專利名稱：晶圓夾持裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及集成電路制造領(lǐng)域，具體涉及一種晶圓夾持裝置。
背景技術(shù)：
在集成電路制造領(lǐng)域，晶圓測試的工藝至關(guān)重要。在對晶圓進(jìn)行測試的過程中， 首先需要將晶圓放入測試機(jī)臺，而晶圓夾持裝置能夠用于固定晶圓并將晶圓運(yùn)輸至檢測機(jī)臺。目前行業(yè)內(nèi)用于夾持晶圓的裝置大多采用吸盤，具體的說，將吸盤固定在晶圓的背面， 既能利用負(fù)壓吸附住晶圓，從而達(dá)到移動晶圓的目的，又能避免損傷晶圓表面。然而，針對相互之間距離較遠(yuǎn)的晶圓，吸盤需要不停地移動位置，以完成位于不同位置上的晶圓的夾持作業(yè)，而吸盤及其附件設(shè)施非常不方便攜帶，操作過程較為繁瑣。

實用新型內(nèi)容本實用新型的目的在于提出一種晶圓夾持裝置，可以解決吸盤及其附件設(shè)施不方便攜帶的問題。為了實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供一種晶圓夾持裝置，所述晶圓夾持裝置包括凸輪、啟動元件、多個連接桿以及多個夾頭，所述凸輪與啟動元件連接，所述連接桿的一端與所述凸輪連接，所述連接桿的另一端與夾頭連接，多個夾頭共同夾持住晶圓邊緣。優(yōu)選地，所述連接桿的一端通過伸縮元件與所述凸輪連接。優(yōu)選地，所述凸輪包括齒輪、葉片輪、中心軸以及外殼，所述齒輪、葉片輪、中心軸設(shè)置在所述外殼內(nèi)，所述齒輪和所述葉片輪通過所述中心軸疊置，所述連接桿的一端伸入所述外殼與外殼內(nèi)的所述葉片輪緊靠，所述連接桿的一端通過伸縮元件與所述中心軸連接。優(yōu)選地，所述啟動元件包括第一螺桿、第二螺桿以及彈片，所述第一螺桿的一端與所述彈片連接，所述第一螺桿的另一端與第二螺桿的一端嚙合，所述第二螺桿的另一端與齒輪嚙合。優(yōu)選地，所述第一螺桿與所述第二螺桿相互垂直放置。優(yōu)選地，所述啟動元件包括螺桿以及馬達(dá)，所述螺桿的一端與馬達(dá)連接，所述螺桿的另一端與齒輪嚙合。優(yōu)選地，所述伸縮元件是彈簧。優(yōu)選地，所述晶圓夾持裝置還包括能夠伸縮的伸縮桿，所述伸縮桿與所述連接桿連接。優(yōu)選地，所述連接桿的數(shù)量為3 5個。優(yōu)選地，所述夾頭的形狀為三角勾形。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型提供的晶圓夾持裝置包括凸輪、啟動元件、多個連接桿以及多個夾頭，通過多個夾頭同時對晶圓進(jìn)行抓取，使用方便；并且由凸輪、啟動元件以及多個連接桿組成的晶圓夾持裝置，結(jié)構(gòu)簡單，攜帶方便。另外，通過控制啟動元件，使第一螺桿、第二螺桿、齒輪、葉片輪轉(zhuǎn)動，進(jìn)而使葉片
3輪推動連接桿運(yùn)動，使位于連接桿端末的夾頭能夠夾持住晶圓。采用機(jī)械傳動最終夾持晶圓，操作簡單。

圖1為本實用新型實施例一的晶圓夾持裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本實用新型實施例一的凸輪的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為本實用新型實施例一的凸輪、連接桿以及夾頭的結(jié)構(gòu)示意圖；圖4為本實用新型實施例一的啟動元件以及凸輪的結(jié)構(gòu)示意圖；圖fe為本實用新型實施例一的晶圓夾持裝置準(zhǔn)備夾持晶圓的示意圖；圖恥為本實用新型實施例一的晶圓夾持裝置夾持住晶圓的示意圖；圖5c為本實用新型實施例一的晶圓夾持裝置夾持住晶圓的俯視示意圖；圖6為本實用新型實施例二的啟動元件以及凸輪的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖和具體實施例對本實用新型提出的晶圓夾持裝置作進(jìn)一步詳細(xì)說明。根據(jù)下面說明和權(quán)利要求書，本實用新型的優(yōu)點和特征將更清楚。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比率，僅用于方便、明晰地輔助說明本實用新型實施例的目的。實施例一請參考圖1，其為本實用新型實施例一的晶圓夾持裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。所述晶圓夾持裝置10包括凸輪11、啟動元件12、多個連接桿13以及多個夾頭14，所述凸輪11與啟動元件12連接，所述連接桿13的一端與所述凸輪11連接，所述連接桿的另一端與夾頭14連接，多個夾頭14共同夾持住晶圓邊緣。