專(zhuān)利名稱(chēng)：手持式免充電吸筆的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及集成電路制造工藝技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種手持式免充電吸筆。
背景技術(shù)：
伴隨集成電路制造工藝的不斷進(jìn)步，半導(dǎo)體制造自動(dòng)化程度越來(lái)越高，這使得絕大多數(shù)情況下硅片傳輸都是由機(jī)臺(tái)自動(dòng)進(jìn)行的。但是，對(duì)于一些小型的沒(méi)有自動(dòng)化生產(chǎn)線的公司以及一些高校和研究所的實(shí)驗(yàn)室里經(jīng)常需要人為手動(dòng)傳輸硅片。即便是自動(dòng)化程度高的大型公司，需要人為手動(dòng)傳輸和處理硅片的狀況也時(shí)有發(fā)生，一種情形是在進(jìn)行一些特殊工藝時(shí)，為了沾污控制，防止交叉污染，不能使用公用機(jī)臺(tái)進(jìn)行硅片傳輸，只能使用手動(dòng)方式來(lái)傳輸硅片；另外一種情形是由于半導(dǎo)體設(shè)備的高精度、高復(fù)雜度和高集成度造成半導(dǎo)體設(shè)備總體的高故障率，機(jī)臺(tái)故障的發(fā)生往往導(dǎo)致工藝進(jìn)行中的硅片或者傳輸進(jìn)行中的硅片停留在機(jī)臺(tái)內(nèi)部無(wú)法自動(dòng)傳送出來(lái)，需要設(shè)備工程師進(jìn)行故障排除并從機(jī)臺(tái)內(nèi)部手動(dòng)取出硅片后放入片盒，由于沒(méi)有合適的工具，設(shè)備工程師往往直接用手取出硅片，盡管有手套的保護(hù)，但其對(duì)機(jī)臺(tái)的損害和對(duì)硅片表面的刮傷或者沾污風(fēng)險(xiǎn)都是很高的。目前手動(dòng)傳輸硅片的主要工具有以下幾種第一種是通過(guò)軟管直接連接在潔凈室真空系統(tǒng)的吸筆，它的缺點(diǎn)是無(wú)法移動(dòng)，只能在固定的、有限的地點(diǎn)進(jìn)行硅片傳輸，且建立潔凈室真空系統(tǒng)的連接點(diǎn)和吸筆對(duì)真空持續(xù)的損耗都會(huì)提升成本；第二種是需要充電的， 通過(guò)電機(jī)旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生負(fù)壓，從而產(chǎn)生吸力的手持式吸筆，其缺點(diǎn)是需要配備專(zhuān)門(mén)的充電插座和底座，使用時(shí)經(jīng)常發(fā)生電量不足從而有導(dǎo)致硅片掉落的危險(xiǎn)，且其制造成本也較高；第三種是形狀類(lèi)似于鑷子的硅片夾子，盡管這種夾子成本低且便于攜帶和使用，但是其方式并不是吸附硅片的背面，而是通過(guò)夾住硅片的邊緣來(lái)移動(dòng)硅片，這很容易造成硅片正面的污染或者刮傷等情況發(fā)生。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種手持式免充電吸筆，利用活塞裝置產(chǎn)生負(fù)壓從而吸住硅片，既攜帶方便又不需要充電。為了達(dá)到上述的目的，本發(fā)明提供一種手持式免充電吸筆，包括活塞裝置、吸嘴裝置和手持裝置；所述活塞裝置包括腔體、設(shè)置在所述腔體內(nèi)的活塞和與所述活塞連接的連接桿；所述手持裝置設(shè)置于所述腔體的一端，且與所述連接桿連接，所述手持裝置用于拉動(dòng)所述連接桿，從而推動(dòng)所述活塞在所述腔體內(nèi)移動(dòng)；所述吸嘴裝置設(shè)置于所述腔體的另一端，且與所述腔體通氣。上述手持式免充電吸筆，其中，所述活塞將所述腔體分隔成兩個(gè)互不相通的氣腔 第一氣腔和第二氣腔，所述第二氣腔靠近所述手持裝置，所述第一氣腔靠近所述吸嘴裝置； 所述連接桿位于所述第二氣腔內(nèi)，其一端與所述活塞連接，其另一端伸出所述第二氣腔外與所述手持裝置連接；所述第二氣腔設(shè)有第一通氣孔，使所述第二氣腔與大氣相通；所述第一氣腔設(shè)有第二通氣孔，所述第二通氣孔用于與所述吸嘴裝置通氣。
