專利名稱：表面具有微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的物品的制造方法和制造裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明 涉及將表面被脫模劑處理過的模具的表面的微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)印到物品主體的表面，從而制造表面具有微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的物品的方法及裝置。本申請基于2010年4月9日在日本申請的日本特愿2010-090456號主張優(yōu)先權(quán)，并將其內(nèi)容援用至此。
背景技術(shù)：
近年來，由于發(fā)現(xiàn)了表面具有可見光的波長以下的周期的微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的物品具有防反射效果、荷葉效應(yīng)等，因此其有用性受到關(guān)注。尤其是被稱為蛾眼(Moth-Eye)結(jié)構(gòu)的凹凸結(jié)構(gòu)，由于折射率從空氣的折射率向物品的材料的折射率連續(xù)地增大，因而成為有效的防反射的手段。作為表面具有微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的物品的制造方法，例如，已知有具有下述工序(i)
(iii)的方法(例如，專利文獻(xiàn)I)。(i)在表面具有微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的反轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)且所述表面被脫模劑處理過的模具與作為物品主體的基材薄膜之間夾持紫外線固化性樹脂組合物的工序。(ii)對紫外線固化性樹脂組合物照射紫外線，使所述紫外線固化性樹脂組合物固化而形成具有微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的固化樹脂層的工序。(iii)將模具從基材薄膜表面的固化樹脂層脫模，得到表面具有微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的物品的工序。用脫模劑處理過的模具常常因?yàn)榉磸?fù)轉(zhuǎn)印微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)而性能降低，從而模具變得無法從固化樹脂層上脫模。為前述狀態(tài)時，模具表面附著固化樹脂，而使洗滌變得困難、制造中基材薄膜斷裂等。因此，制造長時間中斷、生產(chǎn)率顯著降低。為了解決前述問題，尋求能夠在線且簡便地監(jiān)控模具表面的脫模劑的狀態(tài)的方法。現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)I :日本特開2007-326367號公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明要解決的問題本發(fā)明提供能夠在線且簡便地監(jiān)控模具表面的脫模劑的狀態(tài)且可抑制生產(chǎn)率降低的、表面具有微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的物品的制造方法和制造裝置。
_4] 用于解決問題的方案本發(fā)明的表面具有微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的物品的制造方法的特征在于，其是將表面被脫模劑處理過的模具的表面的微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)印到物品主體的表面、從而制造表面具有微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的物品的制造方法，將微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)印到物品主體的表面，將前述物品主體從模具剝離后，測定模具表面的紅外分光光譜，基于前述紅外分光光譜，判定模具表面的脫模劑的狀態(tài)好壞。在本發(fā)明的表面具有微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的物品的制造方法中，當(dāng)模具表面的脫模劑的狀態(tài)被判定為不好時，可以停止將模具表面的微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)印到物品主體的表面，另外也可以將脫模劑供給模具表面的微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)。在本發(fā)明的表面具有微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的物品的制造方法中，優(yōu)選連續(xù)地或間斷地測定模具表面的紅外分光光譜。在本發(fā)明的表面具有微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的物品的制造方法中，優(yōu)選的是，紅外分光光譜中來源于脫模劑的化學(xué)結(jié)構(gòu)的波數(shù)附近的峰的吸光度面積(A)與來源于模具表面存在的化學(xué)結(jié)構(gòu)的波數(shù)附近的峰的吸光度面積(B)的面積比((A)/ (B))為預(yù)先設(shè)定的閾值以上時，判定模具表面的脫模劑的狀態(tài)為好。
本發(fā)明的表面具有微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的物品的制造裝置的特征在于，其是將表面被脫模劑處理過的模具的表面的微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)印到物品主體的表面，從而制造表面具有微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的物品的裝置，該制造裝置具有表面具有微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)且所述表面被脫模劑處理過的模具；測定模具表面的紅外分光光譜的反射型紅外分光裝置，所述模具表面是將微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)印到物品主體的表面，并從模具上剝離所述物品主體后的模具表面；基于所述紅外分光光譜判定模具表面的脫模劑的狀態(tài)好壞的判定單元。即，本發(fā)明涉及以下內(nèi)容。(I) 一種表面具有微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的物品的制造方法，其將模具表面的微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)印到物品主體的表面，從而制造所述物品，所述模具表面被脫模劑處理過，該制造方法包括將微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)印到物品主體的表面；將所述物品主體從模具剝離后，測定模具表面的紅外分光光譜；以及，根據(jù)模具表面的脫模劑的狀態(tài)好壞，判定是否繼續(xù)制造。(2)根據(jù)(I)記載的表面具有微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的物品的制造方法，其中，其還包括當(dāng)模具表面的脫模劑的狀態(tài)被判定為不好時，停止將模具表面的微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)印到物品主體的表面，和/或，再次用脫模劑處理模具表面。(3)根據(jù)(I)或(2)記載的表面具有微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的物品的制造方法，其中，所述測定模具表面的紅外分光光譜包括連續(xù)地或者間斷地測定所述模具表面的紅外分光光譜。(4)根據(jù)(I) (3)中任一項(xiàng)記載的表面具有微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的物品的制造方法，其包括紅外分光光譜中來源于脫模劑的化學(xué)結(jié)構(gòu)的波數(shù)附近的峰的吸光度面積(A)、或者來源于脫模劑的化學(xué)結(jié)構(gòu)的波數(shù)附近的峰的吸光度面積(A)與來源于模具表面存在的化學(xué)結(jié)構(gòu)的波數(shù)附近的峰的吸光度面積(B)的面積比((A)/ (B))為預(yù)先設(shè)定的閾值以上時，判定模具表面的脫模劑的狀態(tài)為好。(5)根據(jù)(4)記載的表面具有微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的物品的制造方法，其中，所述模具由氧化鋁形成；所述脫模劑為氟化合物；所述吸光度面積(A)的閾值為O. 13，并且所述吸光度的面積比((A)/ (B))的閾值為O. 047。(6)根據(jù)(5)記載的表面具有微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的物品的制造方法，其中，所述吸光度面積(A)為O. 13以上I以下，并且所述吸光度的面積比((A)/ (B))為0.047以上且10以下。(7)—種表面具有微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的物品的制造裝置，其將模具表面的微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)印到物品主體的表面，從而制造表面具有微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的物品，所述模具表面被脫模劑處理過，該制造裝置具有表面具有微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)且所述表面被脫模劑處理過的模具；測定模具表面的紅外分光光譜的反射型紅外分光裝置，所述模具表面是將微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)印到物品主體的表面，并從模具上將所述物品主體剝離后的模具表面；基于所述紅外分光光譜判定模具表面的脫模劑的狀態(tài)好壞的判定單元。發(fā)明的效果
