專利名稱：流體系統(tǒng)、保持機(jī)構(gòu)和中間支承件的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及流體系統(tǒng)、保持機(jī)構(gòu)和中間支承件，該流體系統(tǒng)包括流體回路裝置， 通過由配管和管接頭連接多個(gè)流體設(shè)備而構(gòu)成，多個(gè)所述流體設(shè)備用于控制或測量流體的狀態(tài)；以及保持機(jī)構(gòu)，用于保持所述流體回路裝置。
背景技術(shù)：
在用于半導(dǎo)體制造工序等的流體回路裝置中，具有如下結(jié)構(gòu)的裝置縱橫配置多個(gè)流體設(shè)備，并利用配管和管接頭連接相鄰的各流體設(shè)備，使配管的高度一致。例如利用保持機(jī)構(gòu)保持這種流體回路裝置，該保持機(jī)構(gòu)具有像基板那樣的基座構(gòu)件和像托架那樣的中間支承件，通過中間支承件將流體設(shè)備的底面和基座構(gòu)件固定在一起。然而，由于流體設(shè)備的種類不同，從流體設(shè)備的底面到固定在流體設(shè)備上的配管的高度不同。在這種情況下，根據(jù)該高度差，通過改變中間支承件的高度，來使配管的高度一致。因此，根據(jù)流體設(shè)備的種類，需要使用不同高度的中間支承件。對此，如專利文獻(xiàn)1 (日本專利公開公報(bào)特開2009-264587號)所示，可以考慮如下的流體設(shè)備安裝結(jié)構(gòu)不在流體設(shè)備上安裝中間支承件，而是在固定于流體設(shè)備的配管上安裝中間支承件(專利文獻(xiàn)1中稱為支承裝置)。按照這種結(jié)構(gòu)，可以使用相同高度的共通的中間支承件，來使配管的高度一致。然而，由于難以在配管上設(shè)置螺釘孔，所以利用螺釘?shù)葘⒅虚g支承件直接安裝在配管上的情況并不現(xiàn)實(shí)。因此，在專利文獻(xiàn)1記載的發(fā)明中，由兩個(gè)構(gòu)件構(gòu)成中間支承件， 由上述各構(gòu)件夾持配管(參照段落0087、0088和圖6)。即，在將中間支承件安裝在配管上的情況下，由于需要使中間支承件具有特殊結(jié)構(gòu)，來夾持配管或外嵌在配管上，所以導(dǎo)致部件數(shù)量增加或使結(jié)構(gòu)復(fù)雜化。

發(fā)明內(nèi)容
為了解決上述問題，本發(fā)明提供流體系統(tǒng)、保持機(jī)構(gòu)和中間支承件，該流體系統(tǒng)即使采用共通的中間支承件，也不會增加中間支承件的部件數(shù)量，可以使結(jié)構(gòu)簡化。S卩，本發(fā)明提供一種流體系統(tǒng)，其包括流體回路裝置，通過由配管和管接頭連接多個(gè)流體設(shè)備而構(gòu)成，多個(gè)所述流體設(shè)備用于控制或測量流體的狀態(tài)；以及保持機(jī)構(gòu)，用于保持所述流體回路裝置，所述流體系統(tǒng)的特征在于，所述保持機(jī)構(gòu)包括基座構(gòu)件；以及中間支承件，介于所述流體回路裝置和所述基座構(gòu)件之間，并將它們連接在一起，所述中間支承件通過其一個(gè)端部安裝在所述管接頭上，另一個(gè)端部安裝在所述基座構(gòu)件上，使所述管接頭與所述基座構(gòu)件連接。按照這種結(jié)構(gòu)，由于將中間支承件安裝在管接頭上，所以不需要使用高度不同的中間支承件，與專利文獻(xiàn)1相同，可以使用共通的中間支承件。此外，例如管接頭壁厚較厚， 在此處設(shè)置螺釘孔并不困難，所以即使中間支承件為柱狀件等簡單結(jié)構(gòu)，也可以利用螺釘簡單地將該中間支承件直接安裝在管接頭上。