專利名稱：石墨舟導(dǎo)流結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種石墨舟技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種石墨舟導(dǎo)流結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)：
石墨舟是給太陽(yáng)能硅片鍍膜的載體，使用一定次數(shù)后石墨舟表面上會(huì)被鍍上一層氮化硅，這時(shí)需要采用適當(dāng)濃度的氫氟酸來(lái)清洗石墨舟，氫氟酸清洗完之后再用清水清洗。由于氫氟酸具有腐蝕性，而現(xiàn)有的石墨舟結(jié)構(gòu)中，沒(méi)有采取很好的排水措施，使得陶瓷桿與陶瓷套之間，陶瓷套與石墨舟片，石墨舟片與陶瓷桿之間的氫氟酸不能夠及時(shí)的排出，加速了陶瓷桿與陶瓷套等陶瓷配件的腐蝕速度，降低了陶瓷配件的使用壽命，同時(shí)也降低了硅片鍍膜后的轉(zhuǎn)換效率。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的主要目的在于提供一種石墨舟導(dǎo)流結(jié)構(gòu)，旨在減少石墨舟清洗時(shí)氫氟酸對(duì)陶瓷配件的腐蝕速度。為了達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型提出一種石墨舟導(dǎo)流結(jié)構(gòu)，包括舟片、陶瓷桿，陶瓷桿上套有陶瓷套，所述舟片上設(shè)有供陶瓷桿穿套的定位孔，所述舟片上，在定位孔沿石墨舟底座方向的一側(cè)設(shè)有與該定位孔連通的第一導(dǎo)流槽，和/或在所述陶瓷套上開(kāi)有第一導(dǎo)流孔或第二導(dǎo)流槽，用于將清洗石墨舟的氫氟酸和清水引流導(dǎo)出。優(yōu)選地，所述第一導(dǎo)流槽至少為方形或圓形或U形。優(yōu)選地，所述第一導(dǎo)流槽在與所述定位孔連接的一端相對(duì)的另一端設(shè)有穿透所述舟片的第二導(dǎo)流孔。優(yōu)選地，所述舟片包括通過(guò)所述陶瓷桿穿套定位的外片、上電極片、下電極片以及中間片。優(yōu)選地，所述外片、上電極片、下電極片以及中間片上均設(shè)置有所述第一導(dǎo)流槽。優(yōu)選地，所述外片、上電極片、下電極片以及中間片中至少之一設(shè)置有所述第一導(dǎo)流槽。優(yōu)選地，所述第一導(dǎo)流孔設(shè)置在所述陶瓷套的中部。優(yōu)選地，所述第二導(dǎo)流槽設(shè)置在所述陶瓷套的上邊緣。本實(shí)用新型提出的一種石墨舟導(dǎo)流結(jié)構(gòu)，通過(guò)在石墨舟的外片、上電極片、下電極片以及中間片等舟片上對(duì)應(yīng)的定位孔旁側(cè)，設(shè)置導(dǎo)流槽，和/或在陶瓷套上開(kāi)有第一導(dǎo)流孔或第二導(dǎo)流槽，在清洗石墨舟時(shí)，陶瓷桿與陶瓷套之間，陶瓷套與石墨舟片，石墨舟片與陶瓷桿之間的氫氟酸和清水能夠通過(guò)導(dǎo)流槽或?qū)Я骺准皶r(shí)的排出，同時(shí)也縮短了石墨舟的烘干時(shí)間，從而減少了氫氟酸對(duì)陶瓷配件的腐蝕速度，延長(zhǎng)石墨舟及其配件的使用壽命，進(jìn)一步減少石墨舟配件的更換頻率，降低成本，同時(shí)也提高了硅片鍍膜后的轉(zhuǎn)換效率。

[0014]圖1是應(yīng)用本實(shí)用新型石墨舟導(dǎo)流結(jié)構(gòu)的舟片結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是本實(shí)用新型石墨舟導(dǎo)流結(jié)構(gòu)一實(shí)施例的放大示意圖；圖3是本實(shí)用新型石墨舟導(dǎo)流結(jié)構(gòu)另一實(shí)施例的放大示意圖；圖4是本實(shí)用新型石墨舟導(dǎo)流結(jié)構(gòu)又一實(shí)施例的放大示意圖；圖5是本實(shí)用新型石墨舟導(dǎo)流結(jié)構(gòu)再一實(shí)施例的放大示意圖。為了使本實(shí)用新型的技術(shù)方案更加清楚、明了，下面將結(jié)合附圖作進(jìn)一步詳述。
具體實(shí)施方式