上述手持式免充電吸筆，其中，所述吸嘴裝置包括通管和吸盤(pán)，所述通管的一端與所述第一氣腔連接，且與所述第一氣腔相通，所述吸盤(pán)設(shè)置在所述通管的另一端，所述吸盤(pán)設(shè)有第三通氣孔，所述第三通氣孔與所述通管相通。上述手持式免充電吸筆，其中，所述吸盤(pán)為弧形曲面。上述手持式免充電吸筆，其中，所述手持裝置包括第一手持桿、第二手持桿、第三手持桿和第四手持桿，所述第一手持桿的一端與所述腔體活動(dòng)連接，所述第一手持桿的另一端與所述第二手持桿的一端活動(dòng)連接，所述第三手持桿的一端與所述腔體活動(dòng)連接，所述第三手持桿的另一端與所述第四手持桿的一端活動(dòng)連接，所述第二手持桿的另一端活動(dòng)連接在所述連接桿伸出第二氣腔外的一端上，所述第四手持桿的另一端活動(dòng)連接在所述連接桿伸出第二氣腔外的一端上。上述手持式免充電吸筆，其中，所述第一氣腔內(nèi)設(shè)有第一彈簧，所述第一彈簧的一端連接在所述腔體的內(nèi)壁上，所述第一彈簧的另一端連接在所述活塞上。上述手持式免充電吸筆，其中，所述手持裝置包括第一手柄、第二手柄、第二彈簧和旋轉(zhuǎn)裝置；所述第一手柄固定設(shè)置在所述腔體的一端；所述旋轉(zhuǎn)裝置與所述第一手柄轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述旋轉(zhuǎn)裝置可相對(duì)所述第一手柄轉(zhuǎn)動(dòng)；所述第二手柄與所述旋轉(zhuǎn)裝置連接；所述第二彈簧連接所述第一手柄與第二手柄；所述連接桿與所述旋轉(zhuǎn)裝置連接；所述第二手柄的運(yùn)動(dòng)帶動(dòng)所述旋轉(zhuǎn)裝置轉(zhuǎn)動(dòng)，進(jìn)而帶動(dòng)所述連接桿移動(dòng)，從而推動(dòng)所述活塞在所述腔體內(nèi)移動(dòng)。上述手持式免充電吸筆，其中，所述第一手柄包括第一手柄頭和第一手柄桿，所述第一手柄頭設(shè)置在所述第一手柄桿的一端，所述第一手柄桿的另一端固定安裝在所述腔體的外表面上。上述手持式免充電吸筆，其中，所述旋轉(zhuǎn)裝置包括轉(zhuǎn)盤(pán)和轉(zhuǎn)動(dòng)桿，所述轉(zhuǎn)盤(pán)固定設(shè)置在所述轉(zhuǎn)動(dòng)桿的一端，所述轉(zhuǎn)動(dòng)桿的另一端與所述第一手柄轉(zhuǎn)動(dòng)連接。上述手持式免充電吸筆，其中，所述第二手柄包括第二手柄頭、第二手柄桿和環(huán)形端部，所述第二手柄頭設(shè)置在所述第二手柄桿的一端，所述環(huán)形端部設(shè)置在所述第二手柄桿的另一端，所述環(huán)形端與所述旋轉(zhuǎn)裝置固定連接。本發(fā)明的手持式免充電吸筆不需要將吸筆接入潔凈室的真空系統(tǒng)，也不用充電， 使用方便，生產(chǎn)和維護(hù)成本低，體積輕便，存放和攜帶方便且耐用性高，也沒(méi)有傳統(tǒng)的硅片夾對(duì)硅片表面的沾污和刮傷的缺點(diǎn)，本發(fā)明的手持式免充電吸筆兼容了現(xiàn)有的幾種手動(dòng)傳輸硅片的工具的優(yōu)點(diǎn)且改善了這些工具的缺點(diǎn)，本發(fā)明的手持式免充電吸筆無(wú)論是在成本控制的需求方面還是人員使用的便利性的需求方面都是很大幫助的。