此外，例如在將中間支承件安裝在管接頭和基座構(gòu)件上之后，利用管接頭連接流體設(shè)備，或者是在利用管接頭連接流體設(shè)備之后，將中間支承件安裝在管接頭和基座構(gòu)件上，可以根據(jù)安裝狀況選擇適當(dāng)?shù)陌惭b順序，從而可以提高作業(yè)性。此外，在配管作業(yè)后，例如在閥那樣的流體設(shè)備堵塞等情況下，為了維修或更換而裝拆流體設(shè)備時(shí)，以往需要分別裝拆中間支承件和管接頭，并且還需要保持管接頭，以防止取下后的管接頭落下，從而導(dǎo)致比較麻煩。而在本發(fā)明中，由于將中間支承件安裝在管接頭上，所以不需要裝拆中間支承件，僅裝拆管接頭即可。并且由于該管接頭與基座構(gòu)件連接，所以不需要進(jìn)行保持來防止其脫落。因此，當(dāng)進(jìn)行維修或更換作業(yè)時(shí)，可以容易地取下和安裝流體設(shè)備。為了提高配管的配置自由度，優(yōu)選的是，所述中間支承件使所述管接頭轉(zhuǎn)動(dòng)自如地與所述基座構(gòu)件連接。所述中間支承件以至少在規(guī)定范圍內(nèi)能夠改變姿勢或能夠移動(dòng)的方式，帶有間隙地安裝在所述基座構(gòu)件上。按照這種結(jié)構(gòu)，可以通過所述間隙，來消除流體設(shè)備、配管或管接頭的尺寸誤差。所述基座構(gòu)件形成有第一滑動(dòng)槽和第二滑動(dòng)槽，所述中間支承件的另一個(gè)端部與所述第一滑動(dòng)槽和所述第二滑動(dòng)槽滑動(dòng)嵌合，所述第二滑動(dòng)槽從所述第一滑動(dòng)槽朝向與所述第一滑動(dòng)槽的延伸方向不同的方向分路。按照這種結(jié)構(gòu)，例如即使因增加流體設(shè)備而改變管接頭的配置的情況下，也可以使安裝管接頭后的中間支承件沿第一滑動(dòng)槽移動(dòng)，來改變管接頭的配置，從而可以充分地利用共通的基座構(gòu)件。此外，當(dāng)僅在第一滑動(dòng)槽中配置有中間支承件時(shí)，由于流體回路裝置會沿第一滑動(dòng)槽移動(dòng)，所以需要另外設(shè)置用于固定流體回路裝置的構(gòu)件。但是，由于設(shè)置有沿與第一滑動(dòng)槽不同的方向延伸的第二滑動(dòng)槽，所以通過配置在第一滑動(dòng)槽和第二滑動(dòng)槽中的中間支承件來安裝基座構(gòu)件和管接頭，不需要另外設(shè)置用于固定的構(gòu)件，就可以固定流體回路裝置。為了簡單地安裝或取下中間支承件，優(yōu)選的是，在所述第一滑動(dòng)槽或所述第二滑動(dòng)槽中設(shè)置有寬幅部，所述寬幅部的尺寸能夠使所述中間支承件的另一個(gè)端部穿過。所述基座構(gòu)件具有呈長條矩形的多個(gè)板體，所述板體相互隔開間隔配置，所述間隔形成所述第一滑動(dòng)槽，并且所述第二滑動(dòng)槽形成在所述板體上。按照這種結(jié)構(gòu)，可以通過增加板體來增設(shè)各滑動(dòng)槽、通過除去板體來減少各滑動(dòng)槽、或者是通過改變板體來改變第二滑動(dòng)槽的位置等。作為具體的實(shí)施方式可以例舉的是所述中間支承件基本為柱狀，在其側(cè)周面上設(shè)置有槽，所述槽與形成所述第一、第二滑動(dòng)槽的所述板體嵌合。為了進(jìn)一步提高作業(yè)性，優(yōu)選的是，所述管接頭包括一連串的單元構(gòu)件，相鄰的各單元構(gòu)件以能夠轉(zhuǎn)動(dòng)的方式相互連接；以及連結(jié)件，連接兩端的單元構(gòu)件，使所述一連串的單元構(gòu)件成為環(huán)狀，所述管接頭外嵌在一對配管的相對的端部上，并且通過牢固地固定所述連結(jié)件，來串聯(lián)連接各所述配管，所述中間支承件安裝在位于底部的所述單元構(gòu)件上。 