部件操縱組件的制作方法【專利摘要】根據(jù)本發(fā)明，提供了一種部件操縱組件，其包括：轉(zhuǎn)位工作臺，其包括一個或多個座部，一個或多個座部中的每一個均構(gòu)造為與部件協(xié)作，以在轉(zhuǎn)位工作臺轉(zhuǎn)位時保持部件，其中一個或多個座部構(gòu)造為使得與座部協(xié)作的部件支承在座部上方，以便一個或多個座部可與各種尺寸的部件協(xié)作；以及對準(zhǔn)裝置，其能在部件與轉(zhuǎn)位工作臺上的座部協(xié)作之前運(yùn)行來將部件移入預(yù)定義的定向中。還提供了操縱部件的對應(yīng)的方法?！緦＠f明】部件操縱組件【
技術(shù)領(lǐng)域：
】[0001]本發(fā)明涉及一種部件操縱(handling)組件，并且具體地涉及一種部件操縱組件，其包括:轉(zhuǎn)位工作臺(indextable),其包括可保持各種尺寸的部件的一個或多個座部(nest);以及對準(zhǔn)裝置(means)，其可運(yùn)行來在部件與座部協(xié)作之前將部件移入預(yù)定義的定向。【
背景技術(shù)：
】[0002]部件操縱組件典型地具有主旋轉(zhuǎn)架(turret)，部件被保持在主旋轉(zhuǎn)架上。旋轉(zhuǎn)架轉(zhuǎn)動來傳送部件；通常，旋轉(zhuǎn)架間歇地轉(zhuǎn)動來在位于旋轉(zhuǎn)架的周邊處的處理站之間傳送部件。旋轉(zhuǎn)架轉(zhuǎn)動一個重復(fù)(rotateoneiteration),并且保持在旋轉(zhuǎn)架上的部件下降至相應(yīng)的鄰近處理站。處理站處理部件，并且在旋轉(zhuǎn)架轉(zhuǎn)動另一個重復(fù)來將部件傳送到下一處理站之前，部件被再次拾取。[0003]處理站常在部件上執(zhí)行多個處理步驟。在此類情況下，衛(wèi)星工作臺或轉(zhuǎn)位工作臺可設(shè)為鄰近于旋轉(zhuǎn)架。實(shí)施多個處理步驟所需的多個處理機(jī)(processor)各自位于衛(wèi)星工作臺或轉(zhuǎn)位工作臺的周邊處；這些處理機(jī)實(shí)施多個處理步驟，并且衛(wèi)星工作臺或轉(zhuǎn)位工作臺轉(zhuǎn)動來在多個處理機(jī)之間傳送部件。在已經(jīng)經(jīng)歷多個處理步驟的部件被從衛(wèi)星工作臺或轉(zhuǎn)位工作臺拾起并且返回到旋轉(zhuǎn)架以便它們可傳送至下一處理站的同時，待處理的部件從旋轉(zhuǎn)架下降至衛(wèi)星工作臺或轉(zhuǎn)位工作臺。[0004]部件常需要具有在衛(wèi)星工作臺或轉(zhuǎn)位工作臺上的預(yù)定義的定向或位置；例如，多個處理機(jī)中的一個或多個可需要部件在預(yù)定義的定向上，以便處理機(jī)可實(shí)施部件的處理。當(dāng)前的衛(wèi)星工作臺或轉(zhuǎn)位工作臺設(shè)有凹部，凹部具有與部件對應(yīng)的形狀和尺寸；從旋轉(zhuǎn)架下降的部件被接納入衛(wèi)星工作臺或轉(zhuǎn)位工作臺上的凹部中。限定了凹部的壁將迫使部件進(jìn)入衛(wèi)星工作臺或轉(zhuǎn)位工作臺上的預(yù)定義的定向或位置中。當(dāng)衛(wèi)星工作臺或轉(zhuǎn)位工作臺轉(zhuǎn)動來在多個處理機(jī)之間傳送部件時，限定了凹部的壁也將使部件的位置穩(wěn)定。[0005]然而，凹部僅設(shè)計(jì)來接納某個尺寸的部件。大于凹部的部件將無法適配入凹部中，并且因此不能在衛(wèi)星工作臺或轉(zhuǎn)位工作臺上穩(wěn)定。小于凹部的部件將無法由限定了凹部的壁迫使進(jìn)入衛(wèi)星工作臺或轉(zhuǎn)位工作臺上的預(yù)定義的定向和位置中。因此，現(xiàn)有的部件操縱組件是受限的，因?yàn)樗鼈儍H構(gòu)造為操縱預(yù)定義尺寸的部件。[0006]本發(fā)明的目的在于減輕或消除以上提及的缺點(diǎn)中的至少一些。【
