專利名稱：減震激光誘致熱成像裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種減震激光誘致熱成像(Laser Induced Thermal Imaging, LITI) 裝置，更具體而言，涉及一種可以減輕在膜結(jié)合過(guò)程中由于上機(jī)殼和下機(jī)殼接觸產(chǎn)生的震動(dòng)的減震激光誘致熱成像裝置。
背景技術(shù)：
在平板顯示器中，因?yàn)橛袡C(jī)電致發(fā)光顯示器的快速響應(yīng)時(shí)間為Ims或更短、功耗低及因其為自發(fā)光而具有出色的視角，有機(jī)電致發(fā)光顯示器具有無(wú)論運(yùn)動(dòng)圖像尺寸如何均可作為其顯示介質(zhì)的優(yōu)勢(shì)。此外，因?yàn)橛袡C(jī)電致發(fā)光顯示器能夠基于現(xiàn)有的半導(dǎo)體加工技術(shù)，在低溫下經(jīng)由簡(jiǎn)單的工藝制造出來(lái)，因此作為下一代平板顯示器的有機(jī)電致發(fā)光顯示器已經(jīng)引起了關(guān)注。根據(jù)有機(jī)電致發(fā)光裝置中使用的材料和工藝，有機(jī)電致發(fā)光顯示器通?？梢苑譃椴捎脻穹ǖ木酆衔镄脱b置和采用沉積法的低分子量型裝置。然而，在聚合物或低分子量發(fā)光層的成圖法(patterning method)中，噴墨打印法具有以下缺點(diǎn)對(duì)于有機(jī)層的材料(除發(fā)光層外)有限制，以及用于噴墨打印的結(jié)構(gòu)必須形成于基板上。此外，利用沉積法對(duì)發(fā)光層成圖時(shí)，由于采用了金屬掩膜，使得大型顯示裝置難以制造。作為上述成圖法的替代技術(shù)，最近開(kāi)發(fā)出了一種激光誘致熱成像(LITI)方法。LITI方法將來(lái)自光源的激光轉(zhuǎn)換為熱能，進(jìn)而依次將成圖材料傳移到靶基板上， 形成圖形。在LITI方法中，供體薄膜覆蓋作為受體的整個(gè)基板，供體薄膜和基板固定在平臺(tái)上。此外，通過(guò)層壓處理，供體薄膜和基板進(jìn)一步結(jié)合在一起，繼而通過(guò)激光成像形成圖形。應(yīng)該注意的是，提供上述說(shuō)明是為了理解背景技術(shù)，而不是對(duì)本領(lǐng)域眾所周知的技術(shù)的說(shuō)明。常規(guī)地，在裝配上機(jī)殼和下機(jī)殼以確定真空腔(供體薄膜和基板在其中結(jié)合在一起)的過(guò)程中，產(chǎn)生震動(dòng)，造成供體薄膜和基板的機(jī)械損傷。因此，有必要解決上述問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的一個(gè)方面是提供一種減震激光誘致熱成像裝置，該裝置能夠減輕上機(jī)殼和下機(jī)殼裝配時(shí)產(chǎn)生的震動(dòng)以防止在其裝配時(shí)的損壞。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，一種減震激光誘致熱成像(LITI)裝置包括下機(jī)殼；上機(jī)殼，置于該下機(jī)殼上形成真空腔；及減震單元，位于該上機(jī)殼和該下機(jī)殼的接觸部分，并利用氣動(dòng)壓減輕震動(dòng)。所述減震單元包括供氣管，穿過(guò)所述下機(jī)殼；供氣泵，連接該供氣管并通過(guò)該供氣管供應(yīng)氣動(dòng)壓；及阻尼組件(damping member)，支撐所述上機(jī)殼并且連接該供氣管以接收通過(guò)該供氣管供應(yīng)的氣動(dòng)壓。
所述阻尼組件包括連接所述供氣管的連接部分；以及從該連接部分延伸出來(lái)并且在其中儲(chǔ)存氣動(dòng)壓的阻尼部分。所述連接部分在其外周緣設(shè)置有嚙合鉤，該嚙合鉤與設(shè)置于所述下機(jī)殼上的嚙合板相嚙合。所述阻尼部分有多個(gè)與所述上機(jī)殼優(yōu)先接觸的接觸突起。所述阻尼組件包含彈性材料。


下面結(jié)合附圖對(duì)實(shí)施例進(jìn)行說(shuō)明，使得本發(fā)明的上述及其他方面、特征和優(yōu)點(diǎn)顯而易見(jiàn)，其中圖1為根據(jù)本發(fā)明示例性實(shí)施例的減震激光誘致熱成像(LITI)裝置的示意圖；圖2為根據(jù)示例性實(shí)施例的減震LITI裝置的剖視示意圖；以及圖3為根據(jù)示例性實(shí)施例的減震LITI裝置的阻尼組件的示意圖。