以往，當(dāng)在配管上安裝管接頭時(shí)，作業(yè)者必須保持管接頭，但是按照這種結(jié)構(gòu)，可以在將管接頭底部的單元構(gòu)件保持在基座構(gòu)件上之后，利用管接頭連接配管，從而在配管作業(yè)時(shí)不需要保持管接頭。本發(fā)明還提供一種保持機(jī)構(gòu)，該保持機(jī)構(gòu)與流體回路裝置一起使用，所述流體回路裝置通過由配管和管接頭連接多個(gè)流體設(shè)備而構(gòu)成，多個(gè)所述流體設(shè)備用于控制或測量流體的狀態(tài)，所述保持機(jī)構(gòu)的特征在于包括基座構(gòu)件；以及中間支承件，介于所述流體回路裝置和所述基座構(gòu)件之間，并將它們連接在一起，所述中間支承件通過其一個(gè)端部安裝在所述管接頭上，另一個(gè)端部安裝在所述基座構(gòu)件上，使所述管接頭與所述基座構(gòu)件連接， 并保持所述流體回路裝置。本發(fā)明還提供一種中間支承件，該中間支承件與流體回路裝置和基座構(gòu)件一起使用，所述流體回路裝置通過由配管和管接頭連接多個(gè)流體設(shè)備而構(gòu)成，多個(gè)所述流體設(shè)備用于控制或測量流體的狀態(tài)，所述基座構(gòu)件用于保持所述流體回路裝置，所述中間支承件的特征在于，所述中間支承件介于所述流體回路裝置和所述基座構(gòu)件之間，并將它們連接在一起，所述中間支承件通過其一個(gè)端部安裝在所述管接頭上，另一個(gè)端部安裝在所述基座構(gòu)件上，使所述管接頭與所述基座構(gòu)件連接。因此，按照本發(fā)明，即使采用共通的中間支承件，也不會增加中間支承件的部件數(shù)量，可以使結(jié)構(gòu)簡化。


圖1是本發(fā)明實(shí)施方式的流體系統(tǒng)的側(cè)視圖。圖2是同一實(shí)施方式的流體系統(tǒng)的俯視圖。圖3是同一實(shí)施方式的管接頭的分解圖。圖4是表示同一實(shí)施方式的管接頭的固定狀態(tài)的圖。圖5是同一實(shí)施方式的管接頭的沿A-A線的縱剖視圖。圖6是表示同一實(shí)施方式的管接頭的打開狀態(tài)的圖。圖7是同一實(shí)施方式的基座構(gòu)件的整體立體圖。圖8是同一實(shí)施方式的中間支承件的整體立體圖。圖9是表示同一實(shí)施方式的安裝了中間支承件和管接頭后的狀態(tài)的側(cè)視圖。圖10是表示同一實(shí)施方式的通過中間支承件安裝了管接頭和基座構(gòu)件后的狀態(tài)的局部縱剖視圖。圖11是表示同一實(shí)施方式流體系統(tǒng)的組裝工序的初始狀態(tài)的俯視圖。圖12是表示同一實(shí)施方式流體系統(tǒng)的組裝工序的中間過程的俯視圖。圖13是表示本發(fā)明其他實(shí)施方式的安裝了中間支承件和管接頭后的狀態(tài)的側(cè)視圖。附圖標(biāo)記說明100流體系統(tǒng)101流體回路裝置102保持機(jī)構(gòu)10中間支承件24管接頭30基座構(gòu)件31第一滑動(dòng)槽32第二滑動(dòng)槽33 板體
40流體設(shè)備50 配管
具體實(shí)施例方式下面參照附圖，對本發(fā)明一種實(shí)施方式的流體系統(tǒng)100進(jìn)行說明。本實(shí)施方式的流體系統(tǒng)100例如構(gòu)成氣體面板(gas panel)裝置，該氣體面板裝置把處理氣體(process gas)等提供給半導(dǎo)體制造裝置，如圖1所示，該流體系統(tǒng)100包括 流體回路裝置101，通過由配管50和管接頭M連接多個(gè)流體設(shè)備40而構(gòu)成，上述多個(gè)流體設(shè)備40用于控制或測量流體的狀態(tài)；以及保持機(jī)構(gòu)102，用于保持所述流體回路裝置101。 另外，所謂流體設(shè)備40例如是壓力傳感器、質(zhì)量流量控制器、閥等。