專利名稱：反應(yīng)腔室蓋板及具有該蓋板的反應(yīng)腔室的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域，具體涉及一種反應(yīng)腔室蓋板及具有該蓋板的反
應(yīng)腔室。
背景技術(shù)：
在進(jìn)行半導(dǎo)體工藝時(shí)，機(jī)械手向反應(yīng)腔室中傳送晶片或從反應(yīng)腔室中取出晶片都需要通過(guò)能夠自動(dòng)開啟或關(guān)閉的門的結(jié)構(gòu)。在過(guò)去的半導(dǎo)體設(shè)備中，以往的自動(dòng)開啟或關(guān)閉的門的結(jié)構(gòu)由氣缸來(lái)驅(qū)動(dòng)。由于傳片門板上下的移動(dòng)主要通過(guò)門板兩邊固定著的導(dǎo)軌， 因此，在安裝時(shí)，兩邊導(dǎo)軌的平行度要求很高。而在采用氣缸傳動(dòng)時(shí)，就需要對(duì)氣缸活塞桿與導(dǎo)軌的平行度要求很高，這樣就加大了安裝時(shí)的難度。如果導(dǎo)軌與氣缸活塞桿的平行度誤差比較大，傳片門在開啟過(guò)關(guān)閉的過(guò)程中會(huì)卡死，不僅會(huì)損害機(jī)械手，還會(huì)造成反應(yīng)腔室中的晶片受到污染，嚴(yán)重影響工藝效果。而在采用氣缸時(shí)，也需要給氣缸提供具有一定純凈度的壓縮空氣，這樣就增加了設(shè)備介質(zhì)使用的復(fù)雜度。如果使用的壓縮空氣純凈度不高，不僅會(huì)減少氣缸的使用壽命，也會(huì)給設(shè)備內(nèi)部微環(huán)境帶來(lái)危害，使清洗過(guò)的晶片再次被污染。

實(shí)用新型內(nèi)容(一)要解決的技術(shù)問(wèn)題本實(shí)用新型的目的是提供一種簡(jiǎn)單易行、可靠的機(jī)械手傳片門自動(dòng)開啟與關(guān)閉的反應(yīng)腔室蓋板及具有該蓋板的反應(yīng)腔室。( 二 )技術(shù)方案為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型提供一種反應(yīng)腔室蓋板，包括反應(yīng)腔室隔板、傳片門板、連桿機(jī)構(gòu)以及電機(jī)；所述反應(yīng)腔室隔板設(shè)于反應(yīng)腔室上部，并開有對(duì)應(yīng)于反應(yīng)腔室入口的方孔；所述傳片門板可在所述反應(yīng)腔室隔板上運(yùn)動(dòng)；所述連桿機(jī)構(gòu)包括至少一根連桿；所述傳片門板、連桿機(jī)構(gòu)、電機(jī)依次連接，連桿機(jī)構(gòu)能夠在電機(jī)的驅(qū)動(dòng)下帶動(dòng)傳片門板運(yùn)動(dòng)，以將反應(yīng)腔室隔板上的方孔打開或關(guān)閉。優(yōu)選地，所述反應(yīng)腔室隔板的方孔兩側(cè)設(shè)有門板導(dǎo)軌，傳片門板兩側(cè)設(shè)有導(dǎo)軌滑塊，傳片門板通過(guò)導(dǎo)軌滑塊在所述門板導(dǎo)軌上運(yùn)動(dòng)。優(yōu)選地，所述門板導(dǎo)軌的長(zhǎng)度根據(jù)傳片門板運(yùn)動(dòng)的距離而定。優(yōu)選地，所述傳片門板的大小根據(jù)反應(yīng)腔室隔板的方孔的尺寸而定。優(yōu)選地，該反應(yīng)腔室為半導(dǎo)體反應(yīng)腔室，通過(guò)機(jī)械手傳取晶片，所述方孔的尺寸根據(jù)機(jī)械手的尺寸與晶片的尺寸而定。優(yōu)選地，所述連桿機(jī)構(gòu)為雙連桿機(jī)構(gòu)，包括第一連桿和第二連桿，傳片門板與第一連桿連接，第一連桿與第二連桿通過(guò)轉(zhuǎn)軸連接，并且兩根連桿可繞轉(zhuǎn)軸相對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)；第二連桿與電機(jī)連接，當(dāng)電機(jī)軸轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，可帶動(dòng)第二連桿一起轉(zhuǎn)動(dòng)，從而帶動(dòng)傳片門板在反應(yīng)腔室隔板上移動(dòng)。