采用本發(fā)明的表面具有微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的物品的制造方法，能夠在線且簡便地監(jiān)控模具表面的脫模劑的狀態(tài)、可抑制生產(chǎn)率降低。采用本發(fā)明的表面具有微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的物品的制造裝置，能夠在線且簡便地監(jiān)控模具表面的脫模劑的狀態(tài)、可抑制生產(chǎn)率降低。


圖I是表示本發(fā)明的表面具有微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的物品的制造裝置的一例的結(jié)構(gòu)圖。圖2是表示表面具有陽極氧化鋁的模具的制造工序的剖面圖。圖3是表示本發(fā)明的表面具有微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的物品的一例的剖面圖。圖4是表示表面被具有水解性甲硅烷基的氟化合物處理過的、表面具有陽極氧化鋁的模具表面的紅外分光光譜的一例的圖。圖5是表示提取吸光度面積(A)和吸光度面積(B)時的基線(連接各個吸收曲線的起點(diǎn)與終點(diǎn)的虛線)的一例的圖。
具體實(shí)施例方式在本說明書中，(甲基)丙烯酸酯是指丙烯酸酯或甲基丙烯酸酯。另外，透明是指透過至少波長40(Tll70nm的光。另外，活性能量射線是指可見光線、紫外線、電子射線、等離子體、及熱線(紅外線等)等。<表面具有微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的物品的制造裝置>本發(fā)明的表面具有微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的物品的制造裝置具有表面具有微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)且所述表面被脫模劑處理過的模具；測定模具表面的紅外分光光譜的反射型紅外分光裝置，所述模具表面是將微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)印到物品主體的表面，并從模具上剛將所述物品主體剝離后的模具表面；基于所述紅外分光光譜判定模具表面的脫模劑的狀態(tài)好壞的判定單
J Li ο圖I是表示本發(fā)明的表面具有微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的物品的制造裝置的一例的簡要結(jié)構(gòu)圖。前述制造裝置具有表面具有微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)(圖示省略)且所述表面被脫模劑處理過的輥狀模具20 ;向與輥狀模具20的旋轉(zhuǎn)同步地沿輥狀模具20表面移動的帶狀薄膜42 (物品主體)與輥狀模具20之間供給活性能量射線固化性樹脂組合物的容器22 ;與輥狀模具20之間夾持薄膜42和活性能量射線固化性樹脂組合物的軋輥26 ;調(diào)節(jié)軋輥26的夾持壓的空氣壓氣缸24 ;設(shè)置于輥狀模具20下方的、透過薄膜42對活性能量射線固化性樹脂組合物照射活性能量射線的活性能量射線照射裝置28 ;從輥狀模具20上剝離表面形成有固化樹脂層44的薄膜42的剝離輥30 ;測定剛將薄膜42連同固化樹脂層44剝離后的輥狀模具20表面的紅外分光光譜的反射型紅外分光裝置50 ;基于紅外分光光譜判定模具表面的脫模劑的狀態(tài)好壞的判定單元60 ;控制制造裝置運(yùn)行的控制裝置62。另外，在本發(fā)明中，“剛剝離后”指將表面具有微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的物品主體從模具上剝離時開始到所述模具與接下來的物品主體接觸為止。具體來說，指將薄膜42連同固化樹脂層44從輥狀模具20上剝離時開始到將活性能量射線固化性樹脂組合物供給薄膜42與輥狀模具20之間為止。(反射型紅外分光裝置) 反射型紅外分光裝置50具有對輥狀模具20表面照射紅外線的光源52 ;接收輥狀模具20表面反射的紅外線以及進(jìn)行分光并檢測分光后的紅外線而得到紅外分光光譜的檢測器54 ;控制光源52和檢測器54并將檢測器54得到的紅外分光光譜傳達(dá)給判定單元60的操作控制機(jī)器56。反射型紅外分光裝置50被設(shè)置在能夠測定將薄膜42連同固化樹脂層44從輥狀模具20上剝離時開始到將活性能量射線固化性樹脂組合物供給薄膜42與輥狀模具20之間為止的期間的輥狀模具20表面的紅外分光光譜的位置。作為反射型紅外分光裝置50，可列舉出傅立葉變換型、及使用了衍射光柵的分散型等，由于測定時間短，因此優(yōu)選傅立葉變換型紅外分光裝置。(判定單元)判定單元60，例如具有提取紅外分光光譜中來源于特定化學(xué)結(jié)構(gòu)的規(guī)定波數(shù)附近的峰的強(qiáng)度或面積的提取部(圖示省略);根據(jù)需要，算出2種峰的強(qiáng)度或面積之比的算出部(圖示省略)；峰的強(qiáng)度、面積、或它們的比等為預(yù)先設(shè)定的閾值以上(根據(jù)情況為閾值以下)時，判定輥狀模具20表面的脫模劑的狀態(tài)為好的判定部(圖示省略);存儲從外部輸入的閾值等的存儲部(圖示省略)；判定部判定輥狀模具20表面的脫模劑的狀態(tài)不好時，將該信息傳達(dá)給控制裝置62的傳達(dá)部。判定部優(yōu)選在來源于脫模劑的化學(xué)結(jié)構(gòu)的波數(shù)附近的峰的吸光度面積(A)、或者所述吸光度面積(A)與來源于輥狀模具20表面存在的化學(xué)結(jié)構(gòu)的波數(shù)附近的峰的吸光度面積(B)的面積比((A)/ (B))為預(yù)先設(shè)定的閾值以上時，判定模具表面的脫模劑的狀態(tài)為好。作為脫模劑，使用具有水解性甲硅烷基或硅羥基的氟化合物，作為輥狀模具20，使用鋁基材表面具有陽極氧化鋁的模具且所述陽極氧化鋁具有2個以上的細(xì)孔的情況下，判定單元60的各部具體優(yōu)選如下。提取部優(yōu)選下述提取部能夠從紅外分光光譜中提取來源于具有水解性甲硅烷基或硅羥基的氟化合物的化學(xué)結(jié)構(gòu)的波數(shù)108012900^1附近的峰的吸光度面積(A)、及來源于陽極氧化鋁的化學(xué)結(jié)構(gòu)的波數(shù)7301080(3!^1附近的峰的吸光度面積(B)。此時的基線設(shè)為連接在規(guī)定波數(shù)下具有峰的吸收曲線的起點(diǎn)與終點(diǎn)的線。另外，這些波數(shù)存在根據(jù)脫模齊U、陽極氧化鋁的狀態(tài)而變化的情況并可根據(jù)出現(xiàn)的峰位置進(jìn)行適當(dāng)改變。算出部優(yōu)選可算出由提取部提取的面積(A)、或者面積(A)與面積(B)的面積比((A)/ (B))的算出部。判定部優(yōu)選下述判定部在面積(A)或者面積比((A)/ (B))為預(yù)先設(shè)定的閾值以上時，判定輥狀模具20表面的脫模劑的狀態(tài)為好。其中，作為用于判定的值，陽極氧化鋁的厚度固定時使用面積比((A)/ (B))，由于再現(xiàn)性、及裝置間誤差等問題較少而可期待穩(wěn)定的測定，因而優(yōu)選。然而，在陽極氧化鋁的厚度不固定情況等下，也可以僅用峰(A)的面積進(jìn)行判斷。 另外，判定單元60也可以采用專門的硬件來實(shí)現(xiàn)，此外判定單元60也可以由存儲器和中央處理裝置(CPU)構(gòu)成，通過將用于實(shí)現(xiàn)判定單元60的功能的程序在存儲器中加載執(zhí)行，從而實(shí)現(xiàn)該功能。另外，判定單元60可連接輸入裝置、及顯示裝置作為周邊機(jī)器。其中，輸入裝置指顯示觸摸面板、開關(guān)面板、及鍵盤等輸入設(shè)備，表示裝置指CRT、及液晶顯示裝置等。(控制裝置)控制裝置62具備處理部(圖示省略)、接口部(圖示省略)和存儲部(圖示省略)。接口部是電連接構(gòu)成制造裝置的各機(jī)器等與處理部之間的部分。處理部根據(jù)存儲部中存儲的各種設(shè)定、及來自于判定單元60的判定信息等控制前述各機(jī)器等的運(yùn)行等。例如，判定單元60中判定輥狀模具20表面的脫模劑的狀態(tài)為不好時，停止薄膜42的移動、輥狀模具20的旋轉(zhuǎn)、及來自于容器22的活性能量射線固化性樹脂組合物的供給等，停止將輥狀模具20表面的微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)印到薄膜42的表面。另外，處理部也可以采用專門的硬件來實(shí)現(xiàn)，此外處理部也可以由存儲器和中央處理裝置(CPU)構(gòu)成，通過將用于實(shí)現(xiàn)處理部的功能的程序在存儲器中加載執(zhí)行，從而實(shí)現(xiàn)該功能。另外，控制裝置62可連接輸入裝置、及顯示裝置作為周邊機(jī)器。其中，輸入裝置指顯示觸摸面板、開關(guān)面板、及鍵盤等輸入設(shè)備，表示裝置指CRT、及液晶顯示裝置等。另外，作為控制裝置62，也可以使用兼?zhèn)淝笆雠卸▎卧?0的功能的裝置，從而省略與控制裝置62分開設(shè)置的前述判定單元60。(活性能量射線照射裝置)作為活性能量射線照射裝置28，可列舉出高壓汞燈、金屬鹵化物燈、及熔融管(fusion lamp)等。(模具)模具是模具基材的表面具有微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)且所述表面被脫模劑處理過的模具。作為模具基材的材料，可列舉出金屬(包含表面形成有氧化覆膜的金屬。)、石英、玻璃、樹脂、及陶瓷等。作為模具基材的形狀，輥狀以外可舉出圓管狀、平板狀、及片狀等。作為模具的制作方法，例如，可列舉出下述方法(1-1 )、及方法(1-2 )，從可大面積化且制作簡便的方面考慮，特別優(yōu)選方法α-i)。