專利名稱：一種清洗機(jī)籃筐的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
一種清洗機(jī)籃筐技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及硅片清洗領(lǐng)域，尤其是涉及ー種在硅片清洗エ序中裝載花籃的清洗機(jī)籃筐。背景技術(shù)：
公知的，硅片清洗做為硅片生產(chǎn)流程的最后一道エ序，其操作最為頻繁，而且其清洗效率也將直接影響到硅片的成品率，因此， 硅片清洗的操作在硅片生產(chǎn)中屬于至關(guān)重要的步驟之一；目前，在實(shí)際操作中發(fā)現(xiàn)，現(xiàn)有硅片清洗機(jī)的籃筐如果裝不滿花籃的話，花籃在清洗過程中容易出現(xiàn)傾倒或壓籃等現(xiàn)象，嚴(yán)重時(shí)會(huì)導(dǎo)致整籃硅片的損壞，如果將籃筐裝滿的話，不但裝籃時(shí)費(fèi)時(shí)費(fèi)カ，且多個(gè)花籃之間會(huì)產(chǎn)生擠壓，而擠壓過度的話也會(huì)造成花籃內(nèi)的硅片邊緣破損；其次，現(xiàn)有清洗機(jī)的籃筐分為單晶硅片用籃筐和多晶硅片用籃筐兩種，即單晶硅片用籃筐只能安放單晶硅花籃，多晶硅片用籃筐只能安放多晶硅花籃，這導(dǎo)致了在清洗不同的硅片時(shí)需要選擇更換不同的籃筐，從而造成操作人員的勞動(dòng)強(qiáng)度増大；此外，在硅片的清洗烘干過程中，由清洗烘干隧道出來的清洗機(jī)籃筐溫度較高，操作人員必須使用隔熱手套防護(hù)才能進(jìn)行下一歩的相關(guān)操作，但是，由于高溫、摩擦或干燥等原因，清洗機(jī)的籃筐會(huì)帶有大量的靜電，而現(xiàn)有的隔熱手套又不能防靜電，這時(shí)一般是通過其他工具釋放完靜電再進(jìn)行下一歩操作，因而導(dǎo)致了生產(chǎn)效率較低。
發(fā)明內(nèi)容為了克服背景技術(shù)中的不足，本實(shí)用新型提供了一種清洗機(jī)籃筐，所述的籃筐不但能夠安放單晶硅花籃和多晶硅花籃，并且在清洗過程中不會(huì)發(fā)生籃筐內(nèi)花籃傾倒或壓籃現(xiàn)象，同時(shí)所述的籃筐還能夠有效的處理靜電影響。為實(shí)現(xiàn)上述發(fā)明目的，本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案一種清洗機(jī)籃筐，所述的籃筐包含籃筐本體、擋桿和導(dǎo)電體；所述的籃筐本體兩端上邊框中部固定設(shè)有兩根有間距的多晶硅花籃擋桿，在籃筐本體兩端上邊框的下部面活動(dòng)連接有兩根單晶硅花籃擋桿，且兩根單晶硅花籃擋桿位于多晶硅花籃擋桿的兩側(cè)；所述的籃筐本體兩端端面的對(duì)角位置分別安裝有一塊對(duì)應(yīng)清洗機(jī)中感應(yīng)裝置的擋板；所述的籃筐本體下邊框的角端設(shè)有接地的導(dǎo)電體。所述的清洗機(jī)籃筐，所述的單晶硅花籃擋桿的兩端分別與對(duì)應(yīng)的籃筐本體上邊框定位卡接。所述的清洗機(jī)籃筐,所述的單晶娃花籃擋桿一端與對(duì)應(yīng)的籃筐本體上邊框活動(dòng)套接，另一端通過螺紋與固定安裝在籃筐本體上邊框?qū)?yīng)位置的螺帽絲接。