專利名稱：沿垂直平面延伸的緊湊立式電感器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體領(lǐng)域，更具體地，涉及一種緊湊立式電感器。
背景技術(shù)：
電感器是很多集成電路(例如射頻(RF)電路)中的基本器件。通常，需要電感器具有高電感值。不過，由于需要以較高的芯片面積使用率為代價(jià)才能得到高電感，這種要求很難在集成電路中實(shí)現(xiàn)。為了改進(jìn)電感器的電感，開發(fā)了三維電感器，其中在多個(gè)金屬層中形成電感器，以形成螺旋形，并且使不同金屬層中的電感器的部分互連。不過，對這種電感器的進(jìn)一步改進(jìn)仍然有局限性，例如，由于金屬層和相應(yīng)半導(dǎo)體襯底之間越來越小的間距，形成虛擬圖案的要求，以及半導(dǎo)體襯底中不期望的Eddy電流。

發(fā)明內(nèi)容
為了解決現(xiàn)有技術(shù)中所存在的缺陷，根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，提供了一種器件，包括襯底；以及立式電感器，所述立式電感器在所述襯底上，并且包括金屬形成的多個(gè)部件，其中每個(gè)所述部件沿垂直于所述襯底的主表面的多個(gè)平面之一延伸；以及金屬線，所述金屬線使所述多個(gè)部件中相鄰部件互連。在該器件中，所述多個(gè)平面相互平行，或者所述多個(gè)部件中每個(gè)包括第一金屬層中的第一金屬線；第二金屬線，所述第二金屬線在第一金屬層上的第二金屬層中，并且垂直地層疊所述第一金屬線；以及兩個(gè)金屬柱，所述金屬柱使所述第一金屬線和所述第二金屬線互連，并且與所述第一金屬線和所述第二金屬線形成準(zhǔn)環(huán)結(jié)構(gòu)，其中所述準(zhǔn)環(huán)結(jié)構(gòu)包括其中的間斷。在該器件中，所述多個(gè)部件中每個(gè)包括螺旋金屬部件，其中所述螺旋金屬部件的外部環(huán)繞所述螺旋金屬部件的內(nèi)部，其中所述多個(gè)部件包括第一部件，所述第一部件包括第一螺旋金屬部件；以及第二部件，所述第二部件與所述第一部件相鄰，并且包括第二螺旋金屬部件，其中所述第一部件和所述第二部件設(shè)置成使從所述第一螺旋金屬部件的外部流至內(nèi)部的電流和從所述第二螺旋金屬部件內(nèi)部流至外部的電流相同。在該器件中，所述多個(gè)部件中每個(gè)包括矩形結(jié)構(gòu)，所述矩形結(jié)構(gòu)包括具有在所述矩形結(jié)構(gòu)中的間斷的金屬環(huán)，并且其中所述多個(gè)部件中每個(gè)不包括在所述矩形結(jié)構(gòu)內(nèi)部的并且與所述矩形結(jié)構(gòu)電連接的部分，其中所述電感器進(jìn)一步包括附加立式電感器，所述附加立式電感器在所述襯底上，并且包括金屬形成的多個(gè)附加部件，其中每個(gè)所述附加部件沿垂直于所述襯底的主表面的多個(gè)附加平面之一延伸；以及附加金屬線，所述附加金屬線使所述多個(gè)附加部件中相鄰部件互連，其中所述立式電感器和所述附加立式電感器互連以形成單獨(dú)的電感器。根據(jù)本發(fā)明的另一方面，提供了一種器件，包括襯底；在所述襯底上的多個(gè)金屬層；以及立式電感器，所述立式電感器包括金屬形成的多個(gè)部件；所述多個(gè)部件的每個(gè)中的螺旋金屬部件，其中所述螺旋金屬部件包括所述多個(gè)金屬層中的多個(gè)金屬線以及使所述多個(gè)金屬線互連的多個(gè)通孔，并且其中所述螺旋金屬部件沿垂直于所述襯底的主表面的垂直平面延伸；以及金屬線，所述金屬線使所述多個(gè)部件互連。