特征在于 上述LED及晶圓支撐臺(tái)由藍(lán)寶石材料制作而成。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的LED及晶圓檢查裝置，還包括顯示/保存部，用于顯示及保存通過(guò)上述第一視覺(jué)模塊及第二視覺(jué)模塊獲取的圖像；及輸入/輸出部，向上述顯示/保存部輸入圖像或輸出保存于上述顯示/保存部的圖像； 而且，作業(yè)者能實(shí)時(shí)監(jiān)控上述顯示部所顯示的上述圖像。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的LED及晶圓檢查裝置，其中所述第一不良品收納部由通過(guò)升降裝置升降的晶圓匣構(gòu)成；所述第二不良品收納部由通過(guò)升降裝置升降的晶圓匣構(gòu)成。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的LED及晶圓檢查裝置，其特征在于在上述旋轉(zhuǎn)臺(tái)形成的用于裝載上述LED及晶圓的四個(gè)空間部，且對(duì)應(yīng)上述四個(gè)空間部均形成有推送裝置，以向上述旋轉(zhuǎn)臺(tái)的外側(cè)方向推送上述裝載的LED及晶圓，而且， 在上述每個(gè)空間部均形成有用于支撐上述裝載的LED及晶圓的LED及晶圓支撐臺(tái)。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的LED及晶圓檢查裝置，其特征在于 上述第一視覺(jué)模塊包括表面檢查用攝像頭，位于上述旋轉(zhuǎn)臺(tái)上側(cè)；及兩個(gè)表面檢查用紫外線(xiàn)照明裝置，設(shè)置于上述表面檢查用攝像頭兩側(cè)；而且，上述第一不良品收納部位于與上述旋轉(zhuǎn)臺(tái)的外側(cè)相鄰的位置。
11.根據(jù)權(quán)利要求8所述的LED及晶圓檢查裝置，其特征在于 上述第二視覺(jué)模塊包括內(nèi)部檢查用攝像頭，位于上述旋轉(zhuǎn)臺(tái)上側(cè)；及內(nèi)部檢查用紅外線(xiàn)照明裝置，設(shè)置于上述旋轉(zhuǎn)臺(tái)下側(cè)以與上述內(nèi)部檢查用攝像頭相對(duì)；而且，上述第二不良品收納部位于與上述旋轉(zhuǎn)臺(tái)的外側(cè)相鄰的位置。
12.根據(jù)權(quán)利要求9所述的LED及晶圓檢查裝置，其特征在于 上述LED及晶圓支撐臺(tái)由藍(lán)寶石材料制作而成。
13.根據(jù)權(quán)利要求8所述的LED及晶圓檢查裝置，其特征在于還包括顯示/保存部，顯示及保存通過(guò)上述第一視覺(jué)模塊及第二視覺(jué)模塊獲取的圖像；及輸入/輸出部，向上述顯示/保存部輸入圖像或輸出保存于上述顯示/保存部的圖像；而且，作業(yè)者可實(shí)時(shí)監(jiān)控上述顯示部所顯示的上述圖像。
14.一種利用LED及晶圓檢查裝置的LED及晶圓檢查方法，其中，上述LED及晶圓檢查裝置包括裝載部，在其一側(cè)設(shè)置推送裝置，以使裝載多個(gè)LED及晶圓的晶圓匣通過(guò)升降裝置升降，并使上述LED及晶圓沿水平方向一張張引出；旋轉(zhuǎn)型LED 及晶圓移送部，包括裝載上述LED及晶圓以將其移送至后續(xù)工序的旋轉(zhuǎn)臺(tái)；表面檢查部，包括用于上述LED及晶圓的表面檢查的第一視覺(jué)模塊及第一不良品收納部；內(nèi)部檢查部，包括用于上述LED及晶圓的內(nèi)部檢查的第二視覺(jué)模塊及第二不良品收納部；卸載部，包括通過(guò)升降裝置升降以依次裝載上述LED及晶圓的晶圓匣；及控制部，根據(jù)順序控制程序控制上述LED及晶圓的檢查過(guò)程；而上述LED及晶圓檢查方法包括如下步驟將上述LED及晶圓從上述裝載部裝載至上述旋轉(zhuǎn)型LED及晶圓移送部； 