本實(shí)用新型技術(shù)方案總體思路是通過(guò)在石墨舟的外片、上電極片、下電極片以及中間片等舟片上對(duì)應(yīng)的定位孔旁側(cè)，設(shè)置導(dǎo)流槽，和/或在陶瓷套上開(kāi)有第一導(dǎo)流孔或第二導(dǎo)流槽，通過(guò)導(dǎo)流槽和/或?qū)Я骺祝欣谇逑词蹠r(shí)，陶瓷桿與陶瓷套之間，陶瓷套與石墨舟片，石墨舟片與陶瓷桿之間的氫氟酸和清水及時(shí)的排出，以減少了氫氟酸對(duì)陶瓷配件的腐蝕速度。以下將結(jié)合附圖及實(shí)施例，對(duì)實(shí)現(xiàn)發(fā)明目的的技術(shù)方案作詳細(xì)說(shuō)明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實(shí)施例僅僅用以解釋本發(fā)明，并不用于限定本發(fā)明。請(qǐng)參照?qǐng)D1及圖2，本實(shí)用新型一實(shí)施例提出一種石墨舟導(dǎo)流結(jié)構(gòu)，包括舟片101、 陶瓷桿(圖中未示出)，陶瓷桿上套有陶瓷套，舟片101上設(shè)有供石墨舟陶瓷桿穿套的定位孔102，舟片101在定位孔102沿石墨舟底座方向的一側(cè)，即垂直向下的方向的一側(cè)設(shè)有與該定位孔102連通的第一導(dǎo)流槽103。本實(shí)施例中石墨舟通常包括舟片101、連接并定位舟片101的陶瓷桿，陶瓷桿上設(shè)有固定舟片101的陶瓷套，其中舟片101通常包括外片、上電極片、下電極片以及中間片，各舟片101上設(shè)有供陶瓷桿穿套的定位孔102。在使用氫氟酸和清水對(duì)石墨舟進(jìn)行清洗時(shí)，氫氟酸和清水會(huì)在陶瓷桿與陶瓷套之間、陶瓷套與舟片101、舟片101與陶瓷桿之間滯留，會(huì)增加氫氟酸對(duì)陶瓷桿和陶瓷套等陶瓷配件的腐蝕速度。本實(shí)施例通過(guò)第一導(dǎo)流槽103，可以將陶瓷桿與陶瓷套之間，陶瓷套與舟片101， 舟片101與陶瓷桿之間的氫氟酸和清水及時(shí)的引流導(dǎo)出，從而減少了氫氟酸對(duì)陶瓷桿和陶瓷套等陶瓷配件的腐蝕速度。其中，為了得到較好的導(dǎo)流效果，可以在各舟片101比如外片、上電極片、下電極片以及中間片上均設(shè)置第一導(dǎo)流槽103。當(dāng)然，第一導(dǎo)流槽103在舟片101上的設(shè)置方式還可以是在僅在外片、上電極片、下電極片以及中間片中的一種、兩種或三種設(shè)置，依據(jù)具體情形而定。第一導(dǎo)流槽103的形狀可以為方形、圓形或U形等，第一導(dǎo)流槽103的尺寸比如長(zhǎng)度、寬度或深度以不影響石墨舟的正常使用為適宜。第一導(dǎo)流槽103在定位孔102上的開(kāi)口方向一定是以利于排水的方向，即沿著液體重力的方向而設(shè)定。請(qǐng)參照?qǐng)D3所示，在進(jìn)一步的實(shí)施過(guò)程中，為了使第一導(dǎo)流槽103具有更好的引流排水效果，可以在第一導(dǎo)流槽103上、與定位孔102連接的一端相對(duì)的另一端設(shè)置穿透舟片 101的第二導(dǎo)流孔1031。[0030]請(qǐng)參照?qǐng)D4及圖5所示，本實(shí)用新型又一實(shí)施例提出一種石墨舟導(dǎo)流結(jié)構(gòu)，在上述圖2或圖3所示的實(shí)施例的基礎(chǔ)上，進(jìn)一步在陶瓷套104上開(kāi)設(shè)用于將清洗石墨舟的氫氟酸和清水引流導(dǎo)出的第二導(dǎo)流槽1041或第一導(dǎo)流孔1042。具體地，第二導(dǎo)流槽1041可以設(shè)置在陶瓷套104的上邊緣，如圖4所示；第一導(dǎo)流孔1042可以設(shè)置在陶瓷套104的中部，如圖5所示。需要說(shuō)明的是，以上各實(shí)施例可以結(jié)合實(shí)施，比如在其他實(shí)施例中，還可以同時(shí)在舟片101上設(shè)置第一導(dǎo)流槽103，在陶瓷套104上開(kāi)設(shè)第二導(dǎo)流槽1041和/或第一導(dǎo)流孔 1042，通過(guò)第一導(dǎo)流槽103、第二導(dǎo)流槽1041和/或第一導(dǎo)流孔1042，共同將清洗石墨舟的氫氟酸和清水引流導(dǎo)出，縮短烘干時(shí)間，最大限度的減少氫氟酸對(duì)陶瓷配件的腐蝕速度，提高硅片鍍膜后的轉(zhuǎn)換效率。本發(fā)明實(shí)施例通過(guò)在石墨舟的外片、上電極片、下電極片以及中間片等舟片101 上對(duì)應(yīng)的定位孔102旁側(cè)，設(shè)置第一導(dǎo)流槽103，和/或在陶瓷套104上開(kāi)設(shè)第二導(dǎo)流槽 1041和/或第一導(dǎo)流孔1042，在清洗石墨舟時(shí)，陶瓷桿與陶瓷套104之間，陶瓷套104與舟片101，舟片101與陶瓷桿之間的氫氟酸和清水能夠通過(guò)導(dǎo)流槽和/或?qū)Я骺卓焖俚呐懦觯瑥亩鴾p少了氫氟酸對(duì)陶瓷配件的腐蝕速度，延長(zhǎng)石墨舟及其配件的使用壽命，進(jìn)一步減少石墨舟配件的更換頻率，縮短了烘干時(shí)間，降低成本，同時(shí)也提高了硅片鍍膜后的轉(zhuǎn)換效率。