專(zhuān)利名稱(chēng)：為在oled基板上形成鈍化層的基板傳送設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及有機(jī)發(fā)光二極管(OLED)的生產(chǎn)中所使用的設(shè)備，具體涉及用于將OLED基板運(yùn)送至化學(xué)氣相淀積裝置(CVD)或?yàn)R鍍裝置(sputter)進(jìn)而形成鈍化層 (passivation layer)的基板傳送設(shè)備。
背景技術(shù)：
在OLED生產(chǎn)工藝中，蒸鍍工序是蒸鍍空穴傳輸層、發(fā)光層、電子傳輸層、陰極等各功能層的工序，而封裝工序是防止由于OLED的水分和氧氣的熱化及壽命的縮短而實(shí)施的工序。一股的封裝工序是將不銹鋼金屬蓋板(cap)或者封裝用玻璃帽(glass cap)上貼上干燥劑后再利用UV膠合劑粘附到OLED基板上。但是，最近正在逐漸開(kāi)發(fā)通過(guò)在蒸鍍面上直接蒸鍍鈍化層(passivation layer)來(lái)進(jìn)行封裝的新技術(shù)。該封裝技術(shù)比現(xiàn)有的封裝技術(shù)成本更低，并且封裝后OLED的更薄、更輕、更柔軟。但是，形成鈍化層需要使用化學(xué)氣相淀積裝置(CVD)或?yàn)R鍍裝置(Sputter)。所以，不可避免的需要在現(xiàn)有的有機(jī)物蒸鍍機(jī)上對(duì)接化學(xué)氣相淀積裝置或?yàn)R鍍裝置?，F(xiàn)有的有機(jī)物蒸鍍機(jī)是通過(guò)將下部的有機(jī)物加熱向上氣化后蒸鍍到基板上，故蒸鍍時(shí)基板在上面，蒸鍍面則朝下；而化學(xué)氣相淀積裝置或?yàn)R鍍裝置則要求基板在下面，蒸鍍面向上。所以， 為實(shí)現(xiàn)有機(jī)物蒸鍍機(jī)與化學(xué)氣相淀積裝置或?yàn)R鍍裝置的對(duì)接必須首先實(shí)現(xiàn)基板的180度翻轉(zhuǎn)。如圖1所示，目前的做法是在有機(jī)物蒸鍍機(jī)的傳送腔(Transfer chamber)的可開(kāi)閉艙門(mén)外對(duì)接手套箱(Glove Chamber)，然后再通過(guò)手套箱對(duì)接化學(xué)氣相淀積裝置或?yàn)R鍍裝置。上述做法是利用傳送腔內(nèi)的傳送機(jī)構(gòu)將OLED基板送至手套箱后，再通過(guò)人工翻轉(zhuǎn)基板，最后再將翻轉(zhuǎn)后的基板送至學(xué)氣相淀積裝置或?yàn)R鍍裝置。然而，增設(shè)手套箱不僅要付出高額的腔室費(fèi)用，并且還要增加與腔室匹配的軟件，而且還要依靠人工操作。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種既不增設(shè)手套箱又可自動(dòng)翻OLED基板的為在OLED基板上形成鈍化層的基板傳送設(shè)備。該基板傳送設(shè)備包括內(nèi)設(shè)有傳送機(jī)構(gòu)的傳送腔，該傳送腔經(jīng)可開(kāi)閉艙門(mén)與化學(xué)氣相淀積裝置或?yàn)R鍍裝置對(duì)接，且該傳送腔中的傳送機(jī)構(gòu)具有可上下翻轉(zhuǎn)的基板固定部。具體的，所述傳送機(jī)構(gòu)采用可多軸運(yùn)動(dòng)的機(jī)械手，該機(jī)械手的前端為基板固定部。具體的，該基板固定部具有一個(gè)安裝在驅(qū)動(dòng)軸上的底座以及設(shè)于該底座表面的真空吸盤(pán)，所述真空吸盤(pán)經(jīng)管道與氣泵連接，所述驅(qū)動(dòng)軸與電機(jī)連接。將OLED基板固定在基板固定部上以后，再控制基板固定部翻轉(zhuǎn)180度，而OLED基板也將隨著基板固定部一起翻轉(zhuǎn)180度；之后，將已翻轉(zhuǎn)的OLED基板經(jīng)開(kāi)啟后的艙門(mén)移送至CVD艙室或?yàn)R鍍艙室，從而通過(guò)CVD或?yàn)R鍍工藝在OLED基板表面形成鈍化層。因此，采用本實(shí)用新型的技術(shù)后，不需要使用手套箱，且整個(gè)移送過(guò)程全部自動(dòng)化，生產(chǎn)效率得以提尚。

