專利名稱：一種拆裝工具的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及半導(dǎo)體器件生產(chǎn)領(lǐng)域，特別涉及一種拆裝工具。
背景技術(shù)：
PI9500大束流注入機(jī)為APPLIED MATERIALSS (美國應(yīng)用材料公司)生產(chǎn)，該設(shè)備的晶片承載靶盤拆卸頻次較低，目前國內(nèi)并沒有針對該晶片承載靶盤的專用拆裝工具，當(dāng)晶片承載靶盤需要拆裝時，企業(yè)通常的做法是向設(shè)備原廠租借專用的電動升降車，該電動升降車的結(jié)構(gòu)示意圖如圖1所示，主要包括起吊支撐底座17，用于支撐該電動升降車，在底座下方裝有車輪，可依靠人工推動行走；人工移動手柄13，用于通過該手柄水平移動電動升降車；垂直升降機(jī)構(gòu)14，用于帶動與其相連的專用起吊桿15，使專用起吊桿15隨垂直升降機(jī)構(gòu)14在豎直方向上進(jìn)行上下移動；專用起吊桿15，用于與需要拆卸的晶片承載靶盤固定并拆卸該晶片承載靶盤；電動升降控制箱16，用于控制垂直升降機(jī)構(gòu)14的位移。由此可見，該專用電動升降車的主要工作原理在于依靠人工推動人工移動手柄13的方式實現(xiàn)電動升降車的水平移動，依靠垂直升降機(jī)構(gòu)14實現(xiàn)電動升降車的豎直移動，從而控制與晶片承載靶盤相連的專用起吊桿的位移，實現(xiàn)拆卸晶片承載靶盤的目的。該專用電動升降車主要存在如下缺陷首先，向設(shè)備原廠租借勢必會浪費大量的租金和運(yùn)費，其次，該電動升降車的垂直升降機(jī)構(gòu)過于依賴電能，在沒有電源的情況下則無法正常運(yùn)行，而且，人工移動手柄需要人工推動行走，晃動大、不平穩(wěn)，容易發(fā)生碰撞。

實用新型內(nèi)容本實用新型提供一種拆裝工具，用以解決現(xiàn)有技術(shù)中的拆裝設(shè)備過于依賴電能， 且晃動大、不平穩(wěn)的技術(shù)問題。本實用新型實施例提供了一種拆裝工具，包括兩端固定的水平位移裝置61 ；行吊小車6，懸掛連接在所述水平位移裝置61上，所述水平位移裝置61在水平方向上拖動行吊小車6在水平方向移動；固定在行吊小車6底部的垂直位移裝置62，以及與垂直位移裝置62固定連接的拆卸裝置11，所述垂直位移裝置62帶動拆卸裝置11在垂直方向上移動。本實用新型實施例中的拆裝工具，可靈活調(diào)整位置，避免了過于依賴電能，且晃動大、不平穩(wěn)的問題。

圖1是現(xiàn)有技術(shù)中的專用電動升降車結(jié)構(gòu)示意圖；圖2(a)是本實用新型實施例中的拆裝工具的整體結(jié)構(gòu)示意圖中的前視圖；圖2(b)是本實用新型實施例中的拆裝工具的整體結(jié)構(gòu)示意圖中的側(cè)視圖；圖3(a)是本實用新型實施例中的開型支架結(jié)構(gòu)示意圖；[0014]圖3(b)是圖3(a)的俯視圖；圖4是本實用新型實施例中的工型導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)示意圖；圖5(a)是本實用新型實施例中的行吊小車結(jié)構(gòu)示意圖；圖5(b)是圖5(a)的左視圖；圖6(a)是本實用新型實施例中的正反旋螺紋垂直調(diào)節(jié)桿結(jié)構(gòu)示意圖；圖6 (b)是圖6 (a)的側(cè)視圖7(a)是本實用新型實施例中的懸臂結(jié)構(gòu)示意圖；圖7 (b)是圖7 (a)的左視圖；圖8(a)是本實用新型實施例中的Λ型爪結(jié)構(gòu)示意圖；圖8 (b)是圖8 (a)的側(cè)視圖；圖9是本實用新型實施例中的球窩接頭結(jié)構(gòu)示意圖；圖10是本實用新型實施例中的Γ型穩(wěn)固主懸臂結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
