專利名稱：處理裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及具有收容FPD基板等被處理體的收容室的處理裝置。
背景技術(shù)：
例如，在以液晶顯示器(IXD)為代表的平板顯示器(FPD)的制造工序中，使用所謂的多室型基板處理裝置，該多室型基板處理裝置具有多個(gè)在真空環(huán)境下在玻璃基板等基板上實(shí)施蝕刻和CVD等規(guī)定處理的處理室(工藝室)。在這樣的基板處理裝置中具備具有輸送基板的輸送裝置的輸送室、和設(shè)置在其周圍的多個(gè)處理室。另外，在該基板處理裝置中設(shè)置有在大氣壓環(huán)境和保持為真空的輸送室之間輸送基板時(shí)所使用的加載互鎖真空室?；逄幚硌b置，首先打開設(shè)置于加載互鎖真空室的大氣側(cè)的門(大氣側(cè)門)，將由大氣壓環(huán)境中的自動(dòng)輸送裝置等輸送來(lái)的基板收容到加載互鎖真空室內(nèi)。然后，關(guān)閉大氣側(cè)門，對(duì)加載互鎖真空室內(nèi)進(jìn)行減壓并在成為真空狀態(tài)后，在打開設(shè)置在加載互鎖真空室的輸送室側(cè)的門(真空側(cè)門)，將加載互鎖真空室內(nèi)與輸送室連通后，利用輸送室的輸送裝置將基板從加載互鎖真空室搬出，并輸送到多個(gè)處理室中的任意一個(gè)處理室。在各處理室中對(duì)基板實(shí)施了規(guī)定的處理后，利用輸送室的輸送裝置將處理完的基板從各處理室取出，并搬入加載互鎖真空室內(nèi)。然后，關(guān)閉加載互鎖真空室的真空側(cè)門，對(duì)室內(nèi)進(jìn)行升壓并在恢復(fù)到大氣壓環(huán)境后，打開大氣側(cè)門。處理完的基板，通過(guò)大氣壓環(huán)境中的自動(dòng)輸送裝置等從加載互鎖真空室備搬出，并被輸送到下一工序。如構(gòu)成這樣的基板處理裝置的處理室、輸送室、加載互鎖真空室等那樣能夠?qū)⒒迨杖萦趦?nèi)部的收容室，為了進(jìn)行其內(nèi)部的維護(hù)等，大多構(gòu)成為在頂面設(shè)置開口部，并用可自由拆裝的蓋體將開口部閉塞。在具有這樣可自由拆裝的蓋體的收容室中，以往構(gòu)成為當(dāng)因維護(hù)等取下蓋體時(shí)， 則使該蓋體暫時(shí)移動(dòng)到與基板處理裝置的設(shè)置空間分開的其他空間中。例如在下述專利文獻(xiàn)1，2中是另外確保使蓋體滑動(dòng)的空間。并且在下述專利文獻(xiàn)3中形成為用吊車使取下的蓋體移動(dòng)到位于其他空間的臺(tái)車上。專利文獻(xiàn)1 日本特開2007-067218號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2 日本特開2001-185534號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)3 日本特開2009-170533號(hào)公報(bào)然而，由于近年的玻璃基板的大型化，使得構(gòu)成基板處理裝置的處理室、輸送室、 加載互鎖真空室等基板收容室也隨之大型化，伴隨于此，蓋體的大小也變得越來(lái)越大。因此為了使蓋體暫時(shí)移動(dòng)而必須確保的空間的面積也變得越來(lái)越大，因此存在妨礙潔凈室等節(jié)省空間的問(wèn)題。而且，該空間只在維護(hù)時(shí)等取下蓋體的情況下利用，而在基板處理裝置運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)完全不用。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明是鑒于這樣的問(wèn)題所做出的，其目的在于提供一種無(wú)需另外確保用于放置從輸送室等收容室取下的蓋體的空間，能夠?qū)崿F(xiàn)節(jié)省空間的處理裝置。為了解決上述課題，根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)觀點(diǎn)，提供一種處理裝置，具有收容被處理體的收容室，其特征在于，上述收容室包括具有開口部的頂面部和自由拆裝地將上述開口部閉塞的蓋體，在上述頂面部設(shè)置有蓋體載置區(qū)域，該蓋體載置區(qū)域用于暫時(shí)載置從上述開口部取下的上述蓋體。