在該器件中，所述多個(gè)部件的所述螺旋金屬部件的軸沿平行于所述襯底的主表面的方向延伸。在該器件中，所述多個(gè)部件包括第一部件，所述第一部件包括第一螺旋金屬部件；以及第二部件，所述第二部件與所述第一部件相鄰，并且包括第二螺旋金屬部件，其中所述第一部件和所述第二部件設(shè)置成使從所述第一螺旋金屬部件的外部流至內(nèi)部的電流與從所述第二螺旋金屬部件的內(nèi)部流至外部的電流相同，或者所述多個(gè)部件包括第一部件、第二部件以及在所述第一部件相對側(cè)上的第三部件，并且其中所述器件進(jìn)一步包括第一金屬線，所述第一金屬線連接所述第一部件和所述第二部件；以及第二金屬線，所述第二金屬線連接所述第二部件和所述第三部件，其中所述第一金屬線和所述第二金屬線的縱向方向平行于所述襯底的主表面，或者其中，所述多個(gè)部件的垂直平面相互平行。根據(jù)本發(fā)明的又一方面，提供了一種器件，包括襯底；以及第一立式電感器，所述第一立式電感器在所述襯底上，并且包括金屬形成的第一線圈，其中所述第一線圈的第一軸沿平行于所述襯底的主表面的第一方向延伸。在該器件中，所述第一線圈包括多個(gè)矩形金屬結(jié)構(gòu)，所述多個(gè)矩形金屬結(jié)構(gòu)沿不同的垂直平面延伸，其中每個(gè)所述矩形金屬結(jié)構(gòu)包括第一金屬線，所述第一金屬線在第一金屬層中并且形成矩形的第一側(cè)邊；第二金屬線，所述第二金屬線在所述第一金屬層上的第二金屬層中，并且形成所述矩形的第二側(cè)邊；以及兩個(gè)金屬柱，所述金屬柱形成所述矩形的第三側(cè)邊和第四側(cè)邊，所述器件進(jìn)一步包括多個(gè)金屬線，其中所述多個(gè)矩形金屬結(jié)構(gòu)中相鄰矩形金屬結(jié)構(gòu)的每一對都通過所述多個(gè)金屬線之一互連，所述多個(gè)矩形金屬結(jié)構(gòu)中相鄰矩形金屬結(jié)構(gòu)的每一對都只通過所述多個(gè)金屬線之一互連。該器件進(jìn)一步包括第二立式電感器，所述第二立式電感器在所述襯底上，并且包括金屬形成的第二線圈，其中所述第二線圈的第二軸沿平行于所述襯底的主表面的第二方向延伸；以及金屬線，所述金屬線使所述第一立式電感器和所述第二立式電感器互連，以形成單個(gè)電感器，其中所述金屬線形成所述單個(gè)電感器的中心接頭。


為更完整的理解實(shí)施例及其優(yōu)點(diǎn)，現(xiàn)在結(jié)合附圖對以下描述做出說明，其中圖I示出了根據(jù)實(shí)施例的立式螺旋電感器的立體圖；圖2至圖3D是圖I中立式螺旋電感器的截面圖；圖4示出了根據(jù)一個(gè)可選實(shí)施例的立式電感器的立體圖；圖5A至圖是圖4中立式電感器的截面圖；以及圖6示出了由兩個(gè)鏡像部分形成的立式電感器的立體圖，其中每個(gè)部分具有圖4至圖中示出的結(jié)構(gòu)。
具體實(shí)施例方式下面，詳細(xì)討論本發(fā)明各實(shí)施例的制造和使用。然而，應(yīng)該理解，本發(fā)明提供了許、多可以在各種具體環(huán)境中實(shí)現(xiàn)的可應(yīng)用的概念。所討論的具體實(shí)施例僅僅示出了制造和使用本發(fā)明的具體方式，而不用于限制本發(fā)明的范圍。根據(jù)實(shí)施例，提供了立式電感器。隨后討論了該實(shí)施例的變型例。在所有附圖和描繪的實(shí)施例中，相同的參考標(biāo)號(hào)用于表不同樣的兀件。