如圖2所示，通過將多個(gè)流體設(shè)備40縱橫配置并在同一平面內(nèi)進(jìn)行連接，來構(gòu)成流體回路裝置101。更具體地說，串聯(lián)配置多個(gè)流體設(shè)備40，并利用配管50和管接頭M連接相鄰的流體設(shè)備40，來構(gòu)成橫向流體管道，同樣利用配管50和管接頭M連接平行排列的各橫向流體管道，來構(gòu)成縱向流體管道，從而由各流體管道構(gòu)成流體回路裝置101。另外，為了方便說明，把橫向流體管道的延伸方向作為橫向，把縱向流體管道的延伸方向作為縱向。對利用配管50和管接頭M連接流體設(shè)備40的接頭機(jī)構(gòu)20進(jìn)行說明。首先，對配管50進(jìn)行說明。如圖3所示，配管50的基端預(yù)先與流體設(shè)備40的導(dǎo)出/導(dǎo)入口連接， 在配管50的前端部上設(shè)置有后面敘述的凸緣部21。在此，配管50全部采用相同的直徑。如圖3所示，接頭機(jī)構(gòu)20包括凸緣部21，一體地形成在配管50的前端部外周上； 墊圈22，介于各凸緣部21之間；定位環(huán)23，對各凸緣部21進(jìn)行軸對準(zhǔn)；以及管接頭24，以壓力接觸方式連接凸緣部21。如圖5所示，凸緣部21為大體圓環(huán)板狀，在其前端面(以下也稱為相對面)上設(shè)置有圓環(huán)狀的突起21a。在凸緣部21的背面上形成有傾斜面21b，該傾斜面21b越朝向前端直徑越大，在凸緣部21側(cè)周面的前端部分21c上形成有臺階部，該臺階部的直徑比側(cè)周面的其他部分的直徑小。如圖5所示，墊圈22為等厚圓環(huán)板狀，其內(nèi)徑與配管50的內(nèi)徑一致、其外徑與凸緣部21的前端部分21c的外徑一致。如圖5所示，定位環(huán)23為圓筒形，其內(nèi)徑設(shè)定成與凸緣部21的前端部分21c的外徑一致，定位環(huán)23無間隙地外嵌在凸緣部21的前端部分21c上。管接頭M包括一連串的單元構(gòu)件25，如圖4中的連結(jié)狀態(tài)、圖6中的打開狀態(tài)所示，以能夠轉(zhuǎn)動(dòng)的方式相互連接相鄰的單元構(gòu)件25 ；連結(jié)件沈，連接兩端的單元構(gòu)件25， 使所述一連串的單元構(gòu)件25成為環(huán)狀。在各單元構(gòu)件25 (在此為三個(gè))的內(nèi)周表面上， 設(shè)置有沿周向延伸的有底嵌合槽。并且，在該嵌合槽的側(cè)面上形成有傾斜面25b，該傾斜面 25b與形成在凸緣部21背面上的傾斜面21b對應(yīng)。此外，在連結(jié)狀態(tài)下位于底部的單元構(gòu)件25上設(shè)置有壁厚部25a，將連接構(gòu)件(在此為螺栓)擰緊在設(shè)置于該壁厚部2 上的陰螺紋孔中，來安裝后面敘述的中間支承件10。在利用這種接頭機(jī)構(gòu)20連接各配管50的情況下，首先，將定位環(huán)23的一個(gè)端部外嵌在一個(gè)配管50的凸緣部21的前端部分21c上。接著，將墊圈22和設(shè)置在另一個(gè)配管 50上的凸緣部21的前端部分21c依次嵌入到定位環(huán)23的另一個(gè)端部內(nèi)。由此，保持各凸緣部21和墊圈22，使它們的中心軸一致。接著，將凸緣部21嵌入到圖6所示的處于打開狀態(tài)下的管接頭M的嵌合槽內(nèi)，該打開狀態(tài)是指沒有通過連結(jié)件26連接兩端的單元構(gòu)件25。并且，如圖4所示，利用連結(jié)件 26連接并牢固地固定管接頭M的兩端的單元構(gòu)件25。由此，管接頭M的內(nèi)徑變窄，嵌合槽的傾斜面2 沿徑向按壓凸緣部21的傾斜面21b。