專利名稱：紫外有機電致發(fā)光器件的多功能透明電極結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種有機電致發(fā)光器件的透明電極結(jié)構(gòu)及制備方法，其具有高功函數(shù)、高穩(wěn)定性、高反射率等特點，尤其適用于紫外有機電致發(fā)光器件的透明電極。
背景技術(shù)：
OLED由于具有高亮度、響應(yīng)快、低功耗、效率高及制作簡單等特性，可用于照明領(lǐng)域，其發(fā)光原理為在兩個電極之間沉積非常簿的有機材料，對該有機發(fā)光材料通以直流電使其發(fā)光。紫外有機電致發(fā)光器件(uv Organic light emitting devices,簡稱UV OLED)指的是有機電致發(fā)光器件的發(fā)光峰值位于200nm到400nm之間，其發(fā)光原理與普通OLED器件類似，即在外加電壓下，電子和空穴對的注入、復(fù)合發(fā)光。通常OLED器件的發(fā)光都在可見光區(qū)，ITO常用于OLED器件的透明電極。In203 Sn203 (ITO)其透光率和阻值分別由In203與Sn203之比例來控制，通常Sn203 In203 = I 9，透過率最高和導(dǎo)電性能最好，而且容易在酸液中蝕刻出細(xì)微的圖形，其中可見光區(qū)的透光率達(dá)90%以上。但對于UV OLED器件來講，ITO作為常用的透明電極，一方面，其功函數(shù)較低，限制了空穴的有效注入；另一方面，對其發(fā)光峰值位于200nm到400nm之間的紫外光有強的吸收。這些都將導(dǎo)致UV OLED器件發(fā)光效率較低，制約了 UV OLED器件的實際應(yīng)用。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于解決已有技術(shù)存在的關(guān)鍵技術(shù)問題，提供一種紫外有機電致發(fā)光器件的多功能透明電極結(jié)構(gòu)及制備方法。該透明電極結(jié)構(gòu)簡單，鍍膜溫度低且成本低廉，與普通ITO透明電極相比，其功函數(shù)高，穩(wěn)定性好，在紫外區(qū)域200nm到400nm之間的光透過率高等特點，能有效提高UV OLED器件的發(fā)光效率。為達(dá)到上述目的，本發(fā)明的構(gòu)思是選擇紫外光透過、可見光吸收的基板之上直接制備多層結(jié)構(gòu)的透明電極。根據(jù)上述發(fā)明構(gòu)思，本發(fā)明采用下述技術(shù)方案—種紫外有機電致發(fā)光器件的透明電極，包括基板及其上依次疊置的透明電極薄膜、電致發(fā)光材料層、金屬層，其特征在于所述透明電極層直接制備在基板之上。上述透明電極層所用材料中，包括提高紫外光透過率無機材料、透明導(dǎo)電氧化無機材料兩種。上述透明電極層結(jié)構(gòu)為提高紫外光透過率無機材料薄膜與透明導(dǎo)電氧化物無機材料薄膜的雙層結(jié)構(gòu)。上述提高紫外光透過率無機材料，包括高折射率如二氧化鉿Η 2、二氧化鋯Zr02 ;低折射率如如氧化鎂MgO、氧化鋁A1203、二氧化硅Si02、氟化鎂MgF2、氟化鋰LiF等無機材料。其制備工藝采用真空濺射蒸鍍或熱蒸發(fā)的方式。上述提高紫外光透過率無機材料制 備薄膜結(jié)構(gòu)為周期性結(jié)構(gòu)，如{高折射率無機材料薄膜/低折射率無機材料薄膜}n所示。其中單層薄膜厚度在IOnm到500nm之間，周期性數(shù)量η在I到5之間。上述透明導(dǎo)電氧化物薄膜無機材料，指具有透明導(dǎo)電功能的氧化物、氮化物、氟化物，包括氧化銦錫ΙΤ0、氧化銦Ιη203、氧化錫Sn02、氧化鋅ZnO、氧化鎘CdO、摻紹氧化鋅ΑΖ0、摻銦氧化鋅ΙΖ0、摻鎵氧化鋅GZ0、摻銦鎵氧化鋅IGZ0、摻鉭氧化鈦Ti02:Ta、氮化鈦TiN、摻氟氧化錫Sn02:F等導(dǎo)電氧化物。