專利名稱：一種光罩籃的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種搬送光刻機(jī)中光罩的光罩籃。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中，需要在特定環(huán)境下(如光罩室)將光罩從水晶盒(存放光罩的一種容器)轉(zhuǎn)移到光刻機(jī)專用的光罩盒中，然后才能將裝有光罩的光罩盒搬送到光刻機(jī)，再使用光罩進(jìn)行后續(xù)操作。目前，在將裝有光罩的光罩盒搬送到光刻機(jī)時(shí)，一般是采用普通的籃子，就是將裝有光罩的光罩盒放于普通的籃子中，再搬送至光刻機(jī)處。然而，光罩盒的體積遠(yuǎn)遠(yuǎn)小于普通的籃子，并且，普通的籃子無法定位光罩盒的活 動(dòng)方向，而光罩盒的一面是活動(dòng)的，這就使得光罩很容易滑出光罩盒，以損壞光罩。同時(shí)，光刻機(jī)專用的光罩盒很薄，也就使得不能將多個(gè)光罩盒疊在一起放置，使得每次運(yùn)送的光罩的數(shù)量有限，降低了工作效率。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明提供一種光罩籃，用以搬送裝有光罩的光罩盒，能夠固定光罩盒，避免對(duì)光罩造成損壞，并且，能夠同時(shí)運(yùn)送多個(gè)裝有光罩的光罩盒，提高工作效率。本發(fā)明實(shí)施例提供的具體技術(shù)方案如下一種光罩籃，包括支架、至少兩個(gè)抽屜板以及擋板，其中，所述至少兩個(gè)抽屜板水平連接在所述支架上，每?jī)蓚€(gè)抽屜板之間的距離不小于光罩盒放置時(shí)的高度；所述擋板設(shè)置在每個(gè)抽屜板的上表面，且擋板圍成的區(qū)域與光罩盒放置時(shí)的擱置面相匹配?；谏鲜黾夹g(shù)方案，本實(shí)施例中，通過設(shè)計(jì)光罩籃，在半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中，能夠?qū)⒀b有光罩的光罩盒放入光罩籃抽屜板上由擋板圍成的區(qū)域內(nèi)，并且，在每個(gè)擋板圍成的區(qū)域內(nèi)僅放置一個(gè)光罩盒，并且，擋板圍成的區(qū)域與光罩盒放置時(shí)的擱置面相匹配，由擋板對(duì)光罩盒進(jìn)行固定，有效地防止了光罩盒相對(duì)于抽屜板滑動(dòng)，并且，在光罩籃中設(shè)有多個(gè)抽屜板，每個(gè)抽屜板上可以放置一個(gè)光罩盒，這樣可以一次性移動(dòng)多個(gè)光罩盒，提高了工作效率，又有效地避免了將多個(gè)光罩盒疊放在一起，對(duì)光罩造成的損壞，同時(shí)也可以任意取用任意一個(gè)光罩盒，而無需移動(dòng)其它光罩盒。


圖I為本實(shí)施例中光罩籃的立體結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本實(shí)施例中光罩籃的主視圖；圖3為本實(shí)施例中支架板與缺少的側(cè)面相鄰的側(cè)面的主視圖和側(cè)視圖；圖4為本實(shí)施例中抽屜板的主視圖和側(cè)視圖。
具體實(shí)施例方式為了在搬送裝有光罩的光罩盒時(shí),能夠固定光罩盒,避免對(duì)光罩造成損壞,并且，能夠同時(shí)運(yùn)送多個(gè)裝有光罩的光罩盒，提高工作效率，本發(fā)明實(shí)施例提供了一種光罩籃，主要包括支架、至少兩個(gè)抽屜板以及擋板。下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明優(yōu)選的實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)說明。如附圖I和附圖2所示，本發(fā)明實(shí)施例中，光罩籃主要包括支架101、至少兩個(gè)抽屜板102以及擋板103，其中，至少兩個(gè)抽屜板102水平連接在支架101上，每?jī)蓚€(gè)抽屜板102之間的距離不小