圖I示出了根據(jù)實(shí)施例的電感器20的立體圖。電感器20包括兩個(gè)端口 22和24。電流(未示出)從端口 22流入，并因此流至端口 24，并且反之亦然。電感器20形成在襯底26上，該襯底可以是半導(dǎo)體襯底，例如硅襯底、電介質(zhì)襯底等。在所示的示例性實(shí)施例中，電感器20包括部件Pl至P4，這些部件通過金屬線互連。在可選實(shí)施例中，電感器20可以包括更多或更少的部件。圖2示出了圖I中示出結(jié)構(gòu)的截面圖,其中通過圖I中的截面線2-2截取得到該截面圖。電感器20包括在多個(gè)金屬層中形成的部分，在所示的示例性實(shí)施例中，該多個(gè)金屬層被示出為Ml (相應(yīng)管芯/晶片中的底部金屬層)至Mtop (相應(yīng)管芯/晶片中的頂部金 屬層)。不過，應(yīng)該注意的是，電感器20可以包括或不包括底部金屬層Ml和/或頂部金屬層Mtop中的部分。如圖2中所示，電感器部件Pl至P4被介電區(qū)34相互間隔開，其中每個(gè)介電區(qū)34均包括在多個(gè)介電層中的部分，在該多個(gè)介電層中形成金屬層Ml至Mtop。部件Pl與部件P2通過金屬線36連接。部件P2與部件P3通過金屬線38連接。部件P3與部件P4通過金屬線40連接。在實(shí)施例中，金屬線36、38、以及40可以在不同的金屬層中，但是它們也可以形成在相同的金屬層中。由于金屬線36、38、以及40可以在與所示平面不同的平面中，因此用虛線描繪它們。金屬線36、38以及40的縱向方向與襯底26的主表面26A平行。圖3A至圖3D是圖I中示出結(jié)構(gòu)的截面圖，其中分別通過圖I中的線3A-3A、3B-3B、3C-3C、以及3D-3D所截取的垂直面得到這些截面圖。參見圖3A，假定電流11從端口 22流至端口 24，那么從端口 22開始，金屬線/焊盤100和通孔102形成了從外側(cè)向內(nèi)側(cè)旋轉(zhuǎn)(參見箭頭106)的螺旋金屬部件，直到到達(dá)金屬線36。如圖3A至圖3B所示，通過金屬線36 (再參見圖2)，電感器20的部件Pl與部件P2連接。類似地，從金屬線36開始，金屬線100和通孔102形成了從內(nèi)側(cè)向外側(cè)(參見箭頭108)旋轉(zhuǎn)的螺旋金屬部件，直至到達(dá)金屬線38。如圖3B和圖3C中所示，通過金屬線38 (再參見圖2)，電感器20的部件P2與部件P3連接。在實(shí)施例中，金屬線38可以用作中心接頭(center tab),其中可以使中心接頭38電連接。參見圖3C，從金屬線38開始，金屬線100和孔102形成了從外側(cè)向內(nèi)側(cè)(參見箭頭110，假定電流Il流入)旋轉(zhuǎn)的螺旋金屬部件，直到到達(dá)金屬線40。如圖3D所示，通過金屬線40 (再參見圖2)，電感器20的部件P3與部件P4連接。此外，在圖3D中，從金屬線40開始，金屬線100和通孔102形成從內(nèi)側(cè)向外側(cè)(參見箭頭112)旋轉(zhuǎn)的螺旋金屬部件，直至到達(dá)端口 24。在圖3A至3D中，螺旋金屬部件由金屬線/焊盤100和通孔102形成。每個(gè)螺旋金屬部件可包括具有矩形形狀的外金屬部件，其中電感器20頂層中的金屬線100和電感器20底層中的金屬線100形成矩形的兩個(gè)側(cè)邊，以及金屬線/焊盤100和通孔102進(jìn)一步形成柱體104 (例如，圖3A)，該柱體形成矩形的另外兩個(gè)側(cè)邊。矩形具有間斷，以便不會(huì)形成環(huán)形。而且，為了形成螺旋形狀，在內(nèi)部形成附加金屬線100和通孔102，并且與矩形連接。
