專(zhuān)利名稱：石英舟的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及太陽(yáng)能電池制作工藝技術(shù)領(lǐng)域，更具體地說(shuō)，涉及一種石英舟。
背景技術(shù)：
太陽(yáng)能電池，也稱光伏電池，是一種將太陽(yáng)的光能直接轉(zhuǎn)化為電能的半導(dǎo)體器件。 由于它是綠色環(huán)保產(chǎn)品，不會(huì)引起環(huán)境污染，而且是可再生資源，所以在當(dāng)今能源短缺的情形下，太陽(yáng)能電池是一種具有廣闊發(fā)展前途的新型能源。目前，太陽(yáng)能電池片的制造工藝已經(jīng)標(biāo)準(zhǔn)化，其主要包括制絨、擴(kuò)散制結(jié)、周邊刻蝕、沉積減反射膜、印刷電極和燒結(jié)等工藝步驟。在制絨工藝結(jié)束后，首先需要將硅片置于石英舟(承載硅片的載體)上，然后利用舟叉將承載有硅片的石英舟送入擴(kuò)散爐內(nèi)的舟架上，進(jìn)而在擴(kuò)散爐內(nèi)對(duì)石英舟上的硅片進(jìn)行擴(kuò)散制結(jié)。參考圖1和圖2，圖1為現(xiàn)有技術(shù)中常見(jiàn)的石英舟的側(cè)面結(jié)構(gòu)示意圖，圖2為將圖 1中結(jié)構(gòu)按箭頭BB'所示做剖切所得到的石英舟的剖面結(jié)構(gòu)示意圖?，F(xiàn)有的石英舟一般包括相互平行的底固定條201和頂固定條202，所述底固定條201和頂固定條202均為實(shí)體結(jié)構(gòu)；位于頂固定條202上方、與頂固定條202平行且固定連接的通孔203，所述通孔203是與舟叉(圖中未示出)相匹配的通孔；與底固定條201、頂固定條202和通孔203均固定連接、且均垂直的側(cè)固定條204 ；設(shè)置在底固定條201下方的支撐腳205 ；與底固定條201在同一水平面且與底固定條201固定連接、用于托起硅片的支撐條101，所述支撐條101上設(shè)置有與硅片相匹配的凹槽101a，所述支撐條101與底固定條201和側(cè)固定條204均垂直；與頂固定條202在同一水平面且與頂固定條202固定連接、用于卡住硅片的卡片條102，所述卡片條102上設(shè)置有與硅片相匹配的凹槽102a，所述卡片條102與支撐條101平行，且所述卡片條102距側(cè)固定條204的距離比支撐條101距側(cè)固定條204的距離近。現(xiàn)有工藝中擴(kuò)散爐內(nèi)可同時(shí)對(duì)多個(gè)(例如400個(gè))硅片進(jìn)行擴(kuò)散制結(jié)，而常見(jiàn)的石英舟上可承載的硅片的數(shù)量相對(duì)擴(kuò)散爐內(nèi)可容納的硅片的數(shù)量少(例如200個(gè))，因此， 為了不浪費(fèi)資源、提高產(chǎn)量，常需將兩個(gè)甚至更多個(gè)石英舟并排(一般沿卡片條方向并排放置)放入擴(kuò)散爐內(nèi)。由于石英舟上卡片條與頂固定條在同一水平面且與頂固定條固定連接、支撐條與底固定條在同一水平面且與底固定條固定連接，因此，在將兩個(gè)石英舟并排放置時(shí)，兩個(gè)石英舟之間因頂固定條和底固定條的存在而具有明顯的界限，這就使得兩個(gè)石英舟上距離最近的兩個(gè)硅片之間存在較大的縫隙，該縫隙的存在使得所述兩個(gè)硅片在擴(kuò)散制結(jié)工藝中接收到的氣體的流量較大，致使在所述兩個(gè)硅片上所形成的結(jié)深較深，進(jìn)而導(dǎo)致所述兩個(gè)硅片的方塊電阻降低，所述硅片方塊電阻的降低將使得硅片的光電轉(zhuǎn)換效率降低。