根據(jù)這樣的本發(fā)明，能夠?qū)⒃诰S護(hù)時(shí)等被取下的蓋體放置在收容室的頂面的上面。另外，上述蓋體載置區(qū)域也可以構(gòu)成為與上述開口部相鄰。由此，能夠縮短從開口部取下蓋體并載置于蓋體載置區(qū)域的距離，因此能夠縮短其作業(yè)時(shí)間。在這種情況下，上述開口部設(shè)置在上述頂面部的中央，上述開口部的寬度優(yōu)選為上述頂面部的寬度的1/3以下。另外，在上述蓋體載置區(qū)域，也可以具有支承上述蓋體的多個(gè)支承臺(tái)。支承臺(tái)優(yōu)選為至少與上述蓋體接觸的接觸面用樹脂材料構(gòu)成。由此，在將蓋體載置于蓋體載置區(qū)域時(shí)能夠防止蓋體表面劃傷。另外，上述蓋體，也可以在其上表面設(shè)置拆裝自由地安裝安全柵的柵安裝部，并以如下方式配置上述柵安裝部在上述蓋體上安裝有上述安全柵的狀態(tài)下將上述蓋體載置于上述蓋體載置區(qū)域時(shí)，使上述蓋體上的安全柵沿著上述開口部的邊緣。由此，如果將蓋體載置于蓋體載置區(qū)域，由于設(shè)置了安全柵，因此能夠提高設(shè)置安全柵的作業(yè)效率。為了解決上述課題，根據(jù)本發(fā)明另一觀點(diǎn)，提供一種處理裝置，是具有多個(gè)收容被處理體的收容室的基板處理裝置，在上述多個(gè)收容室中包括具備具有開口部的頂面部和將上述開口部閉塞的蓋體的結(jié)構(gòu)，上述收容室的至少一個(gè)設(shè)置有載置其他收容室的蓋體的第一蓋體載置區(qū)域。根據(jù)這樣的本發(fā)明，能夠?qū)⒃诰S護(hù)時(shí)等被取下的其他收容室的蓋體放置在一個(gè)收容室的頂面的上面。另外，具備上述第一蓋體載置區(qū)域的上述收容室，也可以具有載置該收容室的蓋體的第二蓋體載置區(qū)域。在這種情況下，具有上述第二蓋體載置區(qū)域的上述收容室的開口部可以設(shè)置在頂面部的中央，上述第二蓋體載置區(qū)域與上述開口部相鄰設(shè)置。另外，上述第一蓋體載置區(qū)域和上述第二蓋體載置區(qū)域也可以以重疊的方式配置。此外，上述第一蓋體載置區(qū)域和上述第二蓋體載置區(qū)域可以配置為高于將上述開口部閉塞時(shí)上述蓋體的上表面。由此，能夠在安裝著一個(gè)收容室的蓋體的狀態(tài)下，載置其他收容室的蓋體。另外，上述多個(gè)收容室包括例如在真空環(huán)境中對(duì)被處理體實(shí)施處理的處理室； 加載互鎖真空室，其在大氣壓環(huán)境與上述處理室之間輸送上述被處理體時(shí)暫時(shí)收容上述被處理體，并將內(nèi)部切換為大氣壓環(huán)境或真空環(huán)境；輸送室，其氣密性地與上述加載互鎖真空室和上述處理室連接，且在其內(nèi)部具有在上述加載互鎖真空室和上述處理室之間輸送上述被處理體的輸送裝置。另外，在上述收容室的內(nèi)部設(shè)置將上述被處理體載置于保持部進(jìn)行輸送的輸送裝置，上述保持部可以構(gòu)成為與上述開口部的寬度尺寸相匹配地自由分解。由此，即使基板保持部的尺寸大于收容室的開口部，通過(guò)將基板保持部分解從而能夠容易地從開口部出入。根據(jù)本發(fā)明，能夠?qū)⒁蚓S護(hù)等被取下的蓋體放置在收容室的頂面的上表面。由此， 由于無(wú)需在設(shè)置處理裝置的空間以外另外確保用于放置蓋體的空間，因此能夠?qū)崿F(xiàn)節(jié)省空間。


圖1是概略地表示本發(fā)明的實(shí)施方式涉及的基板處理裝置的構(gòu)成的立體圖。圖2是表示圖1所示的輸送室的具體的構(gòu)成例的立體圖。圖3是用于說(shuō)明在該實(shí)施方式中從輸送室的開口部取下蓋體前的狀態(tài)的立體圖。圖4是用于說(shuō)明取下圖3表示的輸送室的蓋體并載置于蓋體載置區(qū)域X時(shí)的狀態(tài)的立體圖。圖5是用于說(shuō)明在該實(shí)施方式中從加載互鎖真空室的開口部取下蓋體前的狀態(tài)的立體圖。圖6是用于說(shuō)明將圖5表示的加載互鎖真空室的蓋體載置于蓋體載置區(qū)域Y時(shí)的狀態(tài)的立體圖。圖7是用于說(shuō)明該實(shí)施方式中的輸送裝置的拾取部的概略構(gòu)成的立體圖。圖8是用于說(shuō)明將圖7表示的拾取部分解后的狀態(tài)的立體圖。圖中標(biāo)記說(shuō)明100…基板處理裝置；102…加載互鎖真空室；104…處理室；106…真空側(cè)閘閥； 110···容器(加載互鎖真空室的容器)；112…頂面部；114…開口部；116、118、220…基板搬入搬出口 ；120…蓋體(加載互鎖真空室的蓋體)；200…輸送室；210…容器(輸送室的容器)；212…頂面部；214…開口部；216、218…非開口部；222、224…加強(qiáng)部件;228、230…安裝孔；240、242、244、246、248…支承臺(tái)；250…蓋體(輸送室的蓋體)；260、262…安全柵； 300…拾取部；302、304、306…元件；S…基板；X、Y…蓋體載置區(qū)域
