專利名稱：滑動傳感器的護(hù)殼結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種滑動傳感器的護(hù)殼結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體工業(yè)的制程設(shè)備里，滑動傳感器作為一種檢測裝置被廣泛使用，在滑動傳感器的使用過程中，需要用到相關(guān)的護(hù)殼對其進(jìn)行保護(hù)，從而避免外界的一些因素影響滑動傳感器的正常工作。現(xiàn)有技術(shù)中的硅片加工機臺上設(shè)有一個滑動傳感器，該滑動傳感器位置正對硅片加工區(qū)。所述滑動傳感器的外側(cè)設(shè)有保護(hù)外殼，所述保護(hù)外殼包括用以收容滑動傳感器的收容槽、位于下方且朝向硅片加工區(qū)的完全開放式的底壁、與底壁相對且位于上方的頂壁以及與頂壁相連接的四個側(cè)壁。所述四個側(cè)壁與頂壁共同圍成所述收容槽。所述頂壁設(shè)有一個口徑較大的第一開口，所述正對滑動傳感器的一個側(cè)壁上開設(shè)有方便滑動傳感器安裝的第二開口。所述保護(hù)外殼借助第二開口與完全開放式的底壁套在滑動傳感器外圍。但是，上述滑動傳感器的保護(hù)外殼在頂壁設(shè)置口徑較大的第一開口，并將底壁設(shè)置成完全開放式，使得硅片加工過程中的結(jié)晶或者水滓較容易進(jìn)入到收容空間內(nèi)，進(jìn)而有結(jié)晶或者水滓殘留在滑動傳感器上，最終導(dǎo)致滑動傳感器被誤觸發(fā)，造成滑動傳感器很多誤報警，增加了不必要的工作量，降低了產(chǎn)能。并且，上述滑動傳感器的保護(hù)外殼是直接套在滑動傳感器上，所述保護(hù)外殼本身沒有借助螺絲等固定工具與加工機臺固定，所述保護(hù)外殼固定不牢靠，所以在機臺運作過程中，所述保護(hù)外殼容易產(chǎn)生較大的晃動，甚至?xí)c機臺蓋板之間產(chǎn)生碰撞，從而產(chǎn)生很多碰撞顆粒，不僅造成機臺蓋板損壞，而且破壞了整個機臺的環(huán)境衛(wèi)生。因此，針對上述技術(shù)問題，有必要提供一種改良結(jié)構(gòu)的滑動傳感器的護(hù)殼結(jié)構(gòu)，以克服上述缺陷。

實用新型內(nèi)容有鑒于此，本實用新型提供一種滑動傳感器的護(hù)殼結(jié)構(gòu)，該滑動傳感器的護(hù)殼結(jié)構(gòu)僅僅在底面設(shè)置一個較小的感應(yīng)窗口，并將頂面完全封閉，防止硅片加工過程中的結(jié)晶或者水滓進(jìn)入到護(hù)殼結(jié)構(gòu)內(nèi)部而殘留在滑動傳感器上，避免滑動傳感器出現(xiàn)誤報警現(xiàn)象； 同時，所述護(hù)殼結(jié)構(gòu)采用緊湊型固定安裝，并采用螺絲固定，定位穩(wěn)定，不易晃動，避免產(chǎn)生碰撞顆粒而污染機臺。為實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供如下技術(shù)方案一種滑動傳感器的護(hù)殼結(jié)構(gòu)，所述滑動傳感器位置正對一硅片加工區(qū)，所述護(hù)殼結(jié)構(gòu)包括用以收容滑動傳感器的收容空間、朝向硅片加工區(qū)的底面以及與底面相對的頂面，所述底面設(shè)有一個對著硅片加工區(qū)的感應(yīng)窗口，所述頂面完全封閉。優(yōu)選的，在上述滑動傳感器的護(hù)殼結(jié)構(gòu)中，所述滑動傳感器上設(shè)有發(fā)出感應(yīng)信號的感應(yīng)器，所述感應(yīng)窗口的位置與所述感應(yīng)器位置對應(yīng)。[0011 ] 優(yōu)選的，在上述滑動傳感器的護(hù)殼結(jié)構(gòu)中，所述感應(yīng)窗口為矩形的小孔。