假定電流11 (圖3A和圖3D)從端口 22流入，并且流至端口 24，電流11在電感器部件Pl至P4中沿逆時(shí)針方向106/108/110/112流動(dòng)。反之，如果電流Il從端口 24流至端口 22，那么電流Il在部件Pl至P4中沿逆時(shí)針方向流動(dòng)。部件Pl至P4中的每個(gè)都沿垂直于襯底26主表面26A的垂直平面延伸,其中在圖2中將這些垂直平面示出為平面Planel至Plane4。相應(yīng)地，電感器20被稱為立式螺旋電感器。而且，假定軸44(再參見圖I至圖3D)是螺旋金屬部件的軸，那么軸44沿平行于襯底26主表面26A的方向延伸。圖4至圖示出了根據(jù)可選實(shí)施例的電感器20。除非明確表示相反，這些實(shí)施例中的參考標(biāo)號(hào)表示與圖I至圖3D所示的實(shí)施例中相同的元件。除了在每個(gè)電感器部件Pl至P4中，金屬連接件形成單個(gè)準(zhǔn)環(huán)(near-ring)結(jié)構(gòu),而不是形成螺旋金屬部件之外,該實(shí)施例與圖I至圖3D中的實(shí)施例類似，除了準(zhǔn)環(huán)結(jié)構(gòu)中的間斷之外，準(zhǔn)環(huán)結(jié)構(gòu)可以具有矩形形狀。每個(gè)電感器部件Pl至P4沿垂直于襯底26的主平面26A的垂直平面延伸。相應(yīng)地，圖4至圖中示出的電感器20被稱為立式電感器。部件Pl至P4互連形成線圈，其中線圈的軸44沿與襯底26的主表面26A平行的方向延伸。 圖5A至圖是圖4中示出的結(jié)構(gòu)的截面圖，其中分別通過圖4中的線5A-5A、5B-5B、5C-5C、以及所截取的垂直面得到這些截面圖。參見圖5A，端口 22與電感器20的頂部金屬層中的金屬線100電連接。由金屬線/焊盤100和通孔102形成的金屬柱104連接端口 22和電感器20的底層中的金屬線100。通過另一個(gè)金屬柱104，該連接件又穿回至與端口 22在同一金屬層中的金屬線100。如圖5B中所示，通過金屬線36，電感器20的部件Pl與部件P2連接。參見圖5B，在部件P2中，金屬線36與電感器20的底層中的金屬線100電連接，并且該連接件穿回至電感器20的頂層中的金屬線38。如圖5C所示，通過金屬線38，電感器20的部件P2與部件P3連接。如圖5C中所示，在部件P3中，金屬線38與電感器20的底層中的金屬線100通過金屬柱104電連接，金屬線38又進(jìn)一步通過另一個(gè)金屬柱104和電感器20的頂層中的金屬線100與金屬線40連接。如圖中所示，通過金屬線40，電感器20的部件P3與部件P4連接，其中金屬線40進(jìn)一步通過電感器20頂層和底層中的金屬線100并且通過金屬柱104，與端口 24電連接?？梢园l(fā)現(xiàn)，如果電流12從端口 22流入，電流12沿逆時(shí)針方向在每個(gè)部件Pl至P4中流動(dòng)，直到流至端口 24。相反地，如果電流從端口 24流入，該電流將會(huì)沿著順時(shí)針方向在每個(gè)部件Pl至P4中流動(dòng)。比較圖3A中圖3D與圖5A至圖K)，可以發(fā)現(xiàn)，圖3A至圖3D和圖5A至圖的相應(yīng)電感器的部件中可以包括準(zhǔn)環(huán)結(jié)構(gòu)。準(zhǔn)環(huán)結(jié)構(gòu)由電感器20的頂層和底部金屬層中的金屬線以及其間的金屬柱形成。