專利名稱：高速晶圓劈裂裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種晶圓劈裂裝置，特別涉及一種應(yīng)用于晶圓劈裂作業(yè)的高速晶圓劈裂裝置。
背景技術(shù)：
為使晶圓上的晶粒單元可被分割，以便后續(xù)的構(gòu)裝制程，通常是憑借晶圓劈裂機(jī)來執(zhí)行晶圓劈裂作業(yè)。目前現(xiàn)有的晶圓劈機(jī)主要是于機(jī)臺(tái)上裝設(shè)一晶圓劈裂裝置，所述晶圓劈裂裝置是于其基座上裝設(shè)一可上下位移的劈刀座，另于基座上裝設(shè)一伺服馬達(dá)，伺服馬達(dá)心軸組接樞設(shè)于基座上的螺桿，再以螺桿螺接劈刀座，劈刀座底端設(shè)有可為壓電元件式的劈裂致動(dòng)器，再于劈裂致動(dòng)器的作動(dòng)端接設(shè)劈刀。前述晶圓劈裂機(jī)執(zhí)行晶圓劈裂作業(yè)時(shí)，是將待劈裂晶圓放置于高速晶圓劈裂裝置下方的預(yù)定位置，再令伺服馬達(dá)驅(qū)動(dòng)螺桿旋轉(zhuǎn)，進(jìn)而驅(qū)動(dòng)劈刀座下降，并于下降至預(yù)定高度位置時(shí)，令劈裂致動(dòng)器對(duì)劈刀施以一作用力，使劈刀沖擊晶圓的預(yù)定位置而予以劈斷，于晶圓劈裂后，再憑借伺服馬達(dá)驅(qū)動(dòng)螺桿反向旋轉(zhuǎn)，以驅(qū)動(dòng)劈刀座上升，之后，令晶圓橫向位移， 再接續(xù)晶圓另一劈裂位置的劈裂作業(yè)。然而，前述晶圓劈裂機(jī)雖可達(dá)到執(zhí)行晶圓劈裂作業(yè)的目的，但是，前述晶圓劈裂機(jī)的晶圓劈裂裝置是利用伺服馬達(dá)驅(qū)動(dòng)螺桿帶動(dòng)劈刀座升降，在實(shí)施時(shí)，其晶圓劈裂的執(zhí)行速度慢，以致有作業(yè)效率不佳的缺點(diǎn)。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是改善現(xiàn)有晶圓劈裂裝置作業(yè)速度慢、效率不佳的缺點(diǎn)。本實(shí)用新型的技術(shù)解決方案是提供一種高速晶圓劈裂裝置，其包含—基座，其具有一作用面以及一背面，該作用面和背面分別位于兩側(cè)；一劈刀座，可上下滑移的裝設(shè)于基座的作用面；一劈刀，是裝設(shè)于劈刀座的底端；一高速驅(qū)動(dòng)組件，是連接于基座與劈刀座之間，用以驅(qū)動(dòng)具有劈刀的劈刀座高速升降運(yùn)動(dòng)。所述的高速晶圓劈裂裝置，其中，所述高速驅(qū)動(dòng)組件是線性馬達(dá)，所述線性馬達(dá)包含一定子及一動(dòng)子，定子設(shè)于基座的作用面上，動(dòng)子設(shè)于劈刀座上與定子相應(yīng)，所述線性馬達(dá)的定子受控通電產(chǎn)生磁力以驅(qū)動(dòng)動(dòng)子及具有劈刀的劈刀座高速下降；所述高速晶圓劈裂裝置包含一配重塊以及一皮帶輪組，所述配重塊可上下滑移的裝設(shè)于基座的背面，所述皮帶輪組包含一上滾輪及一皮帶，上滾輪可旋轉(zhuǎn)的裝設(shè)于基座頂部，皮帶連接配重塊及劈刀座，且繞過上滾輪。所述的高速晶圓劈裂裝置，其中，所述皮帶輪組進(jìn)一步包含一下滾輪，下滾輪可旋轉(zhuǎn)的裝設(shè)于基座底部，所述皮帶一端固接劈刀座頂端，且皮帶繞過上滾輪，再穿設(shè)固定于配重塊中以及繞過下滾輪，再以皮帶另一端固接劈刀座底端。所述的高速晶圓劈裂裝置，其中，所述高速晶圓劈裂裝置進(jìn)一步包含兩個(gè)劈裂致動(dòng)器，劈裂致動(dòng)器裝設(shè)于劈刀座底端，以其作動(dòng)端連接劈刀。