專利名稱：激光振蕩器控制裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及通過(guò)與控制器的通信來(lái)控制激光振蕩器的激光振蕩器控制裝置。
背景技術(shù)：
作為這種激光振蕩器控制裝置，目前已知一種裝置，其具備檢測(cè)控制程序的執(zhí)行異常的看門狗定時(shí)器，當(dāng)在控制程序中發(fā)生了異常時(shí)，切斷激光光線照射單元的柵極信號(hào)， 停止激光照射。在日本特開2008-U6252號(hào)公報(bào)(JP2008-U6252A)中記載了該裝置。此外，已知一種通過(guò)與控制器的通信被控制的具有I/O模塊，通過(guò)在I/O模塊中具備的看門狗計(jì)時(shí)器檢測(cè)有無(wú)來(lái)自控制器的周期的信號(hào)，當(dāng)周期的信號(hào)消失時(shí)停止來(lái)自I/O模塊的輸出。在日本特開2002-123301號(hào)公報(bào)中(JP2002-123301A)記載了該裝置。但是，在通過(guò)與控制器的通信來(lái)控制激光振蕩器時(shí)，從激光振蕩器向控制器發(fā)送激光輸出數(shù)據(jù)、激光氣體壓力的數(shù)據(jù)、激勵(lì)用電源輸出數(shù)據(jù)等表示激光振蕩器的動(dòng)作狀態(tài)的狀態(tài)信號(hào)，根據(jù)該狀態(tài)信號(hào)控制器對(duì)該激光振蕩器進(jìn)行反饋控制。因此，在來(lái)自激光振蕩器的信號(hào)的發(fā)送中存在異常時(shí)，控制器無(wú)法恰當(dāng)?shù)乜刂萍す庹袷幤鳌５?，在JP2008-U6252A以及JP2002-123301A中記載的裝置是檢測(cè)從控制器輸出的信號(hào)的異常的裝置，無(wú)法檢測(cè)從激光振蕩器向控制器發(fā)送的信號(hào)的異常。因此，在從激光振蕩器的發(fā)送中存在異常時(shí)，激光振蕩器有可能進(jìn)行不希望的動(dòng)作。

發(fā)明內(nèi)容
根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方式，激光振蕩器控制裝置具備具有發(fā)送部以及接收部的控制器；以及具有發(fā)送部和接收部、并經(jīng)由通信線與控制器進(jìn)行通信的激光振蕩器，根據(jù)從激光振蕩器向控制器發(fā)送的表示激光振蕩器的動(dòng)作狀態(tài)的狀態(tài)信號(hào)，從控制器向激光振蕩器輸出控制信號(hào)，控制器具有交替信號(hào)發(fā)送電路，其生成按照預(yù)定周期進(jìn)行變化的交替信號(hào)， 并將該交替信號(hào)發(fā)送給激光振蕩器，激光振蕩器具有返回信號(hào)發(fā)送電路，其生成對(duì)應(yīng)來(lái)自控制器的交替信號(hào)而周期性變化的返回信號(hào)，將該返回信號(hào)發(fā)送給控制器，并且控制器具有監(jiān)視電路，其監(jiān)視來(lái)自激光振蕩器的返回信號(hào)，當(dāng)判定返回信號(hào)為異常時(shí)，輸出用于停止激光振蕩器進(jìn)行的激光照射的停止控制信號(hào)。


通過(guò)與附圖相關(guān)聯(lián)的以下實(shí)施方式的說(shuō)明，本發(fā)明的目的、特征以及優(yōu)點(diǎn)將會(huì)變得更加明確。在該附圖中，圖1表示本發(fā)明的第一實(shí)施方式的激光振蕩器控制裝置的全體結(jié)構(gòu)。圖2表示圖1的變形例。圖3表示本發(fā)明的第二實(shí)施例的激光振蕩器控制裝置的全體結(jié)構(gòu)。圖4表示圖3的具體例子。