發(fā)明內(nèi)容】[0007]根據(jù)本發(fā)明，這些目的通過部件操縱組件來實(shí)現(xiàn)，該部件操縱組件包括:轉(zhuǎn)位工作臺，其包括一個或多個座部，一個或多個座部中的每一個均構(gòu)造為與部件協(xié)作來在轉(zhuǎn)位工作臺轉(zhuǎn)位時保持部件，其中一個或多個座部構(gòu)造為使得與座部協(xié)作的部件支承在座部上方，以便一個或多個座部能與各種尺寸的部件協(xié)作；以及對準(zhǔn)裝置，其能在部件與轉(zhuǎn)位工作臺上的座部協(xié)作之前運(yùn)行來將部件移入預(yù)定義的定向。[0008]部件操縱組件可包括旋轉(zhuǎn)架，在旋轉(zhuǎn)架上可保持一個或多個部件，且該旋轉(zhuǎn)架可轉(zhuǎn)動以傳送一個或多個部件，且對準(zhǔn)裝置可構(gòu)造為使得其可在部件保持在旋轉(zhuǎn)架上時將部件移入預(yù)定義的定向中。[0009]一個或多個座部中的每一個均可包括平坦表面，該平坦表面限定了座部的頂部，其中，平坦表面構(gòu)造為使得其可與部件協(xié)作來支承部件。[0010]轉(zhuǎn)位工作臺可構(gòu)造為使得一個或多個座部可從轉(zhuǎn)位工作臺移除。轉(zhuǎn)位工作臺可構(gòu)造為使得一個或多個座部可為可在轉(zhuǎn)位工作臺上替換的。[0011]一個或多個座部可各自包括裝置，真空力可通過該裝置施加至與一個或多個座部協(xié)作的部件，以將部件保持在一個或多個座部上。[0012]可使真空力施加至部件的裝置可包括管道，該管道構(gòu)造為與平坦的座部成流體連通，并可構(gòu)造為與真空產(chǎn)生裝置成流體連通。將理解的是可使用任何合適的裝置?？墒拐婵樟κ┘又敛考难b置可包括管道，該管道構(gòu)造為與限定了座部的頂部的平坦表面成流體連通，并且該管道可構(gòu)造為與真空產(chǎn)生裝置成流體連通。將理解的是可使用可使真空力施加至部件的任何合適裝置。[0013]管道可與一個或多個座部中的每一個成一體。[0014]真空力可間歇地或持續(xù)地施加。例如，真空力可僅在轉(zhuǎn)位工作臺轉(zhuǎn)位時間歇地施加，或者可持續(xù)地施加，以便部件在轉(zhuǎn)位工作臺轉(zhuǎn)位時且在轉(zhuǎn)位工作臺未轉(zhuǎn)位時總是保持就位。[0015]各座部均可包括管道，管道中的每一個均可流體地連接至真空產(chǎn)生裝置。真空產(chǎn)生裝置可為可流體地連接到多個座部中的多個管道上的中心真空產(chǎn)生裝置。因此，中心真空產(chǎn)生裝置可同時提供將把真空力施加至在多個座部上的多個部件的真空，以將這些部件保持在它們相應(yīng)的座部的位置中。[0016]優(yōu)選地，提供了中心真空產(chǎn)生裝置，其不依賴座部，但可排列為與限定在一個或多個座部中的一個或多個管道成流體連通。有利地，這就將允許真空產(chǎn)生裝置不依賴座部尺寸。[0017]轉(zhuǎn)位工作臺還可包括真空產(chǎn)生裝置，該真空產(chǎn)生裝置排列為與一個或多個座部中的管道成流體連通。[0018]部件操縱組件還可包括檢測裝置來檢測與座部協(xié)作的部件的定向。[0019]位置校正裝置可設(shè)為可與轉(zhuǎn)位工作臺運(yùn)行連通，其中，位置校正裝置可運(yùn)行來移動已從預(yù)定義的定向移位的座部上的部件，來使部件返回座部上的預(yù)定義的定向。