專利名稱：在柔性薄膜光伏電池制造中噴淋電極同時沉積薄膜的技術(shù)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及到柔性薄膜光伏電池制造技術(shù)，特別涉及到PECVD制備過程中噴淋電極同時沉積薄膜的技術(shù)。
背景技術(shù)：
在本發(fā)明提出之前，在柔性薄膜光伏電池的制造過程中，PECVD (等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積)制備作業(yè)是十分重要的工藝過程。系統(tǒng)在電極之間加上電壓時，由陰極發(fā)射出來的電子在電場被加速而獲得能量，通過與反應(yīng)室中的氣體或分子碰撞，使其分離，激發(fā)或電離，形成了很多電子，離子和活性基團(tuán)。粒子所帶的正的和負(fù)總電荷相等，是一種等離子體。組成等離子體的這些粒子，經(jīng)過一系列的物理一化學(xué)反應(yīng)過程，就沉積在基材上而形成薄膜。PECVD作業(yè)是在真空設(shè)備中進(jìn)行的，該設(shè)備中有相互對應(yīng)的電極，電極與設(shè)備外的射頻電源連接在一起。利用射頻電源對電極進(jìn)行加熱，達(dá)到規(guī)定溫度時，獲得能量的電子就開始PECVD作業(yè)，直到基材上的薄膜達(dá)到一定的要求時，PECVD作業(yè)才停止進(jìn)行。由于要產(chǎn)生等離子體，需要向設(shè)備內(nèi)輸入諸如SiH4、PH3、H2等的氣體，這樣在真空設(shè)備上設(shè)置了氣體的進(jìn)、出口端子。諸氣體所形成的混合體在進(jìn)入真空設(shè)備之后進(jìn)入具有小孔的電極(稱之為噴淋電極)，隨后噴向另一個復(fù)蓋著基材的電極，在基材上沉積而形成薄膜。雖然氣體垂直于電極，進(jìn)行噴淋對PECVD法制備光伏電池薄膜具有均勻性好的優(yōu)點(diǎn)，但是噴淋電極不再能用來進(jìn)行光伏電池薄膜沉積，設(shè)備產(chǎn)能打了對折，電極清洗作業(yè)大為增加。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是克服現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提出一種在柔性薄膜光伏電池制造中噴淋電極同時沉積薄膜的技術(shù)。進(jìn)入設(shè)備的氣體一方面向電極垂直噴淋，另一方面在基材上沉積形成薄膜。既提高設(shè)備產(chǎn)能，又減少了電極清洗作業(yè)。本發(fā)明是通過以下的技術(shù)措施來實現(xiàn)的。在柔性薄膜光伏電池制造中噴淋電極同時沉積薄膜的技術(shù)，包括內(nèi)部裝有相互對應(yīng)的噴淋電極和基體電極的真空設(shè)備，所述的電極與外部的射頻電源相互連接；在所述的基體電極上和所述的噴淋電極上均附有電池基材；所述的噴淋電極內(nèi)部有氣體通道，噴淋電極與所附有的電池基材上均有小孔。所述的噴淋電極上的小孔與所附有的電池基材上的小孔一一對應(yīng)。所述的小孔依矩陣或同心圓陣排列。本發(fā)明采用上述技術(shù)措施后，在PECVD作業(yè)開始進(jìn)行時，利用射頻電源對噴淋電極和基體電極進(jìn)行加熱，達(dá)到作業(yè)溫度后開始PECVD作業(yè)。與此同時，SiH4、PH3、H2等的氣體通過氣體的進(jìn)口端子進(jìn)入噴淋電極的氣體通道，隨后氣體通過噴淋電極上的小孔和所附有的電池基材上的相對應(yīng)的小孔垂直噴向基體電極上的電池基材，同時噴淋電極上的電池基材也獲得噴淋的氣體，實現(xiàn)薄膜沉積。這樣，噴淋電極上的電池基材的表面和基體電極上的電池基材的表面均獲得薄膜沉積，均可以制備薄膜光伏電池。設(shè)備的產(chǎn)能可以成倍的增加，設(shè)備的生產(chǎn)能力得以充分發(fā)揮，設(shè)備的利用率均有所提高；電極清洗作業(yè)量可以極大地減少。