(I-I)在鋁基材的表面形成具有2個以上細(xì)孔(凹部)的陽極氧化鋁的方法。(1-2)采用光刻法等在模具基材的表面直接形成微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的方法。作為方法(1-1)，優(yōu)選具有下述工序(a) (f)的方法。( a)在電解液中、恒定電壓下對鋁基材進(jìn)行陽極氧化，從而在鋁基材的表面形成氧化覆膜的工序。(b)去除氧化覆膜，在鋁基材的表面形成陽極氧化的細(xì)孔產(chǎn)生點(diǎn)的工序。(C)在電解液中對鋁基材再次進(jìn)行陽極氧化，在細(xì)孔產(chǎn)生點(diǎn)形成具有細(xì)孔的氧化覆膜的工序。(d)使細(xì)孔的孔徑擴(kuò)大的工序。(e)在工序(d)之后，在電解液中再次進(jìn)行陽極氧化的工序。(f)重復(fù)進(jìn)行工序(d)和工序(e)，得到在鋁基材的表面形成有具有2個以上細(xì)孔的陽極氧化鋁的模具的工序。工序(a):如圖2所示，對 鋁基材10進(jìn)行陽極氧化時，形成具有細(xì)孔12的氧化覆膜14。作為鋁基材的形狀，可列舉出輥狀、圓管狀、平板狀、及片狀等。另外，為了使表面狀態(tài)平滑化，優(yōu)選采用機(jī)械研磨、拋光研磨、化學(xué)研磨、以及電解研磨處理(蝕刻處理)等研磨鋁基材。另外，對于鋁基材，由于有時附著加工成規(guī)定形狀時使用的油，因此在陽極氧化之前優(yōu)選預(yù)先實(shí)施脫脂處理。鋁的純度優(yōu)選為99%以上，更優(yōu)選為99. 5%以上，特別優(yōu)選為99. 8%以上。鋁的純度低時，進(jìn)行陽極氧化時，有時會因雜質(zhì)的偏析而形成使可見光散射的大小的凹凸結(jié)構(gòu)、或通過陽極氧化得到的細(xì)孔的規(guī)則性降低。作為電解液，可列舉出硫酸、草酸、及磷酸等。使用草酸作為電解液時草酸的濃度優(yōu)選為O. 7M以下。草酸的濃度超過O. 7M時，有時電流值變得過高而
氧化覆膜的表面變粗糙。化成電壓為3(T60V時，能得到具有周期為IOOnm的規(guī)則性高的細(xì)孔的陽極氧化鋁?；呻妷罕仍摲秶呋虻蜁r，均有規(guī)則性降低的傾向。電解液的溫度優(yōu)選為60°C以下，更優(yōu)選為45°C以下。電解液的溫度超過60°C時，產(chǎn)生被稱為所謂的“鍍層灰暗并有斑點(diǎn)”的現(xiàn)象，有時細(xì)孔破壞、表面溶解、細(xì)孔的規(guī)則性被打亂。使用硫酸作為電解液時硫酸的濃度優(yōu)選為O. 7M以下。硫酸的濃度超過O. 7M時，有時電流值變得過高而
無法維持恒定電壓。化成電壓為25 30V時，能得到具有周期為63nm的規(guī)則性高的細(xì)孔的陽極氧化鋁?；呻妷罕仍摲秶呋虻蜁r，均有規(guī)則性降低的傾向。電解液的溫度優(yōu)選為30°C以下，更優(yōu)選為20°C以下。電解液的溫度超過30°C時，產(chǎn)生被稱為所謂的“鍍層灰暗并有斑點(diǎn)”的現(xiàn)象，有時細(xì)孔破壞、表面溶解、細(xì)孔的規(guī)則性被打亂。工序(b):如圖2所示，通過先去除氧化覆膜14并使其為陽極氧化的細(xì)孔產(chǎn)生點(diǎn)16，能夠提高細(xì)孔的規(guī)則性。作為去除氧化覆膜的方法，可以列舉出溶解于不溶解鋁而選擇性溶解氧化覆膜的溶液中來去除的方法。作為這樣的溶液，例如可列舉出鉻酸/磷酸混合液等。工序(C):如圖2所示，對去除了氧化覆膜的鋁基材10再次進(jìn)行陽極氧化時，形成具有圓柱狀的細(xì)孔12的氧化覆膜14。陽極氧化在與工序(a)同樣的條件下進(jìn)行即可。陽極氧化的時間越長，能夠得到越深的細(xì)孔。工序(d):如圖2所示，進(jìn)行使細(xì)孔12的直徑擴(kuò)大的處理(以下記為細(xì)孔直徑擴(kuò)大處理。)。細(xì)孔直徑擴(kuò)大處理為浸潰在用于溶解氧化覆膜的溶液中使通過陽極氧化得到的細(xì)孔的孔徑擴(kuò)大的處理。作為這樣的溶液，例如可列舉出5質(zhì)量％左右的磷酸水溶液等。細(xì)孔直徑擴(kuò)大處理的時間越長，細(xì)孔直徑越大。
工序(e):如圖2所示，再次進(jìn)行陽極氧化時，進(jìn)一步形成從圓柱狀的細(xì)孔12的底部向下延長的直徑小的圓柱狀細(xì)孔12。陽極氧化在與工序(a)同樣的條件下進(jìn)行即可。陽極氧化的時間越長，能夠得到越深的細(xì)孔。工序(f):如圖2所示，重復(fù)工序(d)的細(xì)孔直徑擴(kuò)大處理和工序(e)的陽極氧化時，形成具有直徑從開口部向深度方向連續(xù)減少的形狀的細(xì)孔12的氧化覆膜14，得到在鋁基材10的表面具有陽極氧化鋁(鋁的多孔氧化覆膜(防蝕鋁))的模具18。優(yōu)選最后以工序(d)結(jié)束。重復(fù)次數(shù)優(yōu)選共3次以上，更優(yōu)選為5次以上。重復(fù)次數(shù)為2次以下時，細(xì)孔的直徑非連續(xù)性地減少，因此，使用具有這樣的細(xì)孔的陽極氧化鋁來形成的蛾眼結(jié)構(gòu)的反射率降低效果不充分。作為細(xì)孔12的形狀，可列舉出大致圓錐形狀、棱錐形狀、及圓柱形狀等，優(yōu)選圓錐形狀、及棱錐形狀等那樣的與深度方向垂直相交的方向的細(xì)孔截面積從最表面向深度方向連續(xù)減少的形狀。細(xì)孔12間的平均間隔為可見光的波長以下、即400nm以下。細(xì)孔12間的平均間隔優(yōu)選為20nm以上。細(xì)孔12間的平均間隔的范圍優(yōu)選為20nm以上且400nm以下，更優(yōu)選為50nm以上且300nm以下,進(jìn)一步優(yōu)選為90nm以上且250nm以下。細(xì)孔12間的平均間隔是通過電子顯微鏡觀察測定50處鄰接的細(xì)孔12間的間隔(細(xì)孔12的中心距鄰接的細(xì)孔12的中心的距離)并將它們的值平均而得到的值。細(xì)孔12的深度在平均間隔為IOOnm時優(yōu)選為8(T500nm，更優(yōu)選為12(T400nm，特別優(yōu)選為15(T300nm。細(xì)孔12的深度是通過電子顯微鏡觀察測定以倍率30000倍觀察時的、細(xì)孔12的最底部與細(xì)孔12間存在的凸部的最頂部間的距離而得到的值。細(xì)孔12的縱橫比(細(xì)孔的深度/細(xì)孔間的平均間隔)優(yōu)選為O. 8^5. 0，更優(yōu)選為I. 2^4. O，特別優(yōu)選為 I. 5^3. O。(脫模劑)接著，用脫模劑處理模具的形成微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)一側(cè)的表面。作為脫模劑，優(yōu)選具有能夠與鋁基材的陽極氧化鋁形成化學(xué)鍵的官能團(tuán)的脫模劑。作為脫模劑，可列舉出硅樹脂、氟樹脂、及氟化合物等，從脫模性優(yōu)異方面、以及與模具的密合性優(yōu)異方面考慮，優(yōu)選具有硅羥基或水解性甲硅烷基，其中，特別優(yōu)選具有水解性甲硅烷基的氟化合物。作為具有水解性甲硅烷基的氟化合物的市售品，可列舉出氟烷基硅烷、KBM-7803 (信越化學(xué)工業(yè)公司制造)、“0PT00L (注冊商標(biāo))”系列(DaikinIndustries, Ltd.制造)、及 NovecEGC-1720 (住友 3M 公司制造)等。
作為利用脫模劑的處理方法，可列舉出下述方法(II-I)及(11-2)，從能夠利用脫模劑對模具的形成微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)一側(cè)的表面進(jìn)行均勻的處理的觀點(diǎn)考慮，特別優(yōu)選方法(11-1)。(II-I)將模具浸潰在脫模劑的稀釋溶液中的方法。(II-2)將脫模劑或其稀釋溶液涂布在模具的形成微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)一側(cè)的表面的方法。作為方法(11-1)，優(yōu)選具有下述工序(g) (I)的方法。(g)對模具進(jìn)行水洗的工序。 (h)對模具吹送空氣，去除模具的表面附著的水滴的工序。(i)在用溶劑稀釋具有水解性甲硅烷基的氟化合物而成的稀釋溶液中浸潰模具的工序。(j)將進(jìn)行了浸潰的模具緩慢從溶液提起的工序。(k)根據(jù)需要，在工序(j)的后面，對模具進(jìn)行加熱加濕的工序。(I)使模具干燥的工序。<表面具有微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的物品的制造方法>本發(fā)明的表面具有微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的物品的制造方法是將表面被脫模劑處理過的模具表面的微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)印到物品主體的表面，從而制造表面具有微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的物品的方法，其是將微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)印到物品主體的表面，測定將所述物品主體從模具上剝離后的模具表面的紅外分光光譜，基于所述紅外分光光譜判定模具表面的脫模劑的狀態(tài)好壞的方法。作為將模具表面的微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)印到物品主體的表面的方法，例如，可舉出具有下述工序(i) (iii)的方法。(i)在表面具有微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)且所述表面被脫模劑處理過的模具與物品主體之間夾持活性能量射線固化性樹脂組合物的工序。(ii)對活性能量射線固化性樹脂組合物照射活性能量射線，使所述活性能量射線固化性樹脂組合物固化而形成具有微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的固化樹脂層的工序。(iii)將模具從物品主體表面的固化樹脂層脫模，得到表面具有微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的物品的工序。(物品主體)作為物品主體的材料，為了越過物品主體實(shí)施照射活性能量射線，優(yōu)選高透明性的材料，例如，可列舉出丙烯酸(酯)系樹脂、聚對苯二甲酸乙二醇酯、聚碳酸酯、及三醋酸纖維素等。作為物品主體的形狀，可舉出薄膜、片、注射成型品、及壓制成型品等。(活性能量射線固化性樹脂組合物)活性能量射線固化性樹脂組合物包含聚合性化合物及聚合弓I發(fā)劑。作為聚合性化合物，可列舉出分子中具有自由基聚合性鍵和/或陽離子聚合性鍵的單體、低聚物、及反應(yīng)性聚合物等?；钚阅芰可渚€固化性樹脂組合物也可以包含非反應(yīng)性的聚合物、及活性能量射線溶膠凝膠反應(yīng)性組合物。