[0020]根據(jù)本發(fā)明另一方面，提供了一種操縱部件的方法，該方法包括下列步驟:使用旋轉(zhuǎn)架來傳送部件；在將部件保持在旋轉(zhuǎn)架上的同時使部件移入預(yù)定義的定向中；將部件轉(zhuǎn)移到轉(zhuǎn)位工作臺上，使得部件具有在轉(zhuǎn)位工作臺上的預(yù)定義的定向。[0021]該方法的步驟可反復(fù)兩次或更多次。[0022]將部件轉(zhuǎn)移到轉(zhuǎn)位工作臺上的步驟可包括將部件轉(zhuǎn)移到在轉(zhuǎn)位工作臺上的座部上的步驟。[0023]將部件轉(zhuǎn)移到轉(zhuǎn)位工作臺上的步驟可包括將部件轉(zhuǎn)移到表面上的步驟，該表面限定了轉(zhuǎn)位工作臺上的座部的頂部。[0024]方法還可包括下列步驟:將真空力施加至部件，以將部件保持在轉(zhuǎn)位工作臺的座部上的預(yù)定義的定向中。[0025]方法還可包括檢測部件的定向的步驟。例如，可在部件已移入其預(yù)定義的定向之后檢測部件的定向，以確保部件已移至預(yù)定義的定向，和/或可在部件已轉(zhuǎn)移至轉(zhuǎn)位工作臺之后檢測部件的定向，以確保部件在轉(zhuǎn)移期間未變?yōu)橐莆?，?或可檢測在旋轉(zhuǎn)架上的部件的定向，以確定部件應(yīng)該移動多少或在哪個方向上移動以便使該部件在預(yù)定義的定向中?！緦＠綀D】【附圖說明】[0026]借助于通過示例的方式給出并由圖所圖示的實(shí)施例的描述，本發(fā)明將被更好地理解，其中:圖1示出了根據(jù)本發(fā)明的一個實(shí)施例的部件操縱組件的透視圖；圖2示出了在圖1的部件操縱組件的轉(zhuǎn)位工作臺上的座部的放大透視圖；圖3提供了在圖1中示出的部件操縱組件中使用的轉(zhuǎn)位工作臺的透視圖。【具體實(shí)施方式】[0027]圖1示出了根據(jù)本發(fā)明的一個實(shí)施例的部件操縱組件I的透視圖。[0028]部件操縱組件I包括旋轉(zhuǎn)架3，旋轉(zhuǎn)架3包括多個操縱頭5，這些多個操縱頭5可與部件7協(xié)作以保持部件7。旋轉(zhuǎn)架3可轉(zhuǎn)動來在位于旋轉(zhuǎn)架3的周邊11處的多個處理站9之間傳送部件7。[0029]對準(zhǔn)裝置13限定了多個處理站9中的一個。對準(zhǔn)裝置構(gòu)造為使得在部件7由旋轉(zhuǎn)架3上的操縱頭5保持的同時，對準(zhǔn)裝置可將部件7移入預(yù)定義的定向。[0030]可選地，以檢測器29的形式的檢測裝置限定了多個處理站9中的另一個。優(yōu)選地，檢測器29限定了跟隨對準(zhǔn)裝置13的處理站9。檢測器29也可并入對準(zhǔn)裝置13中，以輔助對準(zhǔn)裝置來將部件7對準(zhǔn)入預(yù)定義的定向。檢測器29構(gòu)造為檢測部件7的定向，以檢查對準(zhǔn)裝置13是否成功地將部件7移入預(yù)定義的定向。在此具體示例中，檢測器29與對準(zhǔn)裝置13成一體。[0031]部件操縱組件I還包括轉(zhuǎn)位工作臺15。轉(zhuǎn)位工作臺15限定了位于旋轉(zhuǎn)架3的周邊11處的多個處理站9中的一個；優(yōu)選地，轉(zhuǎn)位工作臺15限定了對準(zhǔn)裝置13之后的處理站9,以便部件可在該部件到達(dá)轉(zhuǎn)位工作臺15之前對準(zhǔn)至預(yù)定義的定向。[0032]多個處理機(jī)19位于轉(zhuǎn)位工作臺15的周邊11處，并且轉(zhuǎn)位工作臺可轉(zhuǎn)位或間歇地轉(zhuǎn)動，以在處理機(jī)19之間傳送部件。多個處理機(jī)19可各自運(yùn)行來實(shí)施不同的子處理；多個處理機(jī)19共同實(shí)現(xiàn)部件處理方法。[0033]轉(zhuǎn)位工作臺15包括多個座部17。