專利名稱：去離子棒的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種去離子棒，尤其是一種用于半導(dǎo)體生產(chǎn)中的去離子棒裝置。
背景技術(shù)：
去離子棒可產(chǎn)生大量的帶有正負(fù)電荷的氣團(tuán)，可以將經(jīng)過它離子輻射區(qū)內(nèi)的物體上所帶有的電荷中和掉。當(dāng)物體表面所帶為負(fù)電荷時(shí)，它會吸引輻射區(qū)內(nèi)的正電荷，當(dāng)物體表面所帶為正電荷時(shí)，它會吸引輻射區(qū)內(nèi)的負(fù)電荷，從而使物體表面上的靜電被中和，達(dá)到消除靜電的目的。半導(dǎo)體生產(chǎn)領(lǐng)域中廣泛的使用去離子棒對半導(dǎo)體設(shè)備進(jìn)行去離子，為實(shí)現(xiàn)去離子的效果，通常去離子棒在凈化間內(nèi)需要均勻布局且擺放高度為2. 8米左右，但是由于半導(dǎo)體設(shè)備不斷向更為高大發(fā)展，目前甚至有設(shè)備高度超過3米，導(dǎo)致去離子棒會和設(shè)備相撞，為設(shè)備搬運(yùn)、安裝、維護(hù)帶來諸多不便。

發(fā)明內(nèi)容
針對現(xiàn)有的去離子棒所存在的上述問題，本發(fā)明提供一種可伸縮的去離子棒。本發(fā)明解決技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案為
一種去離子棒，包括桿狀本體和支架，所述桿狀本體與所述支架連接，所述桿狀本體與地面垂直，其中，還包括垂直升降裝置，所述垂直升降裝置與所述支架連接。上述去離子棒，其中，所述桿狀本體與所述支架之間有連接部件，所述連接部件為橫向移動裝置。上述去離子棒，其中，所述桿狀本體由多節(jié)組成，所述桿狀本體內(nèi)置伸縮裝置。上述去離子棒，其中，所述支架包括一對縱桿和一條橫桿，所述一對縱桿一端垂直連接于屋頂，另一端與所述橫桿連接，所述橫桿與地面平行，所述一對縱桿與所述橫桿之間有連接部件，所述連接部件為垂直升降裝置。上述去離子棒，其中，所述桿狀本體一端與所述橫桿連接，且垂直于所述橫桿，所述桿狀本體與所述橫桿之間有連接部件，所述連接部件為橫向移動裝置。上述去離子棒，其中，所述垂直升降裝置為一對升降馬達(dá)。上述去離子棒，其中，所述橫向移動裝置為橫向移動馬達(dá)。
上述去離子棒，其中，所述伸縮裝置為伸縮馬達(dá)。上述去離子棒，其中，所述桿狀本體有多條，所述多條桿狀本體以一定橫向間隔與所述支架連接。本發(fā)明的有益效果是
可根據(jù)實(shí)際需求靈活調(diào)動去離子棒高度和位置。解決了由于半導(dǎo)體設(shè)備自身高度接近乃至高于去離子棒擺放高度時(shí)產(chǎn)生的設(shè)備搬運(yùn)、安裝、維護(hù)帶來的諸多不便。


圖1是本發(fā)明去離子棒的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是本發(fā)明去離子棒半導(dǎo)體設(shè)備搬入時(shí)的狀態(tài)圖； 圖3是本發(fā)明無離子棒半導(dǎo)體設(shè)備安裝時(shí)的狀態(tài)圖。
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對本發(fā)明作進(jìn)一步說明，但不作為本發(fā)明的限定。如圖1、圖2和圖3所示，本發(fā)明去離子棒包括桿狀本體1和支架2，桿狀本體1與支架2連接，桿狀本體1與地面垂直，其中，還包括垂直升降裝置3，垂直升降裝置3與支架 2連接。本發(fā)明去離子棒使用時(shí)安裝于進(jìn)化間內(nèi)，當(dāng)有高度較高的半導(dǎo)體設(shè)備6進(jìn)入凈化間時(shí)，通過調(diào)整支架2上的垂直升降裝置3，使支架2升高，進(jìn)而使連接于支架2上的桿狀本體 1升高，以避免桿狀本1與較高的半導(dǎo)體設(shè)備碰撞，當(dāng)進(jìn)入凈化間的半導(dǎo)體設(shè)備6高度較低時(shí)，通過調(diào)整支架2上的垂直升降裝置3，使支架2下降，進(jìn)而是連接于支架2上的桿狀本體 1下降，以調(diào)整輻射區(qū)的范圍，從而獲得更好的去離子效果。進(jìn)一步的，桿狀本體1有多條，多條桿狀本體1以一定橫向間隔與支架2連接。設(shè)置多條桿狀本體1可以使去離子棒的輻射范圍均勻分布。進(jìn)一步的，桿狀本體1與支架2之間有連接部件4，連接部件4為橫向移動裝置。 