所述的高速晶圓劈裂裝置，其中，所述基座的作用面及背面各設(shè)置縱向滑軌，劈刀座設(shè)有滑座組設(shè)于基座的作用面的縱向滑軌上，配重塊上設(shè)有滑塊，滑塊組設(shè)于基座背面的縱向滑軌。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是利用高速驅(qū)動(dòng)組件驅(qū)動(dòng)具有劈刀的劈刀座高速下降，憑借劈刀高速下降至預(yù)定高度位置的接觸晶圓瞬間所產(chǎn)生的沖擊力而劈裂晶圓，由此，使該高速晶圓劈裂裝置的晶圓劈裂作業(yè)時(shí)間縮短，而有效的提升晶圓劈裂的作業(yè)效率。

圖1是本實(shí)用新型高速晶圓劈裂裝置的一較佳實(shí)施例前視立體示意圖；圖2是圖1所示高速晶圓劈裂裝置較佳實(shí)施例的背視平面示意圖；圖3是圖1所示高速晶圓劈裂裝置較佳實(shí)施例的側(cè)視剖面示意圖；圖4是圖1所示高速晶圓劈裂裝置較佳實(shí)施例的使用狀態(tài)參考圖。附圖標(biāo)號(hào)說明1-基座；10-作用面；11-背面；12-縱向滑軌；13-縱向滑軌；2_劈刀座；20-滑座；3-劈刀；4-線性馬達(dá)；40-定子；41-動(dòng)子；5-配重塊；50-滑塊；6-皮帶輪組；60-上滾輪；61-皮帶；62-下滾輪；7-劈裂致動(dòng)器；8-晶圓。
具體實(shí)施方式
以下配合附圖及本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例，進(jìn)一步闡述本實(shí)用新型為達(dá)成預(yù)定實(shí)用新型目的所采取的技術(shù)手段。如圖1至圖3所示，是揭示本實(shí)用新型高速晶圓劈裂裝置的一較佳實(shí)施例，在附圖中可見及本實(shí)用新型高速晶圓劈裂裝置包含一基座1、一劈刀座2、一劈刀3以及一高速驅(qū)動(dòng)組件，其中所述基座1是用以裝設(shè)于晶圓劈裂機(jī)的機(jī)臺(tái)上，基座具有一作用面10以及一背面 11分別位于兩側(cè)，作用面10兩側(cè)端可設(shè)置縱向滑軌12，背面11也可設(shè)置縱向滑軌13。所述劈刀座2是可上下滑移的裝設(shè)于基座1的作用面10，劈刀座2可設(shè)置兩組滑座20分別組設(shè)于基座1的作用面10的縱向滑軌12上。所述劈刀3是裝設(shè)于劈刀座2的底端，用以作為晶圓劈裂的刀具。所述高速驅(qū)動(dòng)組件是接設(shè)于基座1與劈刀座2之間，用以驅(qū)動(dòng)劈刀座2相對(duì)于基座1以5mm/SeC以上的速率作上下高速運(yùn)動(dòng)，在本較佳實(shí)施例中，所述高速驅(qū)動(dòng)組件是選用線性馬達(dá)4，所述線性馬達(dá)4包含一定子40及一動(dòng)子41，所述定子40設(shè)于基座1的作用面 10上，動(dòng)子41設(shè)于劈刀座2上與定子40相應(yīng)，線性馬達(dá)4的定子40可受控通電產(chǎn)生磁力以驅(qū)動(dòng)動(dòng)子41及具有劈刀3的劈刀座2高速下降及上升位移。當(dāng)所述高速驅(qū)動(dòng)組件選用線性馬達(dá)4時(shí)，該高速晶圓劈裂裝置尚可進(jìn)一步包含一配重塊5及一皮帶輪組6，其中所述配重塊5是可上下滑移的裝設(shè)于基座1的背面11，配重塊5上可設(shè)置滑塊50， 利用滑塊50組設(shè)于基座1背面11的縱向滑軌13，使配重塊5可憑借本身的重力作用而垂直下降。