作為具有自由基聚合性鍵的單體，可列舉出單官能單體、及多官能單體。作為單官能單體，可列舉出(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸丙酯、(甲基)丙烯酸正丁酯、(甲基)丙烯酸異丁酯、(甲基)丙烯酸仲丁酯、(甲基)丙烯酸叔丁酯、(甲基)丙烯酸2-乙基己酯、(甲基)丙烯酸月桂酯、(甲基)丙烯酸烷基酯、(甲基)丙烯酸十三烷基酯、(甲基)丙烯酸硬脂酯、(甲基)丙烯酸環(huán)己酯、(甲基)丙烯酸芐酯、(甲基)丙烯酸苯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸異冰片酯、(甲基)丙烯酸縮水甘油酯、(甲基)丙烯酸四氫糠酯、(甲基)丙烯酸烯丙酯、(甲基)丙烯酸2-羥乙酯、(甲基)丙烯酸羥丙酯、(甲基)丙烯酸2-甲氧基乙酯、及(甲基)丙烯酸2-乙氧基乙酯等(甲基)丙烯酸酯衍生物；(甲基)丙烯酸、(甲基)丙烯腈；苯乙烯、及α -甲基苯乙烯等苯乙烯衍生物；及(甲基)丙烯酰胺、N- 二甲基(甲基)丙烯酰胺、N-二乙基(甲基)丙烯酰胺、及二甲氨基丙基(甲基)丙烯酰胺等(甲基)丙烯酰胺衍生物等。這些單體可以單獨(dú)使用I種也可以組合使用2種以上。作為多官能單體，可列舉出乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、三丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、異氰脲酸環(huán)氧乙烷改性二(甲基)丙烯酸酯、三乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、二乙二醇二·(甲基)丙烯酸酯、新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、1，6-己二醇二(甲基)丙烯酸酯、1，5-戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、1，3- 丁二醇二(甲基)丙烯酸酯、聚丁二醇二(甲基)丙烯酸酯、2，2-雙(4-(甲基)丙烯酰氧基聚乙氧基苯基)丙烷、2，2-雙(4-(甲基)丙烯酰氧基乙氧基苯基)丙燒、2,2-雙(4_ (3-(甲基)丙稀酸氧基_2-輕基丙氧基)苯基)丙燒、1，2-雙(3_ (甲基)丙烯酰氧基-2-羥基丙氧基)乙烷、1，4-雙(3-(甲基)丙烯酰氧基-2-羥基丙氧基)丁烷、二羥甲基三環(huán)癸烷二(甲基)丙烯酸酯、雙酚A的環(huán)氧乙烷加成物二(甲基)丙烯酸酯、雙酚A的環(huán)氧丙烷加成物二(甲基)丙烯酸酯、羥基特戊酸新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、二乙烯基苯、及亞甲基雙丙烯酰胺等二官能性單體；季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、三羥甲基丙烷環(huán)氧乙烷改性三(甲基)丙烯酸酯、三羥甲基丙烷環(huán)氧丙烷改性三丙烯酸酯、三羥甲基丙烷環(huán)氧乙烷改性三丙烯酸酯、異氰脲酸環(huán)氧乙烷改性三(甲基)丙烯酸酯等三官能單體；琥珀酸/三羥甲基乙烷/丙烯酸的縮合反應(yīng)混合物、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、雙(三羥甲基丙烷)四丙烯酸酯、及四羥甲基甲烷四(甲基)丙烯酸酯等四官能以上的單體；及二官能以上的氨基甲酸酯丙烯酸酯、及二官能以上的聚酯丙烯酸酯等。這些單體可以單獨(dú)使用I種也可以組合使用2種以上。作為具有陽離子聚合性鍵的單體，可列舉出具有環(huán)氧基、氧雜環(huán)丁基、噁唑基、乙烯氧基等的單體，特別優(yōu)選具有環(huán)氧基的單體。作為低聚物或反應(yīng)性聚合物，可列舉出不飽和二羧酸和多元醇的縮合物等不飽和聚酯類；聚酯(甲基)丙烯酸酯、聚醚(甲基)丙烯酸酯、聚醇(甲基)丙烯酸酯、環(huán)氧基(甲基)丙烯酸酯、聚氨酯(甲基)丙烯酸酯、陽離子聚合型環(huán)氧化合物、及側(cè)鏈具有自由基聚合性鍵的上述單體的均聚物或共聚物等。作為非反應(yīng)性的聚合物，可列舉出丙烯酸(酯)系樹脂、苯乙烯系樹脂、聚氨酯、纖維素系樹脂、聚乙烯醇縮丁醛、聚酯、及熱塑性彈性體等。作為活性能量射線溶膠凝膠反應(yīng)性組合物，可列舉出烷氧基硅烷化合物、及硅酸烷基酯化合物等。作為烷氧基硅烷化合物，可列舉出下述式(I)的化合物。R11xSi (OR12)y- (I)
其中，Rn、R12分別表示碳數(shù)f 10的烷基，x、y表示滿足x+y=4的關(guān)系的整數(shù)。作為烷氧基硅烷化合物，可列舉出四甲氧基硅烷、四異丙氧基硅烷、四正丙氧基硅烷、四正丁氧基硅烷、四仲丁氧基硅烷、四叔丁氧基硅烷、甲基三乙氧基硅烷、甲基三丙氧基娃燒、甲基二丁氧基娃燒、_■甲基_■甲氧基娃燒、_■甲基_■乙氧基娃燒、二甲基乙氧基娃燒、二甲基甲氧基娃燒、二甲基丙氧基娃燒、及二甲基丁氧基娃燒等。作為硅酸烷基酯化合物，可列舉出下述式(2)的化合物。R21OtSi (OR23) (OR24) 0]ZR22... (2)其中，R21 R24分別表示碳數(shù)廣5的烷基，z表示3 20的整數(shù)。作為硅酸烷基酯化合物，可列舉出硅酸甲酯、硅酸乙酯、硅酸異丙酯、硅酸正丙酯、娃酸正丁酯、娃酸正戍酯、及乙酰基娃酸酯(acetyl silicate)等。 利用光固化反應(yīng)時，作為光聚合引發(fā)劑，例如可列舉出苯偶姻、苯偶姻甲醚、苯偶姻乙醚、苯偶姻異丙醚、苯偶姻異丁醚、苯偶酰、二苯甲酮、對甲氧基二苯甲酮、2，2-二乙氧基苯乙酮、α，α-二甲氧基-α-苯基苯乙酮、苯甲酰甲酸甲酯、苯甲酰甲酸乙酯、4，4’-雙(二甲氨基)二苯甲酮、及2-羥基-2-甲基-I-苯基丙烷-I-酮等羰基化合物；一硫化四甲基秋蘭姆、及二硫化四甲基秋蘭姆等硫化合物；及2，4，6-三甲基苯甲酰二苯基氧化膦 '及苯甲酰二乙氧基氧化膦等。它們可以單獨(dú)使用I種，也可以組合使用2種以上。利用電子射線固化反應(yīng)時，作為聚合引發(fā)劑，例如可列舉出二苯甲酮、4，4-雙(二乙基氨基)二苯甲酮、2，4，6-三甲基二苯甲酮、鄰苯甲酰苯甲酸甲酯、4-苯基二苯甲酮、叔丁基蒽醌、2-乙基蒽醌、2，4- 二乙基噻噸酮、異丙基噻噸酮、及2，4- 二氯噻噸酮等噻噸酮；二乙氧基苯乙酮、2-羥基-2-甲基-I-苯基丙烷-I-酮、苯偶酰二甲基縮酮、I-羥基環(huán)己基-苯基酮、2-甲基-2-嗎啉代(4-硫代甲基苯基)丙烷-I-酮、及2-芐基-2- 二甲氨基-I- (4-嗎啉代苯基)-丁酮等苯乙酮；苯偶姻甲醚、苯偶姻乙醚、苯偶姻異丙醚、及苯偶姻異丁醚等苯偶姻醚；2，4，6-三甲基苯甲酰二苯基氧化膦、雙(2，6- 二甲氧基苯甲酰)-2，4，4-三甲基戊基氧化膦、及雙(2，4，6-三甲基苯甲酰)-苯基氧化膦等?；趸ⅲ患氨郊柞＜姿峒柞?；1，7-二吖啶基庚烷；及9-苯基吖啶等。它們可以單獨(dú)使用I種，也可以組合使用2種以上。利用熱固化反應(yīng)時，作為熱聚合引發(fā)劑，例如可列舉出甲基乙基酮過氧化物、過氧化苯甲酰、二枯基過氧化物、叔丁基過氧化氫、過氧化異丙苯、過氧化辛酸叔丁酯、過氧化苯甲酸叔丁酯、及過氧化月桂酰等有機(jī)過氧化物；偶氮二異丁腈等偶氮系化合物；及在前述有機(jī)過氧化物中組合N，N- 二甲基苯胺、及N，N- 二甲基對甲苯胺等胺而成的氧化還原聚合引發(fā)劑等。相對于100質(zhì)量份聚合性化合物，聚合引發(fā)劑的量優(yōu)選為O. f 10質(zhì)量份。聚合引發(fā)劑的量不足O. I質(zhì)量份時，聚合難以進(jìn)行。聚合引發(fā)劑的量超過10質(zhì)量份時，有時固化膜著色、或機(jī)械強(qiáng)度降低?；钚阅芰可渚€固化性樹脂組合物根據(jù)情況還可以含有防靜電劑、脫模劑、用于提高防污性的氟化合物等添加劑、微粒、及少量的溶劑。(疏水性材料)為了使固化樹脂層的微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)表面的水接觸角為90°以上，作為能形成疏水性的材料的活性能量射線固化性樹脂組合物，優(yōu)選使用包含含氟化合物或有機(jī)硅系化合物的組合物。含氟化合物作為含氟化合物，優(yōu)選具有下述式(3)所示的氟烷基的化合物。- (CF2)n-X…(3)其中，X表示氟原子或氫原子，η表示I以上的整數(shù)，優(yōu)選為廣20，更優(yōu)選為3 10，特別優(yōu)選為4 8。作為含氟化合物，可列舉出含氟單體、含氟硅烷偶聯(lián)劑、含氟表面活性劑、及含氟聚合物等。作為含氟單體，可列舉出氟烷基取代乙烯基單體、及氟烷基取代開環(huán)聚合性單體
坐寸ο作為氟烷基取代乙烯基單體，可列舉出氟烷基取代(甲基)丙烯酸酯、氟烷基取代(甲基)丙烯酰胺、氟烷基取代乙烯基醚、及氟烷基取代苯乙烯等。作為氟烷基取代開環(huán)聚合性單體，可列舉出氟烷基取代環(huán)氧化合物、氟烷基取代氧雜環(huán)丁烷化合物、及氟烷基取代噁唑啉化合物等。作為含氟單體，優(yōu)選氟烷基取代(甲基)丙烯酸酯，特別優(yōu)選下述式(4)的化合物。CH2 = C (R41)C (O) O- (CH2)m- (CF2)n-X…(4)其中，R41表示氫原子或甲基，X表示氫原子或氟原子，m表示1飛的整數(shù)，優(yōu)選為廣3，更優(yōu)選為I或2，η表示f 20的整數(shù)，優(yōu)選為3 10，更優(yōu)選為4 8。作為含氟硅烷偶聯(lián)劑，優(yōu)選氟烷基取代硅烷偶聯(lián)劑，特別優(yōu)選下述式(5)的化合物。(Rf)aR51bSiYc... (5)Rf表示可以含有I個以上醚鍵或酯鍵的碳數(shù)廣20的氟取代烷基。作為Rf，可列舉出3，3, 3- 二氟丙基、十二氟-1，I, 2, 2-四氫辛基、3- 二氟甲氧基丙基、及3- 二氟乙酰氧基