此時(shí)，如圖5所示，利用凸緣部21的傾斜面21b，朝向使凸緣部21沿軸向貼緊的方向，產(chǎn)生按壓凸緣部21的分力，利用該分力來進(jìn)行壓力連接，以使各凸緣部21的圓環(huán)突起21a咬入到墊圈22內(nèi)，從而具有氣密性地連接各配管50。如圖1所示，保持機(jī)構(gòu)102包括基座構(gòu)件30 ；以及中間支承件10，介于所述流體回路裝置101和所述基座構(gòu)件30之間，并將它們連接在一起。如圖7所示，基座構(gòu)件30為大體面板狀，在其一個(gè)表面(以下也稱為安裝面)上通過中間支承件10安裝流體回路裝置101。基座構(gòu)件30包括多個(gè)板體33 ；—對保持板 34 ；以及連接構(gòu)件35 (在此為螺栓)，連接板體33和保持板34。板體33是等厚板，該等厚板為沿橫向延伸的長條矩形，并且多個(gè)板體33的長邊方向的長度一致。使板體33的面板部處于同一平面，并且將它們相互隔開間隔平行排列。在除了配置于兩端的板體33以外的全部板體33上，沿厚度方向貫通設(shè)置有后面敘述第二滑動(dòng)槽32。在該板體33的下表面端部上，利用連接構(gòu)件35安裝有一對保持板34，上述一對保持板34為具有一定厚度的細(xì)長板狀。在基座構(gòu)件30上形成有第一滑動(dòng)槽31和第二滑動(dòng)槽32，中間支承件10的另一個(gè)端部與上述第一滑動(dòng)槽31和第二滑動(dòng)槽32滑動(dòng)嵌合。第一滑動(dòng)槽31由在各板體33之間沿橫向延伸的間隙形成，第二滑動(dòng)槽32從第一滑動(dòng)槽31朝向與該第一滑動(dòng)槽31的延伸方向不同的方向(在此為與第一滑動(dòng)槽31垂直的方向、即縱向)分路。在此，在各板體33 的相同位置上形成第二滑動(dòng)槽32，在對這些板體33進(jìn)行排列后的狀態(tài)下，第二滑動(dòng)槽32排列在一條直線上，但是也可以在不同的位置上設(shè)置板體33的第二滑動(dòng)槽32，使第二滑動(dòng)槽 32彼此偏移。如圖8所示，中間支承件10為中空的大體圓柱狀，將其一個(gè)端部安裝在管接頭M 上、另一個(gè)端部安裝在基座構(gòu)件30上，從而使管接頭M與基座構(gòu)件30連接。具體地說，中間支承件10包括頭部11、底座部13以及連接頭部11和底座部13的頸部12，并且它們一體形成。頭部11為大體圓筒形，在其上表面上設(shè)置有槽狀的凹部15。底座部13為大體圓筒形，頸部12為比頭部11和底座部13細(xì)的大體圓筒形。在中間支承件10的側(cè)周面上，頭部11的下表面、底座部13的上表面和頸部12的側(cè)周面形成圓環(huán)形的槽16，并且頭部11、 底座部13和頸部12的內(nèi)周面形成貫通孔14，該貫通孔14沿軸向貫通頭部11、底座部13 和頸部12的內(nèi)部。如圖9所示，設(shè)置在管接頭M底部上的壁厚部2 嵌入到中間支承件10的凹部 15內(nèi)。如圖10所示，連接構(gòu)件(在此為螺栓)貫通中間支承件10的貫通孔14，擰緊固定在設(shè)置于管接頭M的壁厚部25a的陰螺紋孔內(nèi)，從而連接管接頭M和中間支承件10。如圖10所示，中間支承件10的槽16的寬度設(shè)定成比板體33的厚稍大。此外，中間支承件10的頸部12的外徑設(shè)定成比各滑動(dòng)槽(第一、第二滑動(dòng)槽)31、32的寬度稍小，中間支承件10的頭部11和底座部13的外徑設(shè)定成比各滑動(dòng)槽31、32的寬度稍大。這種結(jié)構(gòu)的槽16與形成有滑動(dòng)槽31、32的板體33嵌合，其結(jié)果，將中間支承件10轉(zhuǎn)動(dòng)自如地連接在基座構(gòu)件30上，并且以至少在一定范圍內(nèi)能夠改變姿勢或能夠移動(dòng)的方式，將中間支承件10具有間隙地安裝在基座構(gòu)件30上。