于光罩盒放置時(shí)的高度；擋板103設(shè)置在每個(gè)抽屜板102的上表面，且擋板103圍成的區(qū)域與光罩盒放置時(shí)的擱置面相匹配。 實(shí)際應(yīng)用中，支架101的實(shí)現(xiàn)方式有多種，例如，支架101為兩個(gè)相互平行的立面組合而成，或者，支架101為兩個(gè)里面組合而成的半封閉的三角柱型結(jié)構(gòu)。較佳地，支架101為兩個(gè)相互平行的立面與另一個(gè)立面垂直連接而成的半封閉的框型結(jié)構(gòu)體。對(duì)其其他支架的實(shí)現(xiàn)方式，能夠應(yīng)用于本發(fā)明的，本發(fā)明也將其包括在內(nèi)。較佳地，抽屜板102采用抽拉式結(jié)構(gòu)連接在支架101上。具體為在支架101的兩個(gè)立面相互對(duì)應(yīng)的位置開設(shè)導(dǎo)軌301，如附圖3所示，每個(gè)立面上開設(shè)至少兩個(gè)導(dǎo)軌，相應(yīng)地在抽屜板102的兩個(gè)側(cè)面邊緣分別設(shè)置滑輪組401，如附圖4所示，將抽屜板102設(shè)有滑輪組401的兩個(gè)側(cè)面，與支架101開設(shè)導(dǎo)軌301的兩個(gè)立面相互對(duì)應(yīng)進(jìn)行安裝，形成抽拉式結(jié)構(gòu)。較佳地，滑輪組401包括兩個(gè)或兩個(gè)以上的滑輪。較佳地，光罩籃還包括多個(gè)防滑塞子302，如附圖3所示，分別設(shè)置在支架101上開設(shè)導(dǎo)軌301的一端或兩端。例如，在導(dǎo)軌301的一端開口時(shí)，在開口的一端設(shè)置防滑塞子302，而在導(dǎo)軌301的兩端均開口時(shí)，則在分別在兩端設(shè)置防滑塞子302。在抽屜板102采用抽拉式結(jié)構(gòu)與支架101連接時(shí)，較佳地，光罩籃還包括防滑栓105，卡合在抽屜板102與支架101的連接處，以固定抽屜板102。例如，可以采用外接卡槽卡合在抽屜板102與支架101的連接處，即在將光罩盒放入抽屜板102后，采用外接卡槽卡合在抽屜板102與支架101的連接處，以固定抽屜板102，然后移動(dòng)光罩籃，在取出光罩盒時(shí)，將外接卡槽去除，以將抽屜板抽出，然后取出光罩盒。本實(shí)施例中，防滑栓105可以是一個(gè)或多個(gè)。較佳地，光罩籃還包括至少兩個(gè)支撐桿104，每個(gè)支撐桿104對(duì)應(yīng)一個(gè)抽屜板102，平行設(shè)置在抽屜板102下方，與抽拉方向相同的抽屜板102的側(cè)面對(duì)齊，并與支架101固定連接。實(shí)際應(yīng)用中，可以將支撐桿104的兩端分別與支架101的兩個(gè)側(cè)面的內(nèi)壁固定連接，或者將支撐桿104的一端與支架101的一個(gè)側(cè)面固定連接。其中，在防滑栓105為一個(gè)時(shí)，防滑栓105的兩端分別設(shè)置于支架101的上底面或下底面；或者是防滑栓105的一端設(shè)置于支架101的上底面，另一端設(shè)置于最底層的支撐桿104上；或者是一端設(shè)置于最底層的支撐桿104上，另一端設(shè)置在位于最上方的抽屜板102上方的支架101的邊緣。其中，在防滑栓105為多個(gè)時(shí)，針對(duì)每個(gè)抽屜板102設(shè)置至少一個(gè)防滑栓105，防滑栓105的一端固定于相應(yīng)的支撐桿104,另一端固定于支架101 —個(gè)立面的邊緣。例如,在抽屜板102形成抽拉結(jié)構(gòu)的兩端均設(shè)置防滑栓，每個(gè)防滑栓105的一端固定于支撐桿104，另一端固定于相應(yīng)抽屜板上方的支架101的邊緣。