專利名稱：容器保管設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種容器保管設(shè)備，其設(shè)有運(yùn)送用于收容基板的容器的運(yùn)送機(jī)構(gòu)，和保管由該運(yùn)送機(jī)構(gòu)運(yùn)送的容器的容器保管部。
背景技術(shù)：
在上述這種容器保管設(shè)備中，例如設(shè)有運(yùn)送機(jī)構(gòu)，以從容器中取出基板，在進(jìn)行相對(duì)于基板的處理的多個(gè)處理裝置之間運(yùn)送容器。容器保管部是為了暫時(shí)保管向處理裝置運(yùn)送的容器或者為了預(yù)先保管處理裝置的處理結(jié)束而向設(shè)備的外部出庫(kù)的容器等而設(shè)置的， 構(gòu)成為在與運(yùn)送機(jī)構(gòu)之間自由收受(即交接)容器。在該容器保管設(shè)備中，以往存在設(shè)有在上下方向和水平方向上排列多個(gè)地配置了自由保管容器的容器收納部的保管架，該保管架作為容器保管部構(gòu)成的容器保管設(shè)備(例如參照日本特開2001-338971號(hào)公報(bào))。在該文獻(xiàn)所記載的設(shè)備中，保管架構(gòu)成為設(shè)置在地面上的固定式，運(yùn)送機(jī)構(gòu)構(gòu)成為在與固定狀態(tài)的多個(gè)容器收納部之間收受容器。而且，作為其它的容器保管設(shè)備，存在容器保管部以沿著運(yùn)送機(jī)構(gòu)的移動(dòng)路徑并列的狀態(tài)設(shè)有多個(gè)的容器保管設(shè)備(例如參照日本特開2009-253162號(hào)公報(bào))。在該文獻(xiàn)所記載的設(shè)備中，容器保管部具備以固定狀態(tài)設(shè)置的固定框體，和在保管容器的保管位置以及在與運(yùn)送機(jī)構(gòu)之間收受容器的收受位置之間相對(duì)于固定框體移動(dòng)自如地設(shè)置的容器支撐體。在運(yùn)送機(jī)構(gòu)與容器保管部之間收受容器之際，使位于保管位置的容器支撐體從保管位置向收受位置移動(dòng)，運(yùn)送機(jī)構(gòu)在與位于收受位置的容器支撐體之間收受容器，當(dāng)該收受結(jié)束時(shí)，使容器支撐體從收受位置返回保管位置，
如上所述，作為容器保管部，存在日本特開2001-338971號(hào)中固定狀態(tài)的容器保管部， 和日本特開2009-253162號(hào)中在保管位置與收受位置之間移動(dòng)自如的容器保管部，在現(xiàn)有的容器保管設(shè)備中，通常，作為容器保管部，設(shè)有固定狀態(tài)的容器保管部和在保管位置與收受位置之間移動(dòng)自如的容器保管部雙方。運(yùn)送機(jī)構(gòu)構(gòu)成為相對(duì)于固定狀態(tài)的容器保管部移動(dòng)自如，在與固定狀態(tài)的容器保管部之間自由收受容器，并且相對(duì)于在保管位置與收受位置之間移動(dòng)自如的容器保管部也移動(dòng)自如，在從保管位置移動(dòng)到收受位置的容器保管部之間自由收受容器。在此，為了防止在容器內(nèi)的基板(例如導(dǎo)體晶片)的表面上形成空氣中的氧而產(chǎn)生的氧化膜，進(jìn)行使氮或氬等惰性氣體，或者清潔干燥空氣(Clean Dry Air)充滿容器內(nèi)的空間。因此，在日本特開2001-338971號(hào)所記載的設(shè)備中，設(shè)有相對(duì)于保管在固定狀態(tài)的容器保管部的容器供給惰性氣體的氣體供給機(jī)構(gòu)。在容器上設(shè)有用于向內(nèi)部供給氮?dú)獾墓┙o口，和排出容器內(nèi)部含氧空氣的排氣口。氣體供給機(jī)構(gòu)從保管在保管架上的容器的供給口供給惰性氣體，進(jìn)行與內(nèi)部的空氣的交換，使惰性氣體充滿容器內(nèi)。這樣，作為向容器內(nèi)供給惰性氣體的部位，考慮利用容器保管部。但是，如日本特開2001-338971號(hào)所記載的那樣，相對(duì)于固定狀態(tài)的容器保管部設(shè)有氣體供給機(jī)構(gòu)，如日本特開2009-253162號(hào)所記載的那樣，相對(duì)于在保管位置與收受位置之間移動(dòng)自如的容器保管部未設(shè)有氣體供給機(jī)構(gòu)，不進(jìn)行使惰性氣體充滿容器內(nèi)的空間。因此，以往以來，對(duì)于需要惰性氣體的填充的容器，不向在保管位置與收受位置之間移動(dòng)自如的容器保管部運(yùn)送，而由運(yùn)送機(jī)構(gòu)運(yùn)送到能夠向容器內(nèi)供給惰性氣體的固定狀態(tài)的容器保管部，進(jìn)行使惰性氣體充滿容器內(nèi)的空間。但是，由于要在地面上確保實(shí)際上直接有助于基板的生產(chǎn)的處理裝置等其它裝置的設(shè)置空間，所以難以在處理裝置的附近設(shè)置多個(gè)保管架。因此，當(dāng)使向容器內(nèi)供給惰性氣體的部位僅僅是固定狀態(tài)的容器保管部時(shí)，從處理裝置的處理結(jié)束到為了保管而運(yùn)送機(jī)構(gòu)將容器運(yùn)送到容器保管部的距離加長(zhǎng)，耗費(fèi)了運(yùn)送機(jī)構(gòu)的運(yùn)送能力，存在不能夠有效地利用運(yùn)送機(jī)構(gòu)的運(yùn)送能力的問題。而且，在保管位置與收受位置之間移動(dòng)自如的容器保管部與固定狀態(tài)的容器保管部相比設(shè)置空間小，能夠配置在存在比較大的空間的天花板一側(cè)。因此，最近也考慮取代固定狀態(tài)的容器保管部或者省略固定狀態(tài)的容器保管部，而設(shè)置多個(gè)在保管位置與收受位置之間移動(dòng)自如的容器保管部那樣的設(shè)備。在這種設(shè)備中，由于能夠向容器內(nèi)供給惰性氣體的固定狀態(tài)的容器保管部的數(shù)量減少，所以即使在保管位置與收受位置之間移動(dòng)自如的容器保管部中，也有望能夠向容器內(nèi)供給惰性氣體。因此，考慮通過在保管位置與收受位置之間移動(dòng)自如的容器保管部中具備即使容器支撐體在收受位置與保管位置之間移動(dòng)也與該移動(dòng)聯(lián)動(dòng)地伸縮自如的氣體供給管，從而向容器內(nèi)供給惰性氣體。但是，在這種情況下，在容器支撐體在收受位置與保管位置之間移動(dòng)的過程中，由于氣體供給管伸縮，氣體供給管容易劣化。而且，在氣體供給管伸縮之際將產(chǎn)生粉塵，這在確保基板的品質(zhì)這一點(diǎn)上是不希望的。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是鑒于上述實(shí)情而提出的，其目的在于提供一種容器保管設(shè)備，能夠盡量防止在保管位置與收受位置之間移動(dòng)自如的容器保管部中氣體供給管的劣化以及粉塵的發(fā)生，并且能夠向容器內(nèi)供給惰性氣體。為了實(shí)現(xiàn)該目的，本發(fā)明的容器保管設(shè)備具備運(yùn)送用于收容基板的容器的運(yùn)送機(jī)構(gòu)，和保管由上述運(yùn)送機(jī)構(gòu)運(yùn)送的容器的容器保管部。上述容器保管部具備以固定狀態(tài)設(shè)置的固定框體，和在保管上述容器的保管位置以及在與上述運(yùn)送機(jī)構(gòu)之間收受上述容器的收受位置的范圍內(nèi)相對(duì)于上述固定框體移動(dòng)自如地設(shè)置的容器支撐體；設(shè)有氣體供給機(jī)構(gòu)，通過氣體供給管向由位于上述保管位置的上述容器支撐體支撐的上述容器供給惰性氣體；上述氣體供給管具備設(shè)在上述固定框體一側(cè)的固定側(cè)部分，以及與上述容器支撐體一體移動(dòng)自如地設(shè)在上述容器支撐體一側(cè)的移動(dòng)側(cè)部分；設(shè)有連結(jié)體，通過上述容器支撐體從上述收受位置向上述保管位置的移動(dòng)而連結(jié)上述固定側(cè)部分與上述移動(dòng)側(cè)部分，并且通過上述容器支撐體從上述保管位置向上述收受位置的移動(dòng)而解除上述固定側(cè)部分與上述移動(dòng)側(cè)部分的連結(jié)，使上述移動(dòng)側(cè)部分離開上述固定側(cè)部分。根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，當(dāng)容器支撐體位于收受位置時(shí)，能夠在與物品運(yùn)送裝置之間進(jìn)行容器的收受。而且，當(dāng)容器支撐體位于保管位置時(shí)，能夠保管容器。因此，能夠由容器保管部保管由運(yùn)送機(jī)構(gòu)運(yùn)送的容器。這樣，由于設(shè)有通過氣體供給管向由位于保管位置的容器支撐體支撐的容器供給惰性氣體的氣體供給機(jī)構(gòu)，所以能夠在將容器保管在容器保管部時(shí)向容器供給惰性氣體。這樣，由于具備設(shè)在固定框體一側(cè)的固定側(cè)部分以及與容器支撐體一體移動(dòng)自如地設(shè)在容器支撐體一側(cè)的移動(dòng)側(cè)部分，當(dāng)容器支撐體從收受位置向保管位置移動(dòng)時(shí)，連結(jié)體連結(jié)固定側(cè)部分與移動(dòng)側(cè)部分，當(dāng)容器支撐體從保管位置向收受位置移動(dòng)時(shí)，連結(jié)體解除固定側(cè)部分與移動(dòng)側(cè)部分的連結(jié)，移動(dòng)側(cè)部分離開固定側(cè)部分，所以即使容器支撐體在收受位置與保管位置之間移動(dòng)，固定側(cè)部分以及移動(dòng)側(cè)部分各自的形狀也得以維持。