將裝載的上述LED及晶圓移送至上述表面檢查部進(jìn)行表面檢查之后，將判定為不良的 LED及晶圓分離并排出至上述第一不良品收納部；將在上述表面檢查中判定為無(wú)異常的LED及晶圓移送至上述內(nèi)部檢查部進(jìn)行內(nèi)部檢查之后，將此次檢查后判定為不良的LED及晶圓分離并排出至上述第二不良品收納部； 將在上述內(nèi)部檢查中判定為無(wú)異常的LED及晶圓移送至上述卸載部；及卸載移送至上述卸載部的LED及晶圓。
15. 一種利用LED及晶圓檢查裝置的LED及晶圓檢查方法，其中， 上述LED及晶圓檢查裝置包括裝載部，在其一側(cè)設(shè)置推送裝置，以使裝載多個(gè)LED及晶圓的晶圓匣通過(guò)升降裝置升降，并使上述LED及晶圓沿水平方向一張張引出；旋轉(zhuǎn)型LED 及晶圓移送部，包括裝載上述LED及晶圓以將其移送至后續(xù)工序的旋轉(zhuǎn)臺(tái)；表面檢查部，包括用于上述LED及晶圓的表面檢查的第一視覺(jué)模塊及由通過(guò)升降裝置升降的晶圓匣構(gòu)成的第一不良品收納部；內(nèi)部檢查部，包括用于上述LED及晶圓的內(nèi)部檢查的第二視覺(jué)模塊及由通過(guò)升降裝置升降的晶圓匣構(gòu)成的第二不良品收納部；卸載部，包括通過(guò)升降裝置升降以依次裝載上述LED及晶圓的晶圓匣；及控制部，根據(jù)順序控制程序控制上述LED及晶圓的檢查過(guò)程；而上述LED及晶圓檢查方法，包括如下步驟將上述LED及晶圓從上述裝載部裝載至上述旋轉(zhuǎn)型LED及晶圓移送部； 將裝載的上述LED及晶圓移送至上述表面檢查部進(jìn)行表面檢查之后，將判定為不良的 LED及晶圓分離收集至上述第一不良品收納部；將在上述表面檢查中判定為無(wú)異常的LED及晶圓移送至上述內(nèi)部檢查部進(jìn)行內(nèi)部檢查之后，將此次檢查后判定為不良的LED及晶圓分離收集至上述第二不良品收納部；將在上述內(nèi)部檢查中判定為無(wú)異常的LED及晶圓移送至上述卸載部；及卸載移送至上述卸載部的LED及晶圓。
全文摘要
本發(fā)明提供可在一個(gè)裝置連續(xù)實(shí)施LED及晶圓表面檢查及內(nèi)部檢查的LED及晶圓檢查裝置及晶圓檢查方法。該裝置包括裝載部，在其一側(cè)設(shè)置推送裝置，以使裝載多個(gè)LED及晶圓的晶圓匣通過(guò)升降裝置升降，并使上述LED及晶圓沿水平方向一張張引出；旋轉(zhuǎn)型LED及晶圓移送部，包括裝載上述LED及晶圓以將其移送至后續(xù)工序的旋轉(zhuǎn)臺(tái)；表面檢查部，包括用于上述LED及晶圓表面檢查的第一視覺(jué)模塊及第一不良品收納部；內(nèi)部檢查部，包括用于上述LED及晶圓內(nèi)部檢查的第二視覺(jué)模塊及第二不良品收納部；卸載部，包括通過(guò)升降裝置升降以依次裝載上述LED及晶圓的晶圓匣；及控制部，根據(jù)順序控制程序控制上述LED及晶圓的檢查過(guò)程。本發(fā)明通過(guò)上述裝置提高了作業(yè)效率及空間利用率。
文檔編號(hào)H01L21/66GK102280394SQ201110040528
公開(kāi)日2011年12月14日 申請(qǐng)日期2011年2月18日 優(yōu)先權(quán)日2010年6月10日
發(fā)明者李毅鏞 申請(qǐng)人:(株)昌盛Ace產(chǎn)業(yè)