專利名稱：鍵合機防沉鎖緊裝置的制作方法
技術(shù)領域：
本實用新型涉及半導體封裝技術(shù)，尤其涉及一種鍵合機防沉鎖緊裝置。
背景技術(shù)：
在半導體封裝鍵合工藝過程中，封裝品的鍵合效果對后續(xù)工序尤其產(chǎn)品的良率、 使用壽命、可靠性等都起著至關重要甚至決定性的作用，而鍵合裝置與封裝品框架之間的壓合效果則直接影響了鍵合的質(zhì)量。目前的鍵合裝置中，尤其對于一些沒有加熱區(qū)的鍵合裝置，主要是通過壓縮空氣來控制壓合夾具的打開和閉合，這就對壓縮空氣的質(zhì)量、壓力提出了很高的要求。當壓縮空氣壓力不能達到要求時會導致前后壓爪的壓力大于中間的鍵合塊，造成鍵合臺下沉，夾具無法完全到位，鍵合線壓著狀態(tài)不良，產(chǎn)生虛焊或焊不上等問題，進而影響鍵合效果；此外， 傳統(tǒng)的長條形壓爪結(jié)構(gòu)，往往會出現(xiàn)壓力不充足的問題
實用新型內(nèi)容
本實用新型解決的技術(shù)問題是如何實現(xiàn)一種結(jié)構(gòu)簡單、成本經(jīng)濟、穩(wěn)定性高又便于維護的防沉裝置。為解決上述技術(shù)問題，本實用新型提供鍵合機防沉鎖緊裝置，包括壓具系統(tǒng)和壓塊系統(tǒng)，所述壓具系統(tǒng)為對稱結(jié)構(gòu)且位于所述壓塊系統(tǒng)的兩側(cè)；所述壓具系統(tǒng)包括壓具底座、壓具氣缸、壓板安裝平臺和壓具彈簧，所述壓具氣缸固定于所述壓具底座上，所述壓板安裝平臺固定于壓具氣缸上，所述壓具彈簧位于壓具氣缸的兩側(cè)，壓具彈簧的兩端分別固定于壓具氣缸和壓具底座上；所述壓塊系統(tǒng)包括壓塊底座、壓塊氣缸、壓縮空氣裝置、鎖緊結(jié)構(gòu)、砧塊安裝平臺和壓塊彈簧，所述壓塊氣缸固定于所述壓塊底座上，所述壓縮空氣裝置固定于壓塊氣缸上， 所述鎖緊結(jié)構(gòu)固定于壓塊氣缸上，所述砧塊安裝平臺固定于壓塊氣缸上并位于鎖緊結(jié)構(gòu)的上方，所述壓塊彈簧位于壓塊氣缸的兩側(cè)，壓塊彈簧的兩端分別固定于砧塊安裝平臺和壓塊底座上。可選地，所述壓具系統(tǒng)的壓板安裝平臺上設有壓板結(jié)構(gòu)?？蛇x地，所述壓板結(jié)構(gòu)包括壓板和壓爪。可選地，所述壓板上設有調(diào)節(jié)孔槽?？蛇x地，所述壓爪固定于所述壓板的下方?？蛇x地，所述壓爪由多根手指狀金屬條構(gòu)成。可選地，所述鎖緊結(jié)構(gòu)由斜契塊、滾輪和滾輪固定塊構(gòu)成，所述斜契塊固定于所述壓塊氣缸的滑塊上，所述滾輪固定塊位于斜契塊上方，滾輪固定塊的一端固定于所述壓塊系統(tǒng)上?？蛇x地，所述壓具氣缸沿垂直方向運動?？蛇x地，所述壓塊氣缸沿水平方向運動。[0016]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型請求保護的鍵合機防沉鎖緊裝置，鎖緊結(jié)構(gòu)的斜契塊與滾輪組合的運動結(jié)構(gòu)能有效防止鍵合臺的下沉，加之彈簧的控制能防止鍵合過程中超聲波的消失，手指狀的壓爪提供了更好的壓合效果，不但彌補了壓縮空氣質(zhì)量、壓力不良時帶來的產(chǎn)品質(zhì)量隱患，同時提升了產(chǎn)品在鍵合過程中的鍵合品質(zhì)。本裝置結(jié)構(gòu)簡單、成本經(jīng)濟、穩(wěn)定性高、便于維護，大大提高了生產(chǎn)效率