具體實(shí)施例方式下面，參照附圖對(duì)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式進(jìn)行詳細(xì)地說(shuō)明。另外，在本說(shuō)明書及附圖中，通過(guò)對(duì)實(shí)質(zhì)上具有相同功能構(gòu)成的構(gòu)成要素標(biāo)記相同的標(biāo)記來(lái)省略重復(fù)說(shuō)明。(處理裝置)首先，參照附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式涉及的處理裝置進(jìn)行說(shuō)明。在此，作為處理裝置是以多室型基板處理裝置為例進(jìn)行說(shuō)明，該多室型基板處理裝置具有對(duì)FPD用玻璃基板 (以下，簡(jiǎn)稱為“基板”)進(jìn)行等離子處理的多個(gè)處理室(工藝室)。另外，作為FPD的具體例可列舉出例如液晶顯示器(IXD)、電致發(fā)光(Electro Luminescence :EL)顯示器、等離子顯示器面板(PDP)。圖1為概略地表示本實(shí)施方式涉及的基板處理裝置100的構(gòu)成的立體圖。該基板處理裝置100具有作為本發(fā)明涉及的收容室的加載互鎖真空室102、處理室104、輸送室 200。更具體地說(shuō)，基板處理裝置100在其大致中央具有輸送室200，在輸送室200的周圍具有加載互鎖真空室102和三個(gè)處理室。在輸送室200與加載互鎖真空室102之間、輸送室200與各處理室104之間分別設(shè)置有將它們之間氣密地密封，并且能夠開閉地構(gòu)成的真空側(cè)閘閥106。另外，在將加載互鎖真空室102與外側(cè)的大氣環(huán)境連通的開口部設(shè)置大氣側(cè)閘閥(省略圖示)。處理室104在對(duì)基板實(shí)施規(guī)定的等離子處理(例如蝕刻處理或灰化處理)期間， 其內(nèi)部空間被保持為規(guī)定的真空環(huán)境。于是基板處理裝置100具有三個(gè)處理室104，例如能夠?qū)⑵渲械膬蓚€(gè)處理室構(gòu)成為蝕刻處理室，剩余的一個(gè)處理室構(gòu)成為灰化處理室，或者將三個(gè)處理室全部構(gòu)成為進(jìn)行同一處理的蝕刻處理室或灰化處理室。另外，處理室的數(shù)量不限于三個(gè)，也可以是四個(gè)以上或兩個(gè)以下。輸送室200與處理室104同樣，能夠保持為規(guī)定的真空環(huán)境。在輸送室200內(nèi)設(shè)置有具有用于保持基板的拾取部的輸送裝置(省略圖示)。該輸送裝置能夠訪問(wèn)加載互鎖真空室102和三個(gè)處理室104，并在它們之間輸送基板。加載互鎖真空室102是在設(shè)置于大氣壓環(huán)境的未圖示的輸送裝置、與真空環(huán)境的輸送室200內(nèi)的輸送裝置之間進(jìn)行基板的交接的部分。因此加載互鎖真空室102構(gòu)成為能夠?qū)⑵鋬?nèi)部切換為大氣壓環(huán)境和真空環(huán)境。加載互鎖真空室102具有收容基板的大致箱狀的容器110、和將設(shè)置于容器110 的頂面部112的開口部114氣密地閉塞的蓋體120。由于開口部114在頂面部112的大致全體區(qū)域設(shè)置，因此將其閉塞的蓋體120也增大。由于加載互鎖真空室102的大小也根據(jù)基板的大小來(lái)決定，因此蓋體120的大小也與其對(duì)應(yīng)地增大。在處理大型玻璃基板的加載互鎖真空室102中有時(shí)蓋體120的大小會(huì)超過(guò)3平方米。在對(duì)加載互鎖真空室102的內(nèi)部進(jìn)行維護(hù)時(shí)，由于從容器110上取下蓋體120，因此蓋體120越大越需要用于將其暫時(shí)放置的巨大的空間。在本實(shí)施方式中為了解決該問(wèn)題而實(shí)施了各種辦法。