具體實(shí)施例方式(第一實(shí)施方式)以下參照?qǐng)D1、圖2說(shuō)明本發(fā)明的第一實(shí)施方式。圖1表示本發(fā)明的第一實(shí)施方式的激光振蕩器控制裝置的全體結(jié)構(gòu)。該激光振蕩器控制裝置具有控制器1和激光振蕩器 2，兩者經(jīng)由串行通信用通信電纜3可相互通信地連接。如圖1所示，控制器1具有向激光振蕩器2發(fā)送信號(hào)的發(fā)送部11 ；接收來(lái)自激光振蕩器2的信號(hào)的接收部12。同樣地，激光振蕩器2具有向控制器1發(fā)送信號(hào)的發(fā)送部 21、接收來(lái)自控制器1的信號(hào)的接收部22。各發(fā)送部11、21具有把并行信號(hào)變換為串行信號(hào)的變換電路，各接收部12、22具有把串行信號(hào)變換為并行信號(hào)的變換電路?？刂破?包含運(yùn)算處理裝置而構(gòu)成，該運(yùn)算處理裝置具有CPU、R0M、RAM、以及其它周圍電路，具有輸出激光振蕩器2的控制用控制信號(hào)Sl的控制信號(hào)輸出部13、生成交替信號(hào)S2的交替信號(hào)生成部14、監(jiān)視與交替信號(hào)S2對(duì)應(yīng)的來(lái)自激光振蕩器2的返回信號(hào)S3 的信號(hào)監(jiān)視部15。向控制信號(hào)輸出部13輸入通過(guò)接收部12接收到的表示激光振蕩器2的動(dòng)作狀態(tài)的狀態(tài)信號(hào)S4，例如激光輸出數(shù)據(jù)、激光氣體壓力的數(shù)據(jù)、激勵(lì)用電源輸出數(shù)據(jù)等信號(hào)?？刂菩盘?hào)輸出部13根據(jù)該輸入信號(hào)向發(fā)送部11輸出控制信號(hào)Si，對(duì)激光振蕩器2進(jìn)行反饋控制使激光振蕩器2執(zhí)行預(yù)定的動(dòng)作。交替信號(hào)生成部14具有根據(jù)CPU的時(shí)鐘信號(hào)進(jìn)行振蕩的振蕩電路，如圖所示生成按照預(yù)定周期接通關(guān)斷地(脈沖狀)變化的交替信號(hào)S2。把該交替信號(hào)S2輸出給發(fā)送部11。如果控制器1正常地動(dòng)作，則持續(xù)從交替信號(hào)生成部14輸出交替信號(hào)S2，當(dāng)控制器 I(CPU)的動(dòng)作成為異常時(shí)，交替信號(hào)S2的輸出停止。信號(hào)監(jiān)視部15監(jiān)視來(lái)自激光振蕩器2的返回信號(hào)S3。如圖所示，返回信號(hào)S3是對(duì)應(yīng)交替信號(hào)S2而周期性變化(交替)的信號(hào)，在信號(hào)監(jiān)視部15中，監(jiān)視返回信號(hào)S3交替的周期，判定返回信號(hào)S3是否異常。例如，在經(jīng)過(guò)預(yù)定的預(yù)定時(shí)間還沒(méi)有檢測(cè)到返回信號(hào)S3的交替時(shí)，判定為返回信號(hào)S3為異常。當(dāng)判定返回信號(hào)S3為異常時(shí)，信號(hào)處理部15 向交替信號(hào)生成部14輸出停止信號(hào)S5。當(dāng)輸出停止信號(hào)S5時(shí)，交替信號(hào)生成部14停止輸出交替信號(hào)S2。激光振蕩器2具有根據(jù)來(lái)自控制器1的控制信號(hào)Sl控制激光振蕩器本體23的驅(qū)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)電路部對(duì)、監(jiān)視通過(guò)接收部22接收到的交替信號(hào)S2的看門狗定時(shí)器25、生成與交替信號(hào)S2對(duì)應(yīng)的返回信號(hào)S3的返回信號(hào)生成部26。眾所周知，激光振蕩器本體23例如通過(guò)放電管、配置在光電管兩側(cè)的一對(duì)反射鏡構(gòu)成光學(xué)諧振腔，當(dāng)啟動(dòng)放電激勵(lì)用電源向放電管的電極施加高頻電壓時(shí)，產(chǎn)生放電，激勵(lì)放電管內(nèi)的介質(zhì)氣體，從光學(xué)諧振腔輸出激光。