專利名稱：烘干機(jī)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，尤其涉及一種烘干機(jī)(dryer)。
背景技術(shù)：
晶圓在進(jìn)入下一制程前通常要清洗、烘干，因此，烘干機(jī)是半導(dǎo)體制造業(yè)的常用設(shè)備。參見圖1，現(xiàn)有技術(shù)中烘干機(jī)包括具有開口的箱體(bath) 11以及設(shè)置在所述箱體11開口端的第一活動門12和第二活動門13，所述第一活動門12和第二活動門13均與所述箱體 11滑動連接，可相對所述箱體11作平移運(yùn)動，當(dāng)所述第一活動門12與第二活動門13相背運(yùn)動時，所述第一活動門12與第二活動門13分離，所述箱體11被打開，此時，所述箱體11 的開口端無遮蔽物，露出所述箱體11的內(nèi)部，當(dāng)所述第一活動門12與第二活動門13相向運(yùn)動時，所述第一活動門12與第二活動門13逐漸靠近，直至所述第一活動門12的側(cè)表面 121與所述第二活動門13的側(cè)表面131緊密接觸，所述箱體11被蓋上，此時，所述箱體11 的開口端被所述第一活動門12和第二活動門13遮蔽，所述第一活動門12、第二活動門13 和箱體11形成密閉空間。參見圖2A，同一批次的晶圓通常一起送入烘干機(jī)進(jìn)行烘干，清洗后的同一批次待烘干晶圓21a先置于晶舟22a內(nèi)，再由機(jī)械手23將載有所述待烘干晶圓21a的晶舟2 送進(jìn)烘干機(jī)的箱體11內(nèi)，在待烘干晶圓21a送進(jìn)所述箱體11前，所述箱體11被打開；參見圖2B，當(dāng)載有所述待烘干晶圓21a的晶舟2 被送進(jìn)所述箱體11內(nèi)后，蓋上所述第一活動門12和第二活動門13，將所述箱體11的開口端遮蔽起來，此時，所述待烘干晶圓21a及晶舟2 置于所述第一活動門12、第二活動門13和箱體11形成的密閉空間內(nèi)， 接著對所述待烘干晶圓21a及晶舟2 進(jìn)行烘干；參見圖2C，烘干好后，再次打開所述箱體11，露出所述箱體11內(nèi)的已烘干晶圓21b 和晶舟22b，再由所述機(jī)械手23將載有所述已烘干晶圓21b的晶舟22b取出。然而，當(dāng)所述機(jī)械手23抓住載有待烘干晶圓21a的晶舟2 從第一活動門12的外側(cè)移動至箱體11內(nèi)時(如圖2A中的箭頭所示)，在移動過程中待烘干晶圓21a上的水珠M會滴落到所述第一活動門12的上表面122以及側(cè)表面121上；由于所述上表面122 靠近所述第二活動門13的邊緣區(qū)域?yàn)樗矫妫温湓谠撨吘墔^(qū)域的水珠M不易流走，當(dāng)所述箱體11被蓋上、烘干機(jī)進(jìn)行烘干時，所述邊緣區(qū)域上的水珠M仍留在該邊緣區(qū)域上(如圖2B所示)；當(dāng)所述箱體11再次被打開時，留在所述邊緣區(qū)域上的水珠M在力的作用下會沿所述側(cè)表面121流下來，落到所述箱體11內(nèi)還未取走的已烘干晶圓21b上(如圖2C所示)，即進(jìn)入下一制程的一些晶圓上還有水珠，這些水珠會影響下一制程，最終導(dǎo)致產(chǎn)品的良率下降。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于提供一種烘干機(jī)，設(shè)有收集水珠的收集裝置，可防止水珠滴落到已烘干晶圓上。
