專利名稱：一種單晶硅太陽能電池pecvd后快速散熱的裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種單晶硅太陽電池經(jīng)過PECVD工序后快速、均勻散熱的裝置， 它可廣泛應(yīng)用于單晶硅太陽能電池PECVD后快速、均勻散熱的處理，屬于太陽能電池PECVD 工治具技術(shù)改進(jìn)領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
太陽光照射到平面的硅片上，遵守光的折射、反射定律，大部分光線會被反射，即使對具有絨面的單晶硅電池表面來講，入射光多次被表面的絨面結(jié)構(gòu)進(jìn)行反射而增加了光線的吸收，但也有近11%左右光線因反射而損失。但在單晶硅電池絨面表面上再覆蓋一層氮化硅減反射膜層，可大大降低光的反射。制備減反膜的方法一般采用PECVD沉積。PECVD也就是等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積法，在PECVD工藝中，工藝溫度通常在 350攝氏度左右，所以經(jīng)過PECVD沉積后，取出的單晶硅太陽能電池溫度會保持在350攝氏度左右，隨著溫度的自然冷卻，單晶硅電池片會逐步降溫。但是電池片流入下一個(gè)工序進(jìn)行加工，單晶硅電池片要在25攝氏度左右，接近于室溫。在這過程中，采用自然冷卻的工藝， 從350度降至25度，不但工藝時(shí)間較長，同時(shí)石墨舟的使用數(shù)量也較多，而且自然冷卻又占用了很大一部分車間的生產(chǎn)空間。
發(fā)明內(nèi)容為了解決上述問題，本實(shí)用新型提供了一種可使等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積法 (PECVD)沉積后單晶硅電池片快速、全面冷卻的設(shè)備技術(shù)改進(jìn)。為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型所采用的技術(shù)方案為一種單晶硅太陽能電池PECVD后快速散熱的裝置，包括帶有工作臺面的支架，所述工作臺面的中部設(shè)置為鏤空網(wǎng)板，鏤空網(wǎng)板的下方安裝有風(fēng)扇。作為上述方案的進(jìn)一步設(shè)置，所述風(fēng)扇采用倒裝的方式安裝在鏤空網(wǎng)板的下方。 此處所說的倒裝，就是使風(fēng)扇向下出風(fēng)的倒置安裝，相對放置在工作臺面上的單晶硅太陽能電池片來說，風(fēng)扇所產(chǎn)生的風(fēng)力為“吸風(fēng)”，在同等條件下，可以使風(fēng)速進(jìn)一步加快，卻不易使在石墨舟中被加速冷卻的太陽能電池片因?yàn)轱L(fēng)速過快、風(fēng)力過大而導(dǎo)致破裂。所述風(fēng)扇共設(shè)置有四個(gè)，并均勻一字排開。所述風(fēng)扇通過電源線連接有調(diào)速開關(guān)，調(diào)速開關(guān)安裝在支架上。調(diào)速開關(guān)可以自如調(diào)節(jié)風(fēng)扇的風(fēng)速，使太陽能電池快速、均勻冷卻。所述支架、工作臺面、鏤空網(wǎng)板均選用不銹鋼制成。所述風(fēng)扇為耐高溫風(fēng)扇。本實(shí)用新型通過在鏤空網(wǎng)板的下方安裝風(fēng)扇，風(fēng)扇所產(chǎn)生的風(fēng)通過鏤空網(wǎng)板的孔眼吹向放置在工作臺面上的石墨舟，即利用空氣的流動原理來快速均勻降溫，實(shí)現(xiàn)了石墨舟及石墨舟里面經(jīng)PECVD后的單晶電池片均勻地加速冷卻，解決了因自然降溫而較長的工藝時(shí)間、占用過多的石墨舟及車間擺放空間等一系列的問題。[0013]
以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式
