專利名稱：一種pecvd用載板的掛鉤的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及太陽能電池的生產(chǎn)設(shè)備，具體涉及一種板式PECVD所使用載板的掛鉤設(shè)計。
背景技術(shù)：
板式PECVD (等離子體增強化學(xué)氣相沉積法)工藝運行時，硅片通過載板上的掛鉤定位后傳送進入PECVD設(shè)備腔體完成鍍膜工藝。所使用載板隨著使用時間的增加，載板上沉積的氮化硅越來越多，會對硅片的鍍膜均勻性產(chǎn)生明顯的影響，容易造成鍍膜色差。所以，載板在使用一段時間后需要使用一定濃度的HF酸溶液清洗去除沉積在載板上的氮化硅。在清洗之前，為避免金屬離子與HF酸發(fā)生反應(yīng)后對載板的污染，需要拆卸載板上的所有金屬掛鉤，待清洗完成后再重新安裝新的掛鉤?，F(xiàn)有的掛鉤設(shè)計如圖1、圖2所示。掛鉤安裝在載板上的方式通過鉗子將鉤體1上端部2的金屬板材咬合固定實現(xiàn)。安裝后如圖3所示，在咬合過程采用墊片3來減輕對載板的損傷。拆卸掛鉤時，用鉗子將咬合的鉤體1上端部2擰開。采用墊片的方式在掛鉤的安裝和拆卸過程中，只能減緩對載板橫向(與掛鉤截面平行的方向)的磨損，對載板縱向(與掛鉤截面垂直的方向)的磨損無法有效避免。隨著載板清洗次數(shù)的增加，掛鉤更換次數(shù)隨之增加，載板的磨損逐漸嚴(yán)重，掛鉤對硅片的定位精度明顯變差，導(dǎo)致載板的PECVD工藝運行時，硅片的碎片和掉片率明顯的提升，載板的實際使用壽命快速的降低。
發(fā)明內(nèi)容為解決上述問題，本實用新型提供一種可有效減少掛鉤更換過程中對載板損耗的 PECVD用載板的掛鉤。為實現(xiàn)上述目的，本實用新型所采用的技術(shù)方案為一種PECVD用載板的掛鉤，包括下部開口的方形框架，框架兩個支臂的底端分別向外延伸形成彎鉤，兩個支臂的下端內(nèi)側(cè)分別設(shè)置有一個可轉(zhuǎn)動的頂片，兩個頂片相對稱設(shè)置，且頂片的上端面為平面。作為上述方案的進一設(shè)置，所述頂片可在水平面上轉(zhuǎn)動。所述頂片可在水平面上向外轉(zhuǎn)動90°。所述頂片的形狀為矩形、三角形、梯形中的任意一種。所述支臂的截面呈矩形。所述框架的兩個支臂相對稱設(shè)置。所述框架為不銹鋼框架，彎鉤為不銹鋼彎鉤、頂片為不銹鋼頂片。本實用新型一種PECVD用載板的掛鉤，在安裝過程中，只需將掛鉤兩個支臂上的頂片向內(nèi)旋轉(zhuǎn)90°即可有效固定在載板上，無需鉤體的咬合；拆卸時，只需將掛鉤兩個支臂上的頂片向外旋轉(zhuǎn)90°即可快速方便將掛鉤拆卸下來。因為安裝過程中無需鉤體咬合， 所以拆卸過程也非常簡單。從而掛鉤在安裝和拆卸的過程中，對載板的磨損會明顯的降低，有效的延長載板的使用壽命。
以下結(jié)合附圖和具體實施方式
對本實用新型作進一步說明。
圖1為現(xiàn)有掛鉤的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為圖1的俯視圖；圖3為現(xiàn)有掛鉤安裝后的示意圖；圖4為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；圖5為圖4的俯視圖；圖6為本實用新型安裝后的結(jié)構(gòu)示意圖；圖7為圖6的俯視圖。
具體實施方式