丙基等。R51表示碳數(shù)f 10的烷基。作為R51，可列舉出甲基、乙基、及環(huán)己基等。Y表示羥基或水解性基團(tuán)。作為水解性基團(tuán)，可列舉出烷氧基、及鹵原子、R52C (0)0 (其中，R52表示氫原子或碳數(shù)廣10的烷基。)等。作為燒氧基，可列舉出甲氧基、乙氧基、丙氧基、異丙氧基、丁氧基、異丁氧基、叔丁氧基、戊氧基、己氧基、環(huán)己氧基、庚氧基、辛氧基、2-乙基己氧基、壬氧基、癸氧基、3，7- 二甲基羊氧基、及月桂氧基等。作為鹵原子，可列舉出Cl、Br、及I等。作為R52C (0)0，可列舉出 CH3C (O) O、及 C2H5C (O) O 等。a、b、及c表示滿足a + b + c = 4、且a彡I、及c彡I的整數(shù),優(yōu)選a = Ub =O、及 c = 3。作為含氟硅烷偶聯(lián)劑，可列舉出3，3，3-三氟丙基三甲氧基硅烷、3，3，3_三氟丙基二乙酸氧基娃燒、二甲基-3，3, 3- 二氟丙基甲氧基娃燒、及十二氟-1，I, 2, 2-四氫羊基二乙
氧基娃燒等。作為含氟表面活性劑，可列舉出含氟烷基的陰離子系表面活性劑、含氟烷基的陽離子系表面活性劑等。作為含氟烷基的陰離子系表面活性劑，可列舉出碳數(shù)10的氟烷基羧酸或其金屬鹽、全氟辛燒磺酰基谷氨酸二鈉、3_[ ω -氟燒(C6 C11)氧基]-I-燒基(C3 C4)磺酸鈉、3-[ω-氟燒酰基(C6 C8)-N_乙基氨基]-I-丙燒磺酸鈉、氟燒基(C11 C2tl)羧酸或其金屬鹽、全氟烷基羧酸(C7I13)或其金屬鹽、全氟烷基(CfC12)磺酸或其金屬鹽、全氟辛烷磺酸二乙醇酰胺、N-丙基-N- (2-羥乙基)全氟辛烷磺酰胺、全氟烷基(CfTCltl)磺酰胺丙基三甲基銨鹽、全氟烷基(CfTCltl)-N-乙基磺?；拾彼猁}、及單全氟烷基(CfTC16)乙基磷酸酯等。作為含氟烷基的陽離子系表面活性劑，可列舉出含氟烷基的脂肪族伯胺酸、仲胺酸或叔胺酸、全氟烷基(CfTcltl)磺酰胺丙基三甲基銨鹽等脂肪族季銨鹽、芐烷銨鹽、芐索氯按、批淀鐵鹽、及味卩坐鐵鹽等。 作為含氟聚合物，可列舉出含氟烷基的單體的聚合物、含氟烷基的單體與含聚(氧亞烷基)的單體的共聚物、及含氟烷基的單體與含交聯(lián)反應(yīng)性基團(tuán)的單體的共聚物等。含氟聚合物可以是與能共聚的其它單體的共聚物。作為含氟聚合物，優(yōu)選含氟烷基的單體和含聚(氧亞烷基)的單體的共聚物。作為聚(氧亞烷基)，優(yōu)選下述式(6)所示的基團(tuán)。- (OR61)p-... (6)其中，R61表示碳數(shù)2 4的亞烷基，P表示2以上的整數(shù)。作為R61，可列舉出-CH2CH2-、-CH2CH2CH2-、-CH (CH3)CH2-、及-CH(CH3)CH(CH3)-等。聚(氧亞烷基)可以由相同的氧亞烷基單元(OR61)構(gòu)成，也可以由2種以上的氧亞烷基單元(OR61)構(gòu)成。2種以上的氧亞烷基單元(OR61)的排列可以是嵌段的，也可以是無規(guī)的。有機(jī)硅系化合物作為有機(jī)硅系化合物，可列舉出(甲基)丙烯酸改性有機(jī)硅、硅樹脂、及有機(jī)硅系硅燒偶聯(lián)劑等。作為(甲基)丙烯酸改性有機(jī)硅，可列舉出有機(jī)硅(二)(甲基)丙烯酸酯等。(親水性材料)為了使固化樹脂層的微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)表面的水接觸角為25。以下，作為能形成親水性的材料的活性能量射線固化性樹脂組合物，優(yōu)選使用至少含有親水性單體的組合物。另夕卜，從賦予耐擦傷性、耐水性的觀點(diǎn)考慮，更優(yōu)選包含能交聯(lián)的多官能單體。需要說明的是，親水性單體和能交聯(lián)的多官能單體可以相同(即，親水性多官能單體)。進(jìn)而，活性能量射線固化性樹脂組合物還可以包含其它單體。作為能形成親水性的材料的活性能量射線固化性樹脂組合物，更優(yōu)選使用包含下述聚合性化合物的組合物。由4官能以上的多官能(甲基)丙烯酸酯1(Γ50質(zhì)量％、2官能以上的親水性(甲基)丙烯酸酯3(Γ80質(zhì)量％、及單官能單體(Γ20質(zhì)量％共計(jì)100質(zhì)量％構(gòu)成的聚合性化合物。作為4官能以上的多官能(甲基)丙烯酸酯，可列舉出雙(三羥甲基丙烷)四(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇乙氧基四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇羥基五(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、琥珀酸/三羥甲基乙烷/丙烯酸的摩爾比1:2:4的縮合反應(yīng)混合物、氨基甲酸酯丙烯酸酯類(DAICEL-CYTEC Company LTD.制造EBECRYL220、EBECRYL1290、EBECRYL1290K、EBECRYL5129、EBECRYL8210、EBECRYL8301、及 KRM8200)聚醚丙烯酸酯類(DAICEL-CYTEC Company LTD.制造，EBECRYL81)、改性環(huán)氧丙烯酸酯類(DAICEL-CYTEC CompanyLTD.制造，EBECRYL3416)、及聚酯丙烯酸酯類(DAICEL-CYTEC Company LTD.制造EBECRYL450、EBECRYL657、EBECRYL800、EBECRYL810、EBECRYL811、EBECRYL812、EBECRYL1830、EBECRYL845、EBECRYL846、及 EBECRYL1870)等。這些可以單獨(dú)使用一種，也可以將兩種以上組合使用。作為4官能以上的多官能(甲基)丙烯酸酯，5官能以上的多官能(甲基)丙烯酸酯是更優(yōu)選的。4官能以上的多官能(甲基)丙烯酸酯的比率優(yōu)選為1(Γ50質(zhì)量％，從耐水性、及耐化學(xué)制劑性的方面考慮，更優(yōu)選為2(Γ50質(zhì)量％，特別優(yōu)選為3(Γ50質(zhì)量％ 。4官能以上的多官能(甲基)丙烯酸酯的比率為10質(zhì)量％以上時，彈性模量變高，耐擦傷性提高。4官能以上的多官能(甲基)丙烯酸酯的比率為50質(zhì)量％以下時，表面不易產(chǎn)生小的龜裂，不易導(dǎo)致外觀缺陷。作為2官能以上的親水性(甲基)丙烯酸酯，可列舉出ARONIX (注冊商標(biāo))Μ-240、ARONIX (注冊商標(biāo))Μ260 (東亞合成公司制造)、NK ESTER ΑΤ-20Ε、NK ESTER ΑΤΜ-35Ε (新中村化學(xué)公司制造)等具有長鏈聚乙二醇的多官能丙烯酸酯；及聚乙二醇二甲基丙烯酸酯等。這些可以單獨(dú)使用一種，也可以將兩種以上組合使用。在聚乙二醇二甲基丙烯酸酯中，I分子內(nèi)存在的聚乙二醇鏈的平均重復(fù)單元的總量優(yōu)選為6 40，更優(yōu)選為擴(kuò)30，特別優(yōu)選為12 20。如果聚乙二醇鏈的平均重復(fù)單元為6以上，則親水性變得充分，防污性提高。如果聚乙二醇鏈的平均重復(fù)單元為40以下，則與4官能以上的多官能(甲基)丙烯酸酯的相容性變得良好，活性能量射線固化性樹脂組合物不容易分離。2官能以上的親水性(甲基)丙烯酸酯的比率優(yōu)選為3(Γ80質(zhì)量％，更優(yōu)選為4(Γ70質(zhì)量％。2官能以上的親水性(甲基)丙烯酸酯的比率為30質(zhì)量％以上時，親水性變充分，防污性提高。2官能以上的親水性(甲基)丙烯酸酯的比率為80質(zhì)量％以下時，彈性模量變聞，耐擦傷性提聞。作為單官能單體，優(yōu)選親水性單官能單體。作為親水性單官能單體，可列舉出M-20G、M_90G、及M-230G(新中村化學(xué)公司制造)等酯基上具有聚乙二醇鏈的單官能(甲基)丙烯酸酯；(甲基)丙烯酸羥烷基酯等酯基上具有羥基的單官能(甲基)丙烯酸酯；單官能丙烯酰胺類；及甲基丙烯酰胺丙基三甲基銨甲基硫酸鹽；及甲基丙烯酰氧基乙基三甲基銨甲基硫酸鹽等陽離子性單體類等。另外，作為單官能單體，可以使用丙烯酰基嗎啉、及乙烯基吡咯烷酮等粘度調(diào)節(jié)齊IJ;及提高對物品主體的密合性的丙烯?；惽杷狨ヮ惖让芎闲蕴岣邉┑取?單官能單體的比率優(yōu)選為(Γ20質(zhì)量％，更優(yōu)選為5 15質(zhì)量％。通過使用單官能單體，物品主體和固化樹脂的密合性提高。單官能單體的比率為20質(zhì)量％以下時，不會出現(xiàn)4官能以上的多官能(甲基)丙烯酸酯或2官能以上的親水性(甲基)丙烯酸酯不足的情況，能獲得充分的防污性、耐擦傷性。單官能單體可以以一種或兩種以上聚合(共聚)得到的低聚合度的聚合物的形式在活性能量射線固化性樹脂組合物中配混(Γ35質(zhì)量份。作為低聚合度的聚合物，可列舉出M-230G (新中村化學(xué)公司制造)等酯基上具有聚乙二醇鏈的單官能(甲基)丙烯酸酯類與甲基丙烯酰胺丙基三甲基銨甲基硫酸鹽的40/60共聚低聚物(MRC UNITEC Co.，Ltd.制造，MG聚合物)等。(制造方法的具體例)對使用了圖I所示的制造裝置的本發(fā)明的表面具有微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的物品的制造方法的具體例進(jìn)行說明。在表面具有微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)(圖示省略)的輥狀模具20和與輥狀模具20的旋轉(zhuǎn)同步地沿輥狀模具20表面移動的帶狀薄膜42 (物品主體)之間，由容器22供給活性能量射線固化性樹脂組合物。在輥狀模具20與通過空氣壓氣缸24調(diào)節(jié)夾持壓的軋輥26之間夾持薄膜42和活性能量射線固化性樹脂組合物，使活性能量射線固化性樹脂組合物均勻遍布薄膜42與輥 狀模具之間的同時，填充到輥狀模具20的微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的凹部內(nèi)。通過由輥狀模具20下方設(shè)置的活性能量射線照射裝置28透過薄膜42對活性能量射線固化性樹脂組合物照射活性能量射線，從而使活性能量射線固化性樹脂組合物固化，形成轉(zhuǎn)印有輥狀模具20表面的微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的固化樹脂層44?