上述透明導(dǎo)電氧化物薄膜結(jié)構(gòu)為雙層結(jié)構(gòu)，如{低電阻率無機材料薄膜/高功函數(shù)無機材料薄膜}所示。上述透明導(dǎo)電氧化物薄膜中的高功函數(shù)無機材料薄膜，即可以為上述具有透明導(dǎo)電功能的氧化物、氮化物、氟化物單層薄膜，可以有上述兩種或多種材料混合而成。上述提高紫外光透過率薄膜具有高的光學(xué)透過率，也可以應(yīng)用于基板背面，提高UV OLED器件的紫外光提取效率。 同現(xiàn)有技術(shù)相比較，本發(fā)明具有如下的顯而易見的突出實質(zhì)性特點和顯著優(yōu)點
(I)制備了提高紫外光透過率的周期性薄膜，大幅度地提高了紫外光透過率；(2)制備了雙層透明導(dǎo)電氧化物薄膜，一方面保證了低的電阻率，另一方面了提高了透明電極的功函數(shù)。因此，該透明電極具有高的透光率和低的電阻率，且增加了功函數(shù)，既不會影響UV OLED器件的光學(xué)性能也不會影響其電學(xué)性質(zhì)。


圖1是本發(fā)明一個實施例的包含透明電極在內(nèi)的UV OLED器件結(jié)構(gòu)和示意圖。圖2是本發(fā)明一個實施例的多功能透明電極薄膜結(jié)構(gòu)和示意圖。
具體實施例方式本發(fā)明的優(yōu)選實施例結(jié)合

如下實施例一如圖1所示，UV OLED器件的結(jié)構(gòu)，包括基板1、透明電極薄膜2、有機電致發(fā)光材料層3、金屬層4、封裝層5組成。所述透明電極薄膜2制作在基板I之上，有機電致發(fā)光材料層3制作在透明電極薄膜2之上，金屬層4通過熱蒸發(fā)沉積在有機層3上，最后制作封裝層5。通過接通透明電極薄膜2和負(fù)電極金屬電極層4對有機材料層3通以直流電驅(qū)動發(fā)光。本透明電極薄膜層2的制備方法如下選擇紫外光透過、可見光吸收的基板之上直接制備多層結(jié)構(gòu)的透明電極，1、制備提高紫外光透過率無機材料周期性薄膜與于基板之上。依次濺射高折射率無機材料21如二氧化鉿Η 2，低折射率無機材料22如氟化鎂MgF2制備周期性數(shù)量為3的周期性薄膜。本實施例中的兩種無機材料的濺射工藝為速率O. Ι-lOnm/s，厚度IOOnm ;該層主要起到提高紫外光透過率的作用。2、制備透明導(dǎo)電薄膜于提高紫外光透過率無機材料周期性薄膜之上。依次濺射低電阻率透明薄膜23如摻鋁氧化鋅ΑΖ0，高功函數(shù)透明薄膜24如摻氟氧化錫Sn02:F制作雙層結(jié)構(gòu)的透明導(dǎo)電氧化物薄膜。本實施例中的兩種無機材料的濺射工藝為速率O. Ι-lOnm/s，厚度IOOnm ;該層主要起到導(dǎo)電及空穴注入的作用。
權(quán)利要求
1.一種紫外有機電致發(fā)光器件的多功能透明電極結(jié)構(gòu)，包括透明電極薄膜(2)制作在基板(I)之上，有機電致發(fā)光材料層(3)制作在透明電極薄膜(2)之上，金屬層(4)通過熱蒸發(fā)沉積在有機層(3)上，最后制作封裝層(5)，其特征在于，所述透明電極層直接制備在基板⑴之上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的紫外有機電致發(fā)光器件的多功能透明電極結(jié)構(gòu)，其特征在于，紫外有機電致發(fā)光器件的多功能透明電極層為包括提高紫外光透過率無機材料薄膜與透明導(dǎo)電氧化物無機材料薄膜的雙層結(jié)構(gòu)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的紫外有機電致發(fā)光器件的多功能透明電極結(jié)構(gòu)，其特征在于，提高紫外光透過率無機材料薄膜結(jié)構(gòu)為高折射率無機材料薄膜/低折射率無機材料薄膜組成的周期性結(jié)構(gòu)。