因此， 由于氣體供給管不會(huì)向支撐體的移動(dòng)量那樣較大地變形，所以即使容器支撐體反復(fù)移動(dòng)， 也不必?fù)?dān)心氣體供給管因變形而劣化。因此，能夠盡量防止氣體供給管的劣化而產(chǎn)生粉塵。根據(jù)上述的結(jié)構(gòu)，得到了能夠盡量防止在保管位置與收受位置之間移動(dòng)自如的容器保管部中氣體供給管的劣化以及粉塵的產(chǎn)生，并且能夠向容器內(nèi)供給惰性氣體的容器保管設(shè)備。在本發(fā)明所涉及的容器保管設(shè)備的實(shí)施方式中還具備檢測(cè)上述容器支撐體位于上述保管位置的保管位置檢測(cè)機(jī)構(gòu)；檢測(cè)容器由上述容器支撐體支撐的支撐狀態(tài)檢測(cè)機(jī)構(gòu)；惰性氣體供給控制機(jī)構(gòu)，基于上述保管位置檢測(cè)機(jī)構(gòu)以及上述支撐狀態(tài)檢測(cè)機(jī)構(gòu)的檢測(cè)信息，在上述容器支撐體位于上述保管位置、且容器由上述容器支撐體支撐的情況下，容許上述氣體供給管進(jìn)行的惰性氣體的供給，在上述容器支撐體未位于上述保管位置或者容器未由上述容器支撐體支撐的情況下，禁止上述氣體供給管進(jìn)行的惰性氣體的供給。根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，在容器支撐體位于保管位置、且容器由容器支撐體支撐的情況下， 惰性氣體供給控制機(jī)構(gòu)容許氣體供給管進(jìn)行的惰性氣體的供給。另一方面，在容器支撐體未位于保管位置或者容器未由容器支撐體支撐的情況下，惰性氣體供給控制機(jī)構(gòu)禁止氣體供給管進(jìn)行的惰性氣體的供給。因此，僅在容器實(shí)際上保管在容器保管部的情況下惰性氣體向容器供給，能夠防止惰性氣體在不支撐容器的狀態(tài)的容器支撐體位于保管位置的情況下、支撐著容器的容器支撐體未位于保管位置，氣體供給管的固定側(cè)部分與移動(dòng)側(cè)部分的連結(jié)解除的情況下被無端地供給。在本發(fā)明所涉及的容器保管設(shè)備的實(shí)施方式中，上述連結(jié)體具備可動(dòng)噴嘴，其設(shè)在上述固定側(cè)部分以及上述移動(dòng)側(cè)部分的一側(cè)，在上述保管位置與上述收受位置之間的上述容器支撐體的移動(dòng)方向上進(jìn)退移動(dòng)自如，并且由施力機(jī)構(gòu)施力而向突出側(cè)復(fù)位；和凹入部，其設(shè)在上述固定側(cè)部分以及上述移動(dòng)側(cè)部分的另一側(cè)，上述可動(dòng)噴嘴在其中插拔自如； 在上述可動(dòng)噴嘴上具備內(nèi)部流路，在上述可動(dòng)噴嘴插入上述凹入部中的狀態(tài)下連通上述固定側(cè)部分的固定側(cè)氣體流路與上述移動(dòng)側(cè)部分的移動(dòng)側(cè)氣體流路，惰性氣體在該內(nèi)部流路中沿著上述容器支撐體的移動(dòng)方向流通自如；具備密封體，在上述可動(dòng)噴嘴插入上述凹入部的狀態(tài)下將上述凹入部與上述可動(dòng)噴嘴之間密封。根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，當(dāng)容器支撐體位于保管位置時(shí)，連結(jié)體上的可動(dòng)噴嘴插入凹入部， 從而固定側(cè)部分與移動(dòng)側(cè)部分連結(jié)在一起。在此，可動(dòng)噴嘴設(shè)在固定側(cè)部分以及移動(dòng)側(cè)部分的一側(cè)，在保管位置與收受位置之間的容器支撐體的移動(dòng)方向上進(jìn)退移動(dòng)自如，并且由施力機(jī)構(gòu)施力而向突出側(cè)復(fù)位，凹入部設(shè)在固定側(cè)部分以及移動(dòng)側(cè)部分中設(shè)有可動(dòng)噴嘴的一側(cè)相反的一側(cè)。因此，可動(dòng)噴嘴以由施力機(jī)構(gòu)進(jìn)行的向突出側(cè)的施力而被壓在凹入部上的狀態(tài)插入，可動(dòng)噴嘴可靠地插入凹入部。因此，氣體供給管的固定側(cè)部分與移動(dòng)側(cè)部分可靠地連結(jié)在一起。
這樣，由于在可動(dòng)噴嘴上具備內(nèi)部流路，在可動(dòng)噴嘴插入凹入部中的狀態(tài)下連通固定側(cè)部分的固定側(cè)氣體流路與移動(dòng)側(cè)部分的移動(dòng)側(cè)氣體流路，惰性氣體在該內(nèi)部流路中沿著容器支撐體的移動(dòng)方向流通自如，所以當(dāng)容器支撐體位于保管位置時(shí)，固定側(cè)氣體流路與移動(dòng)側(cè)氣體流路通過內(nèi)部流路連通，可靠地形成至容器的氣體供給管。而且，通過在可動(dòng)噴嘴插入凹入部的狀態(tài)下密封體將凹入部與可動(dòng)噴嘴之間密封，提高了至容器的氣體供給管的流路的氣密性。在本發(fā)明所涉及的容器保管設(shè)備的實(shí)施方式中，上述內(nèi)部流路由在上述容器支撐體的移動(dòng)方向上貫通上述可動(dòng)噴嘴的內(nèi)部的直線狀的流路構(gòu)成。根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，由于可動(dòng)噴嘴的惰性氣體流路中的流通阻力減小，所以能夠使惰性氣體在可動(dòng)噴嘴的內(nèi)部順暢地流通。在本發(fā)明所涉及的容器保管設(shè)備中，上述內(nèi)部流路具備直線狀的第1流路部分， 在上述容器支撐體的移動(dòng)方向上從上述可動(dòng)噴嘴的突出側(cè)端部連通到后退側(cè)端部之前；和第2流路部分，在上述容器支撐體的移動(dòng)方向上，上述可動(dòng)噴嘴的后退側(cè)，在上述可動(dòng)噴嘴的徑向上連通上述第1流路部分與上述可動(dòng)噴嘴的外部；具備封堵開放機(jī)構(gòu)，在上述容器支撐體位于上述收受位置的情況下封堵上述第2流路部分，并且在上述容器支撐體位于上述保管位置的情況下開放上述第2流路部分。根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，由于在容器支撐體位于保管位置是情況下封堵開放機(jī)構(gòu)將第2流路部分開放，所以通過連通第1流路部分和可動(dòng)噴嘴的外部的第2流路部分開放，從可動(dòng)噴嘴的突出側(cè)端部連通到后退側(cè)端部之前的直線狀的第1流路部分與外部連通。這樣一來， 能夠使惰性氣體在可動(dòng)噴嘴的內(nèi)部流路中流通，并使惰性氣體相對(duì)于容器流通。由于在容器支撐體位于收受位置的情況下封堵開放機(jī)構(gòu)封堵第2流路部分，所以從可動(dòng)噴嘴的突出側(cè)端部連通到后退側(cè)端部之前的直線狀的第1流路部分的后退側(cè)與外部隔斷。因此，當(dāng)容器支撐體位于收受位置，可動(dòng)噴嘴與凹入部分離時(shí)，通過第1流路部分與外部隔斷，即使解除固定側(cè)部分與移動(dòng)側(cè)部分的連結(jié)，移動(dòng)側(cè)部分離開固定側(cè)部分，也能夠盡量防止外氣從可動(dòng)噴嘴的突出側(cè)的端部進(jìn)入固定側(cè)部分。在本發(fā)明所涉及的容器保管設(shè)備中，上述運(yùn)送機(jī)構(gòu)由沿著經(jīng)由相對(duì)于上述容器保管部的容器收受部位的移動(dòng)路徑移動(dòng)自如、且具備保持容器的保持部的物品運(yùn)送用的移動(dòng)車構(gòu)成；上述保管位置設(shè)定在相對(duì)于上述移動(dòng)路徑離開的位置；上述收受位置設(shè)定在比上述保管位置更接近上述移動(dòng)路徑的位置；設(shè)有支撐上述容器支撐體在上述保管位置與上述收受位置之間位置變更自如的容器支撐體支撐機(jī)構(gòu)，和接近停止在上述容器收受部位的上述移動(dòng)車的接近位置與離開停止在上述容器收受部位的上述移動(dòng)車的離開位置之間移動(dòng)自如的被操作體；上述被操作體與上述容器支撐體支撐機(jī)構(gòu)聯(lián)動(dòng)，從而在上述接近位置將上述容器支撐體操作到上述保管位置，并且在上述離開位置將上述容器支撐體操作到上述收受位置；上述移動(dòng)車具備推拉操作式的操作機(jī)構(gòu)，通過從上述移動(dòng)車向突出的一側(cè)的移動(dòng)，將上述被操作體從上述接近位置推動(dòng)操作到上述離開位置，并且通過向上述移動(dòng)車后退的一側(cè)的移動(dòng)，將上述被操作體從上述離開位置拉回操作到上述接近位置。根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，當(dāng)在作為物品運(yùn)送機(jī)構(gòu)的移動(dòng)車停止在容器收受部位的狀態(tài)下， 被操作體由推拉操作式的操作機(jī)構(gòu)操作而在接近移動(dòng)車的接近位置與離開移動(dòng)車的離開位置之間移動(dòng)時(shí)，被操作體與支撐容器支撐體在保管位置與收受位置之間位置變更自如的容器支撐體支撐機(jī)構(gòu)聯(lián)動(dòng)，在被操作體被操作到接近位置時(shí)，容器支撐體被操作到保管位置，并且在被操作體被操作到離開位置時(shí)，容器支撐體被操作到收受位置。