實(shí)用新型內(nèi)容有鑒于此，本實(shí)用新型提供一種石英舟，在并排使用兩個(gè)或兩個(gè)以上石英舟時(shí)，該石英舟能有效地提高硅片的光電轉(zhuǎn)換效率。[0008]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案一種石英舟，該石英舟包括 至少兩個(gè)相互平行的底固定條；位于所述底固定條上方、與所述底固定條垂直且固定連接的支撐條；與所述底固定條平行且固定連接的通孔；與所述底固定條和支撐條均垂直、且與所述底固定條固定連接的側(cè)固定條；與所述側(cè)固定條固定連接、且與所述支撐條平行、兩端可向外無(wú)限延伸的卡片條， 所述卡片條和支撐條共同作用可卡住并托起硅片。優(yōu)選的，上述石英舟中，所述通孔位于底固定條的側(cè)面或下方。優(yōu)選的，上述石英舟中，所述通孔位于底固定條的外側(cè)或內(nèi)側(cè)。優(yōu)選的，上述石英舟還包括設(shè)置在底固定條下方的支撐腳。優(yōu)選的，上述石英舟中，所述通孔為與舟叉相匹配的通孔。優(yōu)選的，上述石英舟中，所述底固定條的數(shù)量為2、3或4。優(yōu)選的，上述石英舟中，所述通孔的數(shù)量為2。優(yōu)選的，上述石英舟中，所述支撐條上設(shè)置有與硅片相匹配的第一凹槽。優(yōu)選的，上述石英舟中，所述卡片條上設(shè)置有與硅片相匹配的第二凹槽。從上述技術(shù)方案可以看出，本實(shí)用新型所提供的石英舟包括至少兩個(gè)相互平行的底固定條；位于所述底固定條上方、與所述底固定條垂直且固定連接的支撐條；與所述底固定條平行且固定連接的通孔；與所述底固定條和支撐條均垂直、且與所述底固定條固定連接的側(cè)固定條；與所述側(cè)固定條固定連接、且與所述支撐條平行的卡片條，所述卡片條和支撐條共同作用可卡住并托起硅片。本實(shí)用新型所提供的石英舟，在將兩個(gè)或兩個(gè)以上的石英舟并排放置時(shí)，由于支撐條位于底固定條上方，因此，所述支撐條可以延伸至底固定條的外圍，且所述卡片條也可以無(wú)阻礙地向外延伸，這就使得相鄰兩個(gè)石英舟上的支撐條和卡片條均可相互無(wú)間隙地對(duì)應(yīng)接觸，進(jìn)而使相鄰兩個(gè)石英舟上由支撐條和卡片條共同作用而托起并卡住的距離最近的兩個(gè)硅片之間無(wú)較大縫隙，從而使得相鄰兩個(gè)石英舟上距離最近的兩個(gè)硅片在擴(kuò)散制結(jié)工藝中不會(huì)接收較多的氣體，進(jìn)而不至于在所述兩個(gè)硅片上形成較深的結(jié)深，可避免較低方塊電阻的產(chǎn)生，因此，可提高硅片的光電轉(zhuǎn)換效率。

為了更清楚地說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見(jiàn)地，下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。圖1為現(xiàn)有技術(shù)中常見(jiàn)的石英舟的側(cè)面結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為將圖1中結(jié)構(gòu)按箭頭BB'所示做剖切所得到的石英舟的剖面結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例所提供的一種石英舟的側(cè)面結(jié)構(gòu)示意圖；圖4為將圖3中結(jié)構(gòu)按箭頭AA'所示做剖切所得到的石英舟的剖面結(jié)構(gòu)示意圖；圖5為圖3中所示石英舟的俯視圖。
具體實(shí)施方式
為使本實(shí)用新型的上述目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更加明顯易懂，
以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
做詳細(xì)的說(shuō)明。在下面的描述中闡述了很多具體細(xì)節(jié)以便于充分理解本實(shí)用新型，但是本實(shí)用新型還可以采用其他不同于在此描述的其它方式來(lái)實(shí)施，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以在不違背本實(shí)用新型內(nèi)涵的情況下做類(lèi)似推廣，因此本實(shí)用新型不受下面公開(kāi)的具體實(shí)施例的限制。其次，本實(shí)用新型結(jié)合示意圖進(jìn)行詳細(xì)描述，在詳述本實(shí)用新型實(shí)施例時(shí)，為便于說(shuō)明，表示裝置結(jié)構(gòu)的剖面圖會(huì)不依一般比例作局部放大，而且所述示意圖只是示例，其在此不應(yīng)限制本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。