專利名稱：在基板上形成導(dǎo)電性圖案的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及ー種在基板上形成導(dǎo)電性圖案的方法，特別是涉及ー種于硅片上形成導(dǎo)線的方法及利用此方法而制得的太陽能電池。
背景技術(shù)：
導(dǎo)線在各式電子用品中為極重要的元件，導(dǎo)線的電阻值決定了導(dǎo)線的效能。而于太陽能電池技術(shù)中，提升光電轉(zhuǎn)換效率最快方式之ー為增加電池正面的受光面積，通常采取的方式為將電池正面的導(dǎo)線(電極)寬度設(shè)計(jì)得愈細(xì)(窄)，以減少導(dǎo)線對(duì)電池正面占據(jù)過多的受光面積時(shí)，所衍生的轉(zhuǎn)換效率不佳等問題。然而，縮小導(dǎo)線寬度即代表導(dǎo)線截面積減少，如此會(huì)使得電池于傳導(dǎo)時(shí)的阻值升高，將會(huì)影響到轉(zhuǎn)換效率。因此，為克服此問題，通常采取的作法為制作出具有較佳高寬比的導(dǎo)線，亦即使導(dǎo)線在寬度變窄時(shí)，其高度也同步増加，以使其截面積維持一定，如此，其可維持在低阻值的狀態(tài)，進(jìn)一歩地，可使得電池正面的受光面積增加，從而提升電池的轉(zhuǎn)換效率。。目前現(xiàn)有于基板上形成導(dǎo)線的方法通常采網(wǎng)印方式，其將包含導(dǎo)電性材料的漿料，施于具有對(duì)應(yīng)導(dǎo)線圖案網(wǎng)孔的網(wǎng)版上，并通過刮刀(squeegee)將該漿料通過網(wǎng)孔而施加于基板上，接著除去網(wǎng)版，將漿料經(jīng)烘干或視需要進(jìn)ー步燒結(jié)，而制得位于基板上的導(dǎo)線。然而此現(xiàn)有的方法受限于網(wǎng)版的制作精密度，一般而言僅能形成大于50 μπι的網(wǎng)孔，不易縮小導(dǎo)線的寬度，再者，通過網(wǎng)版印刷的漿料因具有流動(dòng)性，當(dāng)印刷后網(wǎng)版彈回吋，漿料通常會(huì)發(fā)生坍塌，不但無法得到預(yù)期的高度，反而會(huì)因向兩側(cè)流動(dòng)而導(dǎo)致導(dǎo)線產(chǎn)生過度擴(kuò)線的問題，最后制得的導(dǎo)線寬度往往大于70 μ m，因此無法制得高寬比較佳的導(dǎo)線。業(yè)界為解決上述的問題，已發(fā)展出利用多次印刷的方式，而制得高寬比較佳的導(dǎo)線，其在前述網(wǎng)印的烘干過程后，將網(wǎng)版再度定位于基板上，而重復(fù)進(jìn)行印刷、烘干的程序以堆高導(dǎo)線，然而此方法過程繁復(fù)，涉及定位程序，不易達(dá)到高精細(xì)度，故仍無法滿足現(xiàn)今對(duì)于導(dǎo)線的要求。因此，本領(lǐng)域中極需開發(fā)于基板上形成高精細(xì)度低電阻值的導(dǎo)電性圖案的方法，以克服現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明利用塑料薄膜掩模的設(shè)計(jì)，而將導(dǎo)電性圖案形成于基板上，其包含將具有至少ー開ロ的塑料薄膜掩模固定于基板上，并使導(dǎo)電性材料通過該開ロ而施予該基板上，并進(jìn)一歩于該開ロ所界定的空間固化該導(dǎo)電性材料而形成導(dǎo)電性圖案。