具體地，防滑栓105的一端固定于支撐桿104，另一端固定于支架101的邊緣時(shí)，在支架101的邊緣且位于抽屜板102的上方設(shè)置防滑掛鉤106，如附圖3所示，將防滑栓105的一端掛接在防滑掛鉤106上。防滑栓105的設(shè)置能夠有效避免在移動(dòng)光罩籃時(shí)，抽屜板102滑出，避免了對(duì)光罩盒以及光罩盒內(nèi)的光罩造成損壞。實(shí)際應(yīng)用中，防滑栓的設(shè)置也可以綜合上述兩種方法，將設(shè)置一個(gè)防滑栓的方法與設(shè)置多個(gè)防滑栓的方法進(jìn)行組合應(yīng)用，對(duì)于任意組合形式能夠應(yīng)用于本實(shí)施例的，本實(shí)施例也將其包括在內(nèi)。 較佳地，光罩籃上還設(shè)有一提手107，該提手107連接在支架101的兩側(cè)，以便于移
動(dòng)光罩籃。 較佳地，擋板103由前擋板1031、后擋板1032、側(cè)擋板1033 (即左擋板和右擋板)組合而成。較佳地，擋板103至少一側(cè)設(shè)有凹槽1034，以便于放置或拿取位于擋板103內(nèi)的光罩盒。例如，在前擋板1031上設(shè)有凹槽。較佳地，支撐桿104的寬度小于或等于支架101設(shè)有導(dǎo)軌的立面的寬度。例如，支撐桿與支架底面的形狀和大小均相同，或者是，支撐桿的寬度為與支架導(dǎo)軌所在的立面寬度的1/10。較佳地，由擋板103圍成的區(qū)域與放置光罩盒時(shí)擱置面的形狀和大小均相同，以防止在移動(dòng)光罩籃時(shí)，位于光罩盒內(nèi)的光罩滑出光罩盒。較佳地，本實(shí)施例中，光罩籃的各組成部分均采用防靜電的材料制成，該防靜電的材料至少可以是陶瓷、塑料、硅膠等?；谏鲜黾夹g(shù)方案，本實(shí)施例中，通過設(shè)計(jì)光罩籃，在半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中，能夠?qū)⒀b有光罩的光罩盒放入光罩籃抽屜板上由擋板形成的區(qū)域內(nèi)，并且，在擋板圍成的區(qū)域內(nèi)僅放置一個(gè)光罩盒，由擋板圍成的區(qū)域與光罩盒放置時(shí)的擱置面相匹配，以由當(dāng)班固定光罩盒，有效地防止了光罩盒相對(duì)于抽屜板滑動(dòng)，并且，在光罩籃中設(shè)有多個(gè)抽屜板，每個(gè)抽屜板上可以放置一個(gè)光罩盒，這樣可以一次性移動(dòng)多個(gè)光罩盒，提高了工作效率，又有效地避免了將多個(gè)光罩盒疊放在一起，對(duì)光罩造成的損壞，同時(shí)也可以任意取用任意一個(gè)光罩盒，而無需移動(dòng)其它光罩盒。并且，本實(shí)施例中，通過設(shè)置防滑栓，能夠有效地防止移動(dòng)光罩籃的過程中抽屜板滑出，進(jìn)一步避免了光罩盒滑出抽屜板對(duì)光罩造成的損壞。同時(shí)，通過在擋板的一側(cè)設(shè)置凹槽，能夠更方便地取用或放置光罩盒，進(jìn)一步提高了工作效率。顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對(duì)本發(fā)明進(jìn)行各種改動(dòng)和變型而不脫離本發(fā)明的精神和范圍。這樣，倘若本發(fā)明的這些修改和變型屬于本發(fā)明權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本發(fā)明也意圖包含這些改動(dòng)和變型在內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種光罩籃，其特征在于，包括支架、至少兩個(gè)抽屜板以及擋板，其中， 所述至少兩個(gè)抽屜板水平連接在所述支架上，每?jī)蓚€(gè)抽屜板之間的距離不小于光罩盒放置時(shí)的高度； 所述擋板設(shè)置在每個(gè)抽屜板的上表面，且擋板圍成的區(qū)域與光罩盒放置時(shí)的擱置面相匹配。