此外，在實(shí)際制作中應(yīng)包含長(zhǎng)度、寬度及深度的三維空間尺寸。正如背景技術(shù)部分所述，現(xiàn)有的石英舟在將兩個(gè)并排放置時(shí)，相鄰兩個(gè)石英舟上距離最近的兩個(gè)硅片之間將存在較大的縫隙，進(jìn)而在擴(kuò)散制結(jié)工藝進(jìn)行中使得所述兩個(gè)硅片上將接收較多的氣體，從而在所述兩個(gè)硅片上形成較深的結(jié)深，致使硅片方塊電阻降低， 最終使硅片的光電轉(zhuǎn)換效率降低?；诖?，本實(shí)用新型提供了一種石英舟，該石英舟包括至少兩個(gè)相互平行的底固定條；位于所述底固定條上方、與所述底固定條垂直且固定連接的支撐條；與所述底固定條平行且固定連接的通孔；與所述底固定條和支撐條均垂直、且與所述底固定條固定連接的側(cè)固定條；與所述側(cè)固定條固定連接、且與所述支撐條平行、兩端可向外無(wú)限延伸的卡片條，所述卡片條和支撐條共同作用可卡住并托起硅片。本實(shí)用新型所提供的石英舟，在將兩個(gè)或者多個(gè)承載有硅片的石英舟并排放置于擴(kuò)散爐內(nèi)后，由于石英舟上支撐條位于底固定條上方，因此，所述支撐條可延伸至底固定條的外圍，且所述卡片條也可以無(wú)阻礙地向外延伸，這就使得相鄰兩個(gè)石英舟上的支撐條和卡片條均可相互無(wú)間隙地對(duì)應(yīng)接觸，進(jìn)而使相鄰兩個(gè)石英舟上由支撐條和卡片條共同作用而托起并卡住的距離最近的兩個(gè)硅片之間無(wú)較大縫隙，因此，所述兩個(gè)硅片在擴(kuò)散制結(jié)工藝中不會(huì)接收較多的氣體，進(jìn)而不會(huì)形成較深的結(jié)深，可避免較低方塊電阻的產(chǎn)生，最終可提高硅片的光電轉(zhuǎn)換效率。
以下結(jié)合附圖詳細(xì)描述本實(shí)用新型所提供的石英舟。參考圖3、圖4和圖5，圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例所提供的一種石英舟的側(cè)面結(jié)構(gòu)示意圖，圖4為將圖3中結(jié)構(gòu)按箭頭AA'所示做剖切所得到的石英舟的剖面結(jié)構(gòu)示意圖，圖 5為圖3中所示石英舟的俯視圖。本實(shí)用新型所提供的石英舟包括三個(gè)相互平行的底固定條306 ；位于所述底固定條306上方、與所述底固定條306垂直且固定連接的支撐條301 ；與所述底固定條306平行且固定連接的通孔303 ；與所述底固定條306和支撐條301均垂直、 且與所述底固定條306固定連接的側(cè)固定條304 ；與所述側(cè)固定條304固定連接、且與所述支撐條301平行、兩端可向外無(wú)限延伸的卡片條302，所述卡片條302和支撐條301共同作用可卡住并托起硅片(圖中未示出)。所述底固定條306為實(shí)心結(jié)構(gòu)，其可以為圓柱形或長(zhǎng)方體結(jié)構(gòu)等。本實(shí)用新型實(shí)施例中三個(gè)底固定條306等間距排列，且在兩側(cè)的兩個(gè)底固定條306上分別固定連接與舟叉相匹配的通孔303，中間的底固定條306僅起到支撐并固定支撐條301和側(cè)固定條304的作用。[0039]在后續(xù)將承載有硅片的石英舟轉(zhuǎn)移至擴(kuò)散爐內(nèi)時(shí)，需要將兩個(gè)舟叉分別插入兩個(gè)通孔303內(nèi)，然后兩手分別持兩個(gè)舟叉上的把手，進(jìn)而將所述石英舟轉(zhuǎn)移至擴(kuò)散爐內(nèi)，之后將所述兩個(gè)舟叉從石英舟上的通孔303內(nèi)撤出，關(guān)閉擴(kuò)散爐的腔門(mén)，進(jìn)行擴(kuò)散制結(jié)工藝。 所述通孔303可位于底固定條306的側(cè)面或下方，當(dāng)其位于所述底固定條306的側(cè)面時(shí)，可設(shè)置其位于所述底固定條306的內(nèi)側(cè)面(兩個(gè)底固定條306相對(duì)的側(cè)面)或外側(cè)面(兩個(gè)底固定條306相向的側(cè)面)，圖4和圖5中示出了通孔303位于所述底固定條 306的外側(cè)面。