對(duì)于這樣的加載互鎖真空室102的蓋體120載置場(chǎng)所和取下動(dòng)作詳見(jiàn)后述。加載互鎖真空室102的容器110被分隔成上下兩層，在上下層各自的大氣側(cè)形成有基板搬入搬出口 116、118。例如通過(guò)未圖示的自動(dòng)輸送裝置，經(jīng)由這些基板搬入搬出口 116或基板搬入搬出口 118，將未處理的基板搬入加載互鎖真空室102內(nèi)的上層或下層任意一方，并且從加載互鎖真空室102內(nèi)的上層或下層將處理完的基板搬出。在基板處理裝置100上連接有未圖示的控制部，通過(guò)該控制部來(lái)控制加載互鎖真空室102、輸送室200、各處理室104等各部的動(dòng)作。在控制部上連接有未圖示的操作部，該操作部的構(gòu)成包括操作員用于管理基板處理裝置100而進(jìn)行指令的輸入操作等的鍵盤、 和可視化地顯示基板處理裝置的運(yùn)轉(zhuǎn)狀況的顯示器等。在控制部上連接有未圖示的存儲(chǔ)部，在該存儲(chǔ)部中存儲(chǔ)有用于按照來(lái)自控制部的指令實(shí)現(xiàn)由基板處理裝置100執(zhí)行的各種處理的程序、和用于執(zhí)行程序所需的多個(gè)處理?xiàng)l件(方法)等。各處理?xiàng)l件集中了控制基板處理裝置100的各部的控制參數(shù)和設(shè)定參數(shù)等各種參數(shù)值。作為參數(shù)的具體的例子，有處理氣體的流量比、處理室內(nèi)壓力、高頻電力等。另外，也可以構(gòu)成為將上述程序和處理?xiàng)l件存儲(chǔ)于硬盤或半導(dǎo)體存儲(chǔ)器，還可以構(gòu)成為以收容到CD-ROM、DVD等通過(guò)便攜式計(jì)算機(jī)能夠讀取的存儲(chǔ)介質(zhì)中的狀態(tài)置于存儲(chǔ)部的規(guī)定位置。控制部基于來(lái)自操作部的指示，從存儲(chǔ)部中讀出所希望的程序、處理?xiàng)l件來(lái)控制各部，由此執(zhí)行基板處理裝置100整體的處理。并且能夠基于來(lái)自操作部的指示來(lái)編輯處理?xiàng)l件。(輸送室的構(gòu)成例)接下來(lái)，參照附圖對(duì)輸送室200的構(gòu)成例進(jìn)行詳細(xì)地說(shuō)明。圖2是圖1的局部放大圖，是概略地表示輸送室200的具體構(gòu)成例的立體圖。輸送室200具有收容基板的大致箱形狀的容器210、對(duì)設(shè)置在容器210的頂面部212的開口部214進(jìn)行氣密地閉塞的蓋體 250。開口部214設(shè)置于頂面部212的中央，在開口部214的兩側(cè)設(shè)置有非開口部216、218。輸送室200的開口部214，例如在圖2中是從加載互鎖真空室102側(cè)起沿進(jìn)深方向較長(zhǎng)的大致矩形狀。在圖2表示的輸送室200的頂面部212的非開口部216、218上的一部分，分別沿著開口部214的邊緣部安裝有板狀的加強(qiáng)部件222、224。另外，在這種情況下， 雖然通過(guò)加強(qiáng)部件222、2M在非開口部216、218上產(chǎn)生高低差，然而不限于此，也可以以在非開口部216、218上不產(chǎn)生高低差的方式設(shè)置加強(qiáng)部件222、224。另外，加強(qiáng)部件222、224 的形狀也不局限于板狀。在輸送室200的容器210內(nèi)設(shè)置有具有拾取部300的輸送裝置(省略圖示)，該拾取部300作為后述圖7所示的基板保持部。輸送裝置構(gòu)成為經(jīng)由設(shè)置在容器210的各側(cè)面的基板搬入搬出口 220，進(jìn)行加載互鎖真空室102與各處理室104之間的基板的交接。于是，輸送室200，由于在容器210內(nèi)設(shè)置輸送裝置，因而需要其進(jìn)行動(dòng)作的空間。 因此輸送室200的容器210大于加載互鎖真空室102的容器110。因此如圖2所示即使開口部214是頂面部212 —部分，將其閉塞的蓋體250也增大。在對(duì)輸送室200的內(nèi)部進(jìn)行維護(hù)時(shí)，由于從容器210取下蓋體250，因此與加載互鎖真空室102的情況相同，蓋體250越大則為了暫時(shí)放置它也就越需要巨大的空間。因此，在本實(shí)施方式中，是在輸送室200的頂面部212的上表面設(shè)置蓋體載置區(qū)域 (第二蓋體載置區(qū)域、自身容器蓋體載置區(qū)域)X，用于暫時(shí)載置從該開口部214上取下的自身容器的蓋體250。