具體實(shí)施例方式現(xiàn)在將參照附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。應(yīng)該注意的是，附圖并不是按照精確的比例繪制，僅為了說(shuō)明的方便和清楚可能在線條的粗細(xì)或組件的尺寸上進(jìn)行了夸大。此外，在此應(yīng)用的術(shù)語(yǔ)是通過(guò)考慮本發(fā)明的功能而定義的，可以根據(jù)使用者或操作人員的習(xí)慣或意圖而改變。因此，應(yīng)該根據(jù)在此闡述的整個(gè)公開(kāi)內(nèi)容，來(lái)確定這些術(shù)語(yǔ)的含義。圖1為根據(jù)本發(fā)明示例性實(shí)施例的減震激光誘致熱成像(LITI)裝置的示意圖， 圖2為根據(jù)示例性實(shí)施例的減震LITI裝置的剖視示意圖，圖3為根據(jù)示例性實(shí)施例的減震 LITI裝置的阻尼組件的示意圖。參照?qǐng)D1至3，根據(jù)示例性實(shí)施例的減震LITI裝置1包括下機(jī)殼10、上機(jī)殼20 及減震單元30?；?1安裝在下機(jī)殼10上，供體薄膜12安裝在基板11上。當(dāng)激光束照射在供體薄膜12上時(shí)，供體薄膜12的光熱轉(zhuǎn)換層將激光束轉(zhuǎn)換為熱量以便其在散熱過(guò)程中膨脹。這樣，有機(jī)層(即轉(zhuǎn)移層)同樣膨脹并且從供體薄膜12上分離，從而在基板11上形成有機(jī)層。這里，成圖材料按照激光照射的方向附著于基板11。上機(jī)殼20位于下機(jī)殼10的上面，并且通過(guò)上機(jī)殼20的自動(dòng)運(yùn)動(dòng)置于下機(jī)殼10 上。所述上機(jī)殼的邊緣向下延伸，這樣經(jīng)過(guò)裝配，在上機(jī)殼20和下機(jī)殼10之間形成真空腔25，并在其中容納基板11和供體薄膜12。減震單元30位于上機(jī)殼10和下機(jī)殼20的接觸部分。減震單元30中包含能夠減輕震動(dòng)并提高真空腔25氣密性的空氣。減震單元30包括供氣管31、供氣泵32和阻尼組件33。供氣管31穿過(guò)下機(jī)殼10。具體地，供氣管31是彎曲的，這樣供氣管31的一端穿過(guò)下機(jī)殼10的上側(cè)并從那里向上伸出，其另一端穿過(guò)下機(jī)殼10的外周緣并從那里伸出。
在一個(gè)實(shí)施例中，供氣管31的一端穿過(guò)并從下機(jī)殼10的一個(gè)部位伸出，上機(jī)殼20 的邊緣位于該部位。
供氣泵32與供氣管31的另一端連接并且向供氣管31供應(yīng)氣動(dòng)壓。阻尼組件33與供氣管31連接，以便儲(chǔ)存通過(guò)供氣管31供應(yīng)的氣動(dòng)壓。阻尼組件 33支撐上機(jī)殼20以防止由上機(jī)殼20和下機(jī)殼10接觸造成的損壞和噪聲。阻尼組件33包括連接部分331和阻尼部分332。連接部分331圍繞供氣管31。連接部分331具有圓筒狀的形狀，插在供氣管31 周圍并且固定地連接到供氣管31上。這里，當(dāng)供氣管31的一端彎曲如法蘭盤時(shí)，連接部分 331就固定地抓住供氣管31的該彎曲端。阻尼部分332從連接部分331延伸出來(lái)。阻尼部分332的寬度大于供氣管31，并且配置為可以儲(chǔ)存氣動(dòng)壓。連接部分331上裝備有嚙合鉤333，嚙合鉤333與連接部分331的外周緣一體成型。嚙合鉤與下機(jī)殼10的嚙合板15相嚙合。嚙合板15作為獨(dú)立的組件進(jìn)行制造，并且固定地安裝在下機(jī)殼10上。嚙合板15 由一對(duì)板組成，嚙合鉤333向連接部分331的相對(duì)方向伸出以便與一對(duì)板15相嚙合。阻尼部分332在其上側(cè)有多個(gè)接觸突起334。上機(jī)殼20在特定點(diǎn)與接觸突起334 優(yōu)先接觸。通過(guò)接觸突起334與上機(jī)殼20的優(yōu)先接觸，分散了施加在上機(jī)殼20上的負(fù)荷且防止了阻尼部分332的磨損。在一個(gè)實(shí)施例中，阻尼組件33可由彈性材料形成。阻尼組件33靠氣動(dòng)壓膨脹并且靠上機(jī)殼20的重力收縮。接下來(lái)，將對(duì)具有上述結(jié)構(gòu)的減震LITI裝置的操作進(jìn)行說(shuō)明。將基板11和供體薄膜12放置在下機(jī)殼10上，上機(jī)殼20置于下機(jī)殼10上。這里，所提供的阻尼組件33位于上機(jī)殼20和下機(jī)殼10的接觸部分，在氣動(dòng)壓作用下處于膨脹狀態(tài)，這樣能夠減輕上機(jī)殼20的震動(dòng)。S卩，在供氣泵32的驅(qū)動(dòng)下，空氣經(jīng)穿過(guò)下機(jī)殼10的供氣管31供應(yīng)且儲(chǔ)存在阻尼組件33中，這樣阻尼組件33可以支撐上機(jī)殼20。