在光學(xué)諧振腔的激光輸出部設(shè)置用于光學(xué)地遮擋或通過(guò)激光的光閘。驅(qū)動(dòng)電路部M根據(jù)來(lái)自控制器1的控制信號(hào)Sl向激光振蕩器本體23輸出控制信號(hào)，控制激光振蕩器本體23的放電的接通關(guān)斷、放電電壓的大小、光閘的開閉等，激光振蕩器本體23的動(dòng)作。為了提供給控制器1的反饋控制，把表示激光振蕩器本體23的動(dòng)作狀態(tài)的狀態(tài)信號(hào)S4輸出給發(fā)送部21?？撮T狗計(jì)時(shí)器25在每次輸入交替信號(hào)S2的脈沖時(shí)，使計(jì)時(shí)器復(fù)位。在復(fù)位后，在經(jīng)過(guò)預(yù)定的預(yù)定時(shí)間t0也沒(méi)有輸入交替信號(hào)S2的脈沖時(shí)，看門狗計(jì)時(shí)器25到時(shí)，向驅(qū)動(dòng)電路部M輸出停止信號(hào)S6。根據(jù)該停止信號(hào)S6驅(qū)動(dòng)電路部M停止激光振蕩器本體23的放電，并且關(guān)閉激光輸出部的光閘，停止激光振蕩器2的激光照射。返回信號(hào)生成部沈生成對(duì)應(yīng)交替信號(hào)S2而周期性變化的返回信號(hào)S3。例如，在返回信號(hào)生成部沈中使交替信號(hào)S2的信號(hào)線與返回信號(hào)S3的信號(hào)線短路，把交替信號(hào)s2 直接作為返回信號(hào)S3輸出給發(fā)送部21，并發(fā)送給控制器1。說(shuō)明第一實(shí)施方式的激光振蕩器的主要的動(dòng)作。如果在控制器1的CPU中沒(méi)有異常，并且在從激光振蕩2發(fā)送的信號(hào)中也沒(méi)有異常，則從激光振蕩器2向控制器1發(fā)送與交替信號(hào)S2對(duì)應(yīng)的返回信號(hào)S3。此時(shí)，因?yàn)樾盘?hào)監(jiān)視部15判定返回信號(hào)S3為正常狀態(tài)，所以繼續(xù)向激光振蕩器2發(fā)送由交替信號(hào)生成部14生成的交替信號(hào)S2，并且反復(fù)使看門狗計(jì)時(shí)器25復(fù)位。因此，不從看門狗計(jì)時(shí)器25向驅(qū)動(dòng)電路部M輸出停止信號(hào)S6，而是控制器 1輸出與激光振蕩器本體23的狀態(tài)信號(hào)S4對(duì)應(yīng)的控制信號(hào)Si，恰當(dāng)?shù)貙?duì)激光振蕩器2進(jìn)行反饋控制。對(duì)此，當(dāng)在激光振蕩器2的發(fā)送部21或接收部22的通信狀態(tài)產(chǎn)生了異常時(shí)，不會(huì)通過(guò)返回信號(hào)生成部26生成正常狀態(tài)的返回信號(hào)S3，或者不會(huì)從發(fā)送部21正常狀態(tài)地發(fā)送返回信號(hào)S3。因此，信號(hào)監(jiān)視部15判定返回信號(hào)S3的交替周期為異常，向交替信號(hào)生成部14輸出停止信號(hào)S5。當(dāng)輸出了停止信號(hào)S5時(shí)，來(lái)自交替信號(hào)生成部14的交替信號(hào)S2 的輸出停止，看門狗計(jì)時(shí)器25到時(shí)，向驅(qū)動(dòng)電路部M輸出停止信號(hào)S6。由此，停止激光振蕩器本體23的放電，并且關(guān)閉激光輸出部的光閘，停止激光振蕩器2的動(dòng)作。當(dāng)在激光振蕩器2的通信狀態(tài)中發(fā)生了異常時(shí)，不僅是返回信號(hào)S3，激光振蕩器本體23的狀態(tài)信號(hào)S4也無(wú)法正常地發(fā)送給控制器1，但是此時(shí)，通過(guò)停止激光振蕩器 2的動(dòng)作，可以防止激光振蕩器2的誤動(dòng)作。