具體的，請參考圖2，其為本實用新型實施例一的凸輪的結(jié)構(gòu)示意圖，所述凸輪11 包括齒輪111、葉片輪112、中心軸113以及外殼114，所述齒輪111、葉片輪112、中心軸113 設(shè)置在所述外殼114內(nèi)，所述齒輪111和葉片輪112通過中心軸113疊置，連接桿13的一端伸入外殼114內(nèi)并且與外殼114內(nèi)的所述葉片輪112緊靠，所述葉片輪112的轉(zhuǎn)動能夠引起緊靠葉片輪112的連接桿13運(yùn)動。請參考圖3，其為本實用新型實施例一的凸輪、連接桿以及夾頭的結(jié)構(gòu)示意圖。所述連接桿13的一端通過伸縮元件32與凸輪11連接。具體地，所述伸縮元件32與凸輪11 中的中心軸113連接，并且通過伸縮元件32使連接桿13的一端與葉片輪112的邊緣緊靠。 在本實施例中，所述伸縮元件32為彈簧，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)該理解，所述伸縮元件 32不僅僅局限于彈簧，還可以是其他可以具有伸縮性能的元件。進(jìn)一步地，所述晶圓夾持裝置10還包括能夠伸縮的伸縮桿31，所述伸縮桿31與所述連接桿13連接，通過調(diào)節(jié)伸縮桿31的長短可以使晶圓夾持裝置10能夠夾持不同尺寸的晶圓。在本實施例中，所述連接桿13的數(shù)量為3個，并且兩兩連接桿13之間的夾角相等。對應(yīng)地，所述夾頭14的數(shù)量也為3個，夾持住晶圓后將均勻地分布在晶圓邊緣，以較好的固定晶圓。本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)該理解，所述連接桿13的數(shù)量不僅僅局限于3個，也即夾頭14的數(shù)量不僅僅局限于3個，還可以是其他能夠使夾頭14將晶圓夾持住的數(shù)量。請參考圖4，其為本實用新型實施例一的啟動元件以及凸輪的結(jié)構(gòu)示意圖。所述啟動元件12包括第一螺桿121、第二螺桿122以及彈片123，所述彈片123的一端固定在固定板IM上，所述彈片123的另一端與所述第一螺桿121的一端連接，所述第一螺桿121的另一端與所述第二螺桿122的一端嚙合，所述第二螺桿122的另一端與所述齒輪111嚙合。 本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)該理解，所述彈片123也可以由諸如彈簧等具有伸縮性的構(gòu)件代替。在本實施例中，所述第一螺桿121與第二螺桿122相互垂直放置，所述第一螺桿 121與第二螺桿122嚙合。接著，請參考圖fe至圖5c，其中，圖fe為本實用新型實施例一的晶圓夾持裝置準(zhǔn)備夾持晶圓的結(jié)構(gòu)示意圖；圖恥為本實用新型實施例一的晶圓夾持裝置夾持住晶圓的結(jié)構(gòu)示意圖；圖5c為本實用新型較佳實施例的晶圓夾持裝置夾持住晶圓的俯視示意圖。參照圖5a，并結(jié)合圖4，在利用本實用新型實施例提供的晶圓夾持裝置10對晶圓 51進(jìn)行夾持時，首先按壓第一螺桿121，使連接在第一螺桿121 —端的彈片123壓縮，第一螺桿121帶動第二螺桿122順時針轉(zhuǎn)動，從而使與第二螺桿122嚙合的齒輪111順時針滾動，并且使與齒輪111嚙合的葉片輪112逆時針轉(zhuǎn)動，葉片輪112的轉(zhuǎn)動使連接桿13遠(yuǎn)離中心軸113，并且由于伸縮元件32，使連接桿113的一端始終緊靠葉片輪112的邊緣，此時伸縮元件32伸長，連接桿113另一端連接的夾頭114向遠(yuǎn)離中心軸113的方向運(yùn)動，準(zhǔn)備夾持晶圓51。參照圖恥以及圖5c，并結(jié)合圖4，將按壓在第一螺桿121上的力撤去，連接在第一螺桿121 —端的彈片123將彈性勢能釋放，使第一螺桿121向反方向運(yùn)動，并帶動第二螺桿 122逆時針轉(zhuǎn)動，從而使第二螺桿122嚙合的齒輪111逆時針滾動，并且使與齒輪111嚙合的葉片輪112順時針轉(zhuǎn)動，葉片輪112的轉(zhuǎn)動使連接桿13靠近中心軸113，進(jìn)一步使連接桿113另一端連接的夾頭114向靠近中心軸113的方向運(yùn)動，使夾頭114能夠夾住晶圓51。 在本實施例中，所述彈性勢能釋放的能量剛好能使葉片輪112轉(zhuǎn)動60°，而葉片輪112轉(zhuǎn)動 60°后，能使緊靠葉片輪112的連接桿13運(yùn)動的距離等于夾頭114相距晶圓51邊緣的距離，并且使連接桿13運(yùn)動后夾頭114能夠夾住晶圓51。