而且，如圖3A至圖3D和圖5A至圖中所示，每個(gè)電感器部件P1至P4可以包括矩形金屬部件，該矩形金屬部件包括形成矩形的兩個(gè)側(cè)邊的兩條金屬線，以及形成矩形的另外兩個(gè)側(cè)邊的金屬柱104。如圖4中所示，電感器20是非對稱電感器，其中端口 22和24沿不同方向延伸。圖6示出了對稱電感器120的立體圖，其包括互連形成電感器120的電感器50和52。圖4中示出的電感器50的結(jié)構(gòu)與電感器20的結(jié)構(gòu)可以基本相同。電感器52的結(jié)構(gòu)可以是或不是電感器50的鏡像。電感器52可以具有軸44’，該軸與電感器50的軸44平行，并且平行于襯底26的主表面26A。金屬線54使電感器部分52和50互連。在該實(shí)施例中需要中心接頭，金屬線54可以用作中心接頭，并且金屬線56與金屬線54連接。通過形成立式電感器，可以改進(jìn)電感密度，使其超過傳統(tǒng)螺旋電感器，這種傳統(tǒng)螺旋電感器的平面(在該平面中設(shè)置相應(yīng)的匝數(shù)/半匝數(shù))與相應(yīng)的半導(dǎo)體襯底的主表面平行。仿真結(jié)果顯示，如果采用圖I中所示的實(shí)施例，可以在50X IOOum2的芯片區(qū)域中，得到電感約為0. 6nH的電感器。如果采用圖4和圖6中的實(shí)施例，那么電感值將會(huì)分別高至約0.45沾(在50\100111112的芯片區(qū)域中)和約0.9nH(在100X IOOum2的芯片區(qū)域中)。作為對比，為了達(dá)到約0. 6nH，傳統(tǒng)螺旋電感器需要約50X200um2。因此，這些實(shí)施例具有改進(jìn)的電感密度?？梢岳斫?，根據(jù)線路，電感密度值可以與以上介紹的結(jié)果略有差別。仿真結(jié)果還顯示出圖I中示出的實(shí)施例的Q值約為7。因此，圖I中示出的結(jié)構(gòu)具有較高的電感值和適中的Q值，并且適于高頻應(yīng)用。如果需要較高的Q值，可以采用圖4和圖6中的實(shí)施例，其中的相應(yīng)Q值可以達(dá)到約16至17。
根據(jù)實(shí)施例，器件包括襯底以及襯底上的立式電感器。該立式電感器包括金屬形成的多個(gè)部件，其中每個(gè)部件沿垂直于襯底的主表面的多個(gè)平面之一延伸。金屬線使該立式電感器的多個(gè)部件中的相鄰部件互連。根據(jù)其他實(shí)施例，器件包括襯底、襯底上的多個(gè)金屬層、以及立式電感器。該立式電感器包括金屬形成的多個(gè)部件，以及多個(gè)部件的每一個(gè)中的螺旋金屬部件。該螺旋金屬部件包括多個(gè)金屬層中的多個(gè)金屬線，以及使多個(gè)金屬線互連的多個(gè)通孔。螺旋金屬部件沿垂直于襯底的主表面的垂直平面延伸。金屬線使該多個(gè)部件互連。仍是根據(jù)其他實(shí)施例，器件包括襯底、以及襯底上的立式電感器。該立式電感器包括金屬形成的線圈，其中線圈的軸沿與襯底的主表面平行的方向延伸。盡管已經(jīng)詳細(xì)地描述了實(shí)施例及其優(yōu)勢，但應(yīng)該理解，可以在不背離所附權(quán)利要求限定的實(shí)施例主旨和范圍的情況下，做各種不同的改變，替換和更改。而且，本申請的范圍并不僅限于本說明書中描述的工藝、機(jī)器、制造、材料組分、裝置、方法和步驟的特定實(shí)施例。