專利名稱：一種處理基板的方法、基板及基板處理設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及液晶面板制造領(lǐng)域，尤其涉及一種處理基板的方法、基板及基板處理設(shè)備。
背景技術(shù)：
在液晶面板基板的陣列工業(yè)過程中，基板通常需要至少4次以上的成膜、光刻、刻蝕、剝離的循環(huán)過程。在這些工藝過程中，需要將基板在不同設(shè)備間來回進行搬運，因此，基板不可避免地要與各個設(shè)備相接觸，受到各個設(shè)備對其施加的應力。這些應力是基板破損的因素之一。針對于此，目前各生產(chǎn)廠家均從設(shè)備處著手，盡量防止設(shè)備部件發(fā)生突發(fā)事件導致與基板局部的接觸應力過大。
此外，基板破損的另一因素是基板經(jīng)邊緣存在微裂紋，由于該微裂紋的存在使得基板的抗應力性減弱，因此基板發(fā)生破損的幾率大大增加。但目前尚未有相關(guān)方案針對基板的微裂紋進行處理。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明提供一種處理基板的方法、基板及基板處理設(shè)備，以降低基板因微裂紋導致的基板受損的概率。為達到上述目的，本發(fā)明的實施例采用如下技術(shù)方案—方面，提供一種處理基板的方法，包括用可腐蝕基板材料的腐蝕性藥液對基板邊緣進行處理。一方面，提供一種用上述方法制得的基板，所述基板邊緣的微裂紋為圓滑角的微裂紋。一方面，提供一種基板處理設(shè)備，包括藥液存儲部，一端與藥液噴口連接，用于存儲可腐蝕基板材料的腐蝕性藥液；藥液噴口，用于向基板的邊緣涂覆所述藥液存儲部存儲的腐蝕性藥液。本發(fā)明提供的處理基板的方法、基板及基板處理設(shè)備，用可腐蝕基板材料的腐蝕性藥液對基板邊緣進行處理。這樣，基板邊緣上原有的角度較小的微裂紋——即尖角的微裂紋會在腐蝕性藥液的腐蝕下角度變圓滑。由彈性力學常識可知，角度圓滑的微裂紋的應力集中弱于角度尖銳的微裂紋的應力集中，因此，角度圓滑的微裂紋所能承受的應力更大，進而經(jīng)過處理后的基板所能承受的應力更大，不易被損壞，從而降低了基板因微裂紋導致的基板受損的概率。


為了更清楚地說明本發(fā)明實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。圖I為本發(fā)明實施例一提供的處理基板的方法的流程示意圖；圖2為本發(fā)明實施例二提供的基板處理設(shè)備的正視示意圖；圖3為本發(fā)明實施例三提供的基板處理設(shè)備的正視示意圖；圖4為本發(fā)明實施例四提供的基板處理設(shè)備的正視示意圖；圖5為采用本發(fā)明實施例提供的處理基板的方法后，基板邊緣微裂紋變化的示意圖。
具體實施例方式下面將結(jié)合本發(fā)明實施例中的附圖，對本發(fā)明實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本發(fā)明一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒景l(fā)明中的實施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本發(fā)明保護的范圍。實施例一本發(fā)明實施例一提供的處理基板的方法，如圖I所示，包括S 101、用可腐蝕基板材料的腐蝕性藥液對基板邊緣進行處理。具體的，可以用可腐蝕基板材料的腐蝕性藥液對基板的邊緣進行涂覆。涂覆后停留規(guī)定時間，再對該基板進行清洗。當基板材料為玻璃時，該腐蝕性藥液可以選用氫氟酸。本發(fā)明實施例提供的處理基板的方法，用可腐蝕基板材料的腐蝕性藥液對基板邊緣進行處理。