優(yōu)選地，所述連桿機(jī)構(gòu)為四連桿機(jī)構(gòu)，包括兩根第一連桿、第二連桿和第三連桿，傳片門板與兩根相同的第一連桿連接，這兩根第一連桿與第三連桿的兩端通過(guò)轉(zhuǎn)軸連接， 并且兩根第一連桿可繞轉(zhuǎn)軸與第三連桿相對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)；第二連桿與第三連桿通過(guò)第三連桿中間的轉(zhuǎn)軸連接，通過(guò)轉(zhuǎn)軸，第二連桿和第三連桿可相對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)；第二連桿與電機(jī)連接，當(dāng)電機(jī)軸轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，可帶動(dòng)第二連桿一起轉(zhuǎn)動(dòng)，第二連桿、第三連桿和兩根第一連桿組成連桿機(jī)構(gòu)，從而帶動(dòng)傳片門板在反應(yīng)腔室隔板上移動(dòng)。本實(shí)用新型還提供一種上述反應(yīng)腔室蓋板的反應(yīng)腔室，還包括腔體，所述反應(yīng)腔室蓋板用于將腔室所處環(huán)境與外界環(huán)境隔離開來(lái)。優(yōu)選地，該反應(yīng)腔室為半導(dǎo)體反應(yīng)腔室。(三)有益效果1、采用連桿機(jī)構(gòu)傳動(dòng)傳片門，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單易行，較容易控制開啟的高度。2、使用電機(jī)驅(qū)動(dòng)連桿機(jī)構(gòu)來(lái)控制傳片門的開關(guān)，較為容易控制，與采用氣缸傳動(dòng)相比，可節(jié)省氣缸氣源。

圖1為本實(shí)用新型中反應(yīng)腔室隔板的結(jié)構(gòu)圖；圖2為本實(shí)用新型采用兩根連桿機(jī)構(gòu)時(shí)的結(jié)構(gòu)圖；圖3為本實(shí)用新型采用兩根連桿機(jī)構(gòu)時(shí)傳片門全部開啟時(shí)的結(jié)構(gòu)圖；圖4為本實(shí)用新型采用兩根連桿機(jī)構(gòu)時(shí)傳片門全部關(guān)閉時(shí)的結(jié)構(gòu)圖；圖5為本實(shí)用新型采用四根連桿機(jī)構(gòu)時(shí)的結(jié)構(gòu)圖；圖6為本實(shí)用新型采用四根連桿機(jī)構(gòu)時(shí)傳片門全部開啟時(shí)的結(jié)構(gòu)圖；圖7為本實(shí)用新型采用四根連桿機(jī)構(gòu)時(shí)傳片門全部關(guān)閉時(shí)的結(jié)構(gòu)圖。其中，1 反應(yīng)腔室隔板；2 方孔；3 門板導(dǎo)軌；4 傳片門板；5 導(dǎo)軌滑塊；6 第一連桿；7 第二連桿；8 第三連桿；9 電機(jī)。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖和實(shí)施例，對(duì)本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
作進(jìn)一步詳細(xì)描述。以下實(shí)施例用于說(shuō)明本實(shí)用新型，但不是限制本實(shí)用新型的范圍。如圖2所示，為本實(shí)用新型所述反應(yīng)腔室蓋板一實(shí)施例的結(jié)構(gòu)圖，包括反應(yīng)腔室隔板1、傳片門板4、連桿機(jī)構(gòu)以及電機(jī)9 ；所述反應(yīng)腔室隔板1設(shè)于反應(yīng)腔室側(cè)面，并開有對(duì)應(yīng)于反應(yīng)腔室入口的方孔2 (如圖1所示)；門板導(dǎo)軌3固定在反應(yīng)腔室隔板1上，導(dǎo)軌滑塊5與門板導(dǎo)軌3連接在一起，且導(dǎo)軌滑塊5可沿門板導(dǎo)軌3移動(dòng)。傳片門板4與導(dǎo)軌滑塊5固定在一起。傳片門板4依靠導(dǎo)軌滑塊5在門板導(dǎo)軌3上移動(dòng)；所述連桿機(jī)構(gòu)為雙連桿機(jī)構(gòu)，包括第一連桿6和第二連桿7，傳片門板4與第一連桿6連接，第一連桿6與第二連桿7通過(guò)轉(zhuǎn)軸連接，并且兩根連桿可繞轉(zhuǎn)軸相對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)；第二連桿7與電機(jī)9連接，當(dāng)電機(jī)軸轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，可帶動(dòng)第二連桿7 —起轉(zhuǎn)動(dòng)，從而帶動(dòng)傳片門板4在反應(yīng)腔室隔板1上移動(dòng)。