由于這樣能夠通過移動(dòng)體所具備的操作機(jī)構(gòu)操作容器保管部的容器支撐體移動(dòng)，所以在設(shè)有多個(gè)容器保管部的情況下，使用移動(dòng)體的操作機(jī)構(gòu)操作多個(gè)容器保管部上的容器支撐體移動(dòng)，從而無需在各容器保管部上分別具備驅(qū)動(dòng)容器支撐體移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。因此，能夠盡量減少相對(duì)于容器保管部的配線，實(shí)現(xiàn)結(jié)構(gòu)的簡(jiǎn)單化，并能夠在多個(gè)容器運(yùn)送部中將共用的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)設(shè)在移動(dòng)車上以實(shí)現(xiàn)成本降低。在本發(fā)明所涉及的容器保管設(shè)備中，上述移動(dòng)路徑以及上述固定框體設(shè)在天花板一側(cè)；上述容器支撐體支撐機(jī)構(gòu)由將上述容器支撐體的上端部相對(duì)于上述固定框體滑動(dòng)自如地垂吊支撐的滑動(dòng)導(dǎo)向機(jī)構(gòu)構(gòu)成；上述容器支撐體構(gòu)成為自如地載置支撐容器，并且構(gòu)成為以從其移動(dòng)方向看過去左右方向的中央部由上述滑動(dòng)導(dǎo)向機(jī)構(gòu)垂吊支撐的狀態(tài)移動(dòng)自如；上述固定框體形成為從上述容器支撐體的移動(dòng)方向看過去左右方向的長(zhǎng)度比上述容器支撐體相同方向上長(zhǎng)度短；上述被操作體配置在從上述容器支撐體的移動(dòng)方向看過去為上述固定框體的左右方向的一側(cè)；上述氣體供給管的上述連結(jié)體配置在從上述容器支撐體的移動(dòng)方向看過去為上述固定框體的左右方向的另一側(cè)；上述氣體供給管的上述移動(dòng)側(cè)部分配置在從上述容器支撐體的移動(dòng)方向看過去為上述容器支撐體的左右方向的另一側(cè)的橫向旁側(cè)。根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，由于容器支撐體的上端部由作為容器支撐體支撐機(jī)構(gòu)的滑動(dòng)導(dǎo)向機(jī)構(gòu)相對(duì)于上述固定框體滑動(dòng)自如地垂吊支撐，容器支撐體以從移動(dòng)方向看過去左右方向的中央部被垂吊支撐的狀態(tài)移動(dòng)，所以容器支撐體以平衡良好的穩(wěn)定狀態(tài)相對(duì)于固定框體滑動(dòng)移動(dòng)。因此，能夠使容器支撐體可靠地在保管位置與收受位置之間移動(dòng)。這樣，在容器支撐體的移動(dòng)方向看過去為固定框體的左右方向的一側(cè)配置被操作體，在容器支撐體的移動(dòng)方向看過去為固定框體的左右方向的另一側(cè)配置氣體供給管的連結(jié)體。因此，由于被操作體與連結(jié)體分散配置在固定框體的左右，所以能夠有效地利用通過將容器支撐體的移動(dòng)方向看過去左右方向的長(zhǎng)度形成為比容器支撐體的相同方向的長(zhǎng)度短的固定框體設(shè)在天花板一側(cè)而形成的天花板側(cè)的固定框體的左右空間，相互不干涉地配置被操作體和連結(jié)體。而且，由于氣體供給管的移動(dòng)側(cè)部分配置在容器支撐體的移動(dòng)方向看過去為容器支撐體左右方向的另一側(cè)的橫向旁側(cè)，所以在容器支撐體的移動(dòng)方向上看配置在與連結(jié)體相同一側(cè)，能夠?qū)崿F(xiàn)連結(jié)體以及移動(dòng)側(cè)部分的整體結(jié)構(gòu)的緊湊化。


圖1是物品保管設(shè)備的整體俯視圖； 圖2是物品運(yùn)送車的側(cè)視圖3是容器保管部的立體圖； 圖4是容器保管部的立體圖； 圖5是表示容器支撐體的支撐構(gòu)造的分解立體圖； 圖6是容器支撐體位于保管位置時(shí)容器保管部的側(cè)視圖； 圖7是容器支撐體位于收受位置時(shí)容器保管部的側(cè)視圖；圖8是連結(jié)體的縱剖側(cè)視圖； 圖9是表示相對(duì)于繼電器回路的輸入輸出的框圖； 圖10是其它實(shí)施方式所涉及的連結(jié)體的縱剖側(cè)視圖。
具體實(shí)施例方式基于附圖對(duì)本發(fā)明所涉及的容器保管設(shè)備的實(shí)施方式進(jìn)行說明。該容器保管設(shè)備例如設(shè)在具備使凈化空氣從天花板一側(cè)向下方一側(cè)通風(fēng)的下流式凈化空氣通風(fēng)機(jī)構(gòu)的清潔室內(nèi)。如圖1所示，容器保管設(shè)備以經(jīng)由多個(gè)處理裝置1的狀態(tài)在天花板一側(cè)設(shè)置行走軌道2 (相當(dāng)于移動(dòng)路徑)，并設(shè)有沿著該行走軌道2移動(dòng)自如的物品運(yùn)送車3 (相當(dāng)于移動(dòng)車)。物品運(yùn)送車3構(gòu)成為在多個(gè)處理裝置1之間運(yùn)送收納了半導(dǎo)體基板(基板的一例)的容器W。在處理裝置1中，對(duì)半導(dǎo)體基板的制造中途的半成品等進(jìn)行規(guī)定的處理。物品運(yùn)送車3如圖2所示，具備車體主體部5，在行走軌道2上行走的行走部6，以及把持容器W為懸吊狀態(tài)的把持部7 (相當(dāng)于保持部)。行走部6在物品運(yùn)送車3的前后方向上隔開間隔地在車體主體部5的相當(dāng)于前端部的位置和相當(dāng)于后端部的位置前后設(shè)有一對(duì)，前后一對(duì)的行走部6分別通過連結(jié)軸8與車體主體部5相連，繞上下軸心旋轉(zhuǎn)自如。 把持部7相對(duì)于車體主體部5升降自如。在前后一對(duì)的行走部6的每一個(gè)上，具備在由電動(dòng)式的驅(qū)動(dòng)馬達(dá)9驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)而在左右一對(duì)的行走軌道2各自水平延伸的上表面滾動(dòng)的行走輪10，和與左右一對(duì)的行走軌道 2的每一個(gè)中在對(duì)向的上下方向上延伸的側(cè)面抵接并自由旋轉(zhuǎn)的導(dǎo)向輪11。行走輪10在物品運(yùn)送車3的橫寬方向(圖2的紙面正反方向)的兩端部各配設(shè)一個(gè)。而且，導(dǎo)向輪11在物品運(yùn)送車3的橫寬方向的兩端部以在物品運(yùn)送車3的前后方向上并列的狀態(tài)各配設(shè)兩個(gè)。 這樣，行走部6構(gòu)成為行走輪10由驅(qū)動(dòng)馬達(dá)9驅(qū)動(dòng)而繞水平軸心旋轉(zhuǎn)，繞上下軸心旋轉(zhuǎn)自如的導(dǎo)向輪11與一對(duì)行走軌道2抵接而在水平方向上被導(dǎo)向，從而沿著行走軌道2被導(dǎo)向而行走。前后一對(duì)的行走部6分別通過連結(jié)軸8與車體主體部5相連而繞上下軸心旋轉(zhuǎn)自如。連結(jié)軸8在物品運(yùn)送車3的橫寬方向上配設(shè)在左右一對(duì)的行走軌道2的間隙的中央部， 在物品運(yùn)送車3的橫寬方向上連結(jié)車體主體部5的中央部與行走部6的中央部。在物品運(yùn)送車3的前后方向上前后一對(duì)的連結(jié)軸8之間配設(shè)有俯視為長(zhǎng)方形狀的受電部13。雖然省略了圖示，但受電部13在物品運(yùn)送車3的橫寬方向上配設(shè)在車體主體部5的中央部，物品運(yùn)送車3形成為在從沿著前后方向看到的截面形狀為具有在上下方向上空開間隔的兩個(gè)水平方向延伸的直線部分，和分別連結(jié)這兩個(gè)水平部分各自的中央部的上下方向延伸的部分的形狀。這樣，通過在沿著一對(duì)行走軌道2設(shè)置的一對(duì)供電線12上通入交流電流而產(chǎn)生磁場(chǎng)，通過該磁場(chǎng)而在受電部13上產(chǎn)生驅(qū)動(dòng)用電力，以無接觸狀態(tài)進(jìn)行供電。這樣一來，通過從供電線12將驅(qū)動(dòng)用電力無接觸地供電給受電部13，物品運(yùn)送車3 在該驅(qū)動(dòng)用電力的作用下進(jìn)行行走部6的行走以及把持部7的升降等。車體主體部5具備框體21，該框體21形成為具有在物品運(yùn)送車3的前后方向上延伸的水平部分，和在該水平部分的前端部分和后端部分向下方一側(cè)延伸的垂直部分且下方一側(cè)開放的二字型。在框體21上形成垂直部分的前后一對(duì)的縱框體22之間配設(shè)有把持部7。這樣，在車體主體部5上，具備用于使把持部7升降的電動(dòng)式的升降用馬達(dá)14，和用于使把持部7繞上下軸心旋轉(zhuǎn)的電動(dòng)式的旋轉(zhuǎn)用馬達(dá)15。升降用馬達(dá)14構(gòu)成為通過驅(qū)動(dòng)卷繞由皮帶16的旋轉(zhuǎn)卷筒17旋轉(zhuǎn)而卷取或者送出皮帶16，從而把持部7在上升位置與下降位置之間升降自如。也可以取代皮帶而例如使用纜繩。在此，雖然省略了圖示，但上升位置是接近車體主體部5的位置，下降位置是用于在分別與設(shè)置在地面一側(cè)的處理裝置1對(duì)應(yīng)的容器移載用的工作站Ia之間進(jìn)行容器W的移載的位置。工作站Ia為了載置并支撐容器W而由設(shè)在底部的載置臺(tái)構(gòu)成。工作站Ia用于從物品運(yùn)送車3上收取由處理裝置1進(jìn)行規(guī)定的處理的容器W、或者將由處理裝置1進(jìn)行了規(guī)定的處理的容器W轉(zhuǎn)交到物品運(yùn)送車3上，分別與多個(gè)處理裝置1的每一個(gè)對(duì)應(yīng)地配置。 