附圖1為本發(fā)明的實施例中的設(shè)備示意圖。附圖2為附圖1中的A部放大圖。附圖3為附圖2中的B向視圖。圖中1為真空設(shè)備，2為噴淋電極，3為基體電極，4為射頻電源，5為電池基材，6 為氣體通道，7為小孔。
具體實施例方式下面結(jié)合附圖和實施例對本發(fā)明作進(jìn)一步說明。實施例，如圖1所示，在柔性薄膜光伏電池制造中進(jìn)行PECVD作業(yè)的設(shè)備，包括真空設(shè)備1，在真空設(shè)備1的內(nèi)部裝有相互對應(yīng)的噴淋電極2和基體電極3，真空設(shè)備1的外部有射頻電源4，噴淋電極2和基體電極3別與射頻電源4相互連接，噴淋電極2和基體電極3均附有電池基材5 ；又如圖2和圖3所示，在噴淋電極2內(nèi)部有氣體通道6，噴淋電極2 與所附有的電池基材5上均有小孔7，小孔7的孔徑為0. 05毫米，呈矩陣排列；噴淋電極2 上的小孔7與所附有的電池基材5上的小孔7 —一對應(yīng)。當(dāng)真空設(shè)備內(nèi)部達(dá)到規(guī)定的溫度時，開始PECVD作業(yè)，SiH4、PH3、H2等諸多氣體所構(gòu)成的混合氣體經(jīng)過真空設(shè)備1的氣體進(jìn)口端子進(jìn)入噴淋電極2的氣體通道6，隨后氣體通過噴淋電極2上的小孔7和所附有的電池基材5上的相對應(yīng)的小孔7垂直噴向基體電極3 上的電池基材5，同時噴淋電極2上的電池基材5也獲得噴淋的氣體，實現(xiàn)薄膜沉積。這樣， 噴淋電極2上的電池基材5的表面和基體電極3上的電池基材5的表面均獲得薄膜沉積， 均可以制備薄膜光伏電池。設(shè)備的利用率均有所提高；電極清洗作業(yè)量可以極大地減少。以上所述的僅是本發(fā)明的優(yōu)選實施方式。應(yīng)當(dāng)指出，對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本發(fā)明原理的前提下，還可以做出若干變型和改進(jìn)，這些也應(yīng)視為屬于本發(fā)明的保護(hù)笵圍。
權(quán)利要求
1.在柔性薄膜光伏電池制造中噴淋電極同時沉積薄膜的技術(shù)，包括內(nèi)部裝有相互對應(yīng)的噴淋電極(2)和基體電極(3)的真空設(shè)備(1)，所述的電極與外部的射頻電源(4)相互連接；其特征在于在所述的基體電極(3)上和所述的噴淋電極(2)上均附有電池基材(5)，所述的噴淋電極(2)內(nèi)部有氣體通道(6)，噴淋電極(2)與所附有的電池基材(5)上均有小孔 (7)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的在柔性薄膜光伏電池制造中噴淋電極同時沉積薄膜的技術(shù)，其特征在于所述的噴淋電極(2)上的小孔(7)與所附有的電池基材(5)上的小孔(7)--對應(yīng)。
3.根據(jù)權(quán)利要求所述的在柔性薄膜光伏電池制造中噴淋電極同時沉積薄膜的技術(shù)，其特征在于所述的小孔(7)依矩陣或同心圓陣排列。
全文摘要
在柔性薄膜光伏電池制造中噴淋電極同時沉積薄膜的技術(shù)，涉及到PECVD制備過程中噴淋電極同時沉積薄膜的技術(shù)。包括內(nèi)部裝有噴淋電極和基體電極的真空設(shè)備，所述的電極與外部的射頻電源相互連接；在所述的電極上均附有電池基材；所述的噴淋電極內(nèi)部有氣體通道，噴淋電極與所附有的電池基材上均有小孔。兩組小孔一一對應(yīng)并依矩陣或同心圓陣排列。氣體通過所述的兩組小孔垂直噴向基體電極上的電池基材，同時噴淋電極上的電池基材也獲得噴淋的氣體，實現(xiàn)薄膜沉積。這樣，電極上的電池基材的表面均獲得薄膜沉積，均可以制備薄膜光伏電池。設(shè)備產(chǎn)能可以成倍的增加；電極清洗作業(yè)量可以極大地減少。
文檔編號H01L31/18GK102394255SQ20111036085
公開日2012年3月28日 申請日期2011年11月15日 優(yōu)先權(quán)日2011年11月15日
發(fā)明者奚建平 申請人:蘇州思博露光伏能源科技有限公司