根據(jù)本發(fā)明的方法可令導(dǎo)電性圖案具有較佳的高度與寬度比，從而可降低電阻值，并當(dāng)應(yīng)用于太陽能電池吋，減少基板上受到導(dǎo)電性圖案遮蔽的遮光面積。因此，本發(fā)明關(guān)于ー種在基板上形成導(dǎo)電性圖案的方法，其包含(a)、提供一基板及提供ー塑料薄膜掩模，其中該塑料薄膜掩模包含至少ー開ロ，其形狀對(duì)應(yīng)欲形成的導(dǎo)電性圖案，其中該塑料薄膜掩模的材料包含熱塑型塑料，該熱塑型塑料于下述(b)、(c)、(d)及(e)步驟中不產(chǎn)生形變；(b)、固定該塑料薄膜掩模于該基板上，使該塑料薄膜掩模上的該開ロ與該基板欲形成導(dǎo)電性圖案的位置相對(duì)應(yīng)；(c)、施予導(dǎo)電性材料于該塑料薄膜掩模上，該導(dǎo)電性材料通過該塑料薄膜掩模的該開ロ ；(d)、固化該導(dǎo)電性材料，使其于該塑料薄膜掩模的該開ロ所界定的空間內(nèi)形成該導(dǎo)電性圖案；及(e)、分尚該塑料薄膜掩模與該基板。本發(fā)明也提供ー種于硅片上形成導(dǎo)線的方法，其包含(a)、提供一硅片及提供ー塑料薄膜掩模，其中該塑料薄膜掩模包含至少ー開ロ，其形狀對(duì)應(yīng)欲形成的導(dǎo)線圖案，其中該塑料薄膜掩模的材料包含熱塑型塑料，該熱塑型塑料于下述(b)、(c)、(d)及(e)步驟中不產(chǎn)生形變；(b)、固定該塑料薄膜掩模于該硅片上，使該塑料薄膜掩模上的該開ロ與該硅片欲形成導(dǎo)線圖案的位置相對(duì)應(yīng)；(C)、施予導(dǎo)線材料于該塑料薄膜掩模上，該導(dǎo)線材料通過該塑料薄膜掩模的該開Π ；(d)、固化該導(dǎo)線材料，使其于該塑料薄膜掩模的該開ロ所界定的空間內(nèi)形成該導(dǎo)線圖案；及(e)、分離該塑料薄膜掩模與該硅片。本發(fā)明又提供ー種太陽能電池，其包含硅片 '及導(dǎo)線圖案；其中該導(dǎo)線圖案具有ー側(cè)面及ー頂面，該頂面具有ー寬度，該側(cè)面具有一高度，該覽度小于約3倍的該聞度，且該覽度小于約60 u m及該聞度大于約20 u m。


圖I至圖4顯示根據(jù)本發(fā)明于基板上形成導(dǎo)電性圖案的方法的一實(shí)施例的剖面示意圖；圖5至圖8顯示根據(jù)本發(fā)明于基板上形成導(dǎo)電性圖案的方法的另ー實(shí)施例的剖面示意圖；及圖9至圖12顯示根據(jù)本發(fā)明于基板上形成導(dǎo)電性圖案的方法的再一實(shí)施例的剖面示意圖。主要元件符號(hào)說明I具有導(dǎo)電性圖案的基板2具有導(dǎo)電性圖案的基板3具有導(dǎo)電性圖案的基板11 基板12塑料薄膜掩模
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13導(dǎo)電性材料21 基板22塑料薄膜掩模23導(dǎo)電性材料31 基板32塑料薄膜掩模33導(dǎo)電性材料121 開ロ211選擇性射極區(qū)221 開ロ312抗反射層321 開ロ
具體實(shí)施例方式參看圖I至圖12，本發(fā)明關(guān)于ー種于基板上形成導(dǎo)電性圖案的方法，其包含(a)、如圖I、圖5及圖9所示，提供一基板11、21、31及提供ー塑料薄膜掩模12、
