專利名稱：用于半導(dǎo)體擴(kuò)散爐的石英鉤的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于半導(dǎo)體工藝中的石英鉤，具體地說(shuō)是一種用于半導(dǎo)體擴(kuò)散爐的石英鉤。
背景技術(shù)：
目前，石英鉤被廣泛使用于半導(dǎo)體工藝中。在半導(dǎo)體工藝中，通常使用石英鉤進(jìn)出半導(dǎo)體擴(kuò)散爐以取放加工件，現(xiàn)有技術(shù)中采用的石英鉤采用實(shí)心的石英材料，另外由于工業(yè)應(yīng)用中的半導(dǎo)體擴(kuò)散爐在高溫下進(jìn)行生產(chǎn)操作，因此石英鉤在進(jìn)出半導(dǎo)體擴(kuò)散爐取放加工件時(shí)處于高溫?zé)醾鲗?dǎo)的環(huán)境下，導(dǎo)致操作人員不易操作而且石英鉤鉤體容易碎裂，同時(shí)由于石英鉤的成本較高增加了生產(chǎn)成本。發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的缺陷，提供一種生產(chǎn)成本低、使用壽命長(zhǎng)的用于半導(dǎo)體擴(kuò)散爐的石英鉤。
本發(fā)明的目的是通過(guò)以下技術(shù)方案解決的一種用于半導(dǎo)體擴(kuò)散爐的石英鉤，包括鉤尖和用于連接鉤尖的連接棒，所述的連接棒包括實(shí)心棒和與其相連的空心棒，實(shí)心棒的一端與鉤尖相連，實(shí)心棒的另一端與空心棒相連。
所述的鉤尖、實(shí)心棒和空心棒采用石英制成。
所述實(shí)心棒和空心棒的長(zhǎng)度之比為1:4-8。
所述實(shí)心棒的長(zhǎng)度為20_30cm。
所述的實(shí)心棒和空心棒之間采用螺旋連接。
所述的實(shí)心棒的一端嵌入空心棒的一端內(nèi)。
所述的實(shí)心棒和空心棒之間采用焊接。
本發(fā)明相比現(xiàn)有技術(shù)有如下優(yōu)點(diǎn)本發(fā)明的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，連接棒的大部分采用空心的石英棒制成，降低了生產(chǎn)成本；同時(shí)由于后端采用空心棒制成，延緩了熱傳導(dǎo)的速度，有效降低了高溫下的操作難度，并且不易破碎。
本發(fā)明的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理、形狀精致，具有較大的經(jīng)濟(jì)利益，適宜推廣使用。


附圖1是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。
其中1一鉤尖；2—連接棒；3—實(shí)心棒；4一空心棒。
具體實(shí)施方式
下面結(jié)合附圖與具體實(shí)施例，進(jìn)一步闡明本發(fā)明，應(yīng)理解這些實(shí)施例僅用于說(shuō)明本發(fā)明而不用于限制本發(fā)明的范圍，在閱讀了本發(fā)明之后，本領(lǐng)域技術(shù)人員對(duì)本發(fā)明的各種等價(jià)形式的修改均落于本申請(qǐng)所附權(quán)利要求所限定的范圍。
如圖1所示一種用于半導(dǎo)體擴(kuò)散爐的石英鉤，包括石英制成的鉤尖I和用于連接鉤尖I的連接棒2。該連接棒2由實(shí)心棒3和與其相連的空心棒4組成，實(shí)心棒3和空心棒 4亦采用石英制成；其中實(shí)心棒3的一端與鉤尖4相連,實(shí)心棒3的另一端與空心棒4的一端相連，實(shí)心棒3和空心棒4之間采用螺旋連接或者焊接而成，另外也可將實(shí)心棒3的一端嵌入空心棒4的一端內(nèi)使實(shí)心棒3和空心棒4之間采用嵌入相連。在綜合考慮石英鉤的成本和延緩熱傳導(dǎo)速度的前提下，優(yōu)選將實(shí)心棒3的長(zhǎng)度設(shè)計(jì)為20-30cm，同時(shí)將實(shí)心棒3和空心棒4的長(zhǎng)度之比優(yōu)選為1:4-8。
本發(fā)明的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，連接棒的大部分采用空心的石英棒制成，降低了生產(chǎn)成本；同時(shí)由于后端采用空心棒制成，延緩了熱傳導(dǎo)的速度，有效降低了高溫下的操作難度，并且不易破碎；另外該石英鉤的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理、形狀精致，具有較大的經(jīng)濟(jì)利益， 適宜推廣使用。
本發(fā)明未涉及的技術(shù)均可通過(guò)現(xiàn)有技術(shù)加以實(shí)現(xiàn)。
權(quán)利要求
1.一種用于半導(dǎo)體擴(kuò)散爐的石英鉤，包括鉤尖(I)和用于連接鉤尖(I)的連接棒(2)，其特征在于所述的連接棒(2)包括實(shí)心棒(3)和與其相連的空心棒(4)，實(shí)心棒(3)的一端與鉤尖(I)相連，實(shí)心棒(3)的另一端與空心棒(4)相連。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于半導(dǎo)體擴(kuò)散爐的石英鉤，其特征在于所述的鉤尖(I)、實(shí)心棒(3)和空心棒(4)采用石英制成。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于半導(dǎo)體擴(kuò)散爐的石英鉤，其特征在于所述實(shí)心棒(3)和空心棒(4)的長(zhǎng)度之比為1:4-8。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或3所述的用于半導(dǎo)體擴(kuò)散爐的石英鉤，其特征在于所述實(shí)心棒(3)的長(zhǎng)度為20-30cm。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于半導(dǎo)體擴(kuò)散爐的石英鉤，其特征在于所述的實(shí)心棒(3)和空心棒(4)之間采用螺旋連接。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于半導(dǎo)體擴(kuò)散爐的石英鉤，其特征在于所述的實(shí)心棒(3)的一端嵌入空心棒(4)的一端內(nèi)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于半導(dǎo)體擴(kuò)散爐的石英鉤，其特征在于所述的實(shí)心棒(3)和空心棒(4)之間采用焊接。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種用于半導(dǎo)體擴(kuò)散爐的石英鉤，包括鉤尖(1)和用于連接鉤尖(1)的連接棒(2)，所述的連接棒(2)包括實(shí)心棒(3)和與其相連的空心棒(4)，實(shí)心棒(3)的一端與鉤尖(1)相連，實(shí)心棒(3)的另一端與空心棒(4)相連；所述的鉤尖(1)、實(shí)心棒(3)和空心棒(4)采用石英制成。本發(fā)明的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，連接棒的大部分采用空心的石英棒制成，降低了生產(chǎn)成本；同時(shí)由于后端采用空心棒制成，延緩了熱傳導(dǎo)的速度，有效降低了高溫下的操作難度，并且不易破碎；另外該石英鉤的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理、形狀精致，具有較大的經(jīng)濟(jì)利益，適宜推廣使用。
文檔編號(hào)H01L21/67GK103021901SQ20111027980
公開(kāi)日2013年4月3日 申請(qǐng)日期2011年9月20日 優(yōu)先權(quán)日2011年9月20日
發(fā)明者潘建英, 伍林, 周富利 申請(qǐng)人:宜興市環(huán)洲微電子有限公司