所述皮帶輪組6包含一上滾輪60及一皮帶61，所述上滾輪60是可旋轉(zhuǎn)的裝設(shè)于基座1頂部，皮帶61是連接配重塊5與連接劈刀座2，且繞過上滾輪60，以利用配重塊5的重力作用對(duì)線性馬達(dá)4驅(qū)動(dòng)具有劈刀3的劈刀座3下降時(shí)提供平衡的力量，如圖3所示，所述的皮帶輪組6尚包含一下滾輪62，下滾輪62是可旋轉(zhuǎn)的裝設(shè)于基座1底部，所述皮帶61 一端固接劈刀座2的頂端，且皮帶61繞過上滾輪60，再穿設(shè)固定于配重塊5中以及繞過下滾輪62，再以皮帶61另一端固接劈刀座2的底端。本實(shí)用新型高速晶圓劈裂裝置尚可進(jìn)一步包含兩個(gè)劈裂致動(dòng)器7，所述劈裂致動(dòng)器7可為壓電元件，所述兩個(gè)劈裂致動(dòng)器7是裝設(shè)于劈刀座2底端兩側(cè)，并以其作動(dòng)端連接劈刀3，用以受控對(duì)劈刀3施以一輔助性作用力。本實(shí)用新型高速晶圓劈裂裝置應(yīng)用于晶圓劈裂機(jī)具，當(dāng)進(jìn)行晶圓劈裂作業(yè)時(shí)，以使用線性馬達(dá)4作為高速驅(qū)動(dòng)組件為例，待劈裂晶圓8放置于高速晶圓劈裂裝置下方的預(yù)定位置，再令線性馬達(dá)4的定子40受控通電產(chǎn)生磁力而驅(qū)動(dòng)動(dòng)子41及具有劈刀3的劈刀座2以5mm/sec以上的速率高速下降，并于預(yù)定高度位置精準(zhǔn)定位，同時(shí)憑借劈刀3接觸晶圓8表面瞬間所產(chǎn)生的向下沖擊力劈裂晶圓8，其中于劈刀座2及劈刀3向下運(yùn)動(dòng)的過程中，并憑借配重塊5的重力作用經(jīng)由皮帶61對(duì)劈刀座2提供一平衡力量，避免劈刀座2及其上的劈刀3過度下墜，若高速晶圓劈裂裝置具有劈裂致動(dòng)器7時(shí)，劈裂致動(dòng)器7可受控于適當(dāng)時(shí)機(jī)對(duì)劈刀3施以一輔助性作用力，使劈刀3得以將晶圓預(yù)定位置予以劈斷，于晶圓8 劈裂后，再通過線性馬達(dá)4反向驅(qū)動(dòng)具有劈刀3的劈刀座2上復(fù)位，即可接續(xù)晶圓另一劈裂位置的劈裂作業(yè)。當(dāng)高速晶圓劈裂裝置斷電停機(jī)時(shí)，劈刀座2可通過配重塊5向下的重力經(jīng)由皮帶 61帶動(dòng)劈刀座2上升，直至配重塊5接觸基座1為止。經(jīng)由以上說明可知，本實(shí)用新型高速晶圓劈裂裝置應(yīng)用于晶圓劈裂作業(yè)時(shí)，其是利用高速驅(qū)動(dòng)組件驅(qū)動(dòng)具有劈刀的劈刀座高速下降，并于劈刀下降至適當(dāng)高度時(shí)，利用高速運(yùn)動(dòng)中的劈刀于接觸晶圓瞬間所產(chǎn)生的向下沖擊劈斷晶圓，之后，憑借高速驅(qū)動(dòng)組件反向驅(qū)動(dòng)劈刀座上升復(fù)位，由此，使該高速晶圓劈裂裝置的晶圓劈裂作業(yè)時(shí)間縮短，而有效的提升晶圓劈裂的作業(yè)效率。