這樣，基板邊緣上原有的角度較小的微裂紋——即尖角的微裂紋會在腐蝕性藥液的腐蝕下角度變圓滑。由彈性力學常識可知，角度圓滑的微裂紋的應力集中弱于角度尖銳的微裂紋的應力集中，因此，角度圓滑的微裂紋所能承受的應力更大，進而經(jīng)過處理后的基板所能承受的應力更大，不易被損壞，從而降低了基板因微裂紋導致的基板受損的概率。實施例二本發(fā)明實施例二提供的用上述實施例一提供的方法制得的基板，如圖5所示，基板20邊緣的微裂紋為圓滑角的微裂紋42。由彈性力學常識可知，角度圓滑的微裂紋的應力集中弱于角度尖銳的微裂紋的應力集中，因此，角度圓滑的微裂紋所能承受的應力更大，進而經(jīng)過處理后的基板所能承受的應力更大，不易被損壞，從而降低了基板因微裂紋導致的基板受損的概率。實施例三本發(fā)明實施例三提供的基板處理設(shè)備，如圖2所示，包括藥液存儲部11，一端與藥液噴口 10連接，用于存儲可腐蝕基板材料的腐蝕性藥液。藥液噴口 10，用于向基板20的邊緣涂覆藥液存儲部11存儲的腐蝕性藥液。具體的，假設(shè)基板20為玻璃基板，此時腐蝕性藥液可以選取能夠腐蝕玻璃的氫氟酸藥液。如圖2所示，將打磨后的基板20放置在基板處理設(shè)備上，基板20的一側(cè)邊緣對準基板處理設(shè)備的藥液噴口 10，通過該藥液噴口 10將藥液存儲部11中存儲的氫氟酸藥液涂覆到該基板20的邊緣上。之后，以同樣的方式將基板20的另外三個邊緣全部涂覆上氫氟酸藥液。停留5分、鐘后，再利用清洗設(shè)備清洗基板20?；逄幚砗蟮男Чㄟ^圖5進行說明。在進行腐蝕性藥液涂覆前，基板20 —邊緣上的微裂紋41為尖角微裂紋。根據(jù)彈性力學常識可知，此尖角微裂紋41的應力集中較強，較易因受到應力而損壞，因此，處理前 的基板也較易受到應力而損壞。經(jīng)腐蝕性藥液涂覆處理后，該尖角微裂紋41會在氫氟酸藥液的腐蝕下變?yōu)閳A滑角微裂紋42。根據(jù)彈性力學常識可知，此圓滑角微裂紋42的應力集中較弱，比尖角微裂紋41的抗應力性強，不易因受到應力而損壞，因此，處理后的基板不易受到應力而損壞。從而降低了基板因微裂紋導致的基板受損的概率。實施例四本發(fā)明實施例四提供的基板處理設(shè)備，如圖3所示，包括藥液存儲部(圖中未顯示)，一端與藥液噴口 22連接，用于存儲可腐蝕基板材料的腐蝕性藥液。藥液噴口 22，用于向基板20的邊緣涂覆藥液存儲部存儲的腐蝕性藥液。移動部，該移動部與藥液噴口 22連接，用于驅(qū)動藥液噴口 22從基板20邊緣的一端移動到另一端。在本實施例提供的設(shè)備中，移動部可以具體包括以下三個組件導軌21，設(shè)置于與待涂覆的基板20的邊緣相平行的位置。支架23，一端與藥液噴口 22連接，另一端位于導軌21中。在本實施例中，藥液存儲部中存儲的腐蝕性藥液可以通入支架23中，并最終由與支架23聯(lián)通的藥液噴口 22噴出。電機(圖中未表示)，與支架23連接，驅(qū)動支架23沿導軌21移動。具體的，假設(shè)基板20為玻璃基板，此時腐蝕性藥液可以選取能夠腐蝕玻璃的氫氟酸藥液。如圖3所示，將打磨后的基板20放置在基板處理設(shè)備上，基板20的一側(cè)邊緣對準基板處理設(shè)備的藥液噴口 22，基板20固定不動，由電機帶動支架23沿導軌21移動。由于導軌21與基板20的邊緣相平行，因此支架23沿導軌21移動即實現(xiàn)了從基板20邊緣的一端移動到另一端，通過與支架23相連接的藥液噴口 22即能將氫氟酸藥液噴涂到基板20的一側(cè)邊緣。之后，以同樣的方式將基板20的另外三個邊緣全部涂覆上氫氟酸藥液。停留5分鐘后，再利用清洗設(shè)備清洗基板20。基板處理后的效果通過圖5進行說明。