22、32，其中該塑料薄膜掩模12、22、32包含至少ー開ロ 121、221、321，其形狀對(duì)應(yīng)欲形成的導(dǎo)電性圖案，其中該塑料薄膜掩模的材料包含熱塑型塑料，該熱塑型塑料于下述(b)、(C)、(d)及(e)步驟中不產(chǎn)生形變；(b)、如圖2、圖6及圖10所示，固定該塑料薄膜掩模12、22、32于該基板11、21、31上，使該塑料薄膜掩模上的該開ロ 121、221、321與該基板欲形成導(dǎo)電性圖案的位置相對(duì)應(yīng)；(C)、如圖3、圖7及圖11所示，施予導(dǎo)電性材料13、23、33于該塑料薄膜掩模12、22,32上，該導(dǎo)電性材料13、23、33通過該塑料薄膜掩模的該開ロ 121、221、321 ；(d)、固化該導(dǎo)電性材料13、23、33，使其于該塑料薄膜掩模的該開ロ 121、221、321所界定的空間內(nèi)形成該導(dǎo)電性圖案13、23、33 '及(e)、如圖4、圖8及圖12所示，分離該塑料薄膜掩模12、22、32與該基板11、21、31。根據(jù)本發(fā)明的基板適用于欲于其上形成導(dǎo)電性圖案的各式電子用品基板，在本發(fā)明的較佳具體實(shí)施例中，該基板選自由硅片、藍(lán)寶石基板、玻璃基板、神化鎵基板、碳化硅基板、聚亞酰胺基板、陶瓷基板及聚こ烯對(duì)苯ニ甲酸酯基板所組成之群；更佳地，該基板為硅片，例如供作太陽能電池的基板，以容導(dǎo)線形成于其上。在本發(fā)明的ー較佳具體實(shí)施例中，該基板包含ー粗糙表面，當(dāng)供作太陽能電池的基板時(shí)，可降低入射光線的反射。參看圖5至圖8，在本發(fā)明的ー較佳具體實(shí)施例中，該基板21為ー硅片，該基板21包含一選擇性射極區(qū)211，其形成于基板中對(duì)應(yīng)欲形成的導(dǎo)電性圖案的位置，該選擇性射極區(qū)211的磷摻雜濃度高于非對(duì)應(yīng)欲形成的導(dǎo)電性圖案的位置，以達(dá)到電子傳遞低阻抗的效果，當(dāng)應(yīng)用于太陽能電池時(shí)，可提高太陽能電池效能。參看圖9至圖12，在本發(fā)明的ー較佳具體實(shí)施例中，該基板包含ー抗反射層312。例如當(dāng)該基板充作太陽能電池的基板時(shí)，該基板上預(yù)先處理而包含ー抗反射層，再容導(dǎo)線形成于其上，以增進(jìn)太陽能電池的效能，其預(yù)先處理方法及抗反射層的材料為本發(fā)明所屬技術(shù)領(lǐng)域中具通常知識(shí)者所熟知，例如將氮化硅或氧化硅等絕緣材料施于基板上以作為抗反射層。更佳地，該基板同時(shí)包含粗糙表面及抗反射層，且該粗糙表面位于該抗反射層下方。根據(jù)本發(fā)明的塑料薄膜掩模其材料及性質(zhì)不限，惟其包含熱塑型塑料，且該熱塑型塑料于根據(jù)本發(fā)明的方法的(b)、(c)、(d)及(e)步驟中不產(chǎn)生形變者，較佳地，該塑料薄膜掩模具有抗酸堿的特性。在本發(fā)明的ー較佳具體實(shí)施例中，該塑料薄膜掩模的材料包含至少ー選自由下列材料所組成之群的材料聚亞酰胺、聚碳酸酷、聚こ烯對(duì)苯ニ甲酸酷、聚こ烯、尼龍及鐵氟龍所組成之群。該多個(gè)材料易于加工，且于根據(jù)本發(fā)明的方法的(b)、(C)、
(d)及(e)步驟中不產(chǎn)生形變。根據(jù)本發(fā)明的熱塑型塑料在根據(jù)本發(fā)明的方法的(b)、(C)、(d)及(e)步驟中不產(chǎn)生形變，較佳地，該塑料薄膜掩模的熱變形溫度(heat deflection temperature)是自約50°C至約350°C ;更佳地是自約100°C至約200°C。本文中所言的「熱變形溫度」是指該塑料薄膜掩?？捎诖藴囟葏^(qū)間內(nèi)不產(chǎn)生變形的耐熱溫度。根據(jù)本發(fā)明的塑料薄膜掩模開ロ 121、221、321，其形狀對(duì)應(yīng)欲形成的導(dǎo)電性圖案