這里，由供氣泵32供應(yīng)的空氣的氣動(dòng)壓的范圍是1至3巴(bar)。同時(shí)，將阻尼組件33的連接部分331插在并且嚙合到從下機(jī)殼10向上伸出的供氣管31的一端。這里，由于設(shè)置于連接部分331外周的嚙合鉤333與裝配在下機(jī)殼10上的嚙合板 15相嚙合，所以阻尼組件33安裝在下機(jī)殼10上。阻尼組件33的阻尼部分332充滿空氣，且在其上側(cè)設(shè)有與上機(jī)殼20優(yōu)先接觸的接觸突起，這樣阻尼部分332能分散上機(jī)殼20的重量，從而支撐上機(jī)殼20很長(zhǎng)一段時(shí)間。此外，因?yàn)榻佑|突起334與上機(jī)殼20直接接觸，所以接觸突起334限制了阻尼部分332的磨損并且防止了由于阻尼部分332的損壞引起的漏氣。這樣，根據(jù)所述實(shí)施例，所述減震LITI裝置利用減震單元防止了在裝配上機(jī)殼到下機(jī)殼時(shí)上機(jī)殼和下機(jī)殼之間的直接接觸，因此防止了在裝配上機(jī)殼和下機(jī)殼時(shí)的噪聲和損壞，同時(shí)提高了真空腔的氣密性。此外，根據(jù)所述實(shí)施例，所述減震LITI裝置利用供氣泵持續(xù)控制氣動(dòng)壓，從而能夠?yàn)樗鰷p震單元供應(yīng)恒定的氣動(dòng)壓。此外，根據(jù)所述實(shí)施例，所述減震LITI裝置提供了阻尼組件的嚙合鉤與下機(jī)殼的嚙合板間的牢固嚙合，這樣所述阻尼組件穩(wěn)定地安裝在所述下機(jī)殼上。此外，根據(jù)所述實(shí)施例，所述減震LITI裝置提供了具有接觸突起的阻尼組件，該接觸突起與上機(jī)殼優(yōu)先接觸，這樣可以分散上機(jī)殼的負(fù)荷并且防止阻尼組件的磨損。雖然本發(fā)明中描述了一些實(shí)施例，但是可以理解的是所給出的實(shí)施例僅為了說(shuō)明，而并非限制本發(fā)明的保護(hù)范圍，并且具有本領(lǐng)域一般知識(shí)的人在沒(méi)有違背本發(fā)明精神和保護(hù)范圍的情況下可以進(jìn)行各種不同的修改，變動(dòng)和變更，這些僅受限于本發(fā)明所附的權(quán)利要求及其等同的內(nèi)容。
權(quán)利要求
1.一種減震激光誘致熱成像裝置包括 下機(jī)殼；上機(jī)殼，置于該下機(jī)殼上形成真空腔；以及減震單元，位于該上機(jī)殼和該下機(jī)殼的接觸部分，并且利用氣動(dòng)壓減輕震動(dòng)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述減震單元包括 供氣管，穿過(guò)所述下機(jī)殼；供氣泵，連接該供氣管并通過(guò)該供氣管供應(yīng)氣動(dòng)壓；以及阻尼組件，支撐所述上機(jī)殼并且連接該供氣管以接收通過(guò)該供氣管供應(yīng)的氣動(dòng)壓。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的裝置，其特征在于，所述阻尼組件包括連接部分，連接所述供氣管；以及阻尼部分，從該連接部分延伸出來(lái)并且在其中儲(chǔ)存氣動(dòng)壓。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的裝置，其特征在于，所述連接部分在其外周緣設(shè)置有嚙合鉤， 該嚙合鉤與設(shè)置于所述下機(jī)殼上的嚙合板相嚙合。
5.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的裝置，其特征在于，所述阻尼部分有多個(gè)與所述上機(jī)殼優(yōu)先接觸的接觸突起。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的裝置，其特征在于，所述阻尼組件包含彈性材料。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種減震激光誘致熱成像裝置，該裝置包括下機(jī)殼；上機(jī)殼，置于該下機(jī)殼上形成真空腔；及減震單元，位于該上機(jī)殼和該下機(jī)殼的接觸部分，并且利用氣動(dòng)壓減輕震動(dòng)。所述減震單元有氣動(dòng)壓供應(yīng)，以減輕在支撐所述上機(jī)殼時(shí)由于與所述下機(jī)殼的接觸而引起的震動(dòng)。
文檔編號(hào)H01L51/56GK102339956SQ20111017683
公開(kāi)日2012年2月1日 申請(qǐng)日期2011年6月28日 優(yōu)先權(quán)日2010年6月30日
發(fā)明者尹小輝, 崔東奎, 金煥, 金相午 申請(qǐng)人:Ap系統(tǒng)股份有限公司