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的紫外有機電致發(fā)光器件的多功能透明電極結(jié)構(gòu)，其特征在于，提高紫外光透過率無機材料薄膜所使用的材料為包括高折射率如二氧化鉿Hf02、二氧化鋯Zr02 ;低折射率如如氧化鎂MgO、氧化鋁A1203、二氧化硅Si02、氟化鎂MgF2、氟化鋰LiF無機材料。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的紫外有機電致發(fā)光器件的多功能透明電極結(jié)構(gòu)，其特征在于，透明導(dǎo)電氧化物無機材料薄膜結(jié)構(gòu)為低電阻率無機材料薄膜/高功函數(shù)無機材料薄膜組成的雙層結(jié)構(gòu)。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的紫外有機電致發(fā)光器件的多功能透明電極結(jié)構(gòu)，其特征在于，透明導(dǎo)電氧化物無機材料薄膜所使用的材料指具有透明導(dǎo)電功能的氧化物、氮化物、氟化物，包括氧化銦錫IT0、氧化銦In203、氧化錫Sn02、氧化鋅ZnO、氧化鎘CdO、摻紹氧化鋅AZ0、摻銦氧化鋅IZ0、摻鎵氧化鋅GZ0、摻銦鎵氧化鋅IGZ0、摻鉭氧化鈦Ti02:Ta、氮化鈦TiN、摻氟氧化錫Sn02:F等導(dǎo)電氧化物。
7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的紫外有機電致發(fā)光器件的多功能透明電極結(jié)構(gòu)，其特征在于，高功函數(shù)無機材料薄膜，即可以為上述根據(jù)權(quán)利要求6中要求的有透明導(dǎo)電功能的氧化物、氮化物、氟化物單層薄膜，也可以有兩種或多種材料混合而成。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的紫外有機電致發(fā)光器件的多功能透明電極結(jié)構(gòu)，其特征在于，紫外有機電致發(fā)光器件的多功能透明電極，具有高的光學(xué)透過率、低電阻率和高功函數(shù)等特征。
9.根據(jù)根據(jù)權(quán)利要求2所述的紫外有機電致發(fā)光器件的多功能透明電極結(jié)構(gòu)，其特征在于，提高紫外光透過率無機材料薄膜，也可以應(yīng)用于基板背面，提高UV OLED器件的紫外光提取效率。
全文摘要
一種紫外有機電致發(fā)光器件的多功能透明電極結(jié)構(gòu)，包括透明電極薄膜制作在基板上，有機電致發(fā)光材料層制作在透明電極薄膜上，金屬層通過熱蒸發(fā)沉積在有機層上，最后制作封裝層，透明電極層直接制備在基板上；紫外有機電致發(fā)光器件的多功能透明電極層為包括提高紫外光透過率無機材料薄膜與透明導(dǎo)電氧化物無機材料薄膜的雙層結(jié)構(gòu)。本發(fā)明具有高功函數(shù)、高穩(wěn)定性、高反射率等特點，尤其適用于紫外有機電致發(fā)光器件的透明電極，具有高的透光率和低的電阻率，增加了功函數(shù)，不會影響紫外有機電致發(fā)光器件的光學(xué)性能也不會影響其電學(xué)性質(zhì)，提高紫外光透過率無機材料薄膜除可應(yīng)用在基板透明電極一側(cè)外，可以應(yīng)用于基板的背面，提高紫外光提取效率。
文檔編號H01L51/56GK103000815SQ20111027587
公開日2013年3月27日 申請日期2011年9月16日 優(yōu)先權(quán)日2011年9月16日
發(fā)明者路林, 張民艷 申請人:江蘇廣發(fā)光電科技有限公司