由于采用如上所述的技術(shù)方案，本實(shí)用新型具有如下有益效果本實(shí)用新型所述的清洗機(jī)籃筐不但能夠通過裝卸擋桿達(dá)到安放單晶硅花籃和多晶硅花籃的目的，為使用方節(jié)省生產(chǎn)成本，而且在清洗過程中不會(huì)使籃筐內(nèi)的花籃發(fā)生傾倒或壓籃現(xiàn)象，從而相應(yīng)提高了硅片的成品率；此外，所述的籃筐還能夠有效的釋放靜電，即在保證操作安全的前提下提高了生產(chǎn)效率。
[0014]圖I是本實(shí)用新型的示意圖。圖中1、籃筐；2、單晶硅花籃擋桿；3、多晶硅花籃擋桿；4、導(dǎo)電體；5、擋板。
具體實(shí)施方式
通過下面的實(shí)施例可以更詳細(xì)的解釋本實(shí)用新型，公開本實(shí)用新型的目的g在保護(hù)本實(shí)用新型范圍內(nèi)的一切變化和改進(jìn)，本實(shí)用新型并不局限于下面的實(shí)施例；結(jié)合附圖I所述的清洗機(jī)籃筐，所述的籃筐包含籃筐本體I、擋桿和導(dǎo)電體4 ;所述的籃筐本體I兩端上邊框中部固定設(shè)有兩根有間距的多晶硅花籃擋桿2，即能夠通過多晶硅花籃擋桿2和籃筐本體I的側(cè)邊框使安放在籃筐本體I內(nèi)的多晶硅花籃得到牢固定位；在籃筐本體I兩端上邊框的下部面活動(dòng)連接有兩根單晶硅花籃擋桿3，即能夠通過單晶硅花籃擋桿3和籃筐本體I的側(cè)邊框使安放在籃筐本體I內(nèi)的單晶硅花籃得到牢固定位，同吋，由于單晶硅花籃擋桿3和對(duì)應(yīng)的籃筐本體I上邊框之間是活動(dòng)連接的，因此，在清洗時(shí)只需通過裝卸所述的單晶硅花籃擋桿3即能夠達(dá)到在籃筐本體I內(nèi)安放單晶硅花籃或多晶 硅花籃的目的；為更便于裝卸所述的單晶硅花籃擋桿3，能夠?qū)⒚恳桓鶈尉Ч杌ɑ@擋桿3的兩端分別與對(duì)應(yīng)的籃筐本體I上邊框定位卡接；或者，將每ー根單晶硅花籃擋桿3的一端與對(duì)應(yīng)的籃筐本體I上邊框活動(dòng)套接，將該根單晶硅花籃擋桿3的另一端通過螺紋與固定安裝在籃筐本體I上邊框?qū)?yīng)位置的螺帽絲接；所述的兩根單晶硅花籃擋桿3位于多晶硅花籃擋桿2的兩側(cè)，從而能夠滿足單晶硅花籃和多晶硅花籃的不同尺寸要求；所述的籃筐本體I兩端端面的對(duì)角位置分別安裝有一塊對(duì)應(yīng)清洗機(jī)中感應(yīng)裝置的擋板5，即通過擋板5提高清洗機(jī)上感應(yīng)裝置的感應(yīng)準(zhǔn)確度，從而避免感應(yīng)失誤的現(xiàn)象發(fā)生；為釋放靜電，能夠在所述的籃筐本體I下邊框的角端安裝設(shè)置ー始終接地的導(dǎo)電體4，即當(dāng)所述的籃筐移動(dòng)時(shí)，所述的導(dǎo)電體4能夠始終接地以釋放所述籃筐上的靜電。