13、23、33，以容導(dǎo)電性材料于該開口中形成導(dǎo)電性圖案13、23、33。在本發(fā)明的ー較佳具體實(shí)施例中，該塑料薄膜掩模的該開ロ具有一側(cè)面及一底面，該底面具有ー寬度，該側(cè)面具有一聞度，該覽度小于約3倍的該聞度，且該覽度小于約60 μ m及該聞度大于約20 U m。此尺寸可制得明顯優(yōu)于現(xiàn)有技術(shù)導(dǎo)線電阻值的導(dǎo)線，且遮光面積小而精密度高。根據(jù)本發(fā)明的方法，其中在該塑料薄膜掩模形成開ロ的方法可為本發(fā)明所屬技術(shù)領(lǐng)域中具通常知識(shí)者依所需可實(shí)施者，在本發(fā)明的ー較佳具體實(shí)施例中，該形成開ロ的方法是選自由壓印、沖孔、水刀切割及激光切割所組成之群。較佳地，該壓印為微米壓印或納米壓印。在本發(fā)明的ー較佳具體實(shí)施例中，該塑料薄膜掩模成卷帶式連續(xù)性提供，搭配滾輪的設(shè)置，可將塑料薄膜掩模的固定、在其上的加工及除去連續(xù)動(dòng)作完成，較佳地，也可重復(fù)利用該塑料薄膜掩模。另ー方面，該塑料薄膜掩模也可預(yù)先進(jìn)行裁切成片狀后而分段個(gè)別提供，并搭配個(gè)別基板進(jìn)行加工。根據(jù)本發(fā)明的塑料薄膜掩模厚度與欲形成的導(dǎo)電性圖案高度相關(guān)，厚度越大的塑料薄膜掩?？尚纬筛叨仍礁叩膶?dǎo)電性圖案，本發(fā)明所屬技術(shù)領(lǐng)域中具通常知識(shí)者可依所需的導(dǎo)電性圖案高度而決定塑料薄膜掩模的厚度，在本發(fā)明的ー較佳具體實(shí)施例中，該塑料薄膜掩模的厚度為自約Iym至約1000 μ m。根據(jù)本發(fā)明的步驟(b)中固定該塑料薄膜掩模于該基板上的方法為本發(fā)明所屬技術(shù)領(lǐng)域中具通常知識(shí)者可選擇者，該固定方法為實(shí)質(zhì)上固定該塑料薄膜掩模于該基板上，以使后續(xù)導(dǎo)電性材料的施予及固化步驟時(shí)不于該基板上移動(dòng)，但在固化步驟后可輕易除去且不傷及該基板及所施予形成的導(dǎo)電性圖案者。較佳地，該固定方法選自由粘著劑粘著、凡得瓦カ吸附、摩擦力接觸及靜電吸附所組成之群。在本發(fā)明的較佳具體實(shí)施例中，該粘著劑為3M 便利貼的成份，如壓克カ系粘著劑(小于O. 5wt%)等材質(zhì)的粘著剤。較佳地，該步驟(b)的固定步驟前另包含一定位步驟，以使該塑料薄膜掩模的開ロ與基板上欲形成導(dǎo)電性圖案的位置相對(duì)應(yīng)，本發(fā)明所屬技術(shù)領(lǐng)域中具通常知識(shí)者可選擇合宜的定位方式。參看圖6至圖8，在本發(fā)明的ー較佳具體實(shí)施例中，該基板21包含該選擇性射極區(qū)211，該塑料薄膜掩模的開ロ 221與該選擇性射極區(qū)211的位置相對(duì)應(yīng)，以使該導(dǎo)電性圖案23可與該選擇性射極區(qū)211對(duì)應(yīng)。根據(jù)本發(fā)明的方法，其中步驟(C)施予導(dǎo)電性材料于該塑料薄膜掩模上，該導(dǎo)電性材料通過該塑料薄膜掩模的該開ロ，而形成于該基板上，本發(fā)明所屬技術(shù)領(lǐng)域中具通常知識(shí)者可使用導(dǎo)電性材料的施用方法，較佳地，步驟(C)中施予導(dǎo)電性材料于該塑料薄膜掩模上的方法是選自由網(wǎng)印、噴墨、噴涂、濺鍍、電鍍、物理氣相沉積、化學(xué)氣相沉積、液相沉積及溶膠凝膠法所組成之群，更佳地為網(wǎng)印。