物品運(yùn)送車3構(gòu)成為在使把持部7位于上升位置的狀態(tài)下沿著行走軌道2移動(dòng)，在停止在多個(gè)工作站Ia中與移載對(duì)象的工作站Ia相對(duì)應(yīng)的容器收受部位的狀態(tài)下使把持部7在上升位置與下降位置之間升降，從而在與工作站Ia之間進(jìn)行容器W的收受(即交接)。把持部7由從車體主體部5的上端部向下方一側(cè)延伸的旋轉(zhuǎn)軸18連結(jié)，相對(duì)于車體主體部5繞上下軸心旋轉(zhuǎn)自如。而且，旋轉(zhuǎn)用馬達(dá)15經(jīng)由具有皮帶的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)力傳遞部 19驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)軸18繞上下軸心旋轉(zhuǎn)，從而把持部7繞上下軸心旋轉(zhuǎn)自如。把持部7具備用于把持容器W的把持件20，以及圖外的電動(dòng)式把持用馬達(dá)，該電動(dòng)式把持用馬達(dá)用于將把持件20的姿勢(shì)切換操作到把持容器W的把持姿勢(shì)或者解除該把持的把持解除姿勢(shì)。在圖2中表示了將把持件20切換到把持姿勢(shì)的狀態(tài)。為了暫時(shí)保管向工作站Ia運(yùn)送的容器W，在行走軌道2的橫向旁側(cè)，如圖1所示相對(duì)于行走軌道2在左右某一側(cè)設(shè)有容器保管部4。而且，容器保管部4沿著行走軌道2以鄰接排列的狀態(tài)設(shè)有多個(gè)。以下，基于圖3 圖7對(duì)容器保管部4進(jìn)行說明。多個(gè)容器保管部4具備以固定狀態(tài)設(shè)在天花板一側(cè)的固定框體四，和在保管容器 W的保管位置以及在與物品運(yùn)送車3之間收受容器W的收受位置的范圍內(nèi)相對(duì)于固定框體 29移動(dòng)自如地設(shè)置的容器支撐體觀。容器支撐體觀設(shè)成在向接近行走軌道2的一側(cè)突出的容器收受用的收受位置(參照?qǐng)D7)與向離開行走軌道2的一側(cè)后退的保管位置(參照?qǐng)D6)之間位置變更自如，所述容器收受用的收受位置用于從停止在相對(duì)于容器保管部4的容器收受部位的物品運(yùn)送車3的把持部7上收取容器W以及向把持部7轉(zhuǎn)交容器W。即，物品運(yùn)送車3是具備作為保持部的把持部7的物品運(yùn)送用的移動(dòng)車，該把把持部7沿著作為經(jīng)由相對(duì)于容器保管部4的容器收受部位的移動(dòng)路徑的行走軌道2移動(dòng)自如且保管容器W，作為本發(fā)明的運(yùn)送機(jī)構(gòu)發(fā)揮功能。以下，將容器支撐體觀的保管位置以及收受位置之間的移動(dòng)方向、即圖1等中箭頭X所示的方向稱為支撐體移動(dòng)方向，將從該支撐體移動(dòng)方向看過去的左右方向、即圖1等中箭頭Y所示的方向稱為左右方向進(jìn)行說明。容器支撐體觀如圖3 圖7所示，容器支撐體觀的上端部通過作為容器支撐體支撐機(jī)構(gòu)的滑動(dòng)導(dǎo)向機(jī)構(gòu)而滑動(dòng)移動(dòng)自如地懸吊支撐在與保管位置相對(duì)應(yīng)地設(shè)置在天花板一側(cè)(即由天花板支撐)的固定框體四上，在保管位置與收受位置之間位置變更自如。而
10且，容器支撐體觀構(gòu)成為自如地載置支撐容器W，并且左右方向的中央部以由滑動(dòng)導(dǎo)向機(jī)構(gòu)懸吊支撐的狀態(tài)移動(dòng)自如。容器收受部位分別與多個(gè)容器保管部4相對(duì)應(yīng)地確定。形成為左右方向上的容器支撐體觀的寬度比物品運(yùn)送車3的前后一對(duì)的縱框體22的間隔小。因此，在物品運(yùn)送車 3停止在容器收受部位的狀態(tài)下，能夠?qū)⑷萜髦误w觀插入物品運(yùn)送車3的前后一對(duì)的縱框體22之間。保管位置確定在從行走軌道2的存在部位向支撐體移動(dòng)方向偏離的行走軌道2的橫向旁側(cè)處，從而在容器支撐體觀位于保管位置時(shí)，容器支撐體觀以及由其支撐的容器W 不會(huì)妨礙物品運(yùn)送車3的移動(dòng)及把持部7的升降。收受位置確定在與停止在容器收受部位的物品運(yùn)送車3的把持部7為水平方向(即上下方向看過去)上重復(fù)的位置，從而在容器支撐體觀位于收受位置時(shí)，能夠在與位于停止在容器收受部位的物品運(yùn)送車3上接近上升位置的位置的把持部7之間收受容器W。容器支撐體觀具備相對(duì)于固定框體四在支撐體移動(dòng)方向上移動(dòng)自如地支撐且形成為從固定框體四向下方延伸的形狀的移動(dòng)體30，和從移動(dòng)體30的下端部向接近支撐體移動(dòng)方向的行走軌道2的一側(cè)延伸地設(shè)置的載置體31。固定框體四以遍布在支撐體移動(dòng)方向上隔開間隔的一對(duì)固定框體支撐用的支撐軌道體32的狀態(tài)懸吊支撐。固定框體四作為懸吊支撐部33具備在支撐體移動(dòng)方向的一個(gè)方向一側(cè)以及另一個(gè)方向一側(cè)的每一個(gè)上從固定框體四向上方延伸的立壁部分33a，和將立壁部分33a的上端部彼此連結(jié)的水平連結(jié)部分33b。水平連結(jié)部分3 上支撐體移動(dòng)方向的一端部以及另一端部分別由形成在一對(duì)支撐軌道體33的每一個(gè)上的承接支撐部3 承接支撐。固定框體四構(gòu)成為通過由一對(duì)支撐軌道體32的每一個(gè)上的承接支撐部32a以承接支撐的狀態(tài)固定，由設(shè)在天花板一側(cè)的一對(duì)支撐軌道體32懸吊支撐。移動(dòng)體30由左右一對(duì)的支撐臂體34，上部連結(jié)體35，以及中間連結(jié)體36構(gòu)成，所述左右一對(duì)的支撐臂體34形成為以其下方與上方相比支撐體移動(dòng)方向上的寬度為窄幅的狀態(tài)向下方延伸的形狀，所述上部連結(jié)體35將左右一對(duì)的支撐臂體34的上端部彼此連結(jié)， 所述中間連結(jié)體36將左右一對(duì)的支撐臂體34的從上端部向下方延伸的部分彼此連結(jié)。如圖4所示，在左右一對(duì)的支撐臂體31的一側(cè)，立設(shè)有用于保管位置檢測(cè)的被檢測(cè)體23。被檢測(cè)體23由在上端部應(yīng)形成俯視為凸?fàn)畹乃讲糠?3a的向固定框體四的方向折曲加工的L字型部件構(gòu)成。在上部連結(jié)體35上，如圖5所示在左右方向的中央部上設(shè)有向上方突出的突出部 37，在上部連結(jié)體35的左右方向的一端部的上表面立設(shè)有棒狀的聯(lián)動(dòng)用被操作體39。在突出部37的側(cè)面部，在支撐體移動(dòng)方向上隔開間隔地設(shè)有兩組繞水平軸心旋轉(zhuǎn)自如地支撐的左右一對(duì)的第1導(dǎo)輥38a，并且，在其上表面部，在支撐體移動(dòng)方向上隔開間隔地設(shè)有兩組繞上下軸心旋轉(zhuǎn)自如地支撐的左右一對(duì)的第2導(dǎo)輥38b。固定框體四形成為下方開放的筒狀，從而在將移動(dòng)體30的突出部37插入其內(nèi)部的狀態(tài)下容許移動(dòng)體30的突出部37在支撐體移動(dòng)方向上的移動(dòng)。固定框體四的下方不是在左右方向的整個(gè)全長(zhǎng)范圍內(nèi)開放的，而僅是其中央部開放，如圖3所示，設(shè)有從兩側(cè)的側(cè)壁部29a水平方向延伸的底部^b。固定框體四的底部29b構(gòu)成為將由插入固定框體四的內(nèi)部的突出部37支撐的第1導(dǎo)輥38a向支撐體移動(dòng)方向?qū)?。在固定框體四的上部，沿著支撐體移動(dòng)方向設(shè)有向下方一側(cè)突出的導(dǎo)軌部^c。該導(dǎo)軌部29c構(gòu)成為將由插入固定框體四的內(nèi)部的突出部37支撐的第2導(dǎo)輥38b向支撐體移動(dòng)方向?qū)颉＿@樣一來，移動(dòng)體30被支撐成相對(duì)于固定框體四在支撐體移動(dòng)方向上滑動(dòng)移動(dòng)自如。這樣，由固定框體四的底部29b和導(dǎo)輥部^c以及具備第1導(dǎo)輥38a和第2導(dǎo)輥 38b的突出部37構(gòu)成作為容器支撐體支撐機(jī)構(gòu)的滑動(dòng)導(dǎo)向機(jī)構(gòu)。另外，如圖6以及圖7所示，固定框體四由于容器支撐體觀因自重施力而向保管位置移動(dòng)，因而以容器支撐體洲越位于收受位置一側(cè)高度越高的傾斜姿勢(shì)安裝。載置體31由抵接載置部40和左右移動(dòng)限制部41構(gòu)成，所述抵接載置部40在左右方向上具有小于容器W的寬度，從移動(dòng)體30的下端部向接近支撐體移動(dòng)方向的行走軌道 2 一側(cè)延伸地設(shè)置，所述左右移動(dòng)限制部41具備從抵接載置部40向左右方向延伸地設(shè)置并與容器W的側(cè)面部抵接的立壁部分41a (參照?qǐng)D4)、且在支撐體移動(dòng)方向上寬度比容器 W窄地形成。左右移動(dòng)限制部41以在抵接載置部40上相當(dāng)于容器W的支撐體移動(dòng)方向上的中央部的部位沿著左右方向的一個(gè)方向以及另一個(gè)方向延伸的方式設(shè)有一對(duì)。