桿狀本體1與支架2之間設(shè)置橫向移動裝置可以調(diào)節(jié)桿狀本體1的橫向位置以適應(yīng)不同橫向尺寸的半導(dǎo)體設(shè)備6。進(jìn)一步的，桿狀本體1由多節(jié)組成，所述桿狀本體內(nèi)置伸縮裝置5。當(dāng)半導(dǎo)體設(shè)備的高度超出支架2上的垂直升降裝置3的調(diào)節(jié)范圍時(shí)，通過收縮桿狀本體1可以獲得額外的高度空間，且在多條桿狀本體1的場合可以通過將各條桿狀本體1伸縮成不同的長度來適應(yīng)頂部有高度落差的半導(dǎo)體設(shè)備6，也可以利用伸縮成不同長度的多條桿狀本體1營造需要的輻射區(qū)范圍。進(jìn)一步的，支架2包括一對縱桿21、22和一條橫桿23，一對縱桿21、22 —端垂直連接于屋頂，另一端與橫桿23連接，橫桿23與地面平行，一對縱桿21、22與橫桿23之間有連接部件，連接部件為垂直升降裝置3。此種結(jié)構(gòu)的支架不占用地面空間，可以使凈化間地面空間利用率提高。進(jìn)一步的，桿狀本體1 一端與橫桿23連接，且垂直于橫桿23，桿狀本體1與橫桿 23之間有連接部件4，連接部件4為橫向移動裝置。進(jìn)一步的，垂直升降裝置3為一對升降馬達(dá)。采用升降馬達(dá)作為垂直升降裝置結(jié)構(gòu)簡單，易于實(shí)現(xiàn)，且不會產(chǎn)生有害物質(zhì)威脅生產(chǎn)現(xiàn)場人員安全。進(jìn)一步的，橫向移動裝置為橫向移動馬達(dá)。采用橫向移動馬達(dá)作為橫向移動裝置結(jié)構(gòu)簡單，易于實(shí)現(xiàn)，且不會產(chǎn)生有害物質(zhì)威脅生產(chǎn)現(xiàn)場人員安全。進(jìn)一步的，伸縮裝置5為伸縮馬達(dá)。采用伸縮馬達(dá)作為伸縮裝置結(jié)構(gòu)簡單，易于實(shí)現(xiàn)，且不會產(chǎn)生有害物質(zhì)威脅生產(chǎn)現(xiàn)場人員安全。以上所述僅為本發(fā)明較佳的實(shí)施例，并非因此限制本發(fā)明的申請專利范圍，所以凡運(yùn)用本發(fā)明說明書及圖示內(nèi)容所作出的等效結(jié)構(gòu)變化，均包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種去離子棒，包括桿狀本體和支架，所述桿狀本體與所述支架連接，所述桿狀本體與地面垂直，其特征在于，還包括垂直升降裝置，所述垂直升降裝置與所述支架連接。
2.如權(quán)利要求1所述去離子棒，其特征在于，所述桿狀本體與所述支架之間有連接部件，所述連接部件為橫向移動裝置。
3.如權(quán)利要求2所述去離子棒，其特征在于，所述桿狀本體由多節(jié)組成，所述桿狀本體內(nèi)置伸縮裝置。
4.如權(quán)利要求3所述去離子棒，其特征在于，所述支架包括一對縱桿和一條橫桿，所述一對縱桿一端垂直連接于屋頂，另一端與所述橫桿連接，所述橫桿與地面平行，所述一對縱桿與所述橫桿之間有連接部件，所述連接部件為垂直升降裝置。
5.如權(quán)利要求4所述去離子棒，其特征在于，所述桿狀本體一端與所述橫桿連接，且垂直于所述橫桿，所述桿狀本體與所述橫桿之間有連接部件，所述連接部件為橫向移動裝置。
6.如權(quán)利要求5所述去離子棒，其特征在于，所述垂直升降裝置為一對升降馬達(dá)。
7.如權(quán)利要求5所述去離子棒，其特征在于，所述橫向移動裝置為橫向移動馬達(dá)。
8.如權(quán)利要求5所述去離子棒，其特征在于，所述伸縮裝置為伸縮馬達(dá)。
9.如權(quán)利要求1-8中任一所述去離子棒，其特征在于，所述桿狀本體有多條，所述多條桿狀本體以一定橫向間隔與所述支架連接。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種去離子棒，包括桿狀本體和支架，所述桿狀本體與所述支架連接，所述桿狀本體與地面垂直，其中，還包括垂直升降裝置，所述垂直升降裝置與所述支架連接。本發(fā)明的有益效果是可根據(jù)實(shí)際需求靈活調(diào)動去離子棒高度和位置。解決了由于半導(dǎo)體設(shè)備自身高度接近乃至高于去離子棒擺放高度時(shí)產(chǎn)生的設(shè)備搬運(yùn)、安裝、維護(hù)帶來的諸多不便。
文檔編號H01L21/00GK102427018SQ201110206428
公開日2012年4月25日 申請日期2011年7月22日 優(yōu)先權(quán)日2011年7月22日
發(fā)明者張旭昇, 朱駿, 邱慈云 申請人:上海華力微電子有限公司