如圖4、圖5所示，本實用新型一種PECVD用載板的掛鉤，包括下部開口的方形框架4，框架4兩個支臂5的底端分別向外延伸形成彎鉤6，兩個支臂5的下端內(nèi)側(cè)分別設(shè)置有一個可轉(zhuǎn)動的頂片7，兩個頂片7相對稱設(shè)置，且頂片7的上端面71為平面。頂片7可在水平面上向外轉(zhuǎn)動90°。頂片7的形狀為矩形、三角形、梯形中的任意一種。支臂5的截面呈矩形。框架4的兩個支臂5相對稱設(shè)置?？蚣?為不銹鋼框架，彎鉤6為不銹鋼彎鉤、頂片7為不銹鋼頂片。本實用新型一種PECVD用載板的掛鉤，在實際安裝過程中僅需要轉(zhuǎn)動頂片7即可將掛鉤很好的固定到載板上；因為安裝時掛鉤支臂5無需咬合，所以掛鉤拆卸過程簡單快速。相比現(xiàn)有掛鉤安裝過程和拆卸過程咬合對載板的磨損，本實用新型設(shè)計的掛鉤在安裝和拆卸過程對載板的磨損明顯降低。結(jié)合圖6、圖7所示，本實用新型一種PECVD用載板的掛鉤安裝時，框架4內(nèi)側(cè)頂部設(shè)置有墊片8，頂片7的上端面71也設(shè)置有墊片8。本實用新型一種PECVD用載板的掛鉤安裝完成后，對硅片的定位無任何影響，可有效的滿足硅片上下料過程中的定位精度要求。上述實施例僅用于解釋說明本實用新型的發(fā)明構(gòu)思，而非對本實用新型權(quán)利保護的限定，凡利用此構(gòu)思對本實用新型進行非實質(zhì)性的改動，均應(yīng)落入本實用新型的保護范圍。
權(quán)利要求1.一種PECVD用載板的掛鉤，其特征在于包括下部開口的方形框架，框架兩個支臂的底端分別向外延伸形成彎鉤，兩個支臂的下端內(nèi)側(cè)分別設(shè)置有一個可轉(zhuǎn)動的頂片，兩個頂片相對稱設(shè)置，且頂片的上端面為平面。
2.如權(quán)利要求1所述的一種PECVD用載板的掛鉤，其特征在于所述頂片可在水平面上轉(zhuǎn)動。
3.如權(quán)利要求2所述的一種PECVD用載板的掛鉤，其特征在于所述頂片可在水平面上向外轉(zhuǎn)動90°。
4.如權(quán)利要求1所述的一種PECVD用載板的掛鉤，其特征在于所述頂片的形狀為矩形、三角形、梯形中的任意一種。
5.如權(quán)利要求1所述的一種PECVD用載板的掛鉤，其特征在于所述支臂的截面呈矩形。
6.如權(quán)利要求1所述的一種PECVD用載板的掛鉤，其特征在于所述框架的兩個支臂相對稱設(shè)置。
7.如權(quán)利要求1所述的一種PECVD用載板的掛鉤，其特征在于所述框架為不銹鋼框架，彎鉤為不銹鋼彎鉤、頂片為不銹鋼頂片。
專利摘要本實用新型涉及太陽能電池的生產(chǎn)設(shè)備，具體涉及一種PECVD用載板的掛鉤，包括下部開口的方形框架，框架兩個支臂的底端分別向外延伸形成彎鉤，兩個支臂的下端內(nèi)側(cè)分別設(shè)置有一個可轉(zhuǎn)動的頂片，兩個頂片相對稱設(shè)置，且頂片的上端面為平面。相比現(xiàn)有掛鉤安裝過程和拆卸過程咬合對載板的磨損，本實用新型設(shè)計的掛鉤在安裝和拆卸過程對載板的磨損明顯降低。
文檔編號H01L21/205GK202217651SQ201120335760
公開日2012年5月9日 申請日期2011年9月8日 優(yōu)先權(quán)日2011年9月8日
發(fā)明者金若鵬 申請人:浙江向日葵光能科技股份有限公司