當(dāng)然，葉片輪112轉(zhuǎn)動的60°不用于限定本實用新型，本領(lǐng)域技術(shù)人員還可以根據(jù)葉片輪112的不同形狀以及夾頭114相距晶圓51邊緣的距離來算出彈片123需要積累的彈性勢能值，從而根據(jù)彈片123的彈性勢能值得到葉片輪112轉(zhuǎn)動的角度。如圖5c所示，在本實施例中，有3個連接桿113同時夾持晶圓51，并且用于夾持的夾頭14均勻分布在晶圓51的邊緣。為了方便，在圖5a、圖恥中僅示出了一個連接桿113 以及一個夾頭114，以便示意夾頭114夾取晶圓51的過程。實施例二圖6為本實用新型實施例二的啟動元件以及凸輪的結(jié)構(gòu)示意圖。參照圖6，所述啟動元件12包括螺桿61與馬達(dá)62，所述螺桿61的一端與馬達(dá)62連接，所述螺桿61的另一端與所述齒輪111嚙合。在本實施例中的晶圓夾持裝置，除了啟動元件12與實施例一不同以外，其他諸如凸輪11、多個連接桿13以及多個夾頭14的結(jié)構(gòu)都相同，在本實施例中不予贅述。
5[0038]在利用本實施例中的晶圓夾持裝置進(jìn)行工作時，僅涉及到的啟動元件12的工作方式不同，其他均相同。具體地，所述啟動元件12的工作方式為開啟馬達(dá)62使其帶動螺桿61進(jìn)行轉(zhuǎn)動，進(jìn)一步使轉(zhuǎn)動的螺桿61帶動齒輪111滾動。雖然本實用新型已以較佳實施例揭露如上，然其并非用以限定本實用新型。本實用新型所屬技術(shù)領(lǐng)域中具有通常知識者，在不脫離本實用新型的精神和范圍內(nèi)，當(dāng)可作各種的更動與潤飾。因此，本實用新型的保護(hù)范圍當(dāng)視權(quán)利要求書所界定者為準(zhǔn)。
權(quán)利要求1.一種晶圓夾持裝置，其特征在于，包括凸輪、啟動元件、多個連接桿以及多個夾頭，所述凸輪與啟動元件連接，所述連接桿的一端與所述凸輪連接，所述連接桿的另一端與夾頭連接，多個夾頭共同夾持住晶圓邊緣。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓夾持裝置，其特征在于，所述連接桿的一端通過伸縮元件與所述凸輪連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的晶圓夾持裝置，其特征在于，所述凸輪包括齒輪、葉片輪、中心軸以及外殼，所述齒輪、葉片輪、中心軸設(shè)置在所述外殼內(nèi)，所述齒輪和所述葉片輪通過所述中心軸疊置，所述連接桿的一端伸入所述外殼與外殼內(nèi)的所述葉片輪緊靠，所述連接桿的一端通過伸縮元件與所述中心軸連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的晶圓夾持裝置，其特征在于，所述啟動元件包括第一螺桿、第二螺桿以及彈片，所述第一螺桿的一端與所述彈片連接，所述第一螺桿的另一端與第二螺桿的一端嚙合，所述第二螺桿的另一端與齒輪嚙合。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的晶圓夾持裝置，其特征在于，所述第一螺桿與所述第二螺桿相互垂直放置。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的晶圓夾持裝置，其特征在于，所述啟動元件包括螺桿以及馬達(dá)，所述螺桿的一端與馬達(dá)連接，所述螺桿的另一端與齒輪嚙合。
7.根據(jù)權(quán)利要求1至6中任一項中的晶圓夾持裝置，其特征在于，所述伸縮元件是彈ο
8.根據(jù)權(quán)利要求1至6中任一項中的晶圓夾持裝置，其特征在于，所述晶圓夾持裝置還包括能夠伸縮的伸縮桿，所述伸縮桿與所述連接桿連接。
9.根據(jù)權(quán)利要求1至6中任一項中的晶圓夾持裝置，其特征在于，所述連接桿的數(shù)量為 3 5個。
10.根據(jù)權(quán)利要求1至6中任一項中的晶圓夾持裝置，其特征在于，所述夾頭的形狀為三角勾形。
專利摘要本實用新型提出一種晶圓夾持裝置，所述晶圓夾持裝置包括凸輪、啟動元件、多個連接桿以及多個夾頭，所述凸輪與啟動元件連接，所述連接桿的一端與所述凸輪連接，所述連接桿的另一端與夾頭連接，多個夾頭共同夾持住晶圓邊緣。本實用新型提出的晶圓夾持裝置攜帶方便，空間移動性好。
文檔編號H01L21/687GK201966196SQ20112005445
公開日2011年9月7日 申請日期2011年3月3日 優(yōu)先權(quán)日2011年3月3日
發(fā)明者吳良輝 申請人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司