根據(jù)本發(fā)明的步驟(C)，該導(dǎo)電性材料通過該塑料薄膜掩模的該開ロ可于施予同時(shí)即與基板接觸，也可于后續(xù)制作エ藝中再與基板接觸，較佳地，該導(dǎo)電性材料是于施予同時(shí)即與基板接觸。根據(jù)本發(fā)明的導(dǎo)電性材料其具體成分及組成比例為本發(fā)明所屬技術(shù)領(lǐng)域中具通常知識(shí)者可決定者，例如使用包含銀、鋁、銅及金屬氧化物等的導(dǎo)電性材料，搭配不同的施用方法而決定其組份，較佳地，該導(dǎo)電性材料為漿料狀態(tài)，并搭配網(wǎng)印施予。當(dāng)然，上述的導(dǎo)電性材料也可依不同需求，而采用不同于上述材質(zhì)的材料并為特定比例的調(diào)整，以供使用。根據(jù)本發(fā)明的方法，其中步驟(d)固化該導(dǎo)電性材料，使其于該塑料薄膜掩模的該開ロ所界定的空間內(nèi)形成該導(dǎo)電性圖案。該固化方法根據(jù)所選用的導(dǎo)電性材料及施用方法的不同，而為本發(fā)明所屬技術(shù)領(lǐng)域中具通常知識(shí)者可選擇者。在本發(fā)明的ー較佳具體實(shí)施例中，該固化由加熱烘干方式進(jìn)行，例如于約100°C至約200°C的溫度下烘干該導(dǎo)電性材料。根據(jù)本發(fā)明的方法，其導(dǎo)電性材料的固化步驟于塑料薄膜掩模的開ロ所界定的空間內(nèi)進(jìn)行，其中并通過該塑料薄膜掩模的開口內(nèi)的側(cè)面，有效地支撐該導(dǎo)電性材料而形塑出一剖面呈矩形的導(dǎo)電性圖案。故其可避免現(xiàn)有技術(shù)中因網(wǎng)版除去而導(dǎo)致導(dǎo)電性漿料的坍塌攤平現(xiàn)象，而可完全控制導(dǎo)電性圖案的寬度與高度，因而可制得高精密度的導(dǎo)電性圖案，大幅改善現(xiàn)有技術(shù)中電阻值不佳及當(dāng)應(yīng)用于太陽能電池時(shí)遮光面積過大的缺點(diǎn)。根據(jù)本發(fā)明的方法，其中步驟(e)于導(dǎo)電性材料固化后，分離該塑料薄膜掩模與該基板。該分離方法為不損傷基板與所形成的導(dǎo)電性圖案者，本發(fā)明所屬技術(shù)領(lǐng)域中具通常知識(shí)者可依步驟(b)所使用的固定方法，而選擇不同的分離手段。在本發(fā)明的ー較佳具體實(shí)施例中，當(dāng)采用粘著劑粘著作為該塑料薄膜掩模與該基板間的固定方式吋，該分離方法是通過降低粘著劑的粘著力的方法，視所應(yīng)用的粘著劑不同，可采用稀釋粘著剤、去除粘著劑中的部分成分、使用加熱使粘著劑變性或物理性去除的方式，在本發(fā)明的一具體較佳實(shí)施例中，該分離方法是利用烘干進(jìn)行，以使粘著劑的粘性降低，由此即可便利地將該塑料薄膜掩模自該基板上快速移除。更佳地，該烘干與導(dǎo)電性材料的固化同步進(jìn)行。在本發(fā)明的另ー較佳具體實(shí)施例中，當(dāng)采用靜電方式作為該塑料薄膜掩模與該基板間的固定方式吋，該分離方法是通過相對(duì)應(yīng)的靜電解除工具與技術(shù)，解除其靜電吸附的狀態(tài)，從而自該基板上分離該塑料薄膜掩模。在本發(fā)明的ー較佳具體實(shí)施例中，該形成導(dǎo)電性圖案的方法進(jìn)ー步包含一燒結(jié)步驟，利用大約如800°C以上的高溫使導(dǎo)電性材料中的物質(zhì)如銀等材質(zhì)燒結(jié)，以使導(dǎo)電性材料