以上所述僅為本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例，并非因此限制本實(shí)用新型的專利范圍， 凡是利用本實(shí)用新型說(shuō)明書(shū)及附圖內(nèi)容所作的等效結(jié)構(gòu)或流程變換，或直接或間接運(yùn)用在其他相關(guān)的技術(shù)領(lǐng)域，均同理包括在本實(shí)用新型的專利保護(hù)范圍內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種石墨舟導(dǎo)流結(jié)構(gòu)，包括舟片、陶瓷桿，陶瓷桿上套有陶瓷套，所述舟片上設(shè)有供陶瓷桿穿套的定位孔，其特征在于，所述舟片上，在定位孔沿石墨舟底座方向的一側(cè)設(shè)有與該定位孔連通的第一導(dǎo)流槽，和/或在所述陶瓷套上開(kāi)有第一導(dǎo)流孔或第二導(dǎo)流槽，用于將清洗石墨舟的氫氟酸和清水引流導(dǎo)出。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石墨舟導(dǎo)流結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第一導(dǎo)流槽至少為方形或圓形或U形。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石墨舟導(dǎo)流結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第一導(dǎo)流槽在與所述定位孔連接的一端相對(duì)的另一端設(shè)有穿透所述舟片的第二導(dǎo)流孔。
4.根據(jù)權(quán)利要求1、2或3所述的石墨舟導(dǎo)流結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述舟片包括通過(guò)所述陶瓷桿穿套定位的外片、上電極片、下電極片以及中間片。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的石墨舟導(dǎo)流結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述外片、上電極片、下電極片以及中間片上均設(shè)置有所述第一導(dǎo)流槽。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的石墨舟導(dǎo)流結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述外片、上電極片、下電極片以及中間片中至少之一設(shè)置有所述第一導(dǎo)流槽。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的石墨舟導(dǎo)流結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第一導(dǎo)流孔設(shè)置在所述陶瓷套的中部。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的石墨舟導(dǎo)流結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第二導(dǎo)流槽設(shè)置在所述陶瓷套的上邊緣。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種石墨舟導(dǎo)流結(jié)構(gòu)，包括舟片、陶瓷桿，陶瓷桿上套有陶瓷套，舟片上設(shè)有供石墨舟陶瓷桿穿套的定位孔，舟片上，在定位孔沿石墨舟底座方向的一側(cè)設(shè)有與該定位孔連通的第一導(dǎo)流槽，和/或在陶瓷套上開(kāi)有第一導(dǎo)流孔或第二導(dǎo)流槽，用于將清洗石墨舟的氫氟酸和清水引流導(dǎo)出。本實(shí)用新型通過(guò)在石墨舟片上對(duì)應(yīng)的定位孔旁側(cè)，設(shè)置導(dǎo)流槽，或者在陶瓷套上設(shè)置導(dǎo)流孔或?qū)Я鞑?，在清洗石墨舟時(shí)，陶瓷桿與陶瓷套之間，陶瓷套與石墨舟片，石墨舟片與陶瓷桿之間的氫氟酸和清水能夠通過(guò)導(dǎo)流槽或孔及時(shí)排出，縮短石墨舟烘干時(shí)間，減少了氫氟酸對(duì)陶瓷配件的腐蝕速度，延長(zhǎng)石墨舟及其配件的使用壽命，降低成本，同時(shí)提高了硅片鍍膜后的轉(zhuǎn)換效率。
文檔編號(hào)H01L31/18GK202025786SQ20112007253
公開(kāi)日2011年11月2日 申請(qǐng)日期2011年3月18日 優(yōu)先權(quán)日2011年3月18日
發(fā)明者馮銀輝 申請(qǐng)人:石金精密科技(深圳)有限公司