圖1為現(xiàn)有傳送方式的示意圖。圖2為本申請(qǐng)基板傳送設(shè)備中基板翻轉(zhuǎn)前的示意圖。圖3為本申請(qǐng)基板傳送設(shè)備中基板翻轉(zhuǎn)后的示意圖。圖4為本申請(qǐng)基板傳送設(shè)備中傳送機(jī)構(gòu)的具體結(jié)構(gòu)示意圖。圖中標(biāo)記為傳送腔1、艙門(mén)2、手套箱3、化學(xué)氣相淀積裝置4a、濺鍍裝置4b、傳送機(jī)構(gòu)5、基板固定部、底座501、真空吸盤(pán)502、管道503、驅(qū)動(dòng)軸504、電機(jī)505、OLED基板 6、氣泵7。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步的說(shuō)明。如圖4所示，傳送機(jī)構(gòu)5為一個(gè)可多軸運(yùn)動(dòng)的機(jī)械手，其中，在該機(jī)械手的內(nèi)部且靠近其前端基板固定部fe的部位設(shè)有電機(jī)505，該電機(jī)505連接驅(qū)動(dòng)軸504，所述基板固定部如具有一個(gè)安裝在該驅(qū)動(dòng)軸504上的底座501以及設(shè)于該底座501表面的真空吸盤(pán) 502，所述真空吸盤(pán)502經(jīng)管道503與氣泵7連接，該氣泵7位于機(jī)械手的下方，而管道503 的大部分則置于機(jī)械手內(nèi)，管道503的前部經(jīng)旋轉(zhuǎn)接頭延伸至底座501內(nèi)，然后再與真空吸盤(pán)502連通。當(dāng)氣泵7運(yùn)行后，真空吸盤(pán)502將吸住OLED基板6，然后再令驅(qū)動(dòng)軸504帶動(dòng)底座501、真空吸盤(pán)502進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，從而使OLED基板6翻轉(zhuǎn)180度。如圖2、圖3所示，上述傳送機(jī)構(gòu)5被設(shè)置在有機(jī)物蒸鍍機(jī)的傳送腔1 (Transfer chamber)內(nèi)，該傳送腔1經(jīng)可開(kāi)閉艙門(mén)2與化學(xué)氣相淀積裝置如或?yàn)R鍍裝置4b對(duì)接。翻轉(zhuǎn)前，OLED基板6處于圖2所示的狀態(tài)，翻轉(zhuǎn)后OLED基板6則處于圖3所示的狀態(tài)。在圖 3所示的狀態(tài)下，已翻轉(zhuǎn)的OLED基板6經(jīng)開(kāi)啟后的艙門(mén)2移送至CVD艙室或?yàn)R鍍艙室，從而通過(guò)CVD或?yàn)R鍍工藝在OLED基板6表面形成鈍化層(passivation layer)。
權(quán)利要求1.為在OLED基板上形成鈍化層的基板傳送設(shè)備，包括內(nèi)設(shè)有傳送機(jī)構(gòu)(5)的傳送腔 (1)，其特征在于該傳送腔(1)經(jīng)可開(kāi)閉艙門(mén)( 與化學(xué)氣相淀積裝置Ga)或?yàn)R鍍裝置 (4b)對(duì)接，且該傳送腔(1)中的傳送機(jī)構(gòu)( 具有可上下翻轉(zhuǎn)的基板固定部(5a)。
2.如權(quán)利要求1所述的為在OLED基板上蒸鍍鈍化層的基板傳送設(shè)備，其特征在于所述傳送機(jī)構(gòu)( 采用可多軸運(yùn)動(dòng)的機(jī)械手，該機(jī)械手的前端為基板固定部(5a)。
3.如權(quán)利要求1或2所述的在OLED基板上蒸鍍鈍化層的基板傳送設(shè)備，其特征在于 該基板固定部(5a)具有一個(gè)安裝在驅(qū)動(dòng)軸(504)上的底座(501)以及設(shè)于該底座(501)表面的真空吸盤(pán)(502)，所述真空吸盤(pán)(502)經(jīng)管道(503)與氣泵(7)連接，所述驅(qū)動(dòng)軸(504) 與電機(jī)(505)連接。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種為在OLED基板上形成鈍化層的基板傳送設(shè)備，用于將OLED基板運(yùn)送至化學(xué)氣相淀積裝置或?yàn)R鍍裝置進(jìn)而形成鈍化層。該傳送設(shè)備包括內(nèi)設(shè)有傳送機(jī)構(gòu)的傳送腔，該傳送腔經(jīng)可開(kāi)閉艙門(mén)與化學(xué)氣相淀積裝置或?yàn)R鍍裝置對(duì)接，且該傳送腔中的傳送機(jī)構(gòu)具有可上下翻轉(zhuǎn)的基板固定部。將OLED基板固定在基板固定部上以后，再控制基板固定部翻轉(zhuǎn)180度，而OLED基板也將隨著基板固定部一起翻轉(zhuǎn)180度；之后，將已翻轉(zhuǎn)的OLED基板經(jīng)開(kāi)啟后的艙門(mén)移送至CVD艙室或?yàn)R鍍艙室，從而通過(guò)CVD或?yàn)R鍍工藝在OLED基板表面形成鈍化層。因此，采用本實(shí)用新型的技術(shù)后，不需要使用手套箱，且整個(gè)移送過(guò)程全部自動(dòng)化，生產(chǎn)效率得以提高。
文檔編號(hào)H01L21/677GK202120988SQ20112024842
公開(kāi)日2012年1月18日 申請(qǐng)日期2011年7月14日 優(yōu)先權(quán)日2011年7月14日
發(fā)明者崔成晉, 車(chē)炯坤 申請(qǐng)人:四川虹視顯示技術(shù)有限公司