7中的導(dǎo)電材料成分與基板上的一射極層(emitter layer)產(chǎn)生電性連結(jié),從而制得該導(dǎo)電性圖案。在本發(fā)明的ー較佳具體實(shí)施例中，當(dāng)該基板包含抗反射層時(shí)，該燒結(jié)是使導(dǎo)電性材料中的物質(zhì)燒穿該抗反射層，以使導(dǎo)電性材料中的導(dǎo)電材料成分與基板上產(chǎn)生電性連結(jié)。本發(fā)明所屬技術(shù)領(lǐng)域中具通常知識(shí)者可依不同的導(dǎo)電性材料，選擇不同的燒結(jié)條件。
根據(jù)本發(fā)明的方法采用單一施用導(dǎo)電性材料及単一固化的步驟，且可由調(diào)整塑料薄膜掩模的厚度而達(dá)到所需的導(dǎo)電性圖案高度，且導(dǎo)電性圖案的寬度通過設(shè)計(jì)也可比現(xiàn)有通過網(wǎng)印所形成的寬度更小，避免一般光掩模昂貴而復(fù)雜的制作エ藝，可大幅降低生產(chǎn)成本且大幅提供效能。本發(fā)明也提供ー種在硅片上形成導(dǎo)線的方法，其包含(a)、提供一硅片及提供ー塑料薄膜掩模，其中該塑料薄膜掩模包含至少ー開ロ，其形狀對(duì)應(yīng)欲形成的導(dǎo)線圖案，其中該塑料薄膜掩模的材料包含熱塑型塑料，該熱塑型塑料在下述(b)、(c)、(d)及(e)步驟中不產(chǎn)生形變；(b)、固定該塑料薄膜掩模在該硅片上，使該塑料薄膜掩模上的該開ロ與該硅片欲形成導(dǎo)線圖案的位置相對(duì)應(yīng)；(c)、施予導(dǎo)線材料在該塑料薄膜掩模上，該導(dǎo)線材料通過該塑料薄膜掩模的該開Π ；(d)、固化該導(dǎo)線材料，使其在該塑料薄膜掩模的該開ロ所界定的空間內(nèi)形成該導(dǎo)線圖案；及(e)、分離該塑料薄膜掩模與該硅片。參看圖4、圖8、圖12，本發(fā)明又提供ー種太陽能電池，其包含ー硅片；及一導(dǎo)線圖案；其中該導(dǎo)線圖案具有ー側(cè)面及ー頂面，該頂面具有ー寬度W，該側(cè)面具有一高度h，該覽度w小于約3倍的該聞度h，且該覽度w小于約60 μ m及該聞度h大于約20 U m。根據(jù)本發(fā)明的太陽能電池，其優(yōu)秀的導(dǎo)線高寬比為現(xiàn)有技術(shù)所無法達(dá)到者，通過根據(jù)本發(fā)明的方法所制作的太陽能電池的導(dǎo)線具有較佳的高寬比及尺寸，而可大幅降低導(dǎo)線的電阻值及遮光面積，其中導(dǎo)線寬度的減少，有效地減少了電池正面的遮光面積，并且在寬度減少時(shí)進(jìn)一步增加導(dǎo)線的高度可有效地降低電阻值，從而令所述的太陽能電池具有較佳的光電轉(zhuǎn)換效率。上述實(shí)施例僅為說明本發(fā)明的原理及其功效，而非限制本發(fā)明。熟悉于此技術(shù)的人士對(duì)上述實(shí)施例所做的修改及變化仍不違背本發(fā)明的精神。本發(fā)明的權(quán)利范圍應(yīng)如后述的權(quán)利要求所列。
權(quán)利要求