；钚阅芰可渚€照射裝置28發(fā)出的光照射能量優(yōu)選為10(Tl0000mJ/cm2。通過使用剝離輥30從輥狀模具20上剝離表面形成有固化樹脂層44的薄膜42，得到如圖3所示的物品40。接著，使用反射型紅外分光裝置50測定剛剝離薄膜42后的輥狀模具20表面的紅外分光光譜。從時常掌握模具表面的脫模劑的狀態(tài)的方面考慮，模具表面的紅外分光光譜的測定優(yōu)選連續(xù)地、或給出規(guī)定間隔而間斷地進(jìn)行。反射型紅外分光裝置50可以是固定式的也可以是掃描式的。接著，關(guān)于判定單元60 :提取部提取反射型紅外分光裝置50所測定的紅外分光光譜中來源于特定化學(xué)結(jié)構(gòu)的規(guī)定波數(shù)附近的峰的強(qiáng)度或面積；算出部根據(jù)需要算出2種峰的強(qiáng)度或面積之比；在峰的強(qiáng)度、面積、或它們的比等為預(yù)先設(shè)定的閾值以上(根據(jù)情況為閾值以下)時，判定部判定棍狀模具20表面的脫模劑的狀態(tài)為好；判定部判定棍狀模具20表面的脫模劑的狀態(tài)為不好時，由傳達(dá)部將該信息傳達(dá)給控制裝置62。關(guān)于判定部，從判定精度相對較高的方面考慮，優(yōu)選來源于脫模劑的化學(xué)結(jié)構(gòu)的波數(shù)附近的峰的吸光度面積(A)或者來源于脫模劑的化學(xué)結(jié)構(gòu)的波數(shù)附近的峰的吸光度面積(A)與來源于輥狀模具20表面存在的化學(xué)結(jié)構(gòu)的波數(shù)附近的峰的吸光度面積(B)的面積比((A)/ (B))為預(yù)先設(shè)定的閾值以上時，判定模具表面的脫模劑的狀態(tài)為好。對于判定單元60，具體來說，作為脫模劑，使用具有水解性甲硅烷基或硅羥基的氟化合物，作為輥狀模具20，使用鋁基材表面具有陽極氧化鋁的模具且所述陽極氧化鋁具有2個以上的細(xì)孔的情況下，優(yōu)選進(jìn)行以下處理。提取部從紅外分光光譜中提取來源于具有水解性甲硅烷基或硅羥基的氟化合物的化學(xué)結(jié)構(gòu)的波數(shù)ioscTugocnT1附近的峰的吸光度面積(A)和來源于陽極氧化鋁的化學(xué)結(jié)構(gòu)的波數(shù)7301080(3!^1附近的峰的吸光度面積(B)。此時的基線設(shè)為連接在規(guī)定波數(shù)下具有峰的吸收曲線的起點(diǎn)與終點(diǎn)的虛線。具體例示于圖5。
算出部算出由提取部提取的面積(A)和面積(B)，進(jìn)而算出兩者的面積比((A)/(B))。面積(A)或面積比((A)/ (B))為預(yù)先設(shè)定的閾值以上時，判定部判定輥狀模具20表面的脫模劑的狀態(tài)為好。
預(yù)先使用與實(shí)際制造所用相同的制造裝置、及相同的材料實(shí)施準(zhǔn)備實(shí)驗(yàn)，確認(rèn)輥狀模具20變得無法從固化樹脂層44脫模之前、或者部分脫模不良而產(chǎn)生缺陷時的面積(A)或面積比((A)/ (B))，從而進(jìn)行面積(A)或面積比((A)/ (B))的閾值設(shè)定。作為脫模劑，使用具有水解性甲硅烷基或硅羥基的氟化合物(Daikin Industries, Ltd.制造、0PT00L(注冊商標(biāo))DSX)，作為輥狀模具20，使用表面具有陽極氧化鋁的模具且所述陽極氧化鋁具有2個以上的細(xì)孔的情況下，本發(fā)明人等通過反復(fù)實(shí)施準(zhǔn)備實(shí)驗(yàn)而確認(rèn)了 面積(A)為O. 13、或面積比((A)/ (B))為O. 047以上時，不發(fā)生脫模不良；面積(A)為O. 15、或面積比((A)/(B))為O. 070以上時，可更穩(wěn)定地進(jìn)行轉(zhuǎn)印。雖然對面積(A)或面積比((A)/ (B))的上限沒有特別地限制，但脫模劑的量增多時，由于產(chǎn)生無法準(zhǔn)確地轉(zhuǎn)印輥狀模具20的微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)等問題，因而面積(A)優(yōu)選為I以下、進(jìn)一步優(yōu)選為O. 8以下。另外，面積比((A)/(B))優(yōu)選為10以下、更優(yōu)選為5以下。作為脫模劑，使用前述氟化合物(Daikin Industries, Ltd.制造、0PT00L (注冊商標(biāo))DSX)，作為輥狀模具20，作為輥狀模具20，使用表面具有陽極氧化鋁的模具且所述陽極氧化鋁具有2個以上的細(xì)孔的情況下，面積(A)優(yōu)選為O. 13以上且I以下、更優(yōu)選為O. 15以上且O. 8以下。作為脫模劑使用前述氟化合物，作為輥狀模具20，使用前述模具的情況下，面積比((A) / (B))優(yōu)選為O. 047以上且10以下、更優(yōu)選為O. 070以上且5以下。對于控制裝置62，例如，判定單元60中判定輥狀模具20表面的脫模劑的狀態(tài)為不好時，停止薄膜42的移動、輥狀模具20的旋轉(zhuǎn)、及來自于容器22的活性能量射線固化性樹脂組合物的供給等，停止將輥狀模具20表面的微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)印至薄膜42的表面。停止后，可以取下模具涂布脫模劑。另外，控制裝置62可以為根據(jù)判定單元60產(chǎn)生的輸出在輥狀模具20表面涂布脫模劑的構(gòu)成。(物品)圖3是表示由本發(fā)明的制造方法得到的表面具有微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的物品40的一例的剖面圖。薄膜42為透光性薄膜。作為薄膜的材料，可列舉出聚碳酸酯、聚苯乙烯系樹脂、聚酯、聚氨酯、丙烯酸(酯)系樹脂、聚醚砜、聚砜、聚醚酮、纖維素系樹脂(三醋酸纖維素等)、聚烯烴、及脂環(huán)式聚烯烴等。固化樹脂層44是由活性能量射線固化性樹脂組合物的固化物形成的膜，表面具有微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)。使用陽極氧化鋁的模具時的物品40表面的微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)是轉(zhuǎn)印陽極氧化鋁表面的微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)而形成的，具有由活性能量射線固化性樹脂組合物的固化物形成的2個以上凸部46。作為微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)，優(yōu)選大致圓錐形狀、或棱錐形狀等的突起(凸部)2個以上排列而成的所謂的蛾眼結(jié)構(gòu)。由于折射率從空氣的折射率向材料的折射率連續(xù)增大，因此可知突起間的間隔為可見光的波長以下的蛾眼結(jié)構(gòu)是有效的防反射的手段。凸部間的平均間隔為可見光的波長以下、即400nm以下。使用陽極氧化鋁的模具形成凸部時，凸部間的平均間隔為100nnT200nm左右，特別優(yōu)選為250nm以下。從容易形成凸部的觀點(diǎn)考慮，凸部間的平均間隔優(yōu)選為20nm以上。凸部間的平均間隔的范圍優(yōu)選為2(T400nm，更優(yōu)選為5(T300nm，進(jìn)一步優(yōu)選為90 250nm。凸部間的平均間隔是通過電子顯微鏡觀察測定50處鄰接的凸部間的間隔(從凸部的中心到鄰接的凸部的中心的距離)，并將它們的值平均而得到的值。凸部的高度在平均間隔為IOOnm時優(yōu)選為8(T500nm，更優(yōu)選為12(T400nm，特別優(yōu)選為15(T300nm。凸部的高度為80nm以上時，反射率足夠低，且反射率的波長依賴性少。凸部的高度為500nm以下時，凸部的耐擦傷性良好。凸部的高度是利用電子顯微鏡測定以倍率30000倍觀察時的凸部的最頂部與存在于凸部間的凹部的最底部之間的距離而得到的值。凸部的縱橫比(凸部的高度/凸部間的平均間隔)優(yōu)選為0. 8 5. O，更優(yōu)選為I. 2^4. 0，特別優(yōu)選為I. 5^3. O。凸部的縱橫比為I. O以上時，反射率足夠低。凸部的縱橫比為5. O以下時，凸部的耐擦傷性良好。凸部的形狀優(yōu)選為與高度方向垂直相交的方向的凸部截面積從最表面沿深度方向連續(xù)增加的形狀、即凸部的高度方向的截面形狀為三角形、梯形、及鐘型等形狀。固化樹脂層44的折射率與薄膜42的折射率之差優(yōu)選為O. 2以下，更優(yōu)選為O. I以下，特別優(yōu)選為O. 05以下。折射率差為O. 2以下時，能抑制固化樹脂層44與薄膜42的界面的反射。表面具有微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)時，可知，如果其表面由疏水性的材料形成，則會因荷葉效應(yīng)而得到超疏水性，如果其表面由親水性的材料形成，則得到超親水性。固化樹脂層44的材料為疏水性時的微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)表面的水接觸角優(yōu)選為90°以上，更優(yōu)選為110°以上，特別優(yōu)選為120°以上。水接觸角為90°以上時，不易附著水污，因此能夠發(fā)揮充分的防污性。另外，不易附著水，因此預(yù)期可以防止結(jié)冰。固化樹脂層44的材料為疏水性時的微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)表面的水接觸角的范圍優(yōu)選為90°以上且180°以下，更優(yōu)選為110°以上且180°以下，特別優(yōu)選為120°以上且180°以下。固化樹脂層44的材料為親水性時的微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)表面的水接觸角優(yōu)選優(yōu)選為25。以下，更優(yōu)選為23°以下，特別優(yōu)選為21°以下。水接觸角為25°以下時，表面附著的污物被水沖走，并且不易附著油污，能夠發(fā)揮充分的防污性。