所述傳片門板4、連桿機(jī)構(gòu)、電機(jī)9依次連接，連桿機(jī)構(gòu)能夠在電機(jī)9的驅(qū)動(dòng)下帶動(dòng)傳片門板4 運(yùn)動(dòng)，以將反應(yīng)腔室隔板上的方孔2打開或關(guān)閉。所述門板導(dǎo)軌3的長(zhǎng)度可根據(jù)傳片門板4運(yùn)動(dòng)的距離而定。所述傳片門板4的大小根據(jù)反應(yīng)腔室隔板的方孔2的尺寸而定。所述方孔2的尺寸根據(jù)機(jī)械手的尺寸與晶片的尺寸而定。當(dāng)機(jī)械手需要傳取晶片時(shí)，設(shè)備控制系統(tǒng)控制電機(jī)9轉(zhuǎn)動(dòng)，電機(jī)9帶動(dòng)連桿機(jī)構(gòu) (第一連桿6和第二連桿7)轉(zhuǎn)動(dòng)，第一連桿6帶動(dòng)傳片門板4沿著門板導(dǎo)軌3移動(dòng)至反應(yīng)腔室隔板方孔2完全打開的位置停止，等待機(jī)械手完成傳取晶片動(dòng)作(如圖3所示位置)。當(dāng)機(jī)械手完成傳取晶片動(dòng)作時(shí)，需及時(shí)將反應(yīng)腔室隔板方孔2關(guān)閉。設(shè)備控制系統(tǒng)控制電機(jī)9轉(zhuǎn)動(dòng)，電機(jī)9帶動(dòng)連桿機(jī)構(gòu)(第一連桿6和第二連桿7)轉(zhuǎn)動(dòng)，第一連桿6帶動(dòng)傳片門板4沿著門板導(dǎo)軌3移動(dòng)至反應(yīng)腔室隔板方孔2完全關(guān)閉的位置停止，等待下一次機(jī)械手傳取晶片動(dòng)作開始(如圖4所示位置)。在傳片門板4上下移動(dòng)的過(guò)程中，傳片門板的主要受力來(lái)自于與第一連桿6連接處。為了避免在連桿的極限位置卡死，在具體尺寸設(shè)計(jì)時(shí)，應(yīng)避免第一連桿6在豎直方向。如圖5所示，為本實(shí)用新型所述反應(yīng)腔室蓋板另一實(shí)施例的結(jié)構(gòu)圖，與前述實(shí)施例的區(qū)別在于，所述連桿機(jī)構(gòu)為四連桿機(jī)構(gòu)，包括兩根第一連桿6、第二連桿7和第三連桿 8，傳片門板4與兩根相同的第一連桿6連接，這兩根第一連桿6與第三連桿8的兩端通過(guò)轉(zhuǎn)軸連接，并且兩根第一連桿6可繞轉(zhuǎn)軸與第三連桿8相對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)；第二連桿7與第三連桿8 通過(guò)第三連桿8中間的轉(zhuǎn)軸連接，通過(guò)轉(zhuǎn)軸，第二連桿7和第三連桿8可相對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)；第二連桿7與電機(jī)9連接，當(dāng)電機(jī)軸轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，可帶動(dòng)第二連桿7 —起轉(zhuǎn)動(dòng)，第二連桿7、第三連桿8 和兩根第一連桿6組成連桿機(jī)構(gòu)，從而帶動(dòng)傳片門板4在反應(yīng)腔室隔板1上移動(dòng)。當(dāng)機(jī)械手需要傳取晶片時(shí)，設(shè)備控制系統(tǒng)控制電機(jī)9轉(zhuǎn)動(dòng)，電機(jī)9帶動(dòng)連桿機(jī)構(gòu) (第二連桿7、第三連桿8、兩根第一連桿6)轉(zhuǎn)動(dòng)，第一連桿6帶動(dòng)傳片門板4沿著門板導(dǎo)軌 3移動(dòng)至反應(yīng)腔室隔板方孔2完全打開的位置停止，等待機(jī)械手完成傳取晶片動(dòng)作(如圖6 所示位置)。當(dāng)機(jī)械手完成傳取晶片動(dòng)作時(shí)，需及時(shí)將反應(yīng)腔室隔板方孔2關(guān)閉。