本發(fā)明的手持式免充電吸筆由以下的實(shí)施例及附圖給出。圖1是本發(fā)明實(shí)施例一手持式免充電吸筆未使用狀態(tài)的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2是本發(fā)明實(shí)施例一手持式免充電吸筆使用狀態(tài)的結(jié)構(gòu)示意圖。圖3是本發(fā)明實(shí)施例二手持式免充電吸筆未使用狀態(tài)的結(jié)構(gòu)示意4是本發(fā)明實(shí)施例二中旋轉(zhuǎn)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。圖5是本發(fā)明實(shí)施例二中第二手柄的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖6是本發(fā)明實(shí)施例二手持式免充電吸筆使用狀態(tài)的結(jié)構(gòu)示意圖
具體實(shí)施例方式以下將結(jié)合圖1 圖6對(duì)本發(fā)明的手持式免充電吸筆作進(jìn)一步的詳細(xì)描述。本發(fā)明的手持式免充電吸筆包括活塞裝置、吸嘴裝置和手持裝置；所述活塞裝置包括腔體、設(shè)置在所述腔體內(nèi)的活塞和與所述活塞連接的連接桿；所述吸嘴裝置設(shè)置于所述活塞裝置的一端，且與所述活塞裝置通氣；所述手持裝置與所述連接桿連接，所述手持裝置可拉動(dòng)所述連接桿，從而推動(dòng)所述活塞在所述腔體內(nèi)移動(dòng)。使用本發(fā)明的手持式免充電吸筆時(shí)，所述吸嘴裝置與硅片背面接觸，對(duì)所述手持裝置施力，拉動(dòng)所述連接桿移動(dòng)，從而推動(dòng)所述活塞移動(dòng)，抽走所述吸嘴裝置與硅片背面之間的氣體，在所述吸嘴裝置與硅片背面之間產(chǎn)生負(fù)壓使所述吸嘴裝置牢牢吸住硅片背面， 從而達(dá)到手動(dòng)傳輸硅片的目的。本發(fā)明的手持式免充電吸筆利用活塞裝置產(chǎn)生負(fù)壓，從而吸住硅片，不需要將吸筆接入潔凈室的真空系統(tǒng)，可隨意地移動(dòng)吸筆，方便攜帶，也不需要耗費(fèi)電能驅(qū)動(dòng)電機(jī)產(chǎn)生負(fù)壓，無(wú)需充電，大大降低制造成本?，F(xiàn)以具體實(shí)施例詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明的手持式免充電吸筆實(shí)施例一參見(jiàn)圖1，本實(shí)施例的手持式免充電吸筆包括活塞裝置110、吸嘴裝置120和手持裝置200 ；所述活塞裝置110包括腔體111、設(shè)置在所述腔體111內(nèi)的活塞112和與所述活塞 112連接的連接桿113;所述吸嘴裝置120設(shè)置于所述活塞裝置110的一端，且與所述活塞裝置110通氣；所述手持裝置200與所述連接桿113連接，所述手持裝置200可拉動(dòng)所述連接桿 113，從而推動(dòng)所述活塞112在所述腔體111內(nèi)移動(dòng)。設(shè)置在所述腔體111內(nèi)的活塞112將所述腔體111分隔成兩個(gè)互不相通的氣腔 第一氣腔114和第二氣腔115，即由于所述活塞112的阻隔作用，氣體不能在所述第一氣腔 114與第二氣腔115之間流動(dòng)，且所述第二氣腔115靠近所述手持裝置200，所述第一氣腔 114靠近所述吸嘴裝置120 ；所述連接桿113位于所述第二氣腔115內(nèi)，其一端與所述活塞 112連接，其另一端伸出所述第二氣腔115外與所述手持裝置200連接；所述第二氣腔115 設(shè)有第一通氣孔116，使所述第二氣腔115與大氣相通，即所述第二氣腔115的氣壓始終等于大氣壓；所述第一氣腔114設(shè)有第二通氣孔117，所述第二通氣孔117用于與所述吸嘴裝置120通氣。所述吸嘴裝置120包括通管121和吸盤(pán)122，所述通管121的一端與所述第一氣腔 114連接，且通過(guò)所述第二通氣孔117與所述第一氣腔114相通，所述吸盤(pán)122設(shè)置在所述通管121的另一端，所述吸盤(pán)122設(shè)有第三通氣孔123，所述第三通氣孔123的位置與所述通管121相對(duì)應(yīng)，即所述第三通氣孔123與所述通管121相通；所述吸盤(pán)122的邊緣所在的平面與所述通管121所在的直線相互平行，可使所述吸嘴裝置120能伸入晶舟內(nèi)相鄰兩片晶圓之間的間隙內(nèi)。