從抑制因固化樹脂層44的吸水而引起的微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)變形、伴隨其的反射率升高的方面考慮，前述水接觸角優(yōu)選為3°以上。固化樹脂層44的材料為親水性時的微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)表面的水接觸角的范圍優(yōu)選為3°以上且30°以下，更優(yōu)選為3°以上且23°以下，特別優(yōu)選為3°以上且21°以下。(用途)作為物品40的用途，可列舉出防反射物品、防霧性物品、防污性物品、及疏水性物品，更具體而言，可列舉出顯示器用防反射、汽車儀表(meter cover)、汽車鏡、汽車窗、有機(jī)或無機(jī)電致發(fā)光的光提取效率提高部件、及太陽能電池部件等。(作用效果)以上說明的本發(fā)明的表面具有微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的物品的制造方法和制造裝置將微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)印到物品主體的表面，測定剛從模具上剝離所述物品主體后的模具表面的紅 外分光光譜，基于所述紅外分光光譜判定模具表面的脫模劑的狀態(tài)好壞，所以可以在線且簡便地監(jiān)控模具表面的脫模劑的狀態(tài)。其結(jié)果，可以事先掌握模具的脫模不良，可以抑制表面具有微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的物品的生產(chǎn)率的降低。S卩，采用本發(fā)明，由于可以非接觸、及非破壞地判定模具表面的脫模劑的狀態(tài)，因而可以在物品制造中在線地判定。因此，可以事先預(yù)測脫模不良，可以在脫模不良之前終止物品制造。其結(jié)果，由于可以制造物品直至脫模不良之前，所以能夠有效地使用模具，并且因防止由脫模不良產(chǎn)生的固化樹脂的附著，所以使模具的洗滌變得容易。另外，由于可避免脫模不良導(dǎo)致的麻煩，因而能更安全地制造物品。另外，在本發(fā)明中，采用反射紅外分光法的理由如下所述。如上所述，將模具表面的微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)持續(xù)地轉(zhuǎn)印到物品主體的表面時，不久脫模性將惡化。作為其原因，認(rèn)為是模具上脫模劑的脫落、及由活性能量射線(紫外線等)、熱等造成的脫模劑的變性等。因此，為了弄清使用具有水解性甲硅烷基的氟化合物作為脫模劑時的脫模不良的原因，而對初始的模具表面和變?yōu)槊撃２涣嫉哪＞弑砻孢M(jìn)行分析，估算脫模劑的量。通常，由于脫模劑極薄地涂布在模具上，所以需要使用表面靈敏度優(yōu)異的方法。例如，考慮使用TOF-SMS、XPS、及IR法等。于是用XPS、及TOF-SMS進(jìn)行分析，結(jié)果，例如由XPS求出的脫模劑的量(原子數(shù)比F/A1)從初始的8. 3降低至脫模不良時的2. I。另外，未確認(rèn)模具上殘存的脫模劑的結(jié)構(gòu)變化。由該結(jié)果明確了脫模不良的原因是脫模劑的脫落。因此，通過掌握模具表面的脫模劑的量，使事先預(yù)測脫模不良成為可能。然而，對于T0F_SMS、XPS，由于裝置構(gòu)成上的問題，所以無法測定一定大小以上的模具，在物品制造中進(jìn)行測定較困難，存在無法在線地監(jiān)控的問題。另外，即便是紅外分光法中表面靈敏度優(yōu)異的ATR法也無法非接觸的測定，會損傷模具表面，因而無法在物品制造中進(jìn)行測定。此外，對于這些方法，由于模具表面具有微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)，因而判別對哪部分進(jìn)行測定也是較困難的。因此，通過進(jìn)行采用反射紅外分光法的測定，可以解決上述問題，可不必顧忌模具的大小，且非接觸地掌握脫模劑的量。在此，對反射紅外分光法進(jìn)行說明。對模具照射紅外線時，紅外線透過存在于表面的由具有水解性甲硅烷基的氟化合物構(gòu)成的脫模劑、大部分陽極氧化鋁，并被鋁基材的金屬面反射。通過對該反射光進(jìn)行分光，得到脫模劑的紅外分光光譜。此時，可獲得模具的微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的內(nèi)外的所有脫模劑的信息。另外，采用該方法，由于可與模具非接觸地進(jìn)行測定，因而能夠在物品制造中進(jìn)行測定而不損傷模具。另外，不受大型輥狀模具等的大小、形狀的制約。由于這些特征，所以也能夠進(jìn)行在線的測定。另外，作為紅外線，根據(jù)目的，可以采用近紅外 遠(yuǎn)紅外。實(shí)施例以下，通過實(shí)施例對本發(fā)明進(jìn)行更具體的說明，但本發(fā)明不限定于這些實(shí)施例。(陽極氧化鋁的細(xì)孔)削去陽極氧化鋁的一部分，在截面蒸鍍鉬I分鐘，使用場發(fā)射形掃描電子顯微鏡(日本電子公司制造、JSM-7400F)，在加速電壓3. OOkV的條件下，觀察截面，測定細(xì)孔的間隔、及細(xì)孔的深度。各測定分別對50處進(jìn)行，求出平均值。(轉(zhuǎn)印試驗(yàn))向模具的形成微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)一側(cè)的表面流入活性能量射線固化性樹脂組合物，覆蓋丙烯酸(酯)類薄膜，然后，利用UV照射機(jī)(高壓汞燈累積光量400mJ/cm2)進(jìn)行固化。之后，通過將固化樹脂層連同丙烯酸(酯)類薄膜一起從模具脫模，從而將微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)印到丙烯酸(酯)類薄膜的表面。反復(fù)進(jìn)行該操作，將直至發(fā)生通過目視能夠清楚地確認(rèn)脫模不良的次數(shù)設(shè)為能夠轉(zhuǎn)印次數(shù)。此時的脫模不良是指由于固化樹脂附著到模具上等原因造成模具的微細(xì)凹凸面發(fā)生樹脂殘留、模具與固化樹脂層變得難以脫模的狀態(tài)。(活性能量射線固化性樹脂組合物)將下述物質(zhì)混合，配制活性能量射線固化性樹脂組合物琥珀酸/三羥甲基乙烷/丙烯酸的摩爾比I :2 4的縮合反應(yīng)混合物45質(zhì)量份；I, 6-己二醇二丙烯酸酯(大阪有機(jī)化學(xué)公司制造)45質(zhì)量份；自由基聚合性硅油(信越化學(xué)工業(yè)公司制造、X-22-1602) 10質(zhì)量份；以及，I-輕基環(huán)己基苯基麗(Ciba Specialty Chemicals Inc.制造，Irgacure 184)3質(zhì)量份。(模具的制作方法)準(zhǔn)備了在高氯酸/乙醇混合溶液(1/4體積比)中對50mmX50mmX厚度O. 3mm的鋁板(純度99. 99%)進(jìn)行電解研磨而得到的鋁板。工序(a):對前述鋁板，在O. 3M草酸水溶液中，在直流40V、溫度16°C的條件下進(jìn)行6小時陽極氧化。工序(b):將形成了氧化覆膜的鋁板浸潰在6質(zhì)量％磷酸/I. 8質(zhì)量％鉻酸混合水溶液中3小時，去除氧化覆膜。工序(C):對前述鋁板，在O. 3M草酸水溶液中，在直流40V、溫度16°C的條件下進(jìn)行30秒陽極氧化。工序(d):將形成了氧化覆膜的鋁板浸潰在32°C的5質(zhì)量％磷酸水溶液中8分鐘，進(jìn)行細(xì)孔直徑擴(kuò)大處理。工序(e):對前述鋁板，在O. 3M草酸水溶液中，在直流40V、溫度16°C的條件下進(jìn)行30秒陽極氧化。工序(f):重復(fù)進(jìn)行共計(jì)4次前述工序(d)及工序(e)，最后進(jìn)行工序(d)，得到表面形成有具有平均間隔100nm、深度240nm的大致圓錐形狀的細(xì)孔的陽極氧化鋁的模具。工序(g):使用淋浴輕輕地沖走模具的表面的磷酸水溶液后，將模具浸潰在流水中10分鐘。
工序(h):從氣槍對模具吹送空氣，去除模具的表面附著的水滴。工序(i): 在室溫下將模具浸潰在用稀釋劑HD-ZV (株式會社HARVES制造)將0PT00L (注冊商標(biāo))DSX (Daikin ChemicalsSales, Ltd.制造)稀釋至O. I質(zhì)量％而得到的溶液中10分鐘。工序(j):以3mm/秒從稀釋溶液緩慢地提起模具。工序(I):使模具風(fēng)干15分鐘，得到被脫模劑處理過的模具。〔實(shí)施例I〕使用傅立葉變換紅外分光裝置(ThermoFisher Scientific社制、Nicolet380/Continum)測定模具表面的紅外分光光譜。結(jié)果示于圖4。在1080^12900^1觀察到的峰A來自于脫模劑，在7301080(3!^1觀察到的峰B來自于陽極氧化鋁。峰A的吸光度面積(A)為O. 43，峰的吸光度的面積比((A) / (B))為O. 18，使用前述模具進(jìn)行I次轉(zhuǎn)印試驗(yàn)，脫模性良好?！矊?shí)施例2〕接著實(shí)施例1，進(jìn)行100次轉(zhuǎn)印試驗(yàn)，測定模具表面的紅外分光光譜。其結(jié)果，峰A的吸光度面積(A)為O. 21，峰的吸光度的面積比((A) / (B))為O. 089，使用前述模具進(jìn)行I次轉(zhuǎn)印試驗(yàn)，脫模性良好?！矊?shí)施例3〕按照與實(shí)施例I同樣的方法測定已作制的不同的模具表面的紅外分光光譜。其結(jié)果，峰A的吸光度面積(A)為O. 35，峰的吸光度的面積比((A)/ (B))為O. 14。此外用前述模具進(jìn)行I次轉(zhuǎn)印試驗(yàn)，脫模性良好?！矊?shí)施例4〕測定從實(shí)施例3開始反復(fù)進(jìn)行19次轉(zhuǎn)印(此間，脫模性良好)后模具表面的紅外分光光譜。其結(jié)果，峰A的吸光度面積(A)為O. 29，峰的吸光度的面積比((A)/ (B))為O. 12。此外用前述模具進(jìn)一步進(jìn)行I次轉(zhuǎn)印試驗(yàn)，脫模性良好?！矊?shí)施例5〕測定從實(shí)施例4開始反復(fù)進(jìn)行19次轉(zhuǎn)印(此間，脫模性良好)后模具表面的紅外分光光譜。其結(jié)果，峰A的吸光度的面積(A)為O. 22，峰的吸光度的面積比((A)/ (B))為O. 085。