對本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明。
圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為圖1的俯視示意圖。
具體實(shí)施方式
如圖1、圖2所示，本實(shí)用新型一種單晶硅太陽能電池PECVD后快速散熱的裝置，包括帶有工作臺面ι的支架2，工作臺面1的中部設(shè)置為鏤空網(wǎng)板3，鏤空網(wǎng)板3的下方安裝有風(fēng)扇4。為使本實(shí)用新型的冷卻效果更好，風(fēng)扇4采用倒裝的方式安裝在鏤空網(wǎng)板3的下方。風(fēng)扇4共設(shè)置有四個(gè)，并均勻一字排開。風(fēng)扇4通過電源線連接有調(diào)速開關(guān)5，調(diào)速開關(guān)5安裝在支架2上。其中，支架2、工作臺面1、鏤空網(wǎng)板3均選用不銹鋼制成。風(fēng)扇為4耐高溫風(fēng)扇。本實(shí)用新型的工作臺面1尺寸比石墨舟略大，冷卻時(shí)，只需將放置有太陽能電池片的石墨舟放置到工作臺面1上，然后開啟風(fēng)扇4即可。太陽電池片從PECVD出來進(jìn)入下一個(gè)工序要降至25攝氏度左右，接近于室溫，采取此裝置后可以縮減工藝8—10分鐘左右，大大提高了電池片生產(chǎn)的整體產(chǎn)能。上述實(shí)施例僅用于解釋說明本實(shí)用新型的發(fā)明構(gòu)思，而非對本實(shí)用新型權(quán)利保護(hù)的限定，凡利用此構(gòu)思對本實(shí)用新型進(jìn)行非實(shí)質(zhì)性的改動，均應(yīng)落入本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求1.一種單晶硅太陽能電池PECVD后快速散熱的裝置，包括帶有工作臺面的支架，其特征在于所述工作臺面的中部設(shè)置為鏤空網(wǎng)板，鏤空網(wǎng)板的下方安裝有風(fēng)扇。
2.如權(quán)利要求1所述一種單晶硅太陽能電池PECVD后快速散熱的裝置，其特征在于 所述風(fēng)扇采用倒裝的方式安裝在鏤空網(wǎng)板的下方。
3.如權(quán)利要求1所述一種單晶硅太陽能電池PECVD后快速散熱的裝置，其特征在于 所述風(fēng)扇共設(shè)置有四個(gè)，并均勻一字排開。
4.如權(quán)利要求1所述一種單晶硅太陽能電池PECVD后快速散熱的裝置，其特征在于 所述風(fēng)扇通過電源線連接有調(diào)速開關(guān)，調(diào)速開關(guān)安裝在支架上。
5.如權(quán)利要求1所述一種單晶硅太陽能電池PECVD后快速散熱的裝置，其特征在于 所述支架、工作臺面、鏤空網(wǎng)板均選用不銹鋼制成。
6.如權(quán)利要求1所述一種單晶硅太陽能電池PECVD后快速散熱的裝置，其特征在于 所述風(fēng)扇為耐高溫風(fēng)扇。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種單晶硅太陽電池經(jīng)過PECVD工序后快速、均勻散熱的裝置，它可廣泛應(yīng)用于單晶硅太陽能電池PECVD后快速、均勻散熱的處理，屬于太陽能電池PECVD工治具技術(shù)改進(jìn)領(lǐng)域，包括帶有工作臺面的支架，所述工作臺面的中部設(shè)置為鏤空網(wǎng)板，鏤空網(wǎng)板的下方安裝有風(fēng)扇。本實(shí)用新型一種單晶硅太陽能電池PECVD后快速散熱的裝置，可使等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積法(PECVD)沉積后的單晶硅電池片快速、全面的冷卻。
文檔編號H01L31/18GK202054896SQ20112009564
公開日2011年11月30日 申請日期2011年4月2日 優(yōu)先權(quán)日2011年4月2日
發(fā)明者周軍增 申請人:浙江向日葵光能科技股份有限公司