設(shè)備控制系統(tǒng)控制電機(jī)9轉(zhuǎn)動(dòng)，電機(jī)9帶動(dòng)連桿機(jī)構(gòu)轉(zhuǎn)動(dòng)，第一連桿6帶動(dòng)傳片門板4沿著門板導(dǎo)軌 3移動(dòng)至反應(yīng)腔室隔板方孔2完全關(guān)閉的位置停止，等待下一次機(jī)械手傳取晶片動(dòng)作開始 (如圖7所示位置)。在傳片門板4上下移動(dòng)的過(guò)程中，第一連桿6始終保持水平，這樣就保證了第一連桿6和傳片門板4連接的兩個(gè)點(diǎn)在同一個(gè)水平線上，傳片門板4的受力較為均衡，不會(huì)引起偏載。本實(shí)用新型中的連桿機(jī)構(gòu)至少包括一根連桿，其原理與以上兩種結(jié)構(gòu)相同，均落入本實(shí)用新型保護(hù)范圍之內(nèi)。反應(yīng)腔室隔板方孔2開啟與關(guān)閉動(dòng)作中，電機(jī)9的轉(zhuǎn)動(dòng)方向可隨意選取，可順時(shí)針旋轉(zhuǎn)，也可逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)。反應(yīng)腔室隔板方孔2的開啟程度可根據(jù)設(shè)備中機(jī)械手的尺寸而定。 該結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單易行，避免了使用氣缸而造成的平行度誤差的問(wèn)題，保證了機(jī)械手在傳取晶片時(shí)，反應(yīng)腔室與外界隔離，從而保持高潔凈等級(jí)的微環(huán)境。由于氣缸在運(yùn)行過(guò)程中，氣源壓力大小對(duì)于氣缸活塞速度的影響很大，使得傳片門板4在打開與關(guān)閉的瞬間速度最大。而依據(jù)本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)，在傳片門板4打開與關(guān)閉的瞬間，速度是最小的，這樣保證了在傳片門板4打開與關(guān)閉的瞬間，氣流不會(huì)迅速涌進(jìn)反應(yīng)腔室而降低反應(yīng)腔室的潔凈度。本實(shí)用新型所述具有上述反應(yīng)腔室蓋板的反應(yīng)腔室，還包括腔體，所述反應(yīng)腔室蓋板用于將腔室所處環(huán)境與外界環(huán)境隔離開來(lái)。本實(shí)用新型中是以半導(dǎo)體反應(yīng)腔室為例。[0039] 以上所述僅是本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本實(shí)用新型技術(shù)原理的前提下，還可以做出若干改進(jìn)和替換，這些改進(jìn)和替換也應(yīng)視為本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求1.一種反應(yīng)腔室蓋板，其特征在于，包括反應(yīng)腔室隔板(1)、傳片門板G)、連桿機(jī)構(gòu)以及電機(jī)(9)；所述反應(yīng)腔室隔板(1)設(shè)于反應(yīng)腔室側(cè)面，并開有對(duì)應(yīng)于反應(yīng)腔室入口的方孔O)；所述傳片門板(4)可在所述反應(yīng)腔室隔板(1)上運(yùn)動(dòng)；所述連桿機(jī)構(gòu)包括至少一根連桿；所述傳片門板G)、連桿機(jī)構(gòu)、電機(jī)(9)依次連接，連桿機(jī)構(gòu)能夠在電機(jī)(9)的驅(qū)動(dòng)下帶動(dòng)傳片門板(4)運(yùn)動(dòng)，以將反應(yīng)腔室隔板上的方孔( 打開或關(guān)閉。
2.如權(quán)利要求1所述的反應(yīng)腔室蓋板，其特征在于，所述反應(yīng)腔室隔板的方孔(2)兩側(cè)設(shè)有門板導(dǎo)軌(3)，傳片門板(4)兩側(cè)設(shè)有導(dǎo)軌滑塊，傳片門板(4)通過(guò)導(dǎo)軌滑塊在所述門板導(dǎo)軌C3)上運(yùn)動(dòng)。
3.如權(quán)利要求2所述的反應(yīng)腔室蓋板，其特征在于，所述門板導(dǎo)軌(3)的長(zhǎng)度根據(jù)傳片門板⑷運(yùn)動(dòng)的距離而定。
4.如權(quán)利要求1所述的反應(yīng)腔室蓋板，其特征在于，所述傳片門板(4)的大小根據(jù)反應(yīng)腔室隔板的方孔O)的尺寸而定。
5.如權(quán)利要求1所述的反應(yīng)腔室蓋板，其特征在于，該反應(yīng)腔室為半導(dǎo)體反應(yīng)腔室，通過(guò)機(jī)械手傳取晶片，所述方孔O)的尺寸根據(jù)機(jī)械手的尺寸與晶片的尺寸而定。