此外用前述模具進(jìn)一步進(jìn)行I次轉(zhuǎn)印試驗(yàn)，脫模性良好?！矊?shí)施例6〕測定從實(shí)施例5開始反復(fù)進(jìn)行19次轉(zhuǎn)印(此間，脫模性良好)后模具表面的紅外分光光譜。其結(jié)果，峰A的吸光度的面積(A)為O. 18，峰的吸光度的面積比((A)/ (B))為O. 074。此外用前述模具進(jìn)一步進(jìn)行I次轉(zhuǎn)印試驗(yàn)，脫模性良好。〔實(shí)施例7〕測定從實(shí)施例6開始反復(fù)進(jìn)行19次轉(zhuǎn)印(此間，脫模性良好)后模具表面的紅外分光光譜。其結(jié)果，峰A的吸光度的面積(A)為O. 13，峰的吸光度的面積比((A)/ (B))為O. 056。此外用前述模具進(jìn)一步進(jìn)行I次轉(zhuǎn)印試驗(yàn)，稍微費(fèi)些力才能脫模?！脖容^例I〕從實(shí)施例7開始反復(fù)進(jìn)行9次轉(zhuǎn)印。此間，剝離所需要的力增加，從實(shí)施例7開始轉(zhuǎn)印第10次時，制作的具有微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的薄膜產(chǎn)生裂紋(脫模性不良)。測定此時模具表 面的紅外分光光譜的結(jié)果為峰A的吸光度面積(A)為O. 12，峰的吸光度的面積比((A)/(B))為 O. 045?！矊?shí)施例8〕與前述制作方法同樣地再次用脫模劑處理比較例I中使用的模具。測定該模具表面的紅外分光光譜。其結(jié)果，峰A的吸光度面積(A)為O. 26，峰的吸光度的面積比((A) /(B))為O. 11。此外用前述模具進(jìn)行I次轉(zhuǎn)印試驗(yàn)，脫模性良好?！矊?shí)施例9〕測定從實(shí)施例8開始反復(fù)進(jìn)行19次轉(zhuǎn)印(此間、脫模性良好)后模具表面的紅外分光光譜。其結(jié)果，峰A的吸光度面積(A)為O. 22，峰的吸光度的面積比((AV(B))為O. 090。此外用前述模具進(jìn)一步進(jìn)行I次轉(zhuǎn)印試驗(yàn)，脫模性良好?！矊?shí)施例10〕測定從實(shí)施例9開始反復(fù)進(jìn)行19次轉(zhuǎn)印(此間，脫模性良好)后模具表面的紅外分光光譜。其結(jié)果，峰A的吸光度面積(A)為O. 18，峰的吸光度的面積比((AV(B))為O. 078。此外用前述模具進(jìn)一步進(jìn)行I次轉(zhuǎn)印試驗(yàn)，脫模性良好?！矊?shí)施例11〕測定從實(shí)施例10開始反復(fù)進(jìn)行19次轉(zhuǎn)印(此間，脫模性良好)后模具表面的紅外分光光譜。其結(jié)果，峰A的吸光度面積(A)為O. 14，峰的吸光度的面積比((A)/ (B))為O. 062。此外用前述模具進(jìn)一步進(jìn)行I次轉(zhuǎn)印試驗(yàn)，需要費(fèi)些力才能脫模。〔實(shí)施例12〕測定從實(shí)施例11開始反復(fù)進(jìn)行9次轉(zhuǎn)印(此間，脫模性良好)后模具表面的紅外分光光譜。其結(jié)果，峰A的吸光度面積(A)為O. 13，峰的吸光度的面積比((AV(B))為O. 055。此外用前述模具進(jìn)一步進(jìn)行I次轉(zhuǎn)印試驗(yàn)，需要費(fèi)些力才能脫模?！脖容^例2〕從實(shí)施例12開始反復(fù)進(jìn)行8次轉(zhuǎn)印。此間，剝離所需要的力增加，從實(shí)施例12開始轉(zhuǎn)印第9次時，制作的具有微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的薄膜產(chǎn)生裂紋(脫模性不良)。測定此時模具表面的紅外分光光譜的結(jié)果為峰A的吸光度面積(A)為O. 11，峰的吸光度的面積比((A)/(B))為 O. 041。產(chǎn)業(yè)上的可利用件本發(fā)明的表面具有微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的物品的制造方法和制造裝置在有效量產(chǎn)防反射物品、防霧性物品、防污性物品、及疏水性物品方面很有用。附圖標(biāo)記說明12細(xì)孔(微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu))18 模具20輥狀模具40 物品
22
42薄膜(物品主體)
46凸部(微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu))
50反射型紅外分光裝置
60
判定單元
權(quán)利要求
1.一種表面具有微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的物品的制造方法，其將模具表面的微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)印到物品主體的表面，從而制造所述物品，所述模具表面被脫模劑處理過，該制造方法包括 將微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)印到物品主體的表面； 將所述物品主體從模具剝離后，測定模具表面的紅外分光光譜；以及， 根據(jù)模具表面的脫模劑的狀態(tài)好壞，判定是否繼續(xù)制造。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的表面具有微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的物品的制造方法，其還包括當(dāng)模具表面的脫模劑的狀態(tài)被判定為不好時，停止將模具表面的微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)印到物品主體的表面，和/或，再次用脫模劑處理模具表面。
3.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的表面具有微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的物品的制造方法，其中，所述測定模具表面的紅外分光光譜包括連續(xù)地或者間斷地測定所述模具表面的紅外分光光譜。
4.根據(jù)權(quán)利要求廣3中任一項(xiàng)所述的表面具有微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的物品的制造方法，其包括紅外分光光譜中來源于脫模劑的化學(xué)結(jié)構(gòu)的波數(shù)附近的峰的吸光度面積(A)、或者來源于脫模劑的化學(xué)結(jié)構(gòu)的波數(shù)附近的峰的吸光度面積(A)與來源于模具表面存在的化學(xué)結(jié)構(gòu)的波數(shù)附近的峰的吸光度面積(B)的面積比(A)/ (B)為預(yù)先設(shè)定的閾值以上時，判定模具表面的脫模劑的狀態(tài)為好。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的表面具有微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的物品的制造方法，其中， 所述模具由氧化鋁形成； 所述脫模劑為氟化合物； 所述吸光度面積(A)的閾值為O. 13，或者，所述吸光度的面積比(A)/ (B)的閾值為O.047。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的表面具有微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的物品的制造方法，其中，所述吸光度面積(A)為O. 13以上且I以下，或者，所述吸光度的面積比(A)/ (B)為O. 047以上且10以下。
7.一種表面具有微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的物品的制造裝置，其將模具表面的微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)印到物品主體的表面，從而制造表面具有微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的物品，所述模具表面被脫模劑處理過，該制造裝置具有 表面具有微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)且所述表面被脫模劑處理過的模具； 測定模具表面的紅外分光光譜的反射型紅外分光裝置，所述模具表面是將微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)印到物品主體的表面、并從模具上剝離所述物品主體后的模具表面； 基于所述紅外分光光譜判定模具表面的脫模劑的狀態(tài)好壞的判定單元。
全文摘要
本發(fā)明涉及表面具有微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的物品的制造方法，其將表面被脫模劑處理過的輥狀模具表面的微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)印到薄膜(物品主體)的表面，從而制造表面具有微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的物品，該制造方法包括將微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)印到薄膜的表面；測定將所述薄膜從模具剝離后的輥狀模具表面的紅外分光光譜；以及基于所述紅外分光光譜判定輥狀模具表面的脫模劑的狀態(tài)好壞。本發(fā)明可提供能在線且簡便地監(jiān)控模具表面的脫模劑的狀態(tài)并能夠抑制生產(chǎn)率降低的、表面具有微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的物品的制造方法和制造裝置。
文檔編號H01L21/027GK102933363SQ201180028379
公開日2013年2月13日 申請日期2011年4月6日 優(yōu)先權(quán)日2010年4月9日
發(fā)明者小澤覺, 中井祐介 申請人:三菱麗陽株式會社