本實用新型實施例提供了一種拆裝工具，可以解決現(xiàn)有技術(shù)中的拆裝設(shè)備過于依賴電能，且晃動大、不平穩(wěn)的技術(shù)問題。本實用新型實施例提供了一種拆裝工具，如圖2(a)和圖2(b)所示，圖2 (a)為拆裝工具的前視圖，圖2(b)為拆裝工具的側(cè)視圖，包括兩端固定的水平位移裝置61 ；行吊小車6，懸掛連接在所述水平位移裝置61上，所述水平位移裝置61在水平方向上拖動行吊小車6在水平方向移動；固定在行吊小車6底部的垂直位移裝置62，以及與垂直位移裝置62固定連接的拆卸裝置11，所述垂直位移裝置62帶動拆卸裝置11在垂直方向上移動。較佳的，所述水平位移裝置61包括水平放置的工型導(dǎo)軌1以及位于工型導(dǎo)軌1 上方、且與工型導(dǎo)軌1平行的螺旋運(yùn)動副7，所述行吊小車6的頂部懸掛固定在螺旋運(yùn)動副 7上，且行吊小車6隨著螺旋運(yùn)動副7的旋轉(zhuǎn)，沿工型導(dǎo)軌1在水平方向上移動。較佳的，所述垂直位移裝置62包括兩根相互平行、且頂部固定在行吊小車6底部的正反旋螺紋垂直調(diào)節(jié)桿8以及固定在所述正反旋螺紋垂直調(diào)節(jié)桿8底部的懸臂9，所述懸臂9隨著正反旋螺紋垂直調(diào)節(jié)桿8的正旋或反旋在垂直方向上移動，帶動與懸臂9固定連接的拆卸裝置11在垂直方向上移動。較佳的，所述拆卸裝置11通過球窩接頭10固定連接在所述懸臂9的一側(cè)。較佳的，所述拆卸裝置11為Λ型爪，且所述拆卸裝置11上設(shè)置有連接螺桿12，用于與應(yīng)用該拆裝工具的外部設(shè)備固定。較佳的，所述拆裝工具還包括支持所述水平位移裝置61的開型支架，固定連接所述水平位移裝置61—端。較佳的，當(dāng)應(yīng)用該拆裝工具的外部設(shè)備上設(shè)置有滑動導(dǎo)槽時，則所述拆裝工具還包括與水平位移裝置61固定連接的支撐架5，以及與所述支撐架5相連的T型滑塊4，所述T型滑塊4嵌入式固定在所述滑動導(dǎo)槽內(nèi)部，并可沿所述滑動導(dǎo)槽滑動。較佳的，所述行吊小車6為單軌雙限位四輪行走小車，且所述行吊小車6內(nèi)部還設(shè)置有兩個限位車輪，當(dāng)行吊小車6沿工型導(dǎo)軌1水平移動時，所述限位車輪緊貼工型導(dǎo)軌1 移動。下面詳細(xì)介紹一下本實用新型實施例提供的拆裝工具，具體包括支撐裝置2、水平位移裝置61、行吊小車6、固定在行吊小車6底部的垂直位移裝置62以及與垂直位移裝置62相連的拆卸裝置11，該拆卸裝置11主要用于拆卸晶片承載靶盤。其中，本實施例中的支撐裝置2可以由開型支架組成，如圖3 (a)所示，為開型支架的具體結(jié)構(gòu)示意圖，其中圖3(b)為圖3(a)的俯視圖；開型支架的主要作用在于支撐該拆裝工具，該開型支架固定在水平位移裝置61的底部。水平位移裝置61包括水平放置的工型導(dǎo)軌 1，工型導(dǎo)軌1的剖面圖如圖4所示， 該工型導(dǎo)軌1主要用于確定行吊小車6的運(yùn)動軌跡；位于工型導(dǎo)軌1的上方、且與所述工型導(dǎo)軌1平行的螺旋運(yùn)動副7，該螺旋運(yùn)動副7與行吊小車6的頂部相固定，用于通過螺旋運(yùn)動副7的旋轉(zhuǎn)帶動行吊小車6實現(xiàn)水平位移。