優(yōu)選的，在上述滑動傳感器的護(hù)殼結(jié)構(gòu)中，所述感應(yīng)窗口為橢圓形的小孔。優(yōu)選的，在上述滑動傳感器的護(hù)殼結(jié)構(gòu)中，所述頂面上設(shè)有與頂面一體成型的蓋帽。優(yōu)選的，在上述滑動傳感器的護(hù)殼結(jié)構(gòu)中，所述護(hù)殼結(jié)構(gòu)設(shè)有靠近底面的第一安裝部以及靠近頂面的第二安裝部，所述第一安裝部上設(shè)有用以固定護(hù)殼結(jié)構(gòu)的第一固定孔，所述第二安裝部上設(shè)有用以固定護(hù)殼結(jié)構(gòu)的第二固定孔。優(yōu)選的，在上述滑動傳感器的護(hù)殼結(jié)構(gòu)中，所述滑動傳感器設(shè)于一個機臺上，所述機臺上設(shè)有與第一固定孔位置對應(yīng)的第一安裝孔以及與第二固定孔位置對應(yīng)的第二安裝孔，所述護(hù)殼結(jié)構(gòu)通過緊固件與機臺固定在一起。優(yōu)選的，所述緊固件為螺釘。優(yōu)選的，在上述滑動傳感器的護(hù)殼結(jié)構(gòu)中，所述護(hù)殼結(jié)構(gòu)還包括位于頂面與底面之間的三個封閉側(cè)面以及一個與收容空間貫通的敞開口，所述敞開口正對滑動傳感器。優(yōu)選的，在上述滑動傳感器的護(hù)殼結(jié)構(gòu)中，所述第一安裝部及第二安裝部皆包括兩個且分別位于敞開口的兩側(cè)。從上述技術(shù)方案可以看出，本實用新型實施例滑動傳感器的護(hù)殼結(jié)構(gòu)，僅僅在底面設(shè)置一個感應(yīng)窗口，并將頂面設(shè)置成完全封閉結(jié)構(gòu)，防止硅片加工過程中的結(jié)晶或者水滓進(jìn)入到收容空間內(nèi)而殘留在滑動傳感器上，避免滑動傳感器出現(xiàn)誤報警現(xiàn)象，減少了工作量，提高了產(chǎn)能；同時，所述滑動傳感器的護(hù)殼結(jié)構(gòu)采用緊湊型固定安裝，并采用緊固件固定，定位穩(wěn)定，護(hù)殼結(jié)構(gòu)不易晃動，避免產(chǎn)生碰撞顆粒而污染機臺。

為了更清楚地說明本實用新型實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的有關(guān)本實用新型的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。圖1為現(xiàn)有技術(shù)中滑動傳感器的護(hù)殼結(jié)構(gòu)的示意圖；圖2為本實用新型實施例中滑動傳感器的護(hù)殼結(jié)構(gòu)的示意圖。100、保護(hù)外殼 11、收容槽 12、底壁 13、頂壁 14、側(cè)壁 15、第一開口 16、 第二開口 200、護(hù)殼結(jié)構(gòu) 21、收容空間 22、底面23、頂面 24、封閉側(cè)面 25、敞開口沈、感應(yīng)窗口 27、蓋帽 28、第一安裝部觀1、第一固定孔 29、第二安裝部、第二固定孔
具體實施方式
下面將結(jié)合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術(shù)方案進(jìn)行詳細(xì)地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒緦嵱眯滦椭械膶嵤├?，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動的前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護(hù)的范圍。請參閱圖1所示，現(xiàn)有技術(shù)中的一種滑動傳感器的保護(hù)外殼100，其中，安裝在保護(hù)外殼100內(nèi)的滑動傳感器設(shè)于一個硅片加工機臺上，該滑動傳感器位置正對硅片加工區(qū)。