作為本領(lǐng)域普通技術(shù)人員應(yīng)理解，通過公開，現(xiàn)有的或今后開發(fā)的用于執(zhí)行與根據(jù)本公開所采用的所述相應(yīng)實(shí)施例基本相同的功能或獲得基本相同結(jié)果的工藝、機(jī)器、制造，材料組分、裝置、方法或步驟根據(jù)本發(fā)明可以被使用。相應(yīng)地，所附權(quán)利要求應(yīng)該包括在這樣的工藝、機(jī)器、制造、材料組分、裝置、方法或步驟的范圍內(nèi)。此外，每條權(quán)利要求構(gòu)成單獨(dú)的實(shí)施例，并且多個(gè)權(quán)利要求和實(shí)施例的組合在本公開的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種器件，包括 襯底；以及 立式電感器，所述立式電感器在所述襯底上，并且包括 金屬形成的多個(gè)部件，其中每個(gè)所述部件沿垂直于所述襯底的主表面的多個(gè)平面之一延伸；以及 金屬線，所述金屬線使所述多個(gè)部件中相鄰部件互連。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的器件，其中所述多個(gè)平面相互平行，或者 所述多個(gè)部件中每個(gè)包括 第一金屬層中的第一金屬線；第二金屬線，所述第二金屬線在第一金屬層上的第二金屬層中，并且垂直地層疊所述第一金屬線；以及 兩個(gè)金屬柱，所述金屬柱使所述第一金屬線和所述第二金屬線互連，并且與所述第一金屬線和所述第二金屬線形成準(zhǔn)環(huán)結(jié)構(gòu)，其中所述準(zhǔn)環(huán)結(jié)構(gòu)包括其中的間斷。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的器件，其中所述多個(gè)部件中每個(gè)包括螺旋金屬部件，其中所述螺旋金屬部件的外部環(huán)繞所述螺旋金屬部件的內(nèi)部， 其中所述多個(gè)部件包括 第一部件，所述第一部件包括第一螺旋金屬部件；以及 第二部件，所述第二部件與所述第一部件相鄰，并且包括第二螺旋金屬部件，其中所述 第一部件和所述第二部件設(shè)置成使從所述第一螺旋金屬部件的外部流至內(nèi)部的電流和從所述第二螺旋金屬部件內(nèi)部流至外部的電流相同。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的器件，其中所述多個(gè)部件中每個(gè)包括矩形結(jié)構(gòu)，所述矩形結(jié)構(gòu)包括具有在所述矩形結(jié)構(gòu)中的間斷的金屬環(huán)，并且其中所述多個(gè)部件中每個(gè)不包括在所述矩形結(jié)構(gòu)內(nèi)部的并且與所述矩形結(jié)構(gòu)電連接的部分， 其中所述電感器進(jìn)一步包括 附加立式電感器，所述附加立式電感器在所述襯底上，并且包括 金屬形成的多個(gè)附加部件，其中每個(gè)所述附加部件沿垂直于所述襯底的主表面的多個(gè)附加平面之一延伸；以及 附加金屬線，所述附加金屬線使所述多個(gè)附加部件中相鄰部件互連，其中所述立式電感器和所述附加立式電感器互連以形成單獨(dú)的電感器。