在抵接載置部40上設(shè)有前后移動(dòng)限制部42，所述前后移動(dòng)限制部42具備從抵接載置部40向支撐體移動(dòng)方向延伸地設(shè)置并與容器W的側(cè)面部抵接的立壁部分42a、且在左右方向上寬度比抵接載置部40窄地形成。前后移動(dòng)限制部42設(shè)在左右方向上抵接載置部 40的兩端部。這樣一來，能夠限制容器W在支撐體移動(dòng)方向上的移動(dòng)，載置支撐容器W。在抵接載置部40上，為了將容器W以定位的狀態(tài)載置而設(shè)有多個(gè)定位銷K。定位銷K的配設(shè)部位設(shè)成在俯視圖中為三角形的各角部。在處于抵接載置部40的支撐體移動(dòng)方向上移載位置一側(cè)的端部的定位銷K附近， 安裝有作為檢測(cè)由抵接載置部40載置支撐的容器W的有無的支撐狀態(tài)檢測(cè)機(jī)構(gòu)的左右一對(duì)的第1就位傳感器25a以及第2就位傳感器25b。這些就位傳感器具備向突出狀態(tài)復(fù)位受力的按鈕沈，該按鈕沈被容器W的底面按壓，內(nèi)置的光傳感器的檢測(cè)光被按鈕沈遮擋， 從而能夠檢測(cè)容器W的就位。由于如果容器W適當(dāng)?shù)剌d置支撐在容器支撐體觀上，則左右分散配置的兩個(gè)就位傳感器25a、2^均檢測(cè)到就位，所以基于第1就位傳感器2 以及第2 就位傳感器25b的檢測(cè)狀態(tài)能夠檢測(cè)出容器W適當(dāng)?shù)剌d置支撐在容器支撐體觀上。這些就位傳感器是屬于現(xiàn)有技術(shù)的部件，也能夠利用不使用光傳感器的傳感器。移動(dòng)體30的抵接載置部40構(gòu)成為以在支撐體移動(dòng)方向上連續(xù)的狀態(tài)設(shè)置，并且左右方向的寬度相同或者大致相同。固定框體四在左右方向上設(shè)在移動(dòng)體30的中央部， 能夠以平衡良好的狀態(tài)支撐移動(dòng)體30在支撐體移動(dòng)方向上移動(dòng)自如。固定框體四配設(shè)成在保管位置的容器支撐體觀和左右方向以及支撐體移動(dòng)方向上沿著上下方向看過去重復(fù)，并且在左右方向上寬度比抵接載置部40窄地形成。即，固定框體四形成為從容器支撐體觀的移動(dòng)方向看過去的左右方向的長(zhǎng)度比容器支撐體觀的相同方向的長(zhǎng)度短。在固定框體四上左右方向的一側(cè)設(shè)有由固定框體四支撐的被操作體43，所述被操作體43在支撐體移動(dòng)方向上接近停止在容器收受部位的物品運(yùn)送車3的接近位置(參照?qǐng)D3以及圖6)、和從停止在容器收受部位的物品運(yùn)送車3離開的離開位置(參照?qǐng)D7)之間移動(dòng)自如。被操作體43與上述滑動(dòng)導(dǎo)向機(jī)構(gòu)聯(lián)動(dòng)，以在接近位置將容器支撐體觀操作到保管位置，并且在離開位置將容器支撐體觀操作到收受位置。如圖3所示，被操作體43設(shè)成其長(zhǎng)度方向的中央部與設(shè)在固定框體四的上部的-字型的基體44樞軸連結(jié)，繞處于該連結(jié)部位的第1擺動(dòng)軸心Pl擺動(dòng)自如。在被操作體 43位于接近位置的狀態(tài)下，以上下帶有高低差地一體形成從第1擺動(dòng)軸心Pl向接近物品運(yùn)送車3的一側(cè)延伸的第1被操作部分43a和從第1擺動(dòng)軸心Pl向離開物品運(yùn)送車3的一側(cè)延伸的第2被操作部分43b。被操作體43設(shè)成通過繞第1擺動(dòng)軸心P擺動(dòng)而在接近位置與離開位置之間切換自如，且在接近位置，第1被操作部分43a為比第1擺動(dòng)軸心Pl更接近停止在容器收受部位的物品運(yùn)送車3的姿勢(shì)。在被操作體43的第1被操作部分43a上，設(shè)有在被操作體43 位于接近位置的狀態(tài)下沿著相對(duì)于支撐體移動(dòng)方向交叉的方向向第1擺動(dòng)軸心Pl —側(cè)延伸的槽部45。該槽部45形成為使接近停止在容器收受部位的物品運(yùn)送車3的一側(cè)的前端沿著支撐體移動(dòng)方向開口的形狀。設(shè)有使被操作體43的動(dòng)作和容器支撐體觀的動(dòng)作聯(lián)動(dòng)的聯(lián)動(dòng)機(jī)構(gòu)46，當(dāng)被操作體43位于接近位置時(shí)，如圖6所示，使容器支撐體觀位于保管位置，并且當(dāng)被操作體43位于離開位置時(shí)，如圖7所示，使容器支撐體觀位于收受位置。聯(lián)動(dòng)機(jī)構(gòu)46如圖3、圖4以及圖6所示，由繞上下軸心擺動(dòng)自如的第1連桿臂47， 第2連桿臂48，以及第3連桿臂49這三個(gè)連桿臂構(gòu)成。第1連桿臂47是一端部與被操作體43的第2被操作部分43b的一端部樞軸連結(jié)，且另一端部與第2連桿臂48的長(zhǎng)度方向的中途部分樞軸連結(jié)。第2連桿臂48是一端部與基體44樞軸連結(jié)，且另一端部與第3連桿臂49的一端部樞軸連結(jié)。第3連桿臂49是另一端部與立設(shè)在固定框體四上的聯(lián)動(dòng)用被操作體39樞軸連結(jié)。在固定框體四的左右方向的一側(cè)(設(shè)有被操作體43的一側(cè))，通過向固定框體四的左右方向的一側(cè)延伸設(shè)置的傳感器安裝托架27安裝有作為檢測(cè)容器支撐體觀位于保管位置的保管位置檢測(cè)機(jī)構(gòu)的保管位置檢測(cè)傳感器M (參照?qǐng)D4)。保管位置檢測(cè)傳感器24 由-字型中對(duì)向位置的一對(duì)前端部具備投受光部的感光微傳感器(photo micro sensor) 構(gòu)成，對(duì)向的一對(duì)前端部以上下排列的朝向安裝。被檢測(cè)體23以及保管位置檢測(cè)傳感器M 的相對(duì)高度調(diào)整成被檢測(cè)體23的俯視凸?fàn)畹乃讲糠?3a位于對(duì)向的一對(duì)前端部的上下方向的中間高度。上述第1就位傳感器2 和第2就位傳感器25b以及上述保管位置傳感器M如圖9所示，與控制電磁閥M開閉的繼電器回路55相連。電磁閥M以及繼電器回路55設(shè)在安裝于固定框體四的支撐體移動(dòng)方向上后退位置一側(cè)的端部上的安裝盤上。另外，第1 就位傳感器25a以及第2就位傳感器25b的信號(hào)線內(nèi)裝在圖外的纜線導(dǎo)向件中，通過使其順延于與容器支撐體觀的移動(dòng)相對(duì)應(yīng)的適當(dāng)?shù)呐渚€路徑而防止了斷線等。如圖2以及圖7所示，在物品運(yùn)送車3上設(shè)有用于將容器支撐體觀變更操作到保管位置或者收受位置的操作機(jī)構(gòu)50。操作機(jī)構(gòu)50如圖2所示，設(shè)在物品運(yùn)送車3的車體主體部5上左右方向的一側(cè)，如圖7所示，由固定在物品運(yùn)送車3上且在支撐體移動(dòng)方向上為長(zhǎng)條狀的基座51，相對(duì)于該基座51在支撐體移動(dòng)方向上移動(dòng)自如地設(shè)置的長(zhǎng)條狀的操作體52，以及設(shè)在該操作體52的前端部的下表面一側(cè)的卡合輥53構(gòu)成。操作機(jī)構(gòu)50構(gòu)成為通過省略了圖示的促動(dòng)器的動(dòng)作使操作體52相對(duì)于基座51進(jìn)退，進(jìn)行使卡合輥53在支撐體移動(dòng)方向上移動(dòng)的突出動(dòng)作以及后退動(dòng)作。卡合輥53在左右方向上形成為直徑與被操作體43的槽部45的寬度相同或者比該寬度小。這樣一來，卡合輥53構(gòu)成為通過在支撐體移動(dòng)方向上的移動(dòng)而在被操作體43 的槽部45中卡脫自如。操作機(jī)構(gòu)50構(gòu)成為推拉式，通過突出動(dòng)作使卡合輥53卡合在槽部 45中，將被操作體43從接近位置推出操作到離開位置，并且通過后退動(dòng)作使卡合輥53卡合在槽部45中，將被操作體43從離開位置拉回操作到接近位置，之后使卡合輥53脫離槽部 45。如圖3、圖6以及圖7所示，在容器保管部4上設(shè)有氣體供給機(jī)構(gòu)60，通過氣體供給管向由位于保管位置的容器支撐體觀載置支撐的容器W供給作為惰性氣體的氮。作為惰性氣體，除了氮之外還能夠使用氬等。氣體供給機(jī)構(gòu)60具備設(shè)在固定框體四一側(cè)且與氣體供給源57 (圖6)相連的固定側(cè)部分61，以及與容器支撐體觀一體移動(dòng)自如地設(shè)在容器支撐體觀一側(cè)的移動(dòng)側(cè)部分 62。設(shè)有連結(jié)體63，通過容器支撐體洲從收受位置向保管位置的移動(dòng)，如圖6所示，連結(jié)固定側(cè)部分61與移動(dòng)側(cè)部分62，并且通過容器支撐體觀從保管位置向收受位置的移動(dòng)，如圖 7所示，解除固定側(cè)部分51與移動(dòng)側(cè)部分62的連結(jié)，使移動(dòng)側(cè)部分62離開固定側(cè)部分61。如圖8所示，連結(jié)體63具備可動(dòng)噴嘴63a和凹入部63b，所述可動(dòng)噴嘴63a設(shè)在固定側(cè)部分61上，在保管位置與收受位置之間容器支撐體觀的移動(dòng)方向上進(jìn)退移動(dòng)自如，并且被施力機(jī)構(gòu)施力而向突出側(cè)復(fù)位，所述凹入部6 設(shè)在移動(dòng)側(cè)部分6 上，可動(dòng)噴嘴63a 在其中插拔自如。