此外，當(dāng)在控制器1的CPU中發(fā)生了異常時(shí)， 因?yàn)椴惠敵鼋惶嫘盘?hào)S2的脈沖，所以看門狗計(jì)時(shí)器25同樣地到時(shí)，停止激光振蕩器2的動(dòng)作。根據(jù)第一實(shí)施方式，可以得到以下作用效果。(1)通過(guò)設(shè)置在控制器1中的交替信號(hào)生成部14，生成交替信號(hào)S2發(fā)送給激光振蕩器2，通過(guò)設(shè)置在激光振蕩器2中的返回信號(hào)生成部26，生成與來(lái)自控制器1的交替信號(hào)S2對(duì)應(yīng)的返回信號(hào)S3，發(fā)送給控制器1，并且，通過(guò)設(shè)置在控制器1中的信號(hào)監(jiān)視部15， 監(jiān)視來(lái)自激光振蕩器2的返回信號(hào)S3，當(dāng)判定返回信號(hào)S3為異常時(shí)，向交替信號(hào)生成部14 輸出停止信號(hào)S5停止交替信號(hào)S2的輸出。由此在激光振蕩器2的通信狀態(tài)中發(fā)生了異常時(shí)，激光振蕩器2的看門狗計(jì)時(shí)器25到時(shí)，停止激光振蕩器2的動(dòng)作，能夠防止激光振蕩器 2的不希望的動(dòng)作。(2)因?yàn)樵诩す庹袷幤?中設(shè)置了根據(jù)來(lái)自控制器1的交替信號(hào)S2進(jìn)行動(dòng)作的看門狗計(jì)時(shí)器25，所以即使在控制器1異常時(shí)，也能夠停止激光振蕩器2的動(dòng)作。(3)在控制器1異常時(shí)以及激光振蕩器2異常時(shí)，因?yàn)榉謩e使用公用的看門狗計(jì)時(shí)器25來(lái)停止激光振蕩器2的動(dòng)作，所以能夠使部件結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)化。另外，以上設(shè)為通過(guò)控制器1的交替信號(hào)生成部14生成交替信號(hào)S2，但有可能在控制器1的啟動(dòng)初期，動(dòng)作變得不穩(wěn)定，交替信號(hào)S2的交替周期變得不恒定，在激光振蕩器 2中誤檢測(cè)通信異常。因此，如圖2所示，可以在激光振蕩器2中設(shè)置對(duì)交替信號(hào)S2的交替次數(shù)進(jìn)行計(jì)數(shù)的計(jì)數(shù)器27，當(dāng)在控制器1啟動(dòng)后交替次數(shù)達(dá)到預(yù)定次數(shù)時(shí)，從計(jì)數(shù)器27輸出驅(qū)動(dòng)開始信號(hào)S7,使看門狗計(jì)時(shí)器25開始監(jiān)視交替信號(hào)S2。由此，因?yàn)樵谕ㄐ艩顟B(tài)穩(wěn)定后監(jiān)視交替信號(hào)S2，所以能夠防止通信異常的誤檢測(cè)。(第二實(shí)施方式)參照?qǐng)D3、圖4說(shuō)明本發(fā)明的第二實(shí)施方式。在第二實(shí)施方式中，當(dāng)返回信號(hào)S3異常時(shí)，不經(jīng)由發(fā)送該返回信號(hào)S3的通信電纜3，從控制器1向激光振蕩器2輸出停止信號(hào)。 圖3表示本發(fā)明的第二實(shí)施方式的激光振蕩器控制裝置的全體結(jié)構(gòu)。對(duì)于與圖1相同的部位賦予相同的符號(hào)，以下主要說(shuō)明與第一實(shí)施方式的不同點(diǎn)。如圖3所示，在激光振蕩器2中不設(shè)置看門狗計(jì)時(shí)器25 (圖1)，把來(lái)自控制器1的交替信號(hào)S2經(jīng)由返回信號(hào)生成部沈作為返回信號(hào)S3輸出給發(fā)送部21。