3[0008]為了達(dá)到上述的目的，本實(shí)用新型提供一種烘干機(jī)，包括具有開口的箱體以及設(shè)置在所述箱體開口端的第一活動門和第二活動門，所述第一活動門和第二活動門均與所述箱體滑動連接，其特征在于，還包括用于收集水珠的水珠收集裝置，所述水珠收集裝置包括底板和擋板，所述底板設(shè)置在所述第一活動門遠(yuǎn)離所述箱體的表面上，且位于該表面靠近所述第二活動門的邊緣處，所述擋板的一端與所述底板靠近第二活動門的一端連接，所述擋板的另一端向遠(yuǎn)離所述第一活動門的方向傾斜。上述烘干機(jī)，其中，所述底板靠近所述第二活動門的一端伸出所述第一活動門。上述烘干機(jī)，其中，所述水珠收集裝置還包括與所述底板連接的支板，所述支板與所述第一活動門面向第二活動門的側(cè)表面連接。 上述烘干機(jī)，其中，所述底板靠近第二活動門的一端向遠(yuǎn)離所述箱體的方向傾斜。上述烘干機(jī)，其中，所述擋板和所述底板的材料為疏水性材料本實(shí)用新型的烘干機(jī)將滴落在所述第一活動門的上表面靠近所述第二活動門的邊緣區(qū)域上的水珠收集在所述水珠收集裝置內(nèi)，所述水珠收集裝置的擋板可擋住水珠流到所述箱體內(nèi)，能有效防止水珠滴落到已烘干的晶圓上。

本實(shí)用新型的烘干機(jī)由以下的實(shí)施例及附圖給出。圖1是現(xiàn)有技術(shù)的烘干機(jī)的剖視圖。圖2A 圖2C是現(xiàn)有技術(shù)中晶圓烘干過程的流程圖。圖3是本實(shí)用新型烘干機(jī)實(shí)施例一的剖視圖。圖4是本實(shí)用新型的烘干機(jī)的工作原理示意圖。圖5是本實(shí)用新型中水珠收集裝置實(shí)施例二的示意圖。
具體實(shí)施方式
以下將結(jié)合圖3 圖5對本實(shí)用新型的烘干機(jī)作進(jìn)一步的詳細(xì)描述。實(shí)施例一參見圖3，本實(shí)施例的烘干機(jī)包括具有開口的箱體31以及設(shè)置在所述箱體31開口端的第一活動門32和第二活動門33，所述第一活動門32和第二活動門33均與所述箱體31滑動連接，該第一活動門32和第二活動門33均可相對所述箱體作平移運(yùn)動，當(dāng)所述第一活動門32與第二活動門33相背運(yùn)動時，所述箱體31被打開，當(dāng)所述第一活動門32與第二活動門33相向運(yùn)動時，所述箱體11被蓋上。其中，所述烘干機(jī)在所述第一活動門32靠近第二活動門33的邊緣設(shè)置水珠收集裝置34，所述水珠收集裝置34包括底板341和擋板342，所述底板341設(shè)置在所述第一活動門32遠(yuǎn)離箱體11的表面321上，所述擋板342設(shè)置在所述底板341上。當(dāng)機(jī)械手抓住待烘干晶圓從所述第一活動門32的外側(cè)移動到箱體11內(nèi)時，所述水珠收集裝置34可收集滴落到所述第一活動門32的表面321靠近所述第二活動門33的邊緣區(qū)域上的水珠，能有效防止水珠滴落到已烘干的晶圓上。繼續(xù)參見圖3，本實(shí)施例中所述底板341與所述第一活動門32遠(yuǎn)離箱體11的表面321連接，所述擋板342的一端與所述底板341靠近第二活動門33的一端連接，所述擋板342的另一端向遠(yuǎn)離所述第一活動門32的方向傾斜，即所述擋板342與所述底板341之間的夾角α大于90°，可增大收集水珠的面積，也更加有利于排掉滴落到所述擋板342上的水珠。較佳地，所述擋板342和所述底板341均采用疏水性材料制成，收集的水珠不易被所述水珠收集裝置34吸收，可防止從所述水珠收集裝置34上滴下水珠。參見圖4，本實(shí)施例的工作過程如下機(jī)械手41抓住載有待烘干晶圓42的晶舟43 從所述第一活動門32的外側(cè)移動至所述箱體31內(nèi)(如圖4中箭頭所示)，在這個移動過程中，滴落到所述第一活動門32的表面321靠近所述第二活動門33的邊緣區(qū)域上的水珠44 被所述水珠收集裝置34收集，所述水珠收集裝置34的擋板342可擋住水珠44流到所述箱體11內(nèi)，能有效防止水珠滴落到已烘干的晶圓上。