以上所述僅是本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并非對(duì)本實(shí)用新型做任何形式上的限制，雖然本實(shí)用新型已以較佳實(shí)施例揭露如上，然而并非用以限定本實(shí)用新型，任何熟悉本專業(yè)的技術(shù)人員，在不脫離本實(shí)用新型技術(shù)方案的范圍內(nèi)，當(dāng)可利用上述揭示的技術(shù)內(nèi)容作出些許更動(dòng)或修飾為等同變化的等效實(shí)施例，但凡是未脫離本實(shí)用新型技術(shù)方案的內(nèi)容，依據(jù)本實(shí)用新型的技術(shù)實(shí)質(zhì)對(duì)以上實(shí)施例所作的任何簡(jiǎn)單修改、等同變化與修飾，均仍屬于本實(shí)用新型技術(shù)方案的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種高速晶圓劈裂裝置，其特征在于，其包含一基座，其具有一作用面以及一背面，該作用面和背面分別位于兩側(cè)；一劈刀座，可上下滑移的裝設(shè)于基座的作用面；一劈刀，是裝設(shè)于劈刀座的底端；一高速驅(qū)動(dòng)組件，是連接于基座與劈刀座之間，用以驅(qū)動(dòng)具有劈刀的劈刀座高速升降運(yùn)動(dòng)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高速晶圓劈裂裝置，其特征在于，所述高速驅(qū)動(dòng)組件是線性馬達(dá)，所述線性馬達(dá)包含一定子及一動(dòng)子，定子設(shè)于基座的作用面上，動(dòng)子設(shè)于劈刀座上與定子相應(yīng)，所述線性馬達(dá)的定子受控通電產(chǎn)生磁力以驅(qū)動(dòng)動(dòng)子及具有劈刀的劈刀座高速下降；所述高速晶圓劈裂裝置包含一配重塊以及一皮帶輪組，所述配重塊可上下滑移的裝設(shè)于基座的背面，所述皮帶輪組包含一上滾輪及一皮帶，上滾輪可旋轉(zhuǎn)的裝設(shè)于基座頂部，皮帶連接配重塊及劈刀座，且繞過上滾輪。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的高速晶圓劈裂裝置，其特征在于，所述皮帶輪組進(jìn)一步包含一下滾輪，下滾輪可旋轉(zhuǎn)的裝設(shè)于基座底部，所述皮帶一端固接劈刀座頂端，且皮帶繞過上滾輪，再穿設(shè)固定于配重塊中以及繞過下滾輪，再以皮帶另一端固接劈刀座底端。
4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的高速晶圓劈裂裝置，其特征在于，所述高速晶圓劈裂裝置進(jìn)一步包含兩個(gè)劈裂致動(dòng)器，劈裂致動(dòng)器裝設(shè)于劈刀座底端，以其作動(dòng)端連接劈刀。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的高速晶圓劈裂裝置，其特征在于，所述基座的作用面及背面各設(shè)置縱向滑軌，劈刀座設(shè)有滑座組設(shè)于基座的作用面的縱向滑軌上，配重塊上設(shè)有滑塊， 滑塊組設(shè)于基座背面的縱向滑軌。
專利摘要本實(shí)用新型是關(guān)于一種高速晶圓劈裂裝置，其主要是于一基座與其一側(cè)的劈刀座間設(shè)置一高速驅(qū)動(dòng)組件，由此，利用高速驅(qū)動(dòng)組件驅(qū)動(dòng)具有劈刀的劈刀座高速下降，劈刀高速下降至預(yù)定高度位置的接觸晶圓瞬間所產(chǎn)生的向下沖擊力而劈斷晶圓，以期憑借高速劈裂的作動(dòng)方式縮短晶圓劈裂作業(yè)時(shí)間，提升晶圓劈裂的作業(yè)效率。
文檔編號(hào)H01L21/00GK202058704SQ201120039570
公開日2011年11月30日 申請(qǐng)日期2011年2月16日 優(yōu)先權(quán)日2011年2月16日
發(fā)明者劉源欽, 張宏銘, 王裕賢 申請(qǐng)人:竑騰科技股份有限公司