控制器1的信號(hào)監(jiān)視部15判定來(lái)自激光振蕩器2的返回信號(hào)S3有無(wú)異常，在判定返回信號(hào)S3為異常時(shí)， 向交替信號(hào)生成部14以外輸出停止信號(hào)S5。該停止信號(hào)S5是用于停止激光振蕩器2進(jìn)行的激光照射的控制信號(hào)，從信號(hào)監(jiān)視部15，不經(jīng)由發(fā)送返回信號(hào)S3的通信電纜3地輸出停止信號(hào)S5。此外，可以與第一實(shí)施方式相同，在激光振蕩器2中設(shè)置看門狗計(jì)時(shí)器25。圖4表示包含圖3的停止信號(hào)S5的輸出形式的激光振蕩器控制裝置的全體結(jié)構(gòu)。 另外，在圖4中省略了控制信號(hào)輸出部13、激光振蕩器本體23以及驅(qū)動(dòng)電路部對(duì)的圖示。在圖4中把圖3的控制結(jié)構(gòu)設(shè)置成雙系統(tǒng)來(lái)構(gòu)成全體控制裝置。即，在控制器1中分別設(shè)置一對(duì)發(fā)送部1 la、1 Ib和一對(duì)接收部12a、12b、一對(duì)交替信號(hào)生成部14a、14b以及一對(duì)信號(hào)監(jiān)視部15a、15b，在激光振蕩器2中分別設(shè)置一對(duì)發(fā)送部21a、21b、一對(duì)接收部22a、 22b、一對(duì)返回信號(hào)生成部^aJ6b。經(jīng)由第一通信電纜3a把控制器1的發(fā)送接收部11a、 12a與激光振蕩器2的發(fā)送接收部21a、2h連接，并經(jīng)由第二通信電纜北把控制器1的發(fā)送接收部lib、12b與激光振蕩器2的發(fā)送接收部21b、22b連接。各信號(hào)生成部14a、14b、各信號(hào)監(jiān)視部15a、15b以及各返回信號(hào)生成部^5a、26b相互間分別進(jìn)行相同的處理，分別經(jīng)由第一通信電纜3a以及第二通信電纜北從激光振蕩器2向控制器1發(fā)送返回信號(hào)S3。在一方的信號(hào)監(jiān)視部1 判定經(jīng)由第一通信電纜3a的返回信號(hào)S3為異常時(shí)，信號(hào)監(jiān)視部15a向發(fā)送部lib輸出停止信號(hào)S5，發(fā)送部lib把停止信號(hào)S5經(jīng)由第二通信電纜 3b發(fā)送給激光振蕩器2。當(dāng)接收部22b接收到該停止信號(hào)S5時(shí)，接收部22b向驅(qū)動(dòng)電路部 M輸出停止信號(hào)S6。由此，驅(qū)動(dòng)電路部M停止激光振蕩器2的動(dòng)作。此外，在另一方的信號(hào)監(jiān)視部1 判定經(jīng)由第二通信電纜北的返回信號(hào)S3為異常時(shí)，信號(hào)監(jiān)視部15b向發(fā)送部Ila輸出停止信號(hào)S5，發(fā)送部Ila把停止信號(hào)S5經(jīng)由第一通信電纜3a發(fā)送給激光振蕩器2。當(dāng)接收部2 接收到該停止信號(hào)S5時(shí)，接收部22a向驅(qū)動(dòng)電路部M輸出停止信號(hào) S6。由此，驅(qū)動(dòng)電路部M停止激光振蕩器2的動(dòng)作。如此在第二實(shí)施方式中，通過(guò)一對(duì)通信電纜3a、!3b連接控制器1和激光振蕩器2， 當(dāng)判定來(lái)自一方的通信電纜3a(3b)的返回信號(hào)S3異常時(shí)，經(jīng)由另一方的通信電纜:3b(3a) 向激光振蕩器2發(fā)送停止信號(hào)S5。由此，在一方的通信線中發(fā)生了異常時(shí)，能夠經(jīng)由另一方的通信線確實(shí)地發(fā)送停止信號(hào)S5，能夠確實(shí)地防止激光振蕩器2的誤動(dòng)作。