實(shí)施例二 參見圖5，實(shí)施例二與實(shí)施例一的區(qū)別在于，在所述底板341的底部設(shè)有支板343， 所述支板343與所述第一活動門32面向所述第二活動門33的側(cè)表面322連接，即本實(shí)施例中所述底板341借助所述支板342與所述第一活動門32連接，而不是直接與所述第一活動門32連接，本實(shí)施例中所述底板341靠近第二活動門33的一端向遠(yuǎn)離所述箱體31的方向傾斜，即所述底板341形成下坡面，這有利于排掉所述水珠收集裝置34內(nèi)收集的水珠。較佳地，所述底板341靠近第二活動門33的一端伸出所述第一活動門32，可擴(kuò)大收集范圍，而且能更有效地防止水珠從所述第一活動門32面向第二活動門33的側(cè)表面322 流下。顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對實(shí)用新型進(jìn)行各種改動和變型而不脫離本實(shí)用新型的精神和范圍。這樣，倘若本實(shí)用新型的這些修改和變型屬于本實(shí)用新型權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本實(shí)用新型也意圖包含這些改動和變型在內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種烘干機(jī)，包括具有開口的箱體以及設(shè)置在所述箱體開口端的第一活動門和第二活動門，所述第一活動門和第二活動門均與所述箱體滑動連接，其特征在于，還包括用于收集水珠的水珠收集裝置，所述水珠收集裝置包括底板和擋板，所述底板設(shè)置在所述第一活動門遠(yuǎn)離所述箱體的表面上，且位于該表面靠近所述第二活動門的邊緣處，所述擋板的一端與所述底板靠近第二活動門的一端連接，所述擋板的另一端向遠(yuǎn)離所述第一活動門的方向傾斜。
2.如權(quán)利要求1所述的烘干機(jī)，其特征在于，所述底板靠近所述第二活動門的一端伸出所述第一活動門。
3.如權(quán)利要求1所述的烘干機(jī)，其特征在于，所述水珠收集裝置還包括與所述底板連接的支板，所述支板與所述第一活動門面向第二活動門的側(cè)表面連接。
4.如權(quán)利要求2所述的烘干機(jī)，其特征在于，所述底板靠近第二活動門的一端向遠(yuǎn)離所述箱體的方向傾斜。
5.如權(quán)利要求1至4中任意一項(xiàng)所述的烘干機(jī)，其特征在于，所述擋板和所述底板的材料為疏水性材料。
專利摘要本實(shí)用新型的烘干機(jī)包括具有開口的箱體以及設(shè)置在所述箱體開口端的第一活動門和第二活動門，所述第一活動門和第二活動門均與所述箱體滑動連接，其特征在于，還包括用于收集水珠的水珠收集裝置，所述水珠收集裝置包括底板和擋板，所述底板設(shè)置在所述第一活動門遠(yuǎn)離所述箱體的表面上，且位于該表面靠近所述第二活動門的邊緣處，所述擋板的一端與所述底板靠近第二活動門的一端連接，所述擋板的另一端向遠(yuǎn)離所述第一活動門的方向傾斜。本實(shí)用新型的烘干機(jī)設(shè)有收集水珠的收集裝置，可防止水珠滴落到已烘干晶圓上。
文檔編號H01L21/00GK202205718SQ20112030016
公開日2012年4月25日 申請日期2011年8月17日 優(yōu)先權(quán)日2011年8月17日
發(fā)明者羅仕洲, 肖方, 錢文明 申請人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司