2.如權(quán)利要求I所述的光罩籃，其特征在于，所述支架為兩個(gè)相互平行的立面組合而成；或者，所述支架為兩個(gè)相互平行的立面與另一個(gè)立面垂直連接而成半封閉的框型結(jié)構(gòu)體；或者，所述支架為兩個(gè)立面組合而成的半封閉的三角柱型結(jié)構(gòu)體。
3.如權(quán)利要求2所述的光罩籃，其特征在于，所述至少兩個(gè)抽屜板采用抽拉式結(jié)構(gòu)連接在所述支架上。
4.如權(quán)利要求3所述的光罩籃，其特征在于，還包括防滑栓，卡合在所述至少兩個(gè)抽屜板與所述支架的連接處，以固定抽屜板。
5.如權(quán)利要求4所述的光罩籃,其特征在于，所述防滑栓為一個(gè)或多個(gè)。
6.如權(quán)利要求5所述的光罩籃，其特征在于，還包括至少兩個(gè)支撐桿，分別平行設(shè)置在每個(gè)抽屜板下方，與抽拉方向相同的抽屜板的側(cè)面對(duì)齊，并與所述支架固定連接。
7.如權(quán)利要求6所述的光罩籃，其特征在于，所述防滑栓為多個(gè)時(shí)，針對(duì)每個(gè)抽屜板設(shè)置至少一個(gè)防滑栓，防滑栓的一端固定于支撐桿，另一端固定于支架的邊緣。
8.如權(quán)利要求7所述的光罩籃，其特征在于，防滑栓的一端固定于支撐桿，另一端固定于支架邊緣，包括 在支架邊緣且位于所述抽屜板的上方設(shè)置防滑掛鉤，將所述防滑栓的一端掛接在所述防滑掛鉤上。
9.如權(quán)利要求3所述的光罩籃，其特征在于，所述至少兩個(gè)抽屜板采用抽拉式結(jié)構(gòu)連接在所述支架上，包括 在所述支架的兩個(gè)立面相互對(duì)應(yīng)的位置開設(shè)導(dǎo)軌，每個(gè)立面開設(shè)至少兩個(gè)導(dǎo)軌，相應(yīng)地在抽屜板的兩個(gè)側(cè)面邊緣分別設(shè)置滑輪組； 將所述抽屜板設(shè)有滑輪組的兩個(gè)側(cè)面，與所述支架開設(shè)導(dǎo)軌的兩個(gè)立面相互對(duì)應(yīng)進(jìn)行安裝，形成抽拉式結(jié)構(gòu)。
10.如權(quán)利要求9所述的光罩籃，其特征在于，還包括多個(gè)防滑塞子，分別設(shè)置在所述支架開設(shè)導(dǎo)軌的一端或兩端。
11.如權(quán)利要求1-10任一項(xiàng)所述的光罩籃，其特征在于，還包括一提手，連接在所述支架的兩側(cè)。
12.如權(quán)利要求1-10任一項(xiàng)所述的光罩籃，其特征在于，所述擋板至少一側(cè)設(shè)有凹槽。
13.如權(quán)利要求11所述的光罩籃，其特征在于，所述光罩籃的各組成部分均采用防靜電材料制成。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種光罩籃，用于搬送裝有光罩的光罩盒，能夠固定光罩盒，避免對(duì)光罩造成損壞，并且，能夠同時(shí)運(yùn)送多個(gè)裝有光罩的光罩盒，提高工作效率。該光罩籃包括支架、至少兩個(gè)抽屜板以及擋板，其中，所述至少兩個(gè)抽屜板水平連接在所述支架上，每?jī)蓚€(gè)抽屜板之間的距離不小于光罩盒放置時(shí)的高度，所述擋板設(shè)置在每個(gè)抽屜板的上表面，且擋板圍成的區(qū)域與光罩盒放置時(shí)的擱置面相匹配。
文檔編號(hào)H01L21/677GK102903656SQ201110209608
公開日2013年1月30日 申請(qǐng)日期2011年7月25日 優(yōu)先權(quán)日2011年7月25日
發(fā)明者馬玉玲, 彭超群, 文燕, 戴新華 申請(qǐng)人:北大方正集團(tuán)有限公司, 深圳方正微電子有限公司