氣體供給機(jī)構(gòu)60的移動(dòng)側(cè)部分62如圖3、圖6以及圖7所示，由在兩端部具備移動(dòng)側(cè)第1接合部66a以及移動(dòng)側(cè)第2接合部66b、且多個(gè)部位彎曲形成的移動(dòng)側(cè)第1不銹鋼管68，在兩端部具備移動(dòng)側(cè)第3接合部66c以及移動(dòng)側(cè)第4接合部66d、且兩部位彎曲形成的移動(dòng)側(cè)第2不銹鋼管69，配置在其間的壓力傳感器連接部72，以及過濾器73沿著氣體流通方向串聯(lián)連接而構(gòu)成。能夠在壓力傳感器連接部72上安裝壓力傳感器，能夠由設(shè)在安裝盤56上的壓力傳感器控制器(未圖示)監(jiān)視氮?dú)獾墓┙o壓力。在移動(dòng)側(cè)第1不銹鋼管68的上游側(cè)端部的移動(dòng)側(cè)第1接合部66a的上游一側(cè)連接有凹入部63b，在下游側(cè)端部的移動(dòng)側(cè)第2接合部66b的上游一側(cè)加裝有節(jié)流孔70。在與移動(dòng)側(cè)第2不銹鋼管69的下游側(cè)端部相連的移動(dòng)側(cè)第4接合部66d的下游一側(cè)，連接有具有向關(guān)閉一側(cè)受力的開閉閥的噴嘴帽71。移動(dòng)側(cè)部分62是移動(dòng)側(cè)第1接合部66a的下游側(cè)部分由設(shè)在移動(dòng)側(cè)上游托架64 上的氨基甲酸乙酯塊(urethane block)67彈性支撐，噴嘴帽71由平板狀的噴嘴安裝板65 支撐，移動(dòng)側(cè)部分62配置在容器支撐體觀的移動(dòng)方向看過去的容器支撐體觀的左右方向的另一側(cè)(與配置有被檢測(cè)體23及被操作體34的一側(cè)相反一側(cè))的橫向旁側(cè)。隨著容器支撐體觀向保管位置或收受位置移動(dòng)，凹入部6 在固定框體四的橫向旁側(cè)沿著支撐體移動(dòng)方向移動(dòng)。若加以說明，則移動(dòng)側(cè)上游的托架64固定在左右一對(duì)的支撐臂體34中容器支撐體觀的另一側(cè)(與配置有被檢測(cè)體23及被操作體43的一側(cè)相反一側(cè))，將移動(dòng)側(cè)第1 不銹鋼管68的端部夾入設(shè)在該移動(dòng)側(cè)上游托架64上的上下兩層構(gòu)造的的氨基甲酸乙酯塊 67之間，從而彈性地支撐移動(dòng)側(cè)部分62的上游側(cè)端部。另一方面，噴嘴安裝板65配置成位于載置體31的抵接載置部40的前端部的容器支撐體觀的另一側(cè)部分中從左右一對(duì)的前后移動(dòng)限制部42向位于容器支撐體觀的另一側(cè)水平延伸。在噴嘴安裝板65上，形成有噴嘴安裝用的圓形的開口，俯視為圓形的噴嘴帽71以中心與該開口一致的狀態(tài)固定。
當(dāng)容器W載置在容器支撐體觀的載置體31上時(shí)，噴嘴帽71與設(shè)在容器W的底面上的供給口 Win嵌合或者卡合，從而向關(guān)閉一側(cè)受力的供給口 Win處的開閉閥被噴嘴帽71 上推，并且向關(guān)閉一側(cè)受力的噴嘴帽71的開閉閥被供給口 Win下推。這樣一來，容器W的內(nèi)部與氣體供給機(jī)構(gòu)60的移動(dòng)側(cè)部分62中的氮?dú)獾牧髀愤B通。另外，在容器W的底面上形成有具備向關(guān)閉一側(cè)受力的開閉閥的排氣口，在通過氮?dú)獾墓┙o而容器W的內(nèi)壓增大的情況下，排氣口的開閉閥為與該內(nèi)壓相對(duì)應(yīng)的開度，容器W內(nèi)的氣體被排出。這樣一來，能夠一邊通過相對(duì)容器W從供給口 Win供給氮?dú)舛３秩萜鱓的內(nèi)部的氣壓為一定一邊充滿氮?dú)狻怏w供給機(jī)構(gòu)60的固定側(cè)部分61如圖3、圖6以及圖7所示，由與氣體供給源57 相連的不銹鋼管，與該不銹鋼管相連且安裝在安裝盤56的背面的電磁閥M，兩端部和與連接在電磁閥M上的固定側(cè)第1接合部74a以及連接在殼體76上的固定側(cè)第2接合部74b 相連的固定側(cè)不銹鋼管75，以及插入殼體76中、在支撐體移動(dòng)方向上進(jìn)退自如且被作為施力機(jī)構(gòu)的螺旋彈簧77施力而向突出側(cè)復(fù)位的可動(dòng)噴嘴63a沿著氣體流通方向串聯(lián)連接構(gòu)成。殼體76安裝在安裝盤56的正面，但由于固定側(cè)第2接合部74b是以貫通形成在安裝盤56上的開口的狀態(tài)設(shè)置的，所以固定側(cè)部分61的固定側(cè)氣體流路從安裝盤56的背面一側(cè)一直形成到正面一側(cè)，可動(dòng)噴嘴63a配置在安裝盤56的正面一側(cè)固定框體四的左右方向的橫向旁側(cè)。根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，氣體供給機(jī)構(gòu)60的連結(jié)體63配置在從容器支撐體觀的移動(dòng)方向看過去為固定框體四的左右方向的另一側(cè)(與配置有保管位置檢測(cè)傳感器M以及被操作體43的一側(cè)相反一側(cè))。將保管位置檢測(cè)傳感器M以及被操作體43配置在固定框體四的左右方向的一側(cè)，將連結(jié)體63配置在固定框體四的左右方向的另一側(cè)，將氣體供給機(jī)構(gòu) 60的移動(dòng)側(cè)部分62配置在從容器支撐體觀的移動(dòng)方向看過去為容器支撐體觀的左右方向的另一側(cè)的橫向旁側(cè)，從而氣體供給機(jī)構(gòu)60的設(shè)置作業(yè)容易，實(shí)現(xiàn)了天花板一側(cè)的空間的有效利用。如圖8所示，可動(dòng)噴嘴63a具備位于后退側(cè)的直線狀的桿部和位于突出側(cè)的端部的穹頂狀的頭部。在可動(dòng)噴嘴63a的內(nèi)部中從桿部的后端到頭部的前端形成有內(nèi)部流路 84，在可動(dòng)噴嘴63a插入到凹入部63b的狀態(tài)下將固定側(cè)部分61的固定側(cè)氣體流路與移動(dòng)側(cè)部分62的移動(dòng)側(cè)氣體流路流通，氮?dú)庋刂萜髦误w觀的移動(dòng)方向流通自如。 在本實(shí)施方式中，內(nèi)部流路84由在容器支撐體觀的移動(dòng)方向上貫通可動(dòng)噴嘴63a 的內(nèi)部的直線狀流路構(gòu)成。這樣一來，由于可動(dòng)噴嘴63的氮?dú)饬髀分械牧魍ㄗ枇p小，所以能夠使氮?dú)庠诳蓜?dòng)噴嘴63a的內(nèi)部順暢地流通。殼體76通過使具備線性襯套(linear buShing)80且支撐可動(dòng)噴嘴63a進(jìn)退自如的噴嘴支撐殼體76a和固定安裝在安裝盤56上的殼體76b由嵌裝在噴嘴支撐殼體76上的后退側(cè)端部的外周部的0型環(huán)78密封的狀態(tài)嵌合而構(gòu)成。固定側(cè)第2接合部74b以及可動(dòng)噴嘴63a的內(nèi)部流路84的流路與形成在殼體76內(nèi)部的空間連通。這樣一來，固定側(cè)氣體流路從氣體供給源57經(jīng)由電磁閥M以及管固定側(cè)不銹鋼管75形成到可動(dòng)噴嘴63a的前端。在噴嘴支撐殼體76的突出側(cè)端部，嵌裝有將可動(dòng)噴嘴63a與噴嘴支撐殼體76之間的間隙密封的環(huán)狀的襯墊(gasket) 81，插入線性襯套80的可動(dòng)噴嘴63a以氣密狀態(tài)進(jìn)退自如。在噴嘴支撐殼體76的突出側(cè)的最外端，安裝有防止襯墊81脫落的脫落防止用的凸緣82。在噴嘴支撐殼體76的后退側(cè)的端部，設(shè)有在突出側(cè)端部形成有朝向中心一側(cè)的凸緣部的圓筒狀的套環(huán)79。凸緣部的內(nèi)徑為比可動(dòng)噴嘴63a的桿部的外形大的大致相同的尺寸，通過嵌裝在可動(dòng)噴嘴63a的突出側(cè)端部的外周部的C型的止動(dòng)環(huán)83與套環(huán)79的凸緣部抵接而限制了可動(dòng)噴嘴63a的突出側(cè)的限度位置。在凹入部63b中與可動(dòng)噴嘴63a對(duì)向的一側(cè)嵌插有內(nèi)周面形成為在插入方向(支撐體移動(dòng)方向)上越靠近里側(cè)內(nèi)徑越小的錐狀的環(huán)狀的氨基甲酸乙酯塊85，并安裝有與氨基甲酸乙酯塊85的外周部分抵接的防止脫落用的凸緣86。環(huán)狀的氨基甲酸乙酯塊85在可動(dòng)噴嘴63a插入凹入部63b中的狀態(tài)下作為將凹入部6 與可動(dòng)噴嘴63a的穹頂狀前端部之間密封的密封體發(fā)揮功能。在物品運(yùn)送車3上具備臺(tái)車側(cè)控制部，控制行走部6的旋轉(zhuǎn)動(dòng)作，把持部7的升降動(dòng)作及把持件20的姿勢(shì)切換動(dòng)作等，從而控制物品運(yùn)送車3的運(yùn)轉(zhuǎn)。這樣，臺(tái)車側(cè)控制部構(gòu)成為當(dāng)從管理多個(gè)物品運(yùn)送車3的運(yùn)行的設(shè)備管理用計(jì)算機(jī)接收指定運(yùn)送源以及運(yùn)送目的地的運(yùn)送指令時(shí)進(jìn)行將容器W從由該運(yùn)送指令所指定的運(yùn)送源向運(yùn)送目的地運(yùn)送的運(yùn)送處理。指定工作站Ia或容器保管部4作為運(yùn)送源以及運(yùn)送目的地。在此，控制部及計(jì)算機(jī)屬于現(xiàn)有技術(shù)，具有CPU、儲(chǔ)存器、通信單元等，用于執(zhí)行本說明書中所記載的功能的算法存儲(chǔ)在儲(chǔ)存器中。