較佳地，所述吸盤(pán)122為弧形曲面，可使所述吸盤(pán)122與硅片背面之間有一定空間，所述第三通氣孔123設(shè)置在弧形曲面的中央，所述第三通氣孔123的直徑等于所述通管 121的內(nèi)徑。本實(shí)施例中，所述手持裝置200包括第一手持桿210、第二手持桿220、第三手持桿 230和第四手持桿M0，所述第一手持桿210的一端與所述腔體111活動(dòng)連接，所述第一手持桿210的另一端與所述第二手持桿220的一端活動(dòng)連接，所述第三手持桿230的一端與所述腔體111活動(dòng)連接，所述第三手持桿230的另一端與所述第四手持桿230的一端活動(dòng)連接，所述第二手持桿220的另一端活動(dòng)連接在所述連接桿113伸出第二氣腔115外的一端上，所述第四手持桿MO的另一端活動(dòng)連接在所述連接桿113伸出第二氣腔115外的一端上。所述第一手持桿210和第三手持桿230可相對(duì)所述腔體111轉(zhuǎn)動(dòng)，所述第一手持桿 210與第二手持桿220之間可相互轉(zhuǎn)動(dòng)，所述第三手持桿230和第四手持桿240之間可相互轉(zhuǎn)動(dòng)，所述第二手持桿220可相對(duì)所述連接桿113轉(zhuǎn)動(dòng)，所述第四手持桿230可相對(duì)所述連接桿113轉(zhuǎn)動(dòng)。本實(shí)施例中，所述第二手持桿220和所述第四手持桿240在同一點(diǎn)與所述連接桿 113連接，但本發(fā)明不限于此，所述第二手持桿220和所述第四手持桿240也可以不在同一點(diǎn)與所述連接桿113連接。較佳地，所述第一氣腔114內(nèi)設(shè)有第一彈簧300，所述第一彈簧300的一端連接在所述腔體111的內(nèi)壁上，所述第一彈簧300的另一端連接在所述活塞112上。本實(shí)施例的手持式免充電吸筆的使用方法是在無(wú)外力作用時(shí)，所述第一彈簧 300處于收縮狀態(tài)，在所述第一彈簧300的作用下，所述活塞112離所述吸嘴裝置120比較近，所述第一手持桿210與第二手持桿220相對(duì)折起，所述第三手持桿230與第四手持桿240相對(duì)折起，如圖1所示；需要吸取硅片時(shí)，手旋轉(zhuǎn)握住所述第二手持桿220和第四手持桿M0，將所述吸嘴裝置120的吸盤(pán)122貼在硅片背面，并逐漸用力握緊所述第二手持桿 220和第四手持桿M0，使所述第二手持桿220與第四手持桿240相向運(yùn)動(dòng)，同時(shí)，所述第一手持桿210與第二手持桿220、所述第三手持桿230與第四手持桿240逐漸被拉直，在所述第一手持桿210、第二手持桿220、第三手持桿230和第四手持桿240的共同作用下，拉動(dòng)所述連接桿113向遠(yuǎn)離所述吸嘴裝置120的方向運(yùn)動(dòng)，從而推動(dòng)所述活塞112向遠(yuǎn)離所述吸嘴裝置120的方向移動(dòng)，如圖2所示；由于所述吸盤(pán)122與硅片背面之間的空間通過(guò)所述第三通氣孔123、通管121與所述第一氣腔114相通，且與所述第一氣腔114形成密閉環(huán)境， 