具體實現(xiàn)時，螺旋運(yùn)動副7可以通過人工手動旋轉(zhuǎn)，也可以在其尾部安裝一個電動馬達(dá)，通過電力帶動螺旋運(yùn)動副7旋轉(zhuǎn)。 行吊小車6主要用于連接水平位移裝置61和垂直位移裝置62，如圖5 (a)所示，行吊小車6的具體結(jié)構(gòu)圖，其中圖5(b)是圖5(a)的左視圖；在行吊小車6的頂部，有一個圓孔用于穿過螺旋運(yùn)動副7，使行吊小車6掛在螺旋運(yùn)動副7上；行吊小車6內(nèi)部設(shè)計有與工型導(dǎo)軌1的剖面形狀相吻合的孔洞，用于使行吊小車6沿工型導(dǎo)軌1自由移動。并且，在行吊小車6的內(nèi)部還有四個滑動車輪，用于與工型導(dǎo)軌1的下導(dǎo)軌頂面相接觸，從而減少行吊小車6移動時的摩擦。而且，為了進(jìn)一步實現(xiàn)行吊小車6與工型導(dǎo)軌1的可靠接觸，還可以在行吊小車6的底部安裝兩個限位車輪，限位車輪的頂部與工型導(dǎo)軌1的下導(dǎo)軌底面相接觸，從而使行吊小車6與工型導(dǎo)軌1之間接觸緊密。在行吊小車6的底部，安裝有垂直位移裝置62，在本實施例中，垂直位移裝置62包括兩根相互平行、且固定在行吊小車6底部的正反旋螺紋垂直調(diào)節(jié)桿8，如圖6(a)所示， 為正反旋螺紋垂直調(diào)節(jié)桿8的結(jié)構(gòu)示意圖，其中圖6(b)是圖6(a)的側(cè)視圖；固定在正反旋螺紋垂直調(diào)節(jié)桿8底部的懸臂9，如圖7 (a)所示，為本實用新型中懸臂結(jié)構(gòu)示意圖，其中圖7(b)是圖7(a)的左視圖；在懸臂9的右側(cè)固定有用于拆卸外部設(shè)備的拆卸裝置11。該垂直位移裝置62的工作原理為通過正反旋螺紋垂直調(diào)節(jié)桿8的正旋或反旋實現(xiàn)懸臂9的垂直位移，即向上移動或向下移動，進(jìn)而實現(xiàn)與懸臂9相連的拆卸裝置11的垂直位移。這里，正反旋螺紋垂直調(diào)節(jié)桿8可以直接通過人工手動調(diào)節(jié)，也可以額外安裝一個電動馬達(dá)， 利用電力調(diào)節(jié)。并且，也可以調(diào)節(jié)懸臂9與晶片承載靶盤軸的平行度，在調(diào)節(jié)桿上裝有互鎖螺母保證晶片承載靶盤在軸向平移，即水平移動時不移位。拆卸裝置11在本實施例中可以設(shè)計為Λ型爪，如圖8(a)所示，是本實用新型實施例中的Λ型爪結(jié)構(gòu)示意圖，圖8(b)是圖8(a)的側(cè)視圖；在Λ型爪的側(cè)面安裝四個連接螺桿12，用于與外部設(shè)備固定，以便于拆卸。為了便于調(diào)整Λ型爪相對于外部設(shè)備的位置，可以將Λ型爪和懸臂9之間通過可調(diào)整方向的球窩接頭10進(jìn)行連接和固定，球窩接頭 10的具體結(jié)構(gòu)如圖9所示，由于球窩接頭10可以進(jìn)行一定的轉(zhuǎn)動，所以Λ型爪相對于外部設(shè)備的位置也可以得到調(diào)整。這里，Λ型爪的具體尺寸和開口角度可根據(jù)要拆卸的外部設(shè)備進(jìn)行調(diào)整，且Λ型爪可實現(xiàn)360度轉(zhuǎn)動。當(dāng)要拆卸的外部設(shè)備為ΡΙ9500大束流注入機(jī)時，連接螺桿12可以和晶片承載靶盤受力孔連接，從而避免晶片承載靶盤及上面的部件直接受力而發(fā)生形變，球窩接頭10和Λ型爪可保證晶片承載靶盤自由換向，避免和高真空室體內(nèi)其他器件發(fā)生碰撞，可以平穩(wěn)方便的將晶片承載靶盤與主軸分離或復(fù)位。