具體地說(shuō)如圖2所示，將開口部214—方側(cè)的非開口部218的上表面整體作為蓋體載置區(qū)域X。由此例如如后述的圖3、圖4所示，由于在維護(hù)輸送室200時(shí)能夠?qū)⑷∠碌纳w體250載置于頂面部212，因此能夠節(jié)省潔凈室內(nèi)的空間。另外，蓋體載置區(qū)域X的大小和配置不限于此，也可以根據(jù)蓋體250的大小，將非開口部218的上表面的一部分作為蓋體載置區(qū)域X，還可以在另一方的非開口部216上設(shè)置蓋體載置區(qū)域X。另外，如本實(shí)施方式那樣，在頂面部212的中央設(shè)置開口部214的情況下，該開口部214的寬度優(yōu)選為頂面部212的寬度(將開口部214的寬度及其兩側(cè)的非開口部216、 218的寬度合起來(lái)的整體的寬度)的1/3以下。由此，能夠取得盡可能大的開口部214，并且能夠?qū)⒁环降姆情_口部216的上部整體作為蓋體載置區(qū)域X。此外，本實(shí)施方式涉及的輸送室200構(gòu)成為加載互鎖真空室102的蓋體120也能夠載置于頂面部212的上表面。具體地說(shuō)如圖2所示，在輸送室200的非開口部216、218 的上表面設(shè)置蓋體載置區(qū)域(第一蓋體載置區(qū)域、其他容器蓋體載置區(qū)域)Y，用于放置從加載互鎖真空室102的開口部114取下的其他容器的蓋體120。由此，例如如后述的圖5、 圖6所示，由于能夠預(yù)先將維護(hù)加載互鎖真空室102時(shí)取下的蓋體120載置到輸送室200 的頂面部212，因此能夠節(jié)省潔凈室內(nèi)的空間。另外，蓋體載置區(qū)域Y的大小和配置不限于此。于是構(gòu)成為在輸送室200的非開口部216、218的上表面，使輸送室200的蓋體載置區(qū)域X與加載互鎖真空室的蓋體載置區(qū)域Y重疊，因此能夠進(jìn)一步節(jié)省潔凈室內(nèi)的空間。另外，輸送室200通過(guò)在該非開口部216、218上設(shè)置加強(qiáng)部件222，224，因此變得比閉塞開口部214時(shí)的蓋體250的上表面高。由此在安裝有輸送室200的蓋體250的狀態(tài)下，能夠在非開口部216、218上載置加載互鎖真空室102的蓋體120。
此外，在輸送室200的頂面部212的非開口部216，218的上表面，設(shè)置載置蓋體 120,250的多個(gè)支承臺(tái)。由此能夠防止蓋體120、250的表面直接接觸而劃傷，并且能夠水平地載置蓋體120、250。具體地說(shuō)，在輸送室200的非開口部218的蓋體載置區(qū)域X上，與合蓋體250匹配地配置有多個(gè)支承臺(tái)M4J48。支承臺(tái)244是板狀，在支承臺(tái)248上設(shè)置有用于將蓋體120 的載置位置定位的突起部。由于將與支承臺(tái)244、248的蓋體120的接觸面作成相同高度， 因此能夠水平地載置蓋體120。特別是如圖2所示的輸送室200，在非開口部216、218上的一部分安裝了加強(qiáng)部件222、224的情況下，會(huì)在有加強(qiáng)部件222、224的部分和沒(méi)有的部分產(chǎn)生高低差。在這樣的情況下，通過(guò)調(diào)整多個(gè)支承臺(tái)M4J48的接觸面的高度就能夠使蓋體120水平地載置。另外，在輸送室200的非開口部216、218的蓋體載置區(qū)域Y，與蓋體120的大小匹配地配置有多個(gè)支承臺(tái)M0J42J44J46。支承臺(tái)244是板狀，支承臺(tái)240、242、246設(shè)置有用于將蓋體250的載置位置定位的突起部。另外，各支承臺(tái)240、242、246、248優(yōu)選為根據(jù)需要能夠拆裝。支承臺(tái)246在載置蓋體250時(shí)會(huì)成為妨礙因而取下。另外，支承臺(tái)244對(duì)于蓋體120、250可以作為共用的支承臺(tái)來(lái)使用。另外，各支承臺(tái)240、242、246、248為了不劃傷蓋體120、250，而優(yōu)選用樹脂等構(gòu)成。在這種情況下，也可以僅將與蓋體120、250的接觸面用樹脂等構(gòu)成。另外，如圖2所示，可以在輸送室200的蓋體250的上表面，沿著長(zhǎng)邊設(shè)置多個(gè)安裝孔228，用于拆裝如后述的圖3所示的安全柵沈2。