5.一種器件，包括 襯底； 在所述襯底上的多個(gè)金屬層；以及 立式電感器，所述立式電感器包括 金屬形成的多個(gè)部件； 所述多個(gè)部件的每個(gè)中的螺旋金屬部件，其中所述螺旋金屬部件 包括所述多個(gè)金屬層中的多個(gè)金屬線以及使所述多個(gè)金屬線互連的多個(gè)通孔，并且其中所述螺旋金屬部件沿垂直于所述襯底的主表面的垂直平面延伸；以及金屬線，所述金屬線使所述多個(gè)部件互連。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的器件，其中所述多個(gè)部件的所述螺旋金屬部件的軸沿平行于所述襯底的主表面的方向延伸。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的器件，其中所述多個(gè)部件包括 第一部件，所述第一部件包括第一螺旋金屬部件；以及 第二部件，所述第二部件與所述第一部件相鄰，并且包括第二螺旋金屬部件，其中所述第一部件和所述第二部件設(shè)置成使從所述第一螺旋金屬部件的外部流至內(nèi)部的電流與從所述第二螺旋金屬部件的內(nèi)部流至外部的電流相同，或者 所述多個(gè)部件包括第一部件、第二部件以及在所述第一部件相對側(cè)上的第三部件，并且其中所述器件進(jìn)一步包括 第一金屬線，所述第一金屬線連接所述第一部件和所述第二部件；以及第二金屬線，所述第二金屬線連接所述第二部件和所述第三部件，其中所述第一金屬線和所述第二金屬線的縱向方向平行于所述襯底的主表面，或者其中，所述多個(gè)部件的垂直平面相互平行。
8.一種器件，包括 襯底；以及 第一立式電感器，所述第一立式電感器在所述襯底上，并且包括金屬形成的第一線圈，其中所述第一線圈的第一軸沿平行于所述襯底的主表面的第一方向延伸。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的器件，其中所述第一線圈包括 多個(gè)矩形金屬結(jié)構(gòu)，所述多個(gè)矩形金屬結(jié)構(gòu)沿不同的垂直平面延伸，其中每個(gè)所述矩形金屬結(jié)構(gòu)包括 第一金屬線，所述第一金屬線在第一金屬層中并且形成矩形的第一側(cè)邊； 第二金屬線，所述第二金屬線在所述第一金屬層上的第二金屬層中，并且形成所述矩形的第二側(cè)邊；以及 兩個(gè)金屬柱，所述金屬柱形成所述矩形的第三側(cè)邊和第四側(cè)邊， 所述器件進(jìn)一步包括多個(gè)金屬線，其中所述多個(gè)矩形金屬結(jié)構(gòu)中相鄰矩形金屬結(jié)構(gòu)的每一對都通過所述多個(gè)金屬線之一互連， 所述多個(gè)矩形金屬結(jié)構(gòu)中相鄰矩形金屬結(jié)構(gòu)的每一對都只通過所述多個(gè)金屬線之一互連。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的器件，進(jìn)一步包括 第二立式電感器，所述第二立式電感器在所述襯底上，并且包括金屬形成的第二線圈，其中所述第二線圈的第二軸沿平行于所述襯底的主表面的第二方向延伸；以及 金屬線，所述金屬線使所述第一立式電感器和所述第二立式電感器互連，以形成單個(gè)電感器， 其中所述金屬線形成所述單個(gè)電感器的中心接頭。
全文摘要
本發(fā)明提供一種器件，該器件包括襯底以及襯底上的立式電感器。立式電感器包括金屬形成的多個(gè)部件，其中每個(gè)部件沿垂直于襯底的主表面的多個(gè)平面之一延伸。金屬線使立式電感器的多個(gè)部件中相鄰部件互連。本發(fā)明還提供了一種沿垂直平面延伸的緊湊立式電感器。
文檔編號(hào)H01F37/00GK102751260SQ20111032436
公開日2012年10月24日 申請日期2011年10月19日 優(yōu)先權(quán)日2011年4月21日
發(fā)明者林佑霖, 鄭敏祺, 郭晉瑋, 陳和祥, 陳煥能, 陳美秀, 顏孝璁 申請人:臺(tái)灣積體電路制造股份有限公司