本實(shí)用新型實(shí)施例中在每個(gè)底固定條306的下方還設(shè)置有兩個(gè)支撐腳305，所述支撐腳305起到支撐該石英舟的作用，所述支撐腳305的數(shù)量為6。本實(shí)用新型實(shí)施例在所述底固定條306上方設(shè)置有兩個(gè)支撐條301，且每一個(gè)支撐條301上均設(shè)置有多個(gè)與硅片相匹配的第一凹槽301a，所述多個(gè)第一凹槽301a的槽底所形成的平面為水平面。本實(shí)施例中所述兩個(gè)支撐條301將底固定條306均分為三等份，當(dāng)然，其他實(shí)施例中所述兩個(gè)支撐條301可不必將底固定條306均分為三等份，但應(yīng)使所述兩個(gè)支撐條301位于所述底固定條306上靠近中間的位置，避免使兩個(gè)支撐條301位于所述底固定條306上靠近兩端邊緣處。本實(shí)用新型實(shí)施例在每個(gè)底固定條306上靠近兩端的位置分別設(shè)置有一個(gè)側(cè)固定條304，所述側(cè)固定條304豎直向上，側(cè)固定條304與底固定條306和支撐條301均垂直， 且所述側(cè)固定條304也為實(shí)心結(jié)構(gòu)。在側(cè)固定條304靠近上端位置的內(nèi)側(cè)面(兩個(gè)側(cè)固定條304相對(duì)的側(cè)面)固定連接有卡片條302，當(dāng)然，其他實(shí)施例中也可以將卡片條302設(shè)置在側(cè)固定條304的上端，此時(shí)應(yīng)保證所述卡片條302的橫截面積大于所述側(cè)固定條304的上端面積，以使所述卡片條302 在起到卡住硅片作用的時(shí)候保證所述硅片不會(huì)觸及側(cè)固定條304。本實(shí)施例中所述卡片條 302的數(shù)量為2，且每一個(gè)卡片條302上均設(shè)置有多個(gè)與硅片相匹配的第二凹槽302a，所述多個(gè)第二凹槽302a的槽底所形成的平面為豎直面。卡片條302上的第二凹槽302a與支撐條301上的第一凹槽301a —一對(duì)應(yīng)，當(dāng)將硅片置于該石英舟上時(shí)，每一個(gè)硅片的底邊被支撐條301上的第一凹槽301a所托起，相應(yīng)地，每一個(gè)硅片的側(cè)邊被卡片條302上的第二凹槽302a所卡住。由于側(cè)固定條304設(shè)置在底固定條306上靠近兩端的位置(即邊緣處)，而所述卡片條302又設(shè)置在側(cè)固定條304靠近上端位置的內(nèi)側(cè)面，因此，所述卡片條302位于所述底固定條306上方靠近兩端的位置處；又由于所述支撐條301位于所述底固定條306上靠近中間的位置，因此，從圖5石英舟的俯視結(jié)構(gòu)圖來(lái)看，所述兩個(gè)支撐條301在豎直方向上的投影位于所述兩個(gè)卡片條302的中間，這也就使得所述兩個(gè)支撐條301和兩個(gè)卡片條302 可共同作用起到支撐和卡住硅片的作用。本實(shí)用新型實(shí)施例中所述支撐條301和卡片條302均可以為圓柱形或長(zhǎng)方體等結(jié)構(gòu)，對(duì)此本實(shí)用新型并無(wú)特別限制。本實(shí)用新型所提供的石英舟，由于其上支撐條301位于所述底固定條306上方，因此，所述支撐條301的兩端可無(wú)阻礙地向外延伸至底固定條306的外側(cè)；且由于石英舟上卡片條302與側(cè)固定條304靠近上端位置的內(nèi)側(cè)面固定連接，因此，所述卡片條302的兩端也可以無(wú)阻礙地向外延伸，通過(guò)設(shè)計(jì)可使得石英舟上支撐條301和卡片條302向外延伸的長(zhǎng)度相同，這時(shí)，當(dāng)將兩個(gè)或者兩個(gè)以上承載有硅片的石英舟并排放置于擴(kuò)散爐內(nèi)時(shí)，相鄰石英舟上的支撐條301和卡片條302可以對(duì)應(yīng)地?zé)o間隙地接觸，從而使得相鄰石英舟上距離最近的硅片之間的距離與同一石英舟上相鄰硅片之間的間距無(wú)差異，從而在擴(kuò)散制結(jié)工藝中可以使石英舟上所有的硅片所獲得的氣體流量均相同，進(jìn)而控制在所有的硅片上形成相同的結(jié)深，不致使個(gè)別硅片的結(jié)深較深而導(dǎo)致硅片的方塊電阻降低，因此，本實(shí)用新型所提供的石英舟在不增加生產(chǎn)成本的前提下可降低低效片的產(chǎn)生，進(jìn)而可提高太陽(yáng)能電池片的光電轉(zhuǎn)換效率。 