在上述實(shí)施方式(圖1 圖3)中，在控制器1與激光振蕩器2經(jīng)由通信電纜3(通信線)進(jìn)行通信時(shí)，作為交替信號(hào)發(fā)送電路，通過(guò)交替信號(hào)生成部14生成交替信號(hào)S2，然后從發(fā)送部11發(fā)送，作為返回信號(hào)發(fā)送電路，通過(guò)返回信號(hào)生成部沈生成返回信號(hào)S3，然后從發(fā)送部21發(fā)送，作為監(jiān)視電路，通過(guò)信號(hào)監(jiān)視部15判定返回信號(hào)S3有無(wú)異常，在判定為異常時(shí)向交替信號(hào)生成部14輸出停止信號(hào)S5(停止控制信號(hào))。特別是在圖1中，作為看門狗計(jì)時(shí)器電路，在交替信號(hào)S2異常時(shí)從看門狗計(jì)時(shí)器25輸出停止信號(hào)S6(照射停止信號(hào))，在圖2中，作為計(jì)數(shù)電路，通過(guò)計(jì)數(shù)器27對(duì)交替次數(shù)進(jìn)行計(jì)數(shù)，在交替次數(shù)達(dá)到預(yù)定次數(shù)后開始交替信號(hào)S2的監(jiān)視。此外，在上述實(shí)施方式(圖4)中，分別把交替信號(hào)發(fā)送電路以及返回信號(hào)發(fā)送電路設(shè)置成雙系統(tǒng)，并且作為停止控制信號(hào)發(fā)送電路，在通過(guò)信號(hào)監(jiān)視部15a、15b判定來(lái)自第一通信電纜3a (第一通信線)的返回信號(hào)S3為異常時(shí)，經(jīng)由第二通信電纜北(第二通信線)向激光振蕩器2輸出停止信號(hào)S5 (停止控制信號(hào))，作為停止信號(hào)輸出電路，從接收到停止信號(hào)S5的接收部22b向驅(qū)動(dòng)電路部M輸出停止信號(hào)S6 (照射停止信號(hào))。這些結(jié)構(gòu)是一個(gè)例子，如果在激光振蕩器2中生成與來(lái)自控制器1的交替信號(hào)S2 對(duì)應(yīng)的返回信號(hào)S3，并且通過(guò)控制器1判斷來(lái)自激光振蕩器的返回信號(hào)S3有無(wú)異常，在判定異常時(shí)輸出停止信號(hào)S5，則激光振蕩器控制裝置的結(jié)構(gòu)可以為任意的結(jié)構(gòu)。根據(jù)本發(fā)明，控制器監(jiān)視來(lái)自激光振蕩器的返回信號(hào)，當(dāng)判定返回信號(hào)為異常時(shí)， 輸出停止控制信號(hào)，因此能夠防止在從激光振蕩器的發(fā)送中存在異常時(shí)的激光振蕩器的不希望的誤動(dòng)作。以上說(shuō)明了本發(fā)明的優(yōu)選的實(shí)施方式，但本領(lǐng)域的人員可以理解在不超出權(quán)利要求記載的范圍情況下可以進(jìn)行各種修正以及變更。
權(quán)利要求
1.一種激光振蕩器控制裝置，其具備具有發(fā)送部(ll、lla、llb)以及接收部(12、12a、 12b)的控制器(1)；以及具有發(fā)送部(21、21a、21b)和接收部(22、2h、22b)、并經(jīng)由通信線 (3、3a、3b)與所述控制器進(jìn)行通信的激光振蕩器O)，根據(jù)從所述激光振蕩器向所述控制器發(fā)送的表示所述激光振蕩器的動(dòng)作狀態(tài)的狀態(tài)信號(hào)(S4)，從所述控制器向所述激光振蕩器輸出控制信號(hào)(Si)，所述激光振蕩器控制裝置的特征在于，所述控制器具有交替信號(hào)發(fā)送電路(ll、lla、llb、14、Ha、14b)，其生成按照預(yù)定周期進(jìn)行變化的交替信號(hào)(S》，并將該交替信號(hào)發(fā)送給所述激光振蕩器，所述激光振蕩器具有返回信號(hào)發(fā)送電路0146)，其生成對(duì)應(yīng)來(lái)自所述控制器的所述交替信號(hào)而周期性變化的返回信號(hào)(S3)，將該返回信號(hào)發(fā)送給所述控制器，并且所述控制器具有監