當(dāng)所述活塞112向遠(yuǎn)離所述吸嘴裝置120的方向移動(dòng)時(shí)，所述吸盤(pán)122與硅片背面之間的氣體被抽到所述第一氣腔114內(nèi)，在所述吸盤(pán)122與硅片背面之間產(chǎn)生負(fù)壓，產(chǎn)生的負(fù)壓使所述吸盤(pán)122產(chǎn)生吸力并吸住硅片；在吸筆吸住硅片并完成傳輸操作后，松開(kāi)所述第二手持桿220與第四手持桿M0，所述彈簧300的彈力使所述活塞112向靠近所述吸嘴裝置120 的方向移動(dòng)，回到初始狀態(tài)，從而使所述所述第一手持桿210、第二手持桿220、第三手持桿 230和第四手持桿240也回到初始位置，此時(shí)所述吸盤(pán)122與硅片背面之間的壓力與大氣壓平衡，所述述吸盤(pán)122對(duì)硅片背面不再有吸力作用，將所述吸盤(pán)122從硅片背面移開(kāi)，完成手動(dòng)傳輸硅片操作。實(shí)施例二參見(jiàn)圖3，實(shí)施例二與實(shí)施例一的區(qū)別在于，手持裝置的結(jié)構(gòu)不同，且實(shí)施例二中所述第一氣腔內(nèi)不再設(shè)置彈簧。本實(shí)施例中，所述手持裝置包括第一手柄410、第二手柄420、第二彈簧430和旋轉(zhuǎn)裝置440 ；所述第一手柄410固定設(shè)置在腔體的一端；所述旋轉(zhuǎn)裝置440與所述第一手柄410轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述旋轉(zhuǎn)裝置440可相對(duì)所述第一手柄410轉(zhuǎn)動(dòng)；所述第二手柄420與所述旋轉(zhuǎn)裝置440連接，所述第二手柄420可帶動(dòng)所述旋轉(zhuǎn)裝置440相對(duì)所述第一手柄410轉(zhuǎn)動(dòng)；所述第二彈簧430連接所述第一手柄410與第二手柄420 ；連接桿與所述旋轉(zhuǎn)裝置440連接，所述旋轉(zhuǎn)裝置440的轉(zhuǎn)動(dòng)可帶動(dòng)連接桿移動(dòng)，從而推動(dòng)活塞在腔體內(nèi)移動(dòng)。繼續(xù)參見(jiàn)圖3，較佳地，所述第一手柄410包括第一手柄頭411和第一手柄桿412， 所述第一手柄頭411設(shè)置在所述第一手柄桿412的一端，所述第一手柄桿412的另一端固定安裝在腔體的外表面上。參見(jiàn)圖4，較佳地，所述旋轉(zhuǎn)裝置440包括轉(zhuǎn)盤(pán)441和轉(zhuǎn)動(dòng)桿442，所述轉(zhuǎn)盤(pán)441固定設(shè)置在所述轉(zhuǎn)動(dòng)桿442的一端，所述轉(zhuǎn)動(dòng)桿442的另一端與所述第一手柄410的第一手柄桿412轉(zhuǎn)動(dòng)連接。參見(jiàn)圖3和圖5，較佳地，所述第二手柄420包括第二手柄頭421、第二手柄桿422 和環(huán)形端部423，所述第二手柄頭421設(shè)置在所述第二手柄桿422的一端，所述環(huán)形端部 423設(shè)置在所述第二手柄桿422的另一端，所述環(huán)形端部423套在所述轉(zhuǎn)盤(pán)441上，且與所述轉(zhuǎn)盤(pán)441固定連接，可利用所述第二手柄420轉(zhuǎn)動(dòng)所述轉(zhuǎn)盤(pán)441，所述轉(zhuǎn)盤(pán)441轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，帶動(dòng)所述轉(zhuǎn)動(dòng)桿442 —起轉(zhuǎn)動(dòng)。繼續(xù)參見(jiàn)圖3，較佳地，所述第二彈簧430的一端連接在所述第一手柄桿412上，所述第二彈簧430的另一端連接在所述第二手柄桿422上。