另外，所謂轉(zhuǎn)動(dòng)自如地連接是指能夠以與基座構(gòu)件30的安裝面垂直的軸為中心軸進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)，并且在中間支承件10的全部轉(zhuǎn)動(dòng)角度中， 都能夠保持中間支承件10與基座構(gòu)件30連接的狀態(tài)。如圖2所示，中間支承件10配置在各滑動(dòng)槽31、32中，管接頭M安裝在該中間支承件10上。通過配置在第一滑動(dòng)槽31中的管接頭對連接橫向流體管道的流體設(shè)備40，并且通過配置在第二滑動(dòng)槽32中的管接頭M連接縱向流體管道的流體設(shè)備40。對組裝本實(shí)施方式流體系統(tǒng)100的工序的一個(gè)例子進(jìn)行說明。如圖11所示，在基座構(gòu)件30的第二滑動(dòng)槽32的基端部的一部分上，形成有切口，使上述第一滑動(dòng)槽31和第二滑動(dòng)槽32之間的分路部36的尺寸能夠使中間支承件10的另一個(gè)端部穿過。形成有該切口的分路部36相當(dāng)于寬幅部37。將安裝有管接頭M的中間支承件10穿過該寬幅部37。 并且在中間支承件10的頸部12穿過寬幅部37的狀態(tài)下，使中間支承件10沿各滑動(dòng)槽31、 32移動(dòng)，從而使板體33嵌入到中間支承件10的槽16內(nèi)。同樣地將各中間支承件10安裝在基座構(gòu)件30上，如圖12所示，在第一滑動(dòng)槽31和第二滑動(dòng)槽32中配置多個(gè)中間支承件 10。另外，為了在沒有形成寬幅部37的第一滑動(dòng)槽31中安裝中間支承件10，可以取下保持板；34，使中間支承件10從基座構(gòu)件30的側(cè)面滑入。使管接頭M處于沒有利用連結(jié)件沈連接兩端的單元構(gòu)件25的打開狀態(tài)。并且， 在放置了與位于底部的單元構(gòu)件25相對的配管50之后，使管接頭M成為連結(jié)狀態(tài)，來連接各流體設(shè)備40。作為組裝工序的其他例子，可以例舉的是在利用管接頭M連接流體設(shè)備40之后，將中間支承件10安裝在管接頭M和基座構(gòu)件30上。另外，當(dāng)取下流體設(shè)備40 時(shí)，采用相反的順序。按照本實(shí)施方式的流體系統(tǒng)100，由于將中間支承件10安裝在管接頭M上，所以不需要使用高度不同的中間支承件10，可以使用共通的中間支承件10。此外，由于管接頭 24的壁厚較厚，在此處設(shè)置螺釘孔并不困難，所以即使中間支承件10為柱狀件等那樣的簡單結(jié)構(gòu)，也能夠利用螺釘容易地將該中間支承件10直接安裝在管接頭M上。此外，在將中間支承件10安裝在管接頭M和基座構(gòu)件30上之后，利用管接頭M連接流體設(shè)備40，或者是在利用管接頭M連接流體設(shè)備40之后，將中間支承件10安裝在管接頭M和基座構(gòu)件 30上，可以根據(jù)安裝狀況選擇適當(dāng)?shù)陌惭b順序，從而可以提高作業(yè)性。此外，由于使用在相同的位置上形成有第二滑動(dòng)槽32的板體33，所以可以使第二滑動(dòng)槽32排列成一列，從而可以利用配置在第二滑動(dòng)槽32中的管接頭M，來連接通過串聯(lián)多個(gè)流體設(shè)備40而構(gòu)成的各橫向流體管道。此外，由于設(shè)置有沿與第一滑動(dòng)槽31不同的方向延伸的第二滑動(dòng)槽32，所以通過配置在第一滑動(dòng)槽31和第二滑動(dòng)槽32中的中間支承件10將基座構(gòu)件30和管接頭M安裝在一起，不需要另外設(shè)置用于固定的構(gòu)件，就可以固定流體回路裝置101。另外，由于使各滑動(dòng)槽31、32的分路部36為寬幅部37，所以可以從各滑動(dòng)槽31、32的中途裝拆中間支承件10。