另外，也可以在輸送室200的頂面部 212的非開口部218，在輸送室200上設(shè)置用于安裝安全柵的多個(gè)安裝孔230。雖未圖示但也可以在非開口部216上設(shè)置用于拆裝安全柵的多個(gè)安裝孔230。(取下輸送室的蓋體)接下來(lái)，參照附圖對(duì)從輸送室200的開口部214上取下蓋體250，并將其載置于蓋體載置區(qū)域X的動(dòng)作進(jìn)行詳細(xì)地說(shuō)明。圖3是用于說(shuō)明取下蓋體250前的狀態(tài)的立體圖。 圖4是用于說(shuō)明將從開口部214上取下的蓋體250載置于蓋體載置區(qū)域X時(shí)的狀態(tài)的立體圖。首先，在開始從開口部214取下蓋體250的作業(yè)前，如圖3所示將安全柵260豎立設(shè)置在非開口部216的上表面，并將安全柵262設(shè)置在蓋體250的上表面。具體地說(shuō)，將安全柵260的腿部安裝在非開口部216的多個(gè)安裝孔(省略圖示)中，將安全柵沈2的腿部安裝在蓋體250的上表面的多個(gè)安裝孔228中。另外，在此由于不需要支承臺(tái)M6，因此預(yù)先取下。接著，例如使用未圖示的吊車機(jī)構(gòu)將蓋體250吊起，向圖3所示的箭頭方向輸送， 并如圖4所示載置于蓋體載置區(qū)域X的支承臺(tái)M4J48。此時(shí)，蓋體250的載置位置能夠由支承臺(tái)248的突起部來(lái)定位。這樣通過(guò)將蓋體250從開口部214上取下，就能夠?qū)斔褪?00的內(nèi)部進(jìn)行維護(hù)。 另外，由于沿著開口部214設(shè)置安全柵沈0、沈2，因此能夠防止在頂面部212作業(yè)的作業(yè)者滾落到開口部214中。另外，如果將蓋體250從開口部214上取下載置于蓋體載置區(qū)域X， 則沿著開口部214豎立設(shè)置安全柵沈2。通過(guò)這樣也能夠使用于豎立設(shè)置安全柵262的作
8業(yè)效率提高。另外，為了進(jìn)一步提高安全性，也可以在安全柵沈0、262上在框內(nèi)增加格子或網(wǎng)格板。另外安全柵260 J62為常設(shè)狀態(tài)下，也可以根據(jù)需要取下、或移設(shè)。這樣，根據(jù)本實(shí)施方式，在設(shè)置基板處理裝置100的空間以外，無(wú)需準(zhǔn)備用于載置從開口部214上取下的蓋體250的空間。因此能夠使設(shè)置基板處理裝置100的潔凈室的占地面積節(jié)省空間。另外，由于將輸送室200的蓋體250的蓋體載置區(qū)域X設(shè)置在非常接近開口部214 的非開口部218，因此能夠大幅度地縮短用吊車等吊起蓋體250載置于蓋體載置區(qū)域X所花費(fèi)的時(shí)間。因此能夠縮短維護(hù)等作業(yè)時(shí)間，能夠使基板處理裝置100的生產(chǎn)率提高。(取下加載互鎖真空室的蓋體)接下來(lái)，參照附圖對(duì)從加載互鎖真空室102的開口部114取下蓋體120，并將其載置于蓋體載置區(qū)域Y的動(dòng)作進(jìn)行詳細(xì)地說(shuō)明。圖5是用于說(shuō)明從開口部114上取下蓋體 120前的狀態(tài)的立體圖。圖6是用于說(shuō)明將從開口部114上取下的蓋體120載置于蓋體載置區(qū)域Y后的狀態(tài)的立體圖。首先，在開始從開口部114上取下蓋體120的作業(yè)前，將安全柵260豎立設(shè)置于非開口部216的上表面，并將安全柵262豎立設(shè)置于非開口部218的上表面。具體地說(shuō)，將安全柵260的腿部安裝在非開口部216的多個(gè)安裝孔(省略圖示)中，將安全柵沈2的腿部安裝在非開口部218的多個(gè)安裝孔230中。在此，例如在將要進(jìn)行上述圖3、圖4所示的蓋體250的取下/安裝作業(yè)之前的情況下等，安全柵262被固定于蓋體250，支承臺(tái)246也不安裝。在這樣的情況下，將支承臺(tái) 246安裝到加強(qiáng)部件224的規(guī)定位置，并且使安全柵262移動(dòng)到非開口部218。接下來(lái)，例如使用未圖示的吊車機(jī)構(gòu)吊起蓋體120，向如圖5所示的箭頭的方向輸送，并如圖6所示載置于蓋體載置區(qū)域Y的支承臺(tái)M0J42J44J46。此時(shí)，蓋體120的載置位置能夠利用支承臺(tái)M0J42J46的突起部來(lái)定位。