實(shí)施本實(shí)用新型所述的清洗機(jī)籃筐，當(dāng)清洗多晶硅吋，就把單晶硅花籃擋桿3拆卸下來，通過多晶硅花籃擋桿2對(duì)多晶硅花籃進(jìn)行定位，使多晶硅花籃不能偏移或傾倒；當(dāng)清洗單晶硅時(shí)，則把單晶硅花籃擋桿3固定安裝在籃筐本體I上，通過單晶硅花籃擋桿3對(duì)單晶硅花籃進(jìn)行定位，使單晶硅花籃不能偏移或傾倒；在清洗過程中，當(dāng)所述的籃筐到達(dá)指定位置吋，清洗機(jī)上的光電開關(guān)通過擋板5準(zhǔn)確感應(yīng)到有料，并將有料信息傳送至PLC，PLC在收到信息后機(jī)械臂不會(huì)向同一位置吊裝所述的籃筐，從而有效防止了壓籃事故的發(fā)生；同吋，由于所述的導(dǎo)電體4始終與地接觸釋放著靜電，所以操作人員能夠直接使用隔熱手套對(duì)由清洗烘干隧道出來的所述籃筐進(jìn)行下一歩的相關(guān)操作。以上內(nèi)容中未細(xì)述部份為現(xiàn)有技術(shù)，故未做細(xì)述。
權(quán)利要求1.一種清洗機(jī)籃筐，其特征是所述的籃筐包含籃筐本體(I)、擋桿和導(dǎo)電體(4);所述的籃筐本體(I)兩端上邊框中部固定設(shè)有兩根有間距的多晶硅花籃擋桿(2)，在籃筐本體(I)兩端上邊框的下部面活動(dòng)連接有兩根單晶硅花籃擋桿(3)，且兩根單晶硅花籃擋桿(3)位于多晶硅花籃擋桿(2)的兩側(cè)；所述的籃筐本體(I)兩端端面的對(duì)角位置分別安裝有一塊對(duì)應(yīng)清洗機(jī)中感應(yīng)裝置的擋板(5);所述的籃筐本體(I)下邊框的角端設(shè)有接地的導(dǎo)電體⑷。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的清洗機(jī)籃筐，其特征是所述的單晶硅花籃擋桿(3)的兩端分別與對(duì)應(yīng)的籃筐本體(I)上邊框定位卡接。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的清洗機(jī)籃筐，其特征是所述的單晶硅花籃擋桿(3)—端與對(duì)應(yīng)的籃筐本體(I)上邊框活動(dòng)套接，另一端通過螺紋與固定安裝在籃筐本體(I)上邊框?qū)?yīng)位置的螺帽絲接。
專利摘要一種涉及硅片清洗領(lǐng)域的清洗機(jī)籃筐，所述的籃筐包含籃筐本體、擋桿和導(dǎo)電體；所述的籃筐本體兩端上邊框中部固定設(shè)有兩根有間距的多晶硅花籃擋桿，在籃筐本體兩端上邊框的下部面活動(dòng)連接有兩根單晶硅花籃擋桿，且兩根單晶硅花籃擋桿位于多晶硅花籃擋桿的兩側(cè)；所述的籃筐本體兩端端面的對(duì)角位置分別安裝有一塊對(duì)應(yīng)清洗機(jī)中感應(yīng)裝置的擋板；所述的籃筐本體下邊框的角端設(shè)有接地的導(dǎo)電體；所述的籃筐不但能夠安放單晶硅花籃和多晶硅花籃，并且在清洗過程中不會(huì)發(fā)生籃筐內(nèi)花籃傾倒或壓籃現(xiàn)象，同時(shí)所述的籃筐還能夠有效的處理靜電影響。
文檔編號(hào)H01L21/67GK202394850SQ20112055878
公開日2012年8月22日 申請(qǐng)日期2011年12月28日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月28日
發(fā)明者任祖江, 周積勛, 張磊, 智兵強(qiáng), 智旭強(qiáng), 朱曉磊, 聶傳付, 谷金升, 鄧占鵬, 霍得生 申請(qǐng)人:上海超日(洛陽)太陽能有限公司