另外，本發(fā)明并不限定于本實(shí)施方式。例如，雖然使各滑動(dòng)槽的連接部的一部分為寬幅部，但是也可以使各滑動(dòng)槽的全部連接部為寬幅部，還可以在各滑動(dòng)槽的連接部以外的部分上設(shè)置寬幅部。此外，雖然將中間支承件從寬幅部穿過，但是也可以取下基座構(gòu)件的保持板，使其從基座構(gòu)件的側(cè)面穿過。也可以通過螺釘固定等使中間支承件與基座構(gòu)件連接。雖然第二滑動(dòng)槽從第一滑動(dòng)槽分路，但是第二滑動(dòng)槽也可以從板體的短邊方向的側(cè)面朝向與第一滑動(dòng)槽的延伸方向不同的方向延伸。另外，雖然接頭機(jī)構(gòu)具有定位環(huán)，但是也可以省略定位環(huán)。按照這種結(jié)構(gòu)，可以減少部件數(shù)量，并且當(dāng)裝拆流體設(shè)備時(shí)，不需要通過使連接在流體設(shè)備上的配管沿軸向移動(dòng)定位環(huán)寬度的距離來裝拆定位環(huán)，就可以容易地進(jìn)行配管作業(yè)。特別是在流體設(shè)備的軸向移動(dòng)受到限制的情況下，例如裝拆縱向流體管道的流體設(shè)備時(shí)，這種效果更為顯著，該縱向流體管道的流體設(shè)備對平行排列的各橫向流體管道進(jìn)行連接。此外，如圖13所示，為了保持強(qiáng)度以防止破裂等，也可以在單元構(gòu)件25的中間部設(shè)置向外突出的厚壁部25e。該厚壁部2 的寬度可以與單元構(gòu)件的寬度相同，也可以比單元構(gòu)件的寬度小。優(yōu)選厚壁部2 具有用于保持強(qiáng)度的最低限度的尺寸。此外，本發(fā)明可以對各結(jié)構(gòu)進(jìn)行組合，并且能夠在不脫離本發(fā)明宗旨的范圍內(nèi)進(jìn)行各種變形。
權(quán)利要求
1.一種流體系統(tǒng)，其包括流體回路裝置，通過由配管和管接頭連接多個(gè)流體設(shè)備而構(gòu)成，多個(gè)所述流體設(shè)備用于控制或測量流體的狀態(tài)；以及保持機(jī)構(gòu)，用于保持所述流體回路裝置，所述流體系統(tǒng)的特征在于，所述保持機(jī)構(gòu)包括基座構(gòu)件；以及中間支承件，介于所述流體回路裝置和所述基座構(gòu)件之間，并將它們連接在一起，所述中間支承件通過其一個(gè)端部安裝在所述管接頭上，另一個(gè)端部安裝在所述基座構(gòu)件上，使所述管接頭與所述基座構(gòu)件連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的流體系統(tǒng)，其特征在于，所述中間支承件使所述管接頭轉(zhuǎn)動(dòng)自如地與所述基座構(gòu)件連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的流體系統(tǒng)，其特征在于，所述中間支承件以至少在規(guī)定范圍內(nèi)能夠改變姿勢或能夠移動(dòng)的方式，帶有間隙地安裝在所述基座構(gòu)件上。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的流體系統(tǒng)，其特征在于，所述基座構(gòu)件形成有第一滑動(dòng)槽和第二滑動(dòng)槽，所述中間支承件的另一個(gè)端部與所述第一滑動(dòng)槽和所述第二滑動(dòng)槽滑動(dòng)嵌合，所述第二滑動(dòng)槽從所述第一滑動(dòng)槽朝向與所述第一滑動(dòng)槽的延伸方向不同的方向分路。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的流體系統(tǒng)，其特征在于，在所述第一滑動(dòng)槽或所述第二滑動(dòng)槽中設(shè)置有寬幅部，所述寬幅部的尺寸能夠使所述中間支承件的另一個(gè)端部穿過。