當(dāng)臺(tái)車側(cè)控制部接受將某一個(gè)工作站Ia作為運(yùn)送源，將容器保管部4作為運(yùn)送目的地的運(yùn)送指令時(shí)，基于用于檢測(cè)與該運(yùn)送源的工作站Ia相對(duì)應(yīng)的目標(biāo)停止位置的傳感器及用于檢測(cè)來自基準(zhǔn)點(diǎn)的物品運(yùn)送車3的行走距離的傳感器等各種傳感器的檢測(cè)信息， 控制應(yīng)行走到被指定的運(yùn)送源的工作站Ia的行走部6的行走動(dòng)作，之后通過控制把持部7 的升降動(dòng)作及把持件20的姿勢(shì)切換動(dòng)作，控制物品運(yùn)送車3的運(yùn)行，以便從運(yùn)送源的工作站Ia收取容器W。之后，臺(tái)車側(cè)控制部基于各種傳感器的檢測(cè)信息控制應(yīng)行走到被指定的運(yùn)送目的地的容器保管部4的物品運(yùn)送車3的行走。當(dāng)物品運(yùn)送車3到達(dá)與運(yùn)送目的地的容器保管部4相對(duì)應(yīng)的容器收受部位時(shí)，臺(tái)車側(cè)控制部控制操作機(jī)構(gòu)50的進(jìn)退動(dòng)作以及把持件20的姿勢(shì)切換動(dòng)作，在使物品運(yùn)送車 3停止的狀態(tài)下，使操作機(jī)構(gòu)50突出動(dòng)作，將該容器保管部4中的被操作體43從接近位置推動(dòng)操作到離開位置，從而使位于保管位置的容器支撐體觀向收受位置移動(dòng)，將容器W載置在容器支撐體觀上。這樣，通過使操作機(jī)構(gòu)50后退動(dòng)作，將該容器保管部4中的被操作體43從離開位置拉回操作到接近位置，使位于收受位置的容器支撐體觀向保管位置移動(dòng)。容器支撐體觀被物品運(yùn)送車3從保管位置向收受位置移動(dòng)操作時(shí)，構(gòu)成連結(jié)體63 的可動(dòng)噴嘴63a以及凹入部6 離開(參照?qǐng)D8 (b))，從而移動(dòng)側(cè)部分62離開氣體供給機(jī)構(gòu)60的固定側(cè)部分61，氣體供給機(jī)構(gòu)60的固定側(cè)部分61與移動(dòng)側(cè)部分62的連結(jié)被解除。 而且，當(dāng)容器支撐體觀被物品運(yùn)送車3從收受位置向保管位置移動(dòng)操作時(shí)，通過構(gòu)成連結(jié)體63的可動(dòng)噴嘴63a以及凹入部6 連結(jié)(參照?qǐng)D8 (a))，氣體供給機(jī)構(gòu)60的固定側(cè)部分61與移動(dòng)側(cè)部分62連結(jié)，固定側(cè)部分61的固定側(cè)氣體流路與移動(dòng)側(cè)部分62的移動(dòng)側(cè)氣體流路連通。在容器支撐體觀上，安裝有作為惰性氣體供給控制機(jī)構(gòu)的繼電器回路55(參照?qǐng)D 9)。繼電器回路55在從第1就位傳感器25a以及第2就位傳感器2 雙方接收表示容器W已載置支撐在容器支撐體觀上的檢測(cè)信號(hào)，并且從保管位置傳感器M接收表示容器支撐體觀已位于保管位置的保管位置信號(hào)時(shí)，使電磁閥M為打開狀態(tài)。在未保管容器W的容器保管部4上，如果容器支撐體觀處在保管位置，則從保管位置檢測(cè)器M發(fā)送保管位置信號(hào)，但由于第1就位傳感器25a以及第2就位傳感器2 不發(fā)出檢測(cè)信號(hào)，所以該容器保管部4中的電磁閥M保持關(guān)閉。因此，即使因容器支撐體觀位于保管位置，固定側(cè)部分61 的固定側(cè)氣體流路與移動(dòng)側(cè)部分62的移動(dòng)側(cè)氣體流路連通，氮?dú)庖膊涣魍?，氮?dú)獠粫?huì)從噴嘴帽74放出。雖然省略了針對(duì)繼電器回路55的詳細(xì)說明，但例如也可以構(gòu)成為串聯(lián)連接輸入各傳感器的輸出的三個(gè)繼電器輸出，對(duì)向電磁閥M的電源供給線路進(jìn)行開閉控制。這樣，繼電器回路55基于第1就位傳感器2 和第2就位傳感器25b以及保管位置傳感器M的檢測(cè)信息，在容器支撐體觀位于保管位置，并且容器W由容器支撐體觀支撐的情況下，容許氣體供給機(jī)構(gòu)60進(jìn)行的氮?dú)獾墓┙o，在容器支撐體觀未位于保管位置或者容器W未由容器支撐體觀支撐的情況下，禁止氣體供給機(jī)構(gòu)60進(jìn)行的氮?dú)獾墓┙o。根據(jù)以上這樣的結(jié)構(gòu)，在容器W通過物品運(yùn)送車3運(yùn)送到容器保管部4的情況下， 能夠一邊將容器W保管在該容器保管部4中，一邊相對(duì)于容器W供給氮?dú)?，由?guī)定壓力的氮?dú)獬錆M容器W內(nèi)。而且，基于第1就位傳感器2 和第2就位傳感器25b以及保管位置檢測(cè)傳感器M的檢測(cè)信息，通過繼電器回路55控制電磁閥M的開閉，能夠防止氮?dú)鉄o謂地放出。[其它實(shí)施方式]
以上，基于本發(fā)明的實(shí)施方式具體地說明了本申請(qǐng)的發(fā)明，但本申請(qǐng)的發(fā)明并不僅限于上述實(shí)施方式，能夠在不脫離其宗旨的范圍內(nèi)進(jìn)行各種變更。以下，對(duì)本申請(qǐng)的發(fā)明的其它實(shí)施方式進(jìn)行說明。(1)在上述實(shí)施方式中，作為可動(dòng)噴嘴例示了內(nèi)部流路在貫通容器支撐體的移動(dòng)方向上貫通可動(dòng)噴嘴的內(nèi)部的直線狀的流路構(gòu)成的例子，但作為可動(dòng)噴嘴的內(nèi)部流路，也可以通過各種方式實(shí)施。例如也可以如圖10所示，具備在容器支撐體觀的移動(dòng)方向(圖10 中的X方向)上從可動(dòng)噴嘴63a的突出側(cè)端部連通到后退側(cè)端部之前的直線狀的第1流路部分Ma，和在容器支撐體28的移動(dòng)方向上，在可動(dòng)噴嘴63的后退一側(cè)，在可動(dòng)噴嘴63a的徑向上連通第1流路部分8 與可動(dòng)噴嘴63a的外部的第2流路部分84b，從而構(gòu)成內(nèi)部流路84。在這種情況下，優(yōu)選將第2流路部分84b的支撐體移動(dòng)方向上的位置如圖10 (b) 所示設(shè)定在當(dāng)可動(dòng)噴嘴63a位于突出側(cè)的限度位置時(shí)在支撐體移動(dòng)方向上與線性襯套80 的存在范圍重復(fù)的位置。根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，能夠構(gòu)成封堵開放機(jī)構(gòu)，在容器支撐體觀位于收受位置的情況下(途7所示的的位置)封堵第2流路部分84b，并且在容器支撐體觀位于保管位置(圖6所示的位置)的情況下開放第2流路部分84b。而且，為了提高第2流路部分 84b被封堵后的氣密性，由聚酰胺等彈性材料構(gòu)成的環(huán)狀的0型環(huán)87設(shè)在套環(huán)79的凸緣部上。通過容器支撐體28從保管位置移動(dòng)操作到收受位置，隨著凹入部6 沿著支撐體移動(dòng)方向向離開可動(dòng)噴嘴63a的一側(cè)移動(dòng)，由螺旋彈簧77施力而向突出側(cè)復(fù)位的可動(dòng)噴嘴 63a沿著支撐體移動(dòng)方向向突出側(cè)移動(dòng)。這樣一來，通過設(shè)在可動(dòng)噴嘴63a的后退側(cè)端部的C型的止動(dòng)環(huán)83與設(shè)在套環(huán)79上的0型環(huán)87抵接，可動(dòng)噴嘴63a的突出側(cè)的移動(dòng)受到限制，同時(shí)能夠?qū)⒌?流路部分84b與殼體76的內(nèi)部空間以密封的狀態(tài)隔斷。而且，在設(shè)置0型環(huán)87的情況下，可以將第2流路部分84b的支撐體移動(dòng)方向上的位置設(shè)定在當(dāng)可動(dòng)噴嘴63a位于突出側(cè)的限度位置時(shí)在支撐體移動(dòng)方向上比線性襯套80 的存在范圍靠后退側(cè)的位置。在這種情況下，只要是由環(huán)狀的0型環(huán)構(gòu)成止動(dòng)環(huán)83即可， 在這樣構(gòu)成的情況下，由止動(dòng)環(huán)83以及0型環(huán)87構(gòu)成封堵開放機(jī)構(gòu)。通過這樣設(shè)置封堵開放機(jī)構(gòu)，在為了容器W的移載而容器支撐體觀從保管位置向收受位置移動(dòng)操作的情況下，能夠盡量防止外部空氣從可動(dòng)噴嘴63a的前端部進(jìn)入殼體76 的內(nèi)部。(2)在上述實(shí)施方式中，例示了容器保管部4相對(duì)于行走軌道2設(shè)在左右一側(cè)的例子，但也可以將容器保管部4相對(duì)于行走軌道2設(shè)置在左右兩側(cè)。而且，雖然容器保管部4 以沿著導(dǎo)軌2排列的狀態(tài)設(shè)有多個(gè)，但設(shè)置容器支撐體觀的數(shù)量能夠適當(dāng)變更。在將容器保管部4相對(duì)于行走軌道2設(shè)在左右兩側(cè)的情況下，可以在物品運(yùn)送車 3上設(shè)置用于對(duì)在行走方向上位于一側(cè)的容器支撐體觀進(jìn)行變更操作的操作機(jī)構(gòu)50，和用于對(duì)在物品運(yùn)送車3的行走方向上位于另一側(cè)的容器支撐體觀進(jìn)行變更操作的操作機(jī)構(gòu) 50這兩個(gè)操作機(jī)構(gòu)50。而且，操作機(jī)構(gòu)50相對(duì)于物品運(yùn)送車3的行走方向在右側(cè)以及左側(cè)的兩側(cè)具備進(jìn)退自如的卡合輥，從而能夠在物品運(yùn)送車3上設(shè)置一個(gè)操作機(jī)構(gòu)而實(shí)施。