[0044]并且，在本實施例中，為了實現(xiàn)拆裝工具與外部設(shè)備之間的可靠固定，還需要設(shè)置固定裝置63。固定裝置63的具體結(jié)構(gòu)和安裝位置可根據(jù)實際需要進(jìn)行設(shè)計。在本實施例中，由于主要用于拆卸ΡΙ9500大束流注入機(jī)，而該設(shè)備上具有滑動導(dǎo)槽3，因此，可以利用該滑動導(dǎo)槽3實現(xiàn)固定裝置63，這時，固定裝置63包括與工型導(dǎo)軌1相連的支撐架5，即 Z型過渡支架以及與Z型過渡支架相連的T型滑塊4，該T型滑塊4嵌入式固定在滑動導(dǎo)槽 3內(nèi)部，在使用時，可根據(jù)需要使T型滑塊4在滑動導(dǎo)槽3內(nèi)部移動，從而改變該拆裝工具與外部設(shè)備之間的距離。本實施例中的支撐裝置2、工型導(dǎo)軌1以及固定裝置63—起構(gòu)成了 Γ型穩(wěn)固主懸臂結(jié)構(gòu)，如圖10所示，可以實現(xiàn)該拆裝工具的可靠固定。本實施例中借用設(shè)備真空室門的滑動導(dǎo)槽作為搭接基準(zhǔn)端，輔于τ型滑塊4和Z型過渡支架共同作為受力支撐點，與“工”型導(dǎo)軌1和“開”型支柱連接形成“ Γ ”型穩(wěn)固滑動懸臂結(jié)構(gòu)，且采用了固定式單軌雙限位四輪行走的行吊小車6、螺旋運(yùn)動副7實現(xiàn)懸吊平移，配有正反旋螺紋垂直調(diào)節(jié)桿8，設(shè)有“ A，， 型爪連接、球窩接頭方向調(diào)整裝置，從而可穩(wěn)固牢靠的完成拆裝。本實用新型實施例中，通過垂直位移裝置62和水平位移裝置61實現(xiàn)拆卸裝置11 的自由移動，并配合球窩接頭10實現(xiàn)拆卸裝置11的靈活轉(zhuǎn)動，該拆裝工具可應(yīng)用于ΡΙ9500 大束流注入機(jī)的晶片承載靶盤的拆卸，且拆卸時可通過支撐裝置2和固定裝置63實現(xiàn)該拆裝工具的固定，再通過調(diào)節(jié)垂直位移裝置62和水平位移裝置61實現(xiàn)拆卸裝置11的移動， 避免了現(xiàn)有技術(shù)中需要人工推動行走，導(dǎo)致晃動大不平穩(wěn)的缺陷，并且，該拆裝工具可手動調(diào)節(jié)，即使在斷電情況下也不會影響使用，拓寬了應(yīng)用范圍，且占地面積小，使用靈活。當(dāng)然，本實施例還可以采用其他的形式實現(xiàn)，例如，水平位移裝置61也可以由同步帶、皮帶傳動裝置或鏈條傳動裝置來實現(xiàn)，垂直位移裝置62也可以由氣缸來實現(xiàn)。并且，支撐裝置2也可以采用其他的設(shè)計形狀，且拆卸裝置11也可以設(shè)計為其他形式。顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對本實用新型進(jìn)行各種改動和變型而不脫離本實用新型的精神和范圍。這樣，倘若本實用新型的這些修改和變型屬于本實用新型權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本實用新型也意圖包含這些改動和變型在內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種拆裝工具，其特征在于，包括 兩端固定的水平位移裝置(61)；行吊小車(6)，懸掛連接在所述水平位移裝置(61)上，所述水平位移裝置(61)在水平方向上拖動行吊小車(6)在水平方向移動；固定在行吊小車(6)底部的垂直位移裝置(62)，以及與垂直位移裝置(62)固定連接的拆卸裝置(11)，所述垂直位移裝置(62)帶動拆卸裝置(11)在垂直方向上移動。