(jiān)視電路(15、1如、1恥)，其監(jiān)視來(lái)自所述激光振蕩器的返回信號(hào)，當(dāng)判定所述返回信號(hào)為異常時(shí)，輸出用于停止所述激光振蕩器進(jìn)行激光照射的停止控制信號(hào)(S5)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光振蕩器控制裝置，其特征在于，所述激光振蕩器具有看門狗計(jì)時(shí)器電路(25)，其監(jiān)視所述交替信號(hào)，在該交替信號(hào)異常時(shí)，輸出使所述激光振蕩器進(jìn)行的激光照射停止的照射停止信號(hào)(S6)，所述監(jiān)視電路在判定所述返回信號(hào)為異常時(shí)，停止從所述控制器發(fā)送所述交替信號(hào)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的激光振蕩器控制裝置，其特征在于，所述激光振蕩器具有計(jì)數(shù)器電路(27)，其對(duì)從所述控制器發(fā)送的所述交替信號(hào)的交替次數(shù)進(jìn)行計(jì)數(shù)，在該交替次數(shù)達(dá)到預(yù)定次數(shù)時(shí)，使所述看門狗計(jì)時(shí)器開始監(jiān)視所述交替信號(hào)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光振蕩器控制裝置，其特征在于，所述控制器具有停止控制信號(hào)發(fā)送電路(lla、llb)，其把來(lái)自所述監(jiān)視電路(15a、 15b)的所述停止控制信號(hào)發(fā)送給所述激光振蕩器，所述激光振蕩器具有停止信號(hào)輸出電路Oh、22b)，其在接收到所述停止控制信號(hào)時(shí)， 輸出使所述激光振蕩器進(jìn)行的激光照射停止的照射停止信號(hào)(S6)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的激光振蕩器控制裝置，其特征在于，所述通信線具有第一通信線(3a)和第二通信線(3b)，所述交替信號(hào)發(fā)送電路以及所述返回信號(hào)發(fā)送電路分別經(jīng)由所述第一通信線發(fā)送所述交替信號(hào)以及所述返回信號(hào)，所述停止控制信號(hào)發(fā)送電路經(jīng)由所述第二通信線，把來(lái)自所述監(jiān)視電路的所述停止控制信號(hào)發(fā)送給所述激光振蕩器。
全文摘要
一種激光振蕩器控制裝置具備具有發(fā)送部以及接收部的控制器；以及具有發(fā)送部和接收部，并經(jīng)由通信線與所述控制器進(jìn)行通信的激光振蕩器，根據(jù)從激光振蕩器向控制器發(fā)送的表示激光振蕩器的動(dòng)作狀態(tài)的狀態(tài)信號(hào)，從控制器向激光振蕩器輸出控制信號(hào)?？刂破骶哂薪惶嫘盘?hào)發(fā)送電路，其生成按照預(yù)定周期進(jìn)行變化的交替信號(hào)，并將該交替信號(hào)發(fā)送給激光振蕩器，激光振蕩器具有返回信號(hào)發(fā)送電路，其生成對(duì)應(yīng)來(lái)自控制器的交替信號(hào)而周期性變化的返回信號(hào)，將該返回信號(hào)發(fā)送給控制器，并且控制器具有監(jiān)視電路，其監(jiān)視來(lái)自激光振蕩器的返回信號(hào)，當(dāng)判定返回信號(hào)為異常時(shí)，輸出用于停止激光振蕩器進(jìn)行的激光照射的停止控制信號(hào)。
文檔編號(hào)H01S3/13GK102377102SQ20111025189
公開日2012年3月14日 申請(qǐng)日期2011年8月16日 優(yōu)先權(quán)日2010年8月23日
發(fā)明者小林英二, 渡邊武 申請(qǐng)人:發(fā)那科株式會(huì)社