本實(shí)施例的手持式免充電吸筆的使用方法是在無(wú)外力作用時(shí)，由于所述第二彈簧430的彈力作用，所述第一手柄410和第二手柄420處于打開(kāi)的初始狀態(tài)；需要吸住硅片時(shí)，手持吸筆，將吸嘴裝置的吸盤(pán)貼在硅片背面，并逐漸用力握緊手柄，使所述第二手柄420 逐漸靠近所述第一手柄410，使所述第一手柄410和第二手柄420趨于閉合；所述第二手柄 420在逐漸靠近所述第一手柄410的過(guò)程中，所述第二手柄420的環(huán)形端部423帶動(dòng)所述旋轉(zhuǎn)裝置440的轉(zhuǎn)盤(pán)441轉(zhuǎn)動(dòng)，進(jìn)而帶動(dòng)所述旋轉(zhuǎn)裝置440的轉(zhuǎn)動(dòng)桿442轉(zhuǎn)動(dòng)，所述轉(zhuǎn)動(dòng)桿 442的轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)活塞裝置的連接桿向手柄方向移動(dòng)，連接桿的移動(dòng)推動(dòng)活塞在腔體內(nèi)向手柄方向移動(dòng)，如圖6中的箭頭所示(圖6中的虛線表示活塞靠近吸嘴裝置的一端的初始位置)；由于所述吸盤(pán)與硅片背面之間的空間通過(guò)所述第三通氣孔、通管與所述第一氣腔相通，且與所述第一氣腔形成密閉環(huán)境，當(dāng)活塞向手柄方向移動(dòng)時(shí)，吸盤(pán)與硅片背面之間的氣體被抽到第一氣腔內(nèi)，在吸盤(pán)與硅片背面之間產(chǎn)生負(fù)壓，產(chǎn)生的負(fù)壓使吸盤(pán)產(chǎn)生吸力并吸住硅片；在吸筆吸住硅片并完成傳輸操作后，松開(kāi)所述第二手柄420，所述第二彈簧430的彈力使所述第一手柄410和第二手柄420回復(fù)到打開(kāi)的初始狀態(tài)，從而使活塞也回到初始位置，此時(shí)吸盤(pán)與硅片背面之間的壓力與大氣壓平衡，吸盤(pán)對(duì)硅片背面不再有吸力作用，將吸盤(pán)從硅片背面移開(kāi)，完成手動(dòng)傳輸硅片操作。
本發(fā)明的手持式免充電吸筆不需要將吸筆接入潔凈室的真空系統(tǒng)，也不用充電， 使用方便，生產(chǎn)和維護(hù)成本低，體積輕便，存放和攜帶方便且耐用性高，也沒(méi)有傳統(tǒng)的硅片夾對(duì)硅片表面的沾污和刮傷的缺點(diǎn)，本發(fā)明的手持式免充電吸筆兼容了現(xiàn)有的幾種手動(dòng)傳輸硅片的工具的優(yōu)點(diǎn)且改善了這些工具的缺點(diǎn)，本發(fā)明的手持式免充電吸筆無(wú)論是在成本控制的需求方面還是人員使用的便利性的需求方面都是很大幫助的。
權(quán)利要求
1.一種手持式免充電吸筆，其特征在于，包括活塞裝置、吸嘴裝置和手持裝置；所述活塞裝置包括腔體、設(shè)置在所述腔體內(nèi)的活塞和與所述活塞連接的連接桿；所述手持裝置設(shè)置于所述腔體的一端，且與所述連接桿連接，所述手持裝置用于拉動(dòng)所述連接桿，從而推動(dòng)所述活塞在所述腔體內(nèi)移動(dòng)；所述吸嘴裝置設(shè)置于所述腔體的另一端，且與所述腔體通氣。
2.如權(quán)利要求1所述的手持式免充電吸筆，其特征在于，所述活塞將所述腔體分隔成兩個(gè)互不相通的氣腔第一氣腔和第二氣腔，所述第二氣腔靠近所述手持裝置，所述第一氣腔靠近所述吸嘴裝置；所述連接桿位于所述第二氣腔內(nèi)，其一端與所述活塞連接，其另一端伸出所述第二氣腔外與所述手持裝置連接；所述第二氣腔設(shè)有第一通氣孔，使所述第二氣腔與大氣相通；所述第一氣腔設(shè)有第二通氣孔，所述第二通氣孔用于與所述吸嘴裝置通氣。
3.如權(quán)利要求2所述的手持式免充電吸筆，其特征在于，所述吸嘴裝置包括通管和吸盤(pán)，所述通管的一端與所述第一氣腔連接，且與所述第一氣腔相通，所述吸盤(pán)設(shè)置在所述通管的另一端，所述吸盤(pán)設(shè)有第三通氣孔，所述第三通氣孔與所述通管相通。