圖1為本實用新型實施例中鍵合機防沉鎖緊裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本實用新型實施例中鍵合機防沉鎖緊裝置中壓板結(jié)構(gòu)的俯面示意圖；圖3為本實用新型實施例中鍵合機防沉鎖緊裝置中鎖緊結(jié)構(gòu)的示意圖；圖4 圖5為本實用新型實施例中鍵合機防沉鎖緊裝置中鎖緊結(jié)構(gòu)與壓塊氣缸的運動示意圖。
具體實施方式
在下面的描述中闡述了很多具體細節(jié)以便于充分理解本實用新型。但是本實用新型能夠以很多不同于在此描述的其它方式來實施，本領域技術(shù)人員可以在不違背本實用新型內(nèi)涵的情況下做類似推廣，因此本實用新型不受下面公開的具體實施的限制。其次，本實用新型利用示意圖進行詳細描述，在詳述本實用新型實施例時，為便于說明，所述示意圖只是實例，其在此不應限制本實用新型保護的范圍。
以下結(jié)合附圖對本實用新型的具體實施方式
做詳細的說明。如圖1所示，本實用新型提供的鍵合機防沉鎖緊裝置，包括壓具系統(tǒng)和壓塊系統(tǒng)， 所述壓具系統(tǒng)為一組對稱結(jié)構(gòu)并位所述壓塊系統(tǒng)的兩側(cè)。所述壓具系統(tǒng)包括壓具底座1、壓具氣缸3、壓板安裝平臺4和壓具彈簧2，所述壓具氣缸3固定于所述壓具底座1上，所述壓板安裝平臺4固定于壓具氣缸3上，當壓具氣缸 3垂直運動時則帶動壓板安裝平臺同4時做上下運動，所述壓具彈簧2位于壓具氣缸3的兩側(cè)，壓具彈簧2的兩端分別固定于壓具氣缸3和壓具底座1上，用以控制壓具氣缸3的運動幅度，防止鍵合工藝過程中超聲波的消失以確保鍵合質(zhì)量。所述壓具系統(tǒng)上還裝有壓板結(jié)構(gòu)，對應于壓具系統(tǒng)的對稱結(jié)構(gòu)，兩個壓板安裝平臺4上分別裝有壓板結(jié)構(gòu)，如圖2所示，所述壓板結(jié)構(gòu)包括壓板12和壓爪13，壓板12上設有可調(diào)節(jié)的孔槽以便根據(jù)位置需要固定于壓板安裝平臺4上，壓板12下方固定有壓爪13， 所述壓爪13為多根手指狀的金屬條構(gòu)成以便更好地壓合封裝品的框架，兩邊壓板安裝平臺4上的壓板12、壓爪13、的形狀可根據(jù)具體產(chǎn)品需求加以調(diào)整，所述壓板結(jié)構(gòu)隨著壓具氣缸3的連動作用上下壓合與打開。所述壓塊系統(tǒng)包括壓塊底座10、壓塊氣缸6、壓縮空氣裝置9、鎖緊結(jié)構(gòu)、砧塊安裝平臺5和壓塊彈簧11，所述壓塊氣缸6固定于所述壓塊底座10上，所述壓縮空氣裝置9固定于壓塊氣缸6上為氣缸運動提供動力支持，所述鎖緊結(jié)構(gòu)固定于壓塊氣缸6上，所述砧塊安裝平臺5固定于壓塊氣缸6上并位于鎖緊結(jié)構(gòu)的上方，砧塊安裝平臺5上承放鐵砧，用以頂住并固定封裝品框架，所述壓塊彈簧11位于壓塊氣缸6的兩側(cè)，壓塊彈簧11的兩端分別固定于砧塊安裝平臺5和壓塊底座10上。[0028]如圖3所示，所述鎖緊結(jié)構(gòu)由斜契塊8、滾輪7和滾輪固定塊構(gòu)成，所述斜契塊8固定于所述壓塊氣缸6的滑塊上，所述滾輪固定塊位于斜契塊8上方，滾輪固定塊的一端固定于所述壓塊系統(tǒng)上如圖4、圖5所示，所述壓塊氣缸6沿水平方向運動，固定于壓塊氣缸6滑塊上的斜契塊8也隨之做水平運動，所述滾輪固定塊相對于壓塊底座10靜止，當氣壓不穩(wěn)造成斜契塊8被動右移時，滾輪7則會沿著斜契塊8的斜坡向左上方爬坡，頂住砧塊安裝平臺5，從而防止鍵合臺的下沉，兩端固定于砧塊安裝平臺5和壓塊底座10的壓塊彈簧11則有效控制了砧塊安裝平臺5的上下幅度，保證了鍵合臺的相對穩(wěn)定。雖然本實用新型已以較佳實施例披露如上，但本實用新型并非限定于此。任何本領域技術(shù)人員，在不脫離本實用新型的精神和范圍內(nèi)，均可作各種更動與修改，因此本實用新型的保護范圍應當以權(quán)利要求所限定的范圍為準。