所述保護(hù)外殼100為中空結(jié)構(gòu)。所述保護(hù)外殼100包括用以收容滑動傳感器的收容槽 11、完全開放式的底壁12、與底壁12相對且位于上方的頂壁13以及與頂壁13相連接的四個側(cè)壁14。所述四個側(cè)壁14與頂壁13共同圍成所述收容槽11。所述頂壁13設(shè)有一個口徑較大的第一開口 15，所述正對滑動傳感器的一個側(cè)壁14上開設(shè)有方便滑動傳感器安裝的第二開口 16。所述護(hù)殼結(jié)構(gòu)借助第二開口 16與開放式的底壁12套在滑動傳感器外圍。但是，上述滑動傳感器的保護(hù)外殼100在頂壁13設(shè)置口徑較大的第一開口 15，并將底壁12設(shè)置成完全開放式，使得硅片加工過程中的結(jié)晶或者水滓較容易進(jìn)入到收容槽 11內(nèi)，進(jìn)而殘留在滑動傳感器上，最終導(dǎo)致滑動傳感器被誤觸發(fā)，造成滑動傳感器很多誤報警，增加了不必要的工作量，降低了產(chǎn)能。并且，上述滑動傳感器的保護(hù)外殼100是直接套在滑動傳感器上，所述保護(hù)外殼 100本身沒有借助螺絲等固定工具與加工機臺固定，所述保護(hù)外殼100固定不牢靠，所以在機臺運作過程中，所述保護(hù)外殼100容易產(chǎn)生較大的晃動，甚至?xí)c機臺蓋板之間產(chǎn)生碰撞，從而產(chǎn)生很多碰撞顆粒，不僅造成機臺蓋板損壞，而且破壞了整個機臺的環(huán)境衛(wèi)生。本實用新型公開了一種滑動傳感器的護(hù)殼結(jié)構(gòu)，該滑動傳感器的護(hù)殼結(jié)構(gòu)僅僅在底部設(shè)置一個較小的感應(yīng)窗口，并將頂部完全封閉，防止硅片加工過程中的結(jié)晶或者水滓進(jìn)入到護(hù)殼結(jié)構(gòu)內(nèi)部而殘留在滑動傳感器上，避免滑動傳感器出現(xiàn)誤報警現(xiàn)象；同時，所述護(hù)殼結(jié)構(gòu)采用緊湊型固定安裝，并采用螺絲固定，定位穩(wěn)定，護(hù)殼結(jié)構(gòu)不易晃動，避免產(chǎn)生碰撞顆粒而污染機臺。請參閱圖2所示，所述滑動傳感器的護(hù)殼結(jié)構(gòu)200，其中，安裝在護(hù)殼結(jié)構(gòu)200結(jié)構(gòu)中的滑動傳感器在實際使用過程中安裝在一個硅片加工機臺上，該滑動傳感器位置正對硅片加工區(qū)。所述護(hù)殼結(jié)構(gòu)200包括用以收容滑動傳感器的收容空間21、朝向硅片加工區(qū)的底面22、與底面22相對的頂面23、位于頂面23及底面22之間且與頂面23及底面22連接的三個封閉側(cè)面M以及一個與收容空間21貫通的完全開放的敞開口 25。所述敞開口 25 在護(hù)殼結(jié)構(gòu)200未安裝時正對滑動傳感器。所述敞開口 25方便滑動傳感器安裝入護(hù)殼結(jié)構(gòu)200中。所述底面22設(shè)有一個對著硅片加工區(qū)且開口很小的感應(yīng)窗口 26，所述頂面23 完全封閉。如此設(shè)置，通過在底面22上設(shè)置口徑較小的感應(yīng)窗口 26，并將頂面23完全封閉，使得硅片加工過程中的結(jié)晶或者水滓不容易進(jìn)入到收容空間21內(nèi)，進(jìn)而避免有結(jié)晶或者水滓殘留在滑動傳感器上，最終可降低滑動傳感器被誤觸發(fā)而造成誤報警的機率，減少了不必要的工作量，提高了產(chǎn)能。請繼續(xù)參閱圖2所示，所述滑動傳感器上設(shè)有發(fā)出感應(yīng)信號的感應(yīng)器，所述感應(yīng)窗口的位置與感應(yīng)器位置對應(yīng)。所述感應(yīng)窗口沈為矩形的小孔。所述頂面23上設(shè)有與頂面23 —體成型的蓋帽27。