在進行腐蝕性藥液涂覆前，基板20 —邊緣上的微裂紋41為尖角微裂紋。根據(jù)彈性力學常識可知，此尖角微裂紋41的應力集中較強，較易因受到應力而損壞，因此，處理前的基板也較易受到應力而損壞。經(jīng)腐蝕性藥液涂覆處理后，該尖角微裂紋41會在氫氟酸藥液的腐蝕下變?yōu)閳A滑角微裂紋42。根據(jù)彈性力學常識可知，此圓滑角微裂紋42的應力集中較弱，比尖角微裂紋41的抗應力性強，不易因受到應力而損壞，因此，處理后的基板不易受到應力而損壞。從而降低了基板因微裂紋導致的基板受損的概率。實施例五本發(fā)明實施例五提供的基板處理設(shè)備，如圖4所示，包括藥液存儲部(圖中未顯示)，一端與藥液噴口 22連接，用于存儲可腐蝕基板材料的腐蝕性藥液。藥液噴口，用于向基板20的邊緣涂覆藥液存儲部存儲的腐蝕性藥液。在本實施例的設(shè)備中，藥液噴口具體包括第一藥液噴口 33和第二藥液噴口 36。移動部，該移動部與藥液噴口連接，用于驅(qū)動藥液噴口從基板20邊緣的一端移動到另一端。在本實施例提供的設(shè)備中，移動部可以具體包括以下組件相互平行的第一導軌31和第二導軌34，第一導軌31和第二導軌34分別與待涂覆的基板20的一對邊緣相平行。移動軸37, —端位于第一導軌31中，另一端位于第二導軌34中。第一支架32,—端與第一藥液噴口 33連接,另一端與移動軸37上靠近第一導軌 31處連接。第二支架35，一端與第二藥液噴口 36連接，另一端與移動軸37上靠近第二導軌34處連接。電機(圖中未表不),與移動軸37連接,驅(qū)動移動軸37沿第一導軌31和第二導軌34移動。具體的，假設(shè)基板20為玻璃基板，此時腐蝕性藥液可以選取能夠腐蝕玻璃的氫氟酸藥液。如圖4所示，將打磨后的基板20放置在基板處理設(shè)備上，基板20的一側(cè)邊緣對準基板處理設(shè)備的第一藥液噴口 33，另一側(cè)邊緣對準第二藥液噴口 36?；?0固定不動，由電機帶動移動軸37沿第一導軌31、第二導軌34移動。由于相互平行的第一導軌31、第二導軌34分別與基板20的一對邊側(cè)邊緣相平行，因此移動軸37沿第一導軌31、第二導軌34移動，即實現(xiàn)了與移動軸37相連接的第一支架32和第二支架35從基板20邊緣的一端到另一端的移動。通過與第一支架32相連接的第一藥液噴口 33以及與第二支架35相連接的第二藥液噴口 36將氫氟酸藥液噴涂到基板20的兩側(cè)邊緣。之后，以同樣的方式將基板20的另外兩個邊緣全部涂覆上氫氟酸藥液。停留5分鐘后，再利用清洗設(shè)備清洗基板20?；逄幚砗蟮男Чㄟ^圖5進行說明。在進行腐蝕性藥液涂覆前，基板20 —邊緣上的微裂紋41為尖角微裂紋。根據(jù)彈性力學常識可知，此尖角微裂紋41的應力集中較強，較易因受到應力而損壞，因此，處理前的基板也較易受到應力而損壞。經(jīng)腐蝕性藥液涂覆處理后，該尖角微裂紋41會在氫氟酸藥液的腐蝕下變?yōu)閳A滑角微裂紋42。根據(jù)彈性力學常識可知，此圓滑角微裂紋42的應力集中較弱，比尖角微裂紋41的抗應力性強，不易因受到應力而損壞，因此，處理后的基板不易受到應力而損壞。從而降低了基板因微裂紋導致的基板受損的概率。需要說明的是，上述實施例三、四、五均使用了能夠溶解玻璃的氫氟酸藥液，但本發(fā)明實施例并不限于此，其他能夠腐蝕基板材料的腐蝕性藥液均可。再有，本發(fā)明實施例提供的處理基板的方法，既可以用在基板投入使用前，先對其進行微裂紋腐蝕，以增加基板在后續(xù)生產(chǎn)過程中的抗應力強度。也可以用在發(fā)生細微破損后，對已經(jīng)出現(xiàn)細微破損的基板進行腐蝕處理，以增強其抗應力強度，以便繼續(xù)進行后續(xù)生產(chǎn)。另外，基板處理設(shè)備涉及到與腐蝕性藥液相接觸的部件，為防止被藥液腐蝕，可以使用防腐蝕材料。例如在使用氫氟酸的場合可以使用塑料材料等。以上所述，僅為本發(fā)明的具體實施方式