1.ー種在娃片上形成導(dǎo)線的方法，其包含 (a)、提供一硅片及提供ー塑料薄膜掩模，其中該塑料薄膜掩模包含至少ー開ロ，其形狀對(duì)應(yīng)欲形成的導(dǎo)線圖案，其中該塑料薄膜掩模的材料包含熱塑型塑料，該熱塑型塑料于下述(b)、(c)、(d)及(e)步驟中不產(chǎn)生形變； (b)、固定該塑料薄膜掩模于該硅片上，使該塑料薄膜掩模上的該開ロ與該硅片欲形成導(dǎo)線圖案的位置相對(duì)應(yīng)； (c)、施予導(dǎo)線材料于該塑料薄膜掩模上，該導(dǎo)線材料通過該塑料薄膜掩模的該開ロ； (d)、固化該導(dǎo)線材料，使其于該塑料薄膜掩模的該開ロ所界定的空間內(nèi)形成該導(dǎo)線圖案；及 (e)、分離該塑料薄膜掩模與該硅片。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的方法，其中該基板包含ー選擇性射極區(qū)。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的方法，其中該塑料薄膜掩模的材料包含至少ー選自由下列材料所組成之群的材料聚亞酰胺、聚碳酸酷、聚こ烯對(duì)苯ニ甲酸酷、聚こ烯、尼龍及鐵氟龍所組成之群。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的方法，其中該塑料薄膜掩模的熱變形溫度是自約50°C至約350 0C ο
5.根據(jù)權(quán)利要求I所述的方法，其中該塑料薄膜掩模的該開ロ具有側(cè)面及底面，該底面具有寬度，該側(cè)面具有高度，該寬度小于約3倍的該高度,且該寬度小于約60 μ m及該高度大于約20 μ m。
6.根據(jù)權(quán)利要求I所述的方法，其中該塑料薄膜掩模是成卷帶式連續(xù)性提供或以片狀提供。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的方法，其中該塑料薄膜掩模厚度為自約Iμπι至約ΙΟΟΟμπι。
8.根據(jù)權(quán)利要求I所述的方法，其中步驟(b)中固定該塑料薄膜掩模于該硅片上的方法是選自由粘著劑粘著、凡得瓦カ吸附、摩擦力接觸及靜電吸附所組成之群。
9.根據(jù)權(quán)利要求I所述的方法，其中步驟(c)中施予導(dǎo)線材料于該塑料薄膜掩模上的方法是選自由網(wǎng)印、噴墨、噴涂、濺鍍、電鍍、物理氣相沉積、化學(xué)氣相沉積、液相沉積及溶膠凝膠法所組成之群。
10.ー種太陽能電池，其包含 娃片；及 導(dǎo)線圖案； 其中該導(dǎo)線圖案具有側(cè)面及頂面，該頂面具有ー寬度，該側(cè)面具有一高度，該寬度小于約3倍的該高度，且該寬度小于約60 μ m及該高度大于約20 μ m。
全文摘要
本發(fā)明公開一種在基板上形成導(dǎo)電性圖案的方法，其包含將具有至少一開口的塑料薄膜掩模固定于基板上，并使導(dǎo)電性材料通過該開口而施予該基板上，并進(jìn)一步于該開口所界定的空間固化該導(dǎo)電性材料而形成導(dǎo)電性圖案。根據(jù)本發(fā)明的方法可使導(dǎo)電性圖案的寬度小于約3倍的高度，而降低電阻值。當(dāng)應(yīng)用于太陽能電池時(shí)，在導(dǎo)電性圖案寬度縮小下增加基板的受光面積，進(jìn)而可提升整體效率。本發(fā)明也提供一種于硅片上形成導(dǎo)線的方法及一種太陽能電池。
文檔編號(hào)H01L31/02GK102916073SQ20111031099
公開日2013年2月6日 申請(qǐng)日期2011年10月14日 優(yōu)先權(quán)日2011年8月3日
發(fā)明者陳亮斌 申請(qǐng)人:茂迪股份有限公司