6.如權(quán)利要求1-5中任意一項(xiàng)所述的反應(yīng)腔室蓋板，其特征在于，所述連桿機(jī)構(gòu)為雙連桿機(jī)構(gòu)，包括第一連桿(6)和第二連桿(7)，傳片門板(4)與第一連桿(6)連接，第一連桿 (6)與第二連桿(7)通過(guò)轉(zhuǎn)軸連接，并且兩根連桿可繞轉(zhuǎn)軸相對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)；第二連桿(7)與電機(jī) (9)連接，當(dāng)電機(jī)軸轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，可帶動(dòng)第二連桿(7) —起轉(zhuǎn)動(dòng)，從而帶動(dòng)傳片門板(4)在反應(yīng)腔室隔板(1)上移動(dòng)。
7.如權(quán)利要求1-5中任意一項(xiàng)所述的反應(yīng)腔室蓋板，其特征在于，所述連桿機(jī)構(gòu)為四連桿機(jī)構(gòu)，包括兩根第一連桿(6)、第二連桿(7)和第三連桿(8)，傳片門板(4)與兩根相同的第一連桿(6)連接，這兩根第一連桿(6)與第三連桿(8)的兩端通過(guò)轉(zhuǎn)軸連接，并且兩根第一連桿(6)可繞轉(zhuǎn)軸與第三連桿(8)相對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)；第二連桿(7)與第三連桿(8)通過(guò)第三連桿(8)中間的轉(zhuǎn)軸連接，通過(guò)轉(zhuǎn)軸，第二連桿(7)和第三連桿(8)可相對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)；第二連桿(7)與電機(jī)(9)連接，當(dāng)電機(jī)軸轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，可帶動(dòng)第二連桿(7) —起轉(zhuǎn)動(dòng)，第二連桿(7)、第三連桿(8)和兩根第一連桿(6)組成連桿機(jī)構(gòu)，從而帶動(dòng)傳片門板(4)在反應(yīng)腔室隔板(1) 上移動(dòng)。
8.一種具有權(quán)利要求1-7中任意一項(xiàng)所述的反應(yīng)腔室蓋板的反應(yīng)腔室，其特征在于， 還包括腔體，所述反應(yīng)腔室蓋板用于將腔室所處環(huán)境與外界環(huán)境隔離開來(lái)。
9.如權(quán)利要求8所述的反應(yīng)腔室，其特征在于，該反應(yīng)腔室為半導(dǎo)體反應(yīng)腔室。
專利摘要本實(shí)用新型為一種反應(yīng)腔室蓋板，包括反應(yīng)腔室隔板、傳片門板、連桿機(jī)構(gòu)以及電機(jī)；所述反應(yīng)腔室隔板設(shè)于反應(yīng)腔室側(cè)面，并開有對(duì)應(yīng)于反應(yīng)腔室入口的方孔；所述傳片門板可在所述反應(yīng)腔室隔板上運(yùn)動(dòng)；所述連桿機(jī)構(gòu)包括至少一根連桿；所述傳片門板、連桿機(jī)構(gòu)、電機(jī)依次連接，連桿機(jī)構(gòu)能夠在電機(jī)的驅(qū)動(dòng)下帶動(dòng)傳片門板運(yùn)動(dòng)，以將反應(yīng)腔室隔板上的方孔打開或關(guān)閉。本實(shí)用新型采用連桿機(jī)構(gòu)傳動(dòng)傳片門，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單易行，較容易控制開啟的高度，并且使用電機(jī)驅(qū)動(dòng)連桿機(jī)構(gòu)來(lái)控制傳片門的開關(guān)，較為容易控制，與采用氣缸傳動(dòng)相比，可節(jié)省氣缸氣源。
文檔編號(hào)H01L21/67GK202307825SQ20112036134
公開日2012年7月4日 申請(qǐng)日期2011年9月23日 優(yōu)先權(quán)日2011年9月23日
發(fā)明者吳儀, 張曉紅, 昝威, 裴立坤 申請(qǐng)人:北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司