，但本發(fā)明的保護范圍并不局限于此，任何熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本發(fā)明揭露的技術(shù)范圍內(nèi)，可輕易想到變化或替換，都應涵蓋在本發(fā)明的保護范圍之內(nèi)。因此，本發(fā)明的保護范 圍應以所述權(quán)利要求的保護范圍為準。
權(quán)利要求
1.一種處理基板的方法，其特征在于，包括 用可腐蝕基板材料的腐蝕性藥液對基板邊緣進行處理。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的方法，其特征在于，用可腐蝕基板材料的腐蝕性藥液對基板的邊緣進行涂覆。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其特征在于，涂覆后停留規(guī)定時間，再對所述基板進行清洗。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的方法，其特征在于，所述基板材料為玻璃時，所述腐蝕性藥液包括氫氟酸藥液。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法，其特征在于，所述停留時間包括5分鐘。
6.一種采用權(quán)利要求1-5所述的方法制得的基板，其特征在于，所述基板邊緣的微裂紋為圓滑角的微裂紋。
7.一種基板處理設(shè)備，其特征在于，包括 藥液存儲部，一端與藥液噴口連接，用于存儲可腐蝕基板材料的腐蝕性藥液； 藥液噴口，用于向基板的邊緣涂覆所述藥液存儲部存儲的腐蝕性藥液。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的設(shè)備，其特征在于，所述設(shè)備還包括移動部，該移動部與所述藥液噴口連接，用于驅(qū)動所述藥液噴口從所述基板邊緣的一端移動到另一端。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的設(shè)備，其特征在于，所述移動部包括 導軌，設(shè)置于與待涂覆的所述基板的邊緣相平行的位置； 支架，一端與所述藥液噴口連接，另一端位于所述導軌中； 電機，與所述支架連接，驅(qū)動所述支架沿所述導軌移動。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的設(shè)備，其特征在于，所述藥液噴口具體包括第一藥液噴口和第二藥液噴口； 所述移動部包括 相互平行的第一導軌和第二導軌，所述第一導軌和第二導軌分別與待涂覆的所述基板的一對邊緣相平行； 移動軸，一端位于所述第一導軌中，另一端位于所述第二導軌中； 第一支架，一端與所述第一藥液噴口連接，另一端與所述移動軸上靠近所述第一導軌處連接； 第二支架，一端與所述第二藥液噴口連接，另一端與所述移動軸上靠近所述第二導軌處連接； 電機，與所述移動軸連接，驅(qū)動所述移動軸沿所述第一導軌和第二導軌移動。
全文摘要
本發(fā)明實施例提供一種處理基板的方法、基板及基板處理設(shè)備，涉及液晶面板制造領(lǐng)域，以降低基板因微裂紋導致的基板受損的概率。處理基板的方法，包括用可腐蝕基板材料的腐蝕性藥液對基板邊緣進行處理。本發(fā)明用于液晶面板制造。
文檔編號H01L21/00GK102655076SQ20111007610
公開日2012年9月5日 申請日期2011年3月28日 優(yōu)先權(quán)日2011年3月28日
發(fā)明者彭志龍, 秦緯, 董云 申請人:北京京東方光電科技有限公司