權(quán)利要求1.鍵合機防沉鎖緊裝置，其特征在于所述防沉鎖緊裝置包括壓具系統(tǒng)和壓塊系統(tǒng)， 所述壓具系統(tǒng)為對稱結(jié)構(gòu)且位于所述壓塊系統(tǒng)的兩側(cè)；所述壓具系統(tǒng)包括壓具底座、壓具氣缸、壓板安裝平臺和壓具彈簧，所述壓具氣缸固定于所述壓具底座上，所述壓板安裝平臺固定于壓具氣缸上，所述壓具彈簧位于壓具氣缸的兩側(cè)，壓具彈簧的兩端分別固定于壓具氣缸和壓具底座上；所述壓塊系統(tǒng)包括壓塊底座、壓塊氣缸、壓縮空氣裝置、鎖緊結(jié)構(gòu)、砧塊安裝平臺和壓塊彈簧，所述壓塊氣缸固定于所述壓塊底座上，所述壓縮空氣裝置固定于壓塊氣缸上，所述鎖緊結(jié)構(gòu)固定于壓塊氣缸上，所述砧塊安裝平臺固定于壓塊氣缸上并位于鎖緊結(jié)構(gòu)的上方，所述壓塊彈簧位于壓塊氣缸的兩側(cè)，壓塊彈簧的兩端分別固定于砧塊安裝平臺和壓塊底座上。
2.如權(quán)利要求1所述的鍵合機防沉鎖緊裝置，其特征在于所述壓具系統(tǒng)的壓板安裝平臺上設有壓板結(jié)構(gòu)。
3.如權(quán)利要求2所述的鍵合機防沉鎖緊裝置，其特征在于所述壓板結(jié)構(gòu)包括壓板和壓爪。
4.如權(quán)利要求3所述的鍵合機防沉鎖緊裝置，其特征在于所述壓板上設有調(diào)節(jié)孔槽。
5.如權(quán)利要求3所述的鍵合機防沉鎖緊裝置，其特征在于所述壓爪固定于所述壓板的下方。
6.如權(quán)利要求3所述的鍵合機防沉鎖緊裝置，其特征在于所述壓爪由多根手指狀金屬條構(gòu)成。
7.如權(quán)利要求1所述的鍵合機防沉鎖緊裝置，其特征在于所述鎖緊結(jié)構(gòu)由斜契塊、滾輪和滾輪固定塊構(gòu)成，所述斜契塊固定于所述壓塊氣缸的滑塊上，所述滾輪固定塊位于斜契塊上方，滾輪固定塊的一端固定于所述壓塊系統(tǒng)上。
8.如權(quán)利要求1所述的鍵合機防沉鎖緊裝置，其特征在于所述壓具氣缸沿垂直方向運動。
9.如權(quán)利要求1所述的鍵合機防沉鎖緊裝置，其特征在于所述壓塊氣缸沿水平方向運動。
專利摘要本實用新型涉及鍵合機防沉鎖緊裝置，主要包括壓具系統(tǒng)和壓塊系統(tǒng)，壓具系統(tǒng)為對稱結(jié)構(gòu)且位于壓塊系統(tǒng)的兩側(cè)，壓塊系統(tǒng)中設有鎖緊結(jié)構(gòu)。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型請求保護的鍵合機防沉鎖緊裝置，利用鎖緊結(jié)構(gòu)的斜契塊與滾輪組合的運動結(jié)構(gòu)能有效防止鍵合臺的下沉，提升了產(chǎn)品在鍵合過程中的鍵合品質(zhì)，本裝置結(jié)構(gòu)簡單、成本經(jīng)濟、穩(wěn)定性高、便于維護，大大提高了生產(chǎn)效率。
文檔編號H01L21/60GK202025722SQ20112003717
公開日2011年11月2日 申請日期2011年2月12日 優(yōu)先權(quán)日2011年2月12日
發(fā)明者徐媛媛, 陳永生 申請人:南通富士通微電子股份有限公司