對(duì)所公開(kāi)的實(shí)施例的上述說(shuō)明，使本領(lǐng)域?qū)I(yè)技術(shù)人員能夠?qū)崿F(xiàn)或使用本實(shí)用新型。對(duì)這些實(shí)施例的多種修改對(duì)本領(lǐng)域的專(zhuān)業(yè)技術(shù)人員來(lái)說(shuō)將是顯而易見(jiàn)的，本文中所定義的一般原理可以在不脫離本實(shí)用新型的精神或范圍的情況下，在其它實(shí)施例中實(shí)現(xiàn)。因此，本實(shí)用新型將不會(huì)被限制于本文所示的這些實(shí)施例，而是要符合與本文所公開(kāi)的原理和新穎特點(diǎn)相一致的最寬的范圍。
權(quán)利要求1.一種石英舟，其特征在于，包括 至少兩個(gè)相互平行的底固定條；位于所述底固定條上方、與所述底固定條垂直且固定連接的支撐條； 與所述底固定條平行且固定連接的通孔；與所述底固定條和支撐條均垂直、且與所述底固定條固定連接的側(cè)固定條； 與所述側(cè)固定條固定連接、且與所述支撐條平行、兩端可向外無(wú)限延伸的卡片條，所述卡片條和支撐條共同作用可卡住并托起硅片。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石英舟，其特征在于，所述通孔位于底固定條的側(cè)面或下方。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的石英舟，其特征在于，所述通孔位于底固定條的外側(cè)或內(nèi)側(cè)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的石英舟，其特征在于，還包括設(shè)置在底固定條下方的支撐腳。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石英舟，其特征在于，所述通孔為與舟叉相匹配的通孔。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石英舟，其特征在于，所述底固定條的數(shù)量為2、3或4。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石英舟，其特征在于，所述通孔的數(shù)量為2。
8.根據(jù)權(quán)利要求1 7任一項(xiàng)所述的石英舟，其特征在于，所述支撐條上設(shè)置有與硅片相匹配的第一凹槽。
9.根據(jù)權(quán)利要求1 7任一項(xiàng)所述的石英舟，其特征在于，所述卡片條上設(shè)置有與硅片相匹配的第二凹槽。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型實(shí)施例公開(kāi)了一種石英舟，該石英舟包括至少兩個(gè)相互平行的底固定條；位于所述底固定條上方、與所述底固定條垂直且固定連接的支撐條；與所述底固定條平行且固定連接的通孔；與所述底固定條和支撐條均垂直、且與所述底固定條固定連接的側(cè)固定條；與所述側(cè)固定條固定連接、且與所述支撐條平行、兩端可向外無(wú)限延伸的卡片條，所述卡片條和支撐條共同作用可卡住并托起硅片。在擴(kuò)散制結(jié)工藝中，將兩個(gè)或者兩個(gè)以上本實(shí)用新型所提供的承載有硅片的石英舟并排放置時(shí)，在相鄰石英舟上距離最近的兩個(gè)硅片上不會(huì)形成較深的結(jié)深，進(jìn)而可避免在所述兩個(gè)硅片形成較低的方塊電阻，避免低效片的產(chǎn)生，因此，可提高太陽(yáng)能電池片的光電轉(zhuǎn)換效率。
文檔編號(hào)H01L31/18GK202094107SQ201120196728
公開(kāi)日2011年12月28日 申請(qǐng)日期2011年6月13日 優(yōu)先權(quán)日2011年6月13日
發(fā)明者汪琴霞, 王競(jìng)爭(zhēng), 錢(qián)小芳 申請(qǐng)人:浚鑫科技股份有限公司