這樣，通過(guò)將蓋體120從開口部114上取下，能夠?qū)虞d互鎖真空室200的內(nèi)部進(jìn)行維護(hù)。另外，由于沿著開口部214豎立設(shè)置安全柵沈0、沈2，因此能夠確保在頂面部212 作業(yè)的作業(yè)者的安全。如上所述，根據(jù)本實(shí)施方式，在設(shè)置有基板處理裝置100的空間以外，無(wú)需準(zhǔn)備用于載置從加載互鎖真空室102的開口部114上取下的蓋體120的空間。由此能夠?qū)崈羰业恼嫉孛娣e節(jié)省空間。另外，由于將加載互鎖真空室102的蓋體120的蓋體載置區(qū)域Y設(shè)置在非常接近開口部114的輸送室的頂面部212，因此能夠大幅度地縮短用吊車等將蓋體120吊起并載置于蓋體載置區(qū)域Y所花費(fèi)的時(shí)間。因此，能夠縮短維護(hù)等作業(yè)的時(shí)間，能夠使基板處理裝置 100的生產(chǎn)率提高。然而，在本實(shí)施方式涉及的輸送室200中，為了在該頂面部212上設(shè)置非開口部 216、218來(lái)確保蓋體載置區(qū)域X、Y，因此與未設(shè)置這些非開口部216、218的情況相比，必須縮小開口部214。因此也考慮到根據(jù)設(shè)置在輸送室200內(nèi)的輸送裝置的拾取部300的大小不同而存在無(wú)法原封不動(dòng)地從開口部214搬入搬出的情況。因此可以將拾取部300構(gòu)成為可以與開口部214的寬度匹配地自由分解。參照

這樣的拾取部300的具體的構(gòu)成例。圖7、圖8是用于說(shuō)明本實(shí)施方式涉及的輸送裝置的拾取部300的構(gòu)成的立體圖。圖7是表示分解前的拾取部300的狀態(tài)的圖，圖8是表示分解后的拾取部300的狀態(tài)的圖。圖7表示的拾取部300如圖8所示，構(gòu)成為能夠分解成三個(gè)部分(寬度Wa的部件 302、寬度恥的部件304、寬度Wc的部件306)。在此，寬度Wa、ffb, Wc全都比開口部214的寬度方向的尺寸小。由此，在因維護(hù)等而從輸送室200取出拾取部300的情況下，能夠在將拾取部300在輸送室200內(nèi)分解為部件302、304、306的基礎(chǔ)上，將它們從開口部214取出。 另外，在將拾取部300搬入并設(shè)置在輸送室200內(nèi)的情況下，可以在將部件302、304、306從開口部214插入到輸送室200內(nèi)后，在輸送室200內(nèi)組裝拾取部300。由此即使開口部214 的寬度較小，也能夠容易地使寬度比開口部大的拾取部300從開口部214進(jìn)出。以上，參照附圖對(duì)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式進(jìn)行了說(shuō)明，然而本發(fā)明不限定于所涉及的例子。應(yīng)該了解的是只要是本領(lǐng)域技術(shù)人員，則在權(quán)利要求書所述的范圍內(nèi)，能夠想到各種變更例或修改例，這些當(dāng)然也屬于本發(fā)明的技術(shù)范圍。例如，將加載互鎖真空室102的蓋體120放置在輸送室200上的構(gòu)成作為本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式進(jìn)行了說(shuō)明，然而也可以將處理室104的蓋體放置在輸送室200上。另外， 還可以是將輸送室200的蓋體250或處理室104的蓋體放置在加載互鎖真空室102上的構(gòu)成。進(jìn)而還可以是將蓋體分割進(jìn)行載置的構(gòu)成。產(chǎn)業(yè)上的可利用性本發(fā)明能夠適用于具有收容FPD基板等被處理體的收容室的處理裝置。
權(quán)利要求
1.一種處理裝置，具有收容被處理體的收容室，其特征在于，所述收容室包括具有開口部的頂面部和自由拆裝地將所述開口部閉塞的蓋體，在所述頂面部設(shè)置有蓋體載置區(qū)域，該蓋體載置區(qū)域用于暫時(shí)載置從所述開口部取下的所述蓋體。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的處理裝置，其特征在于，所述蓋體載置區(qū)域與所述開口部相鄰。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的處理裝置，其特征在于，所述開口部設(shè)置在所述頂面部的中央，所述開口部的寬度為所述頂面部的寬度的1/3以下。