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的流體系統(tǒng)，其特征在于，所述基座構(gòu)件具有呈長條矩形的多個(gè)板體，所述板體相互隔開間隔配置，所述間隔形成所述第一滑動(dòng)槽，并且所述第二滑動(dòng)槽形成在所述板體上。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的流體系統(tǒng)，其特征在于，所述中間支承件基本為柱狀，在其側(cè)周面上形成有槽，所述槽與形成所述第一、第二滑動(dòng)槽的所述板體嵌合，使所述中間支承件與所述基座構(gòu)件連接。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的流體系統(tǒng)，其特征在于，所述管接頭包括一連串的單元構(gòu)件，相鄰的各單元構(gòu)件以能夠轉(zhuǎn)動(dòng)的方式相互連接； 以及連結(jié)件，連接兩端的單元構(gòu)件，使所述一連串的單元構(gòu)件成為環(huán)狀，所述管接頭外嵌在一對配管的相對的端部上，并且通過牢固地固定所述連結(jié)件，來串聯(lián)連接各所述配管，所述中間支承件安裝在位于底部的所述單元構(gòu)件上。
9.一種保持機(jī)構(gòu)，與流體回路裝置一起使用，所述流體回路裝置通過由配管和管接頭連接多個(gè)流體設(shè)備而構(gòu)成，多個(gè)所述流體設(shè)備用于控制或測量流體的狀態(tài)，所述保持機(jī)構(gòu)的特征在于包括基座構(gòu)件；以及中間支承件，介于所述流體回路裝置和所述基座構(gòu)件之間，并將它們連接在一起，所述中間支承件通過其一個(gè)端部安裝在所述管接頭上，另一個(gè)端部安裝在所述基座構(gòu)件上，使所述管接頭與所述基座構(gòu)件連接，并保持所述流體回路裝置。
10.一種中間支承件，與流體回路裝置和基座構(gòu)件一起使用，所述流體回路裝置通過由配管和管接頭連接多個(gè)流體設(shè)備而構(gòu)成，多個(gè)所述流體設(shè)備用于控制或測量流體的狀態(tài)， 所述基座構(gòu)件用于保持所述流體回路裝置，所述中間支承件的特征在于，所述中間支承件介于所述流體回路裝置和所述基座構(gòu)件之間，并將它們連接在一起， 所述中間支承件通過其一個(gè)端部安裝在所述管接頭上，另一個(gè)端部安裝在所述基座構(gòu)件上，使所述管接頭與所述基座構(gòu)件連接。
全文摘要
本發(fā)明提供流體系統(tǒng)、保持機(jī)構(gòu)和中間支承件，該流體系統(tǒng)即使采用共通的中間支承件，也不會增加中間支承件的部件數(shù)量，可以使結(jié)構(gòu)簡化。流體系統(tǒng)包括流體回路裝置，通過由配管和管接頭連接多個(gè)流體設(shè)備而構(gòu)成，多個(gè)所述流體設(shè)備用于控制或測量流體的狀態(tài)；以及保持機(jī)構(gòu)，用于保持所述流體回路裝置，所述保持機(jī)構(gòu)包括基座構(gòu)件；以及中間支承件，介于所述流體回路裝置和所述基座構(gòu)件之間，并將它們連接在一起，所述中間支承件通過其一個(gè)端部安裝在所述管接頭上，另一個(gè)端部安裝在所述基座構(gòu)件上，使所述管接頭與所述基座構(gòu)件連接。
文檔編號H01L21/67GK102332415SQ201110196049
公開日2012年1月25日 申請日期2011年7月11日 優(yōu)先權(quán)日2010年7月12日
發(fā)明者林達(dá)也, 橋本雄一郎, 金丸隆史 申請人:伊原科技株式會社, 株式會社堀場Stec