所述護(hù)殼結(jié)構(gòu)200設(shè)有靠近底面22的第一安裝部觀以及靠近頂面23的第二安裝部四。所述第一安裝部觀上設(shè)有用以固定護(hù)殼結(jié)構(gòu)200的第一固定孔 2810所述第二安裝部四上設(shè)有用以固定護(hù)殼結(jié)構(gòu)200的第二固定孔四1。所述機臺上設(shè)有與第一固定孔281位置對應(yīng)的第一安裝孔(未圖示)以及與第二固定孔291位置對應(yīng)的第二安裝孔(未圖示)。所述護(hù)殼結(jié)構(gòu)200通過緊固件與機臺固定在一起，所述緊固件優(yōu)選為螺釘。所述第一安裝部觀及第二安裝部四均包括兩個且分別位于敞開口 25的兩側(cè)。如此設(shè)置，所述護(hù)殼結(jié)構(gòu)200采用緊湊型固定安裝，并通過緊固件與加工機臺固定，所述護(hù)殼結(jié)構(gòu)200固定牢靠，在機臺運作過程中，所述護(hù)殼結(jié)構(gòu)200不易產(chǎn)生晃動，也不會出現(xiàn)與機臺蓋板之間產(chǎn)生碰撞的現(xiàn)象，避免產(chǎn)生碰撞顆粒而污染機臺，保證了整個機臺的環(huán)境衛(wèi)生。在本實用新型實施例中，將所述感應(yīng)窗口沈設(shè)置為矩形的小孔，當(dāng)然在其他實施方式中，也可以將所述感應(yīng)窗口沈設(shè)置為橢圓形的小孔。在本實用新型實施例中，所述敞開口 25為全開放式的，即整個面都是空的，對外開放，當(dāng)然在其他實施方式中，根據(jù)護(hù)殼結(jié)構(gòu)的尺寸，敞開口的大小只要能方便滑動傳感器安裝即可。本實用新型實施例的護(hù)殼結(jié)構(gòu)200，僅僅在底面22上設(shè)置口徑較小的感應(yīng)窗口 26，并將頂面23完全封閉，使得硅片加工過程中的結(jié)晶或者水滓不容易進(jìn)入到收容空間21 內(nèi)，進(jìn)而避免在硅片加工過程中有結(jié)晶或者水滓殘留在滑動傳感器上，最終可降低滑動傳感器被誤觸發(fā)而造成誤報警的機率，減少了不必要的工作量，提高了產(chǎn)能。本實用新型實施例的護(hù)殼結(jié)構(gòu)200，采用緊湊型固定安裝，通過緊固件將護(hù)殼結(jié)構(gòu) 200與加工機臺固定，所述護(hù)殼結(jié)構(gòu)200固定牢靠，在機臺運作過程中，所述護(hù)殼結(jié)構(gòu)200不易產(chǎn)生晃動，也不會出現(xiàn)與機臺蓋板之間產(chǎn)生碰撞的現(xiàn)象，避免產(chǎn)生碰撞顆粒而污染機臺， 保證了整個機臺的環(huán)境衛(wèi)生。對所公開的實施例的上述說明，使本領(lǐng)域?qū)I(yè)技術(shù)人員能夠?qū)崿F(xiàn)或使用本實用新型。對這些實施例的多種修改對本領(lǐng)域的專業(yè)技術(shù)人員來說將是顯而易見的，本文中所定義的一般原理可以在不脫離本實用新型的精神或范圍的情況下，在其它實施例中實現(xiàn)。因此，本實用新型將不會被限制于本文所示的這些實施例，而是要符合與本文所公開的原理和新穎特點相一致的最寬的范圍。
權(quán)利要求1.一種滑動傳感器的護(hù)殼結(jié)構(gòu)000)，所述滑動傳感器位置正對一硅片加工區(qū)，所述護(hù)殼結(jié)構(gòu)(200)包括用以收容滑動傳感器的收容空間(21)、朝向硅片加工區(qū)的底面02)以及與底面0 相對的頂面(23)，其特征在于所述底面0 設(shè)有一個對著硅片加工區(qū)的感應(yīng)窗口( )，所述頂面03)完全封閉。