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的處理裝置，其特征在于，在所述蓋體載置區(qū)域具有支承所述蓋體的多個(gè)支承臺(tái)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的處理裝置，其特征在于，所述支承臺(tái)的至少與所述蓋體接觸的接觸面用樹脂材料構(gòu)成。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的處理裝置，其特征在于，所述蓋體，在其上表面設(shè)置有拆裝自由地安裝安全柵的柵安裝部， 以如下方式配置所述柵安裝部在所述蓋體上安裝有所述安全柵的狀態(tài)下將所述蓋體載置于所述蓋體載置區(qū)域時(shí)，使所述蓋體上的安全柵沿著所述開口部的邊緣。
7.—種處理裝置，是具有多個(gè)收容被處理體的收容室的基板處理裝置，其特征在于， 在多個(gè)所述收容室中包括下述結(jié)構(gòu)，該結(jié)構(gòu)具備具有開口部的頂面部和將所述開口部閉塞的蓋體，所述收容室的至少一個(gè)設(shè)置有載置其他收容室的蓋體的第一蓋體載置區(qū)域。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的處理裝置，其特征在于，具備所述第一蓋體載置區(qū)域的所述收容室，具有載置該收容室的蓋體的第二蓋體載置區(qū)域。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的處理裝置，其特征在于，具有所述第二蓋體載置區(qū)域的所述收容室的開口部設(shè)置在頂面部的中央，所述第二蓋體載置區(qū)域與所述開口部相鄰設(shè)置。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的處理裝置，其特征在于，所述第一蓋體載置區(qū)域和所述第二蓋體載置區(qū)域以重疊的方式配置。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的處理裝置，其特征在于，所述第一蓋體載置區(qū)域和所述第二蓋體載置區(qū)域配置為高于將所述開口部閉塞時(shí)所述蓋體的上表面。
12.根據(jù)權(quán)利要求1 11中的任意一項(xiàng)所述的處理裝置，其特征在于， 所述多個(gè)收容室包括處理室，其在真空環(huán)境中對(duì)被處理體實(shí)施處理；加載互鎖真空室，其在大氣壓環(huán)境與所述處理室之間輸送所述被處理體時(shí)暫時(shí)收容所述被處理體，并將內(nèi)部切換為大氣壓環(huán)境或真空環(huán)境；輸送室，其氣密性地與所述加載互鎖真空室和所述處理室連接，且在其內(nèi)部具有在所述加載互鎖真空室和所述處理室之間輸送所述被處理體的輸送裝置。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的處理裝置，其特征在于，在所述收容室的內(nèi)部設(shè)置將所述被處理體載置于保持部進(jìn)行輸送的輸送裝置，所述保持部構(gòu)成為可與所述開口部的寬度尺寸相匹配地自由分解。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種處理裝置，通過(guò)在收容器上設(shè)置暫時(shí)放置因維護(hù)等而取下的蓋體的空間，從而節(jié)省潔凈室內(nèi)的空間。作為收容被處理體的收容室，具有輸送室(200)和加載互鎖真空室(102)，輸送室(200)的容器(210)設(shè)置具有開口部(214)的頂面部(212)、和自由拆裝地將該開口部(214)閉塞的蓋體(250)，在其頂面部(212)上設(shè)置第一蓋體載置區(qū)域(Y)，用于暫時(shí)載置從作為其他容器的加載互鎖真空室(102)的容器(110)上取下的蓋體(120)；第二蓋體載置區(qū)域(X)，用于暫時(shí)載置從作為自身容器的輸送室(200)的容器(210)上取下的蓋體(250)。
文檔編號(hào)H01L21/677GK102315147SQ201110184779
公開日2012年1月11日 申請(qǐng)日期2011年6月28日 優(yōu)先權(quán)日2010年6月30日
發(fā)明者岡部星兒 申請(qǐng)人:東京毅力科創(chuàng)株式會(huì)社