2.如權(quán)利要求1所述的拆裝工具，其特征在于，所述水平位移裝置(61)包括 水平放置的工型導(dǎo)軌(1)以及位于工型導(dǎo)軌(1)上方、且與工型導(dǎo)軌(1)平行的螺旋運(yùn)動副(7)，所述行吊小車(6)的頂部懸掛固定在螺旋運(yùn)動副(7)上，且行吊小車(6)隨著螺旋運(yùn)動副(7)的旋轉(zhuǎn)，沿工型導(dǎo)軌(1)在水平方向上移動。
3.如權(quán)利要求1所述的拆裝工具，其特征在于，所述垂直位移裝置(62)包括 兩根相互平行、且頂部固定在行吊小車(6)底部的正反旋螺紋垂直調(diào)節(jié)桿(8)以及固定在所述正反旋螺紋垂直調(diào)節(jié)桿(8)底部的懸臂(9)，所述懸臂(9)隨著正反旋螺紋垂直調(diào)節(jié)桿(8)的正旋或反旋在垂直方向上移動，帶動與懸臂(9)固定連接的拆卸裝置(11)在垂直方向上移動。
4.如權(quán)利要求3所述的拆裝工具，其特征在于，所述拆卸裝置(11)通過球窩接頭(10) 固定連接在所述懸臂(9)的一側(cè)。
5.如權(quán)利要求1所述的拆裝工具，其特征在于，所述拆卸裝置(11)為Λ型爪。
6.如權(quán)利要求1或5所述的拆裝工具，其特征在于，所述拆卸裝置(11)上設(shè)置有連接螺桿(12)，用于與應(yīng)用該拆裝工具的外部設(shè)備固定。
7.如權(quán)利要求1所述的拆裝工具，其特征在于，還包括支持所述水平位移裝置(61)的開型支架，固定連接所述水平位移裝置(61) —端。
8.如權(quán)利要求1所述的拆裝工具，其特征在于，當(dāng)應(yīng)用該拆裝工具的外部設(shè)備上設(shè)置有滑動導(dǎo)槽時，則所述拆裝工具還包括與水平位移裝置(61)固定連接的支撐架(5)，以及與所述支撐架(5)相連的T型滑塊 (4)，所述T型滑塊(4)嵌入式固定在所述滑動導(dǎo)槽內(nèi)部，并可沿所述滑動導(dǎo)槽滑動。
9.如權(quán)利要求1所述的拆裝工具，其特征在于，所述行吊小車(6)為單軌雙限位四輪行走小車。
10.如權(quán)利要求9所述的拆裝工具，其特征在于，所述行吊小車(6)內(nèi)部還設(shè)置有兩個限位車輪，當(dāng)行吊小車(6)沿工型導(dǎo)軌(1)水平移動時，所述限位車輪緊貼工型導(dǎo)軌(1)移動。
專利摘要本實用新型公開了一種拆裝工具，包括兩端固定的水平位移裝置(61)；行吊小車(6)，懸掛連接在所述水平位移裝置(61)上，所述水平位移裝置(61)在水平方向上拖動行吊小車(6)在水平方向移動；固定在行吊小車(6)底部的垂直位移裝置(62)，以及與垂直位移裝置(62)固定連接的拆卸裝置(11)，所述垂直位移裝置(62)帶動拆卸裝置(11)在垂直方向上移動。本實用新型實施例中的拆裝工具可靈活調(diào)整，使用方便，避免了人工推動行走時晃動大不平穩(wěn)的問題。
文檔編號H01L21/67GK202183363SQ201120130308
公開日2012年4月4日 申請日期2011年4月28日 優(yōu)先權(quán)日2011年4月28日
發(fā)明者劉其金, 朱厚華, 林偉旺, 毛鐘巍, 胡德明 申請人:北大方正集團(tuán)有限公司, 深圳方正微電子有限公司