(3)在上述實(shí)施方式中，例示了將容器保管部4設(shè)置在天花板一側(cè)的例子，但并不僅限于此，例如，也可以將容器保管部4設(shè)置在地面一側(cè)。作為運(yùn)送機(jī)構(gòu)，并不僅限于例示的物品運(yùn)送車3，只要是自如地運(yùn)送收容了基板的容器并且在與位于收受位置的容器支撐體之間自如地收受容器的結(jié)構(gòu)即可。(4)在上述實(shí)施方式中，例示了容器保管部具備由作為運(yùn)送機(jī)構(gòu)的移動(dòng)體所具備的操作機(jī)構(gòu)在接近位置與離開位置之間推拉操作的被操作體，和與被操作體聯(lián)動(dòng)的容器支撐體支撐機(jī)構(gòu)，通過被操作部由移動(dòng)體的操作機(jī)構(gòu)推拉操作，容器支撐體在保管位置與收受位置之間移動(dòng)操作的例子，但也可以代之為在容器保管部上設(shè)置驅(qū)動(dòng)容器支撐體移動(dòng)的移動(dòng)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，在移動(dòng)體停止在容器收受部位的狀態(tài)下使移動(dòng)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)動(dòng)作，使容器支撐體在保管位置與收受位置之間移動(dòng)。
權(quán)利要求
1.一種容器保管設(shè)備，具備運(yùn)送用于收容基板的容器的運(yùn)送機(jī)構(gòu)，和保管由上述運(yùn)送機(jī)構(gòu)運(yùn)送的容器的容器保管部，其特征在于，上述容器保管部具備以固定狀態(tài)設(shè)置的固定框體，和在保管上述容器的保管位置以及在與上述運(yùn)送機(jī)構(gòu)之間收受上述容器的收受位置的范圍內(nèi)相對(duì)于上述固定框體移動(dòng)自如地設(shè)置的容器支撐體；設(shè)有氣體供給機(jī)構(gòu)，通過氣體供給管向由位于上述保管位置的上述容器支撐體支撐的上述容器供給惰性氣體；上述氣體供給管具備設(shè)在上述固定框體一側(cè)的固定側(cè)部分，以及與上述容器支撐體一體移動(dòng)自如地設(shè)在上述容器支撐體一側(cè)的移動(dòng)側(cè)部分；設(shè)有連結(jié)體，通過上述容器支撐體從上述收受位置向上述保管位置的移動(dòng)而連結(jié)上述固定側(cè)部分與上述移動(dòng)側(cè)部分，并且通過上述容器支撐體從上述保管位置向上述收受位置的移動(dòng)而解除上述固定側(cè)部分與上述移動(dòng)側(cè)部分的連結(jié)，使上述移動(dòng)側(cè)部分離開上述固定側(cè)部分。
2.如權(quán)利要求1所述的容器保管設(shè)備，其特征在于，還具備 檢測(cè)上述容器支撐體位于上述保管位置的保管位置檢測(cè)機(jī)構(gòu)； 檢測(cè)容器由上述容器支撐體支撐的支撐狀態(tài)檢測(cè)機(jī)構(gòu)；惰性氣體供給控制機(jī)構(gòu)，基于上述保管位置檢測(cè)機(jī)構(gòu)以及上述支撐狀態(tài)檢測(cè)機(jī)構(gòu)的檢測(cè)信息，在上述容器支撐體位于上述保管位置、且容器由上述容器支撐體支撐的情況下，容許上述氣體供給管進(jìn)行的惰性氣體的供給，在上述容器支撐體未位于上述保管位置或者容器未由上述容器支撐體支撐的情況下，禁止上述氣體供給管進(jìn)行的惰性氣體的供給。
3.如權(quán)利要求1或2所述的容器保管設(shè)備，其特征在于，上述連結(jié)體具備可動(dòng)噴嘴，其設(shè)在上述固定側(cè)部分以及上述移動(dòng)側(cè)部分的一側(cè)，在上述保管位置與上述收受位置之間的上述容器支撐體的移動(dòng)方向上進(jìn)退移動(dòng)自如，并且由施力機(jī)構(gòu)施力而向突出側(cè)復(fù)位；和凹入部，其設(shè)在上述固定側(cè)部分以及上述移動(dòng)側(cè)部分的另一側(cè)，上述可動(dòng)噴嘴在其中插拔自如；在上述可動(dòng)噴嘴上具備內(nèi)部流路，在上述可動(dòng)噴嘴插入上述凹入部中的狀態(tài)下連通上述固定側(cè)部分的固定側(cè)氣體流路與上述移動(dòng)側(cè)部分的移動(dòng)側(cè)氣體流路，惰性氣體在該內(nèi)部流路中沿著上述容器支撐體的移動(dòng)方向流通自如；具備密封體，在上述可動(dòng)噴嘴插入上述凹入部的狀態(tài)下將上述凹入部與上述可動(dòng)噴嘴之間密封。
4.如權(quán)利要求3所述的容器保管設(shè)備，其特征在于，上述內(nèi)部流路由在上述容器支撐體的移動(dòng)方向上貫通上述可動(dòng)噴嘴的內(nèi)部的直線狀的流路構(gòu)成。
5.如權(quán)利要求3所述的容器保管設(shè)備，其特征在于，上述內(nèi)部流路具備直線狀的第1流路部分，在上述容器支撐體的移動(dòng)方向上從上述可動(dòng)噴嘴的突出側(cè)端部連通到后退側(cè)端部之前；和第2流路部分，在上述容器支撐體的移動(dòng)方向上，上述可動(dòng)噴嘴的后退側(cè)，在上述可動(dòng)噴嘴的徑向上連通上述第1流路部分與上述可動(dòng)噴嘴的外部；具備封堵開放機(jī)構(gòu)，在上述容器支撐體位于上述收受位置的情況下封堵上述第2流路部分，并且在上述容器支撐體位于上述保管位置的情況下開放上述第2流路部分。
6.如權(quán)利要求1或2所述的容器保管設(shè)備，其特征在于，上述運(yùn)送機(jī)構(gòu)由沿著經(jīng)由相對(duì)于上述容器保管部的容器收受部位的移動(dòng)路徑移動(dòng)自如、且具備保持容器的保持部的物品運(yùn)送用的移動(dòng)車構(gòu)成； 上述保管位置設(shè)定在相對(duì)于上述移動(dòng)路徑離開的位置； 上述收受位置設(shè)定在比上述保管位置更接近上述移動(dòng)路徑的位置； 設(shè)有支撐上述容器支撐體在上述保管位置與上述收受位置之間位置變更自如的容器支撐體支撐機(jī)構(gòu)，和接近停止在上述容器收受部位的上述移動(dòng)車的接近位置與離開停止在上述容器收受部位的上述移動(dòng)車的離開位置之間移動(dòng)自如的被操作體；上述被操作體與上述容器支撐體支撐機(jī)構(gòu)聯(lián)動(dòng)，從而在上述接近位置將上述容器支撐體操作到上述保管位置，并且在上述離開位置將上述容器支撐體操作到上述收受位置；上述移動(dòng)車具備推拉操作式的操作機(jī)構(gòu)，通過從上述移動(dòng)車向突出的一側(cè)的移動(dòng)，將上述被操作體從上述接近位置推動(dòng)操作到上述離開位置，并且通過向上述移動(dòng)車后退的一側(cè)的移動(dòng)，將上述被操作體從上述離開位置拉回操作到上述接近位置。
7.如權(quán)利要求6所述的容器保管設(shè)備，其特征在于， 上述移動(dòng)路徑以及上述固定框體設(shè)在天花板一側(cè)；上述容器支撐體支撐機(jī)構(gòu)由將上述容器支撐體的上端部相對(duì)于上述固定框體滑動(dòng)自如地垂吊支撐的滑動(dòng)導(dǎo)向機(jī)構(gòu)構(gòu)成；上述容器支撐體構(gòu)成為自如地載置支撐容器，并且構(gòu)成為以從其移動(dòng)方向看過去左右方向的中央部由上述滑動(dòng)導(dǎo)向機(jī)構(gòu)垂吊支撐的狀態(tài)移動(dòng)自如；上述固定框體形成為從上述容器支撐體的移動(dòng)方向看過去左右方向的長(zhǎng)度比上述容器支撐體相同方向上的長(zhǎng)度短；上述被操作體配置在從上述容器支撐體的移動(dòng)方向看過去為上述固定框體的左右方向的一側(cè)；上述氣體供給管的上述連結(jié)體配置在從上述容器支撐體的移動(dòng)方向看過去為上述固定框體的左右方向的另一側(cè)；上述氣體供給管的上述移動(dòng)側(cè)部分配置在從上述容器支撐體的移動(dòng)方向看過去為上述容器支撐體的左右方向的另一側(cè)的橫向旁側(cè)。
全文摘要
本發(fā)明提供容器保管設(shè)備，能夠盡量防止在保管位置與收受位置之間移動(dòng)自如的容器保管部中氣體供給管的劣化以及粉塵的發(fā)生，并能夠向容器內(nèi)供給惰性氣體。本發(fā)明的容器保管設(shè)備的容器保管部具備在保管位置以及在與運(yùn)送機(jī)構(gòu)之間收受容器的收受位置的范圍內(nèi)相對(duì)于固定框體移動(dòng)自如地設(shè)置的容器支撐體，相對(duì)由保管位置的容器支撐體支撐的容器供給惰性氣體的氣體供給機(jī)構(gòu)中的氣體供給管具備固定側(cè)部分以及與容器支撐體一體移動(dòng)自如的移動(dòng)側(cè)部分，設(shè)有連結(jié)體，通過容器支撐體從收受位置向保管位置的移動(dòng)而連結(jié)固定側(cè)部分與移動(dòng)側(cè)部分，通過容器支撐體從保管位置向收受位置的移動(dòng)而解除固定側(cè)部分與移動(dòng)側(cè)部分的連結(jié)，使移動(dòng)側(cè)部分離開固定側(cè)部分。
文檔編號(hào)H01L21/00GK102376529SQ20111023976
公開日2012年3月14日 申請(qǐng)日期2011年8月19日 優(yōu)先權(quán)日2010年8月20日
發(fā)明者柴田優(yōu), 飯塚雪夫 申請(qǐng)人:株式會(huì)社大福