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的滑動傳感器的護(hù)殼結(jié)構(gòu)，其特征在于所述滑動傳感器上設(shè)有發(fā)出感應(yīng)信號的感應(yīng)器，所述感應(yīng)窗口 06)的位置與所述感應(yīng)器位置對應(yīng)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的滑動傳感器的護(hù)殼結(jié)構(gòu)，其特征在于所述感應(yīng)窗口06)為矩形的小孔。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的滑動傳感器的護(hù)殼結(jié)構(gòu)，其特征在于所述感應(yīng)窗口06)為橢圓形的小孔。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的滑動傳感器的護(hù)殼結(jié)構(gòu)，其特征在于所述頂面03)上設(shè)有與頂面03) —體成型的蓋帽07)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的滑動傳感器的護(hù)殼結(jié)構(gòu)，其特征在于所述護(hù)殼結(jié)構(gòu)(200) 設(shè)有靠近底面02)的第一安裝部08)以及靠近頂面03)的第二安裝部( )，所述第一安裝部08)上設(shè)有用以固定護(hù)殼結(jié)構(gòu)(200)的第一固定孔081)，所述第二安裝部09)上設(shè)有用以固定護(hù)殼結(jié)構(gòu)O00)的第二固定孔091)。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的滑動傳感器的護(hù)殼結(jié)構(gòu)，其特征在于所述滑動傳感器設(shè)于一個機臺上，所述機臺上設(shè)有與第一固定孔081)位置對應(yīng)的第一安裝孔以及與第二固定孔(四1)位置對應(yīng)的第二安裝孔，所述護(hù)殼結(jié)構(gòu)(200)通過緊固件與機臺固定在一起。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的滑動傳感器的護(hù)殼結(jié)構(gòu)，其特征在于所述緊固件為螺釘。
9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的滑動傳感器的護(hù)殼結(jié)構(gòu)，其特征在于所述護(hù)殼結(jié)構(gòu)(200) 還包括位于頂面03)與底面02)之間的三個封閉側(cè)面04)以及一個與收容空間貫通的敞開口(25)，所述敞開口 05)正對滑動傳感器。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的滑動傳感器的護(hù)殼結(jié)構(gòu)，其特征在于所述第一安裝部08) 及第二安裝部09)皆包括兩個且分別位于敞開口 05)的兩側(cè)。
專利摘要本實用新型公開了一種滑動傳感器的護(hù)殼結(jié)構(gòu)，所述滑動傳感器位于一硅片加工區(qū)的上方，所述護(hù)殼結(jié)構(gòu)包括用以收容滑動傳感器的收容空間、朝向硅片加工區(qū)的底面以及與底面相對的頂面，所述底面設(shè)有一個對著硅片加工區(qū)的感應(yīng)窗口，所述頂面完全封閉。本實用新型滑動傳感器的護(hù)殼結(jié)構(gòu)僅僅在底面設(shè)置一個感應(yīng)窗口，并將頂面設(shè)置成完全封閉結(jié)構(gòu)，防止硅片加工過程中的結(jié)晶或者水滓進(jìn)入到收容空間內(nèi)而殘留在滑動傳感器上，避免滑動傳感器出現(xiàn)誤報警現(xiàn)象。
文檔編號H01L21/67GK202329673SQ20112047824
公開日2012年7月11日 申請日期2011年11月25日 優(yōu)先權(quán)日2011年11月25日
發(fā)明者夏偉, 陸銘 申請人:無錫華潤上華科技有限公司