4.如權(quán)利要求3所述的手持式免充電吸筆，其特征在于，所述吸盤(pán)為弧形曲面。
5.如權(quán)利要求2 4中任一權(quán)利要求所述的手持式免充電吸筆，其特征在于，所述手持裝置包括第一手持桿、第二手持桿、第三手持桿和第四手持桿，所述第一手持桿的一端與所述腔體活動(dòng)連接，所述第一手持桿的另一端與所述第二手持桿的一端活動(dòng)連接，所述第三手持桿的一端與所述腔體活動(dòng)連接，所述第三手持桿的另一端與所述第四手持桿的一端活動(dòng)連接，所述第二手持桿的另一端活動(dòng)連接在所述連接桿伸出第二氣腔外的一端上，所述第四手持桿的另一端活動(dòng)連接在所述連接桿伸出第二氣腔外的一端上。
6.如權(quán)利要求5所述的手持式免充電吸筆，其特征在于，所述第一氣腔內(nèi)設(shè)有第一彈簧，所述第一彈簧的一端連接在所述腔體的內(nèi)壁上，所述第一彈簧的另一端連接在所述活 ^^上ο
7.如權(quán)利要求1 4中任一權(quán)利要求所述的手持式免充電吸筆，其特征在于，所述手持裝置包括第一手柄、第二手柄、第二彈簧和旋轉(zhuǎn)裝置；所述第一手柄固定設(shè)置在所述腔體的一端；所述旋轉(zhuǎn)裝置與所述第一手柄轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述旋轉(zhuǎn)裝置可相對(duì)所述第一手柄轉(zhuǎn)動(dòng)；所述第二手柄與所述旋轉(zhuǎn)裝置連接；所述第二彈簧連接所述第一手柄與第二手柄；所述連接桿與所述旋轉(zhuǎn)裝置連接；所述第二手柄的運(yùn)動(dòng)帶動(dòng)所述旋轉(zhuǎn)裝置轉(zhuǎn)動(dòng)，進(jìn)而帶動(dòng)所述連接桿移動(dòng)，從而推動(dòng)所述活塞在所述腔體內(nèi)移動(dòng)。
8.如權(quán)利要求7所述的手持式免充電吸筆，其特征在于，所述第一手柄包括第一手柄頭和第一手柄桿，所述第一手柄頭設(shè)置在所述第一手柄桿的一端，所述第一手柄桿的另一端固定安裝在所述腔體的外表面上。
9.如權(quán)利要求7所述的手持式免充電吸筆，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)裝置包括轉(zhuǎn)盤(pán)和轉(zhuǎn)動(dòng)桿，所述轉(zhuǎn)盤(pán)固定設(shè)置在所述轉(zhuǎn)動(dòng)桿的一端，所述轉(zhuǎn)動(dòng)桿的另一端與所述第一手柄轉(zhuǎn)動(dòng)連接。
10.如權(quán)利要求7所述的手持式免充電吸筆，其特征在于，所述第二手柄包括第二手柄頭、第二手柄桿和環(huán)形端部，所述第二手柄頭設(shè)置在所述第二手柄桿的一端，所述環(huán)形端部設(shè)置在所述第二手柄桿的另一端，所述環(huán)形端與所述旋轉(zhuǎn)裝置固定連接。
全文摘要
本發(fā)明的手持式免充電吸筆包括活塞裝置、吸嘴裝置和手持裝置；所述活塞裝置包括腔體、設(shè)置在所述腔體內(nèi)的活塞和與所述活塞連接的連接桿；所述吸嘴裝置設(shè)置于所述活塞裝置的一端，且與所述活塞裝置通氣；所述手持裝置與所述連接桿連接，所述手持裝置用于拉動(dòng)所述連接桿，從而推動(dòng)所述活塞在所述腔體內(nèi)移動(dòng)。本發(fā)明的手持式免充電吸筆利用活塞裝置產(chǎn)生負(fù)壓從而吸住硅片，既攜帶方便又不需要充電。
文檔編號(hào)H01L21/683GK102437080SQ201110401668
公開(kāi)日2012年5月2日 申請(qǐng)日期2011年12月6日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月6日
發(fā)明者袁偉 申請(qǐng)人:上海集成電路研發(fā)中心有限公司