多個座部17中的每一個均構(gòu)造為與部件7協(xié)作，以在轉(zhuǎn)位工作臺15轉(zhuǎn)位時保持部件7。一個或多個座部17構(gòu)造為使得與座部17協(xié)作的部件7被支承在限定了座部17的頂部的平坦表面23上，以便一個或多個座部17可與各種尺寸的部件7協(xié)作。[0034]在此具體示例中，為了處理部件7，位于轉(zhuǎn)位工作臺15的周邊11處的所有處理機(jī)19均要求各部件7處于座部17上的預(yù)定義的位置中。[0035]圖2提供了座部17的透視放大視圖。將描述單個座部17的特征，然而，將理解的是，在轉(zhuǎn)位工作臺15上的多個座部17中的一些或每一個將具有相同的特征。優(yōu)選地，在轉(zhuǎn)位工作臺15上的多個座部17中的每一個都將具有相同的特征。[0036]各座部17均包括平坦表面23，該平坦表面23限定了至少座部17的頂部25。平坦表面23構(gòu)造為使得其可與部件7協(xié)作來支承部件7。[0037]各座部17均包括裝置，真空力可通過該裝置來施加至與座部17協(xié)作的部件7。真空力將作用來保持部件7，以便可維持部件7在座部17上的位置；特別地，以便當(dāng)轉(zhuǎn)位工作臺15轉(zhuǎn)位或轉(zhuǎn)動時可維持部件7在座部17上的位置。在此具體示例中，可使真空力施加至部件的裝置包括:管道25，其構(gòu)造為與座部17的平坦表面23成流體連通；以及真空產(chǎn)生裝置27，其排列為與管道25成流體連通。管道25與座部17成一體。將理解的是，可提供用于將真空力施加至座部17上的部件7的其它任何合適的裝置；并且裝置不限于管道25和真空產(chǎn)生裝置27。[0038]真空產(chǎn)生裝置27可運(yùn)行來產(chǎn)生真空；由于座部17的平坦表面23經(jīng)由管道25來與真空產(chǎn)生裝置27成流體連通，真空力將施加至支承在座部17的平坦表面23上的部件7。[0039]真空產(chǎn)生裝置27可運(yùn)行來產(chǎn)生持續(xù)真空或者間歇地產(chǎn)生真空。例如，真空產(chǎn)生裝置27可僅當(dāng)轉(zhuǎn)位工作臺15在轉(zhuǎn)位中時運(yùn)行來間歇地產(chǎn)生真空；或可運(yùn)行來產(chǎn)生持續(xù)真空，以便部件7總是保持在位，即使當(dāng)轉(zhuǎn)位工作臺15不轉(zhuǎn)位時也是如此。在此具體示例中，真空產(chǎn)生裝置27運(yùn)行來產(chǎn)生持續(xù)真空。[0040]可選地，以檢測器(未示出)形式的檢測裝置可設(shè)為與轉(zhuǎn)位工作臺協(xié)作。檢測器可構(gòu)造為檢測與轉(zhuǎn)位工作臺15上的座部17協(xié)作的部件7的定向。校正器(未示出)也可設(shè)為與轉(zhuǎn)位工作臺15協(xié)作。如果檢測器檢測到部件7已從預(yù)定義的定向移位，則校正器可優(yōu)選地運(yùn)行來將與座部17協(xié)作的部件7移動至預(yù)定義的定向。[0041]圖3提供了在圖1中示出的部件操縱組件I中使用的轉(zhuǎn)位工作臺15的透視圖。如圖中所示，真空產(chǎn)生裝置27是中心真空產(chǎn)生裝置27，該中心真空產(chǎn)生裝置27通過管26來流體地連接至限定在多個座部17中的多個管道25。因此，由產(chǎn)生裝置27提供的真空在限定了相應(yīng)的座部17中的每一個的頂部的平坦表面23中的每一個處提供。因此，中心真空產(chǎn)生裝置27可同時提供將把真空力施加至在多個座部17上的多個部件7的真空，以將部件7保持在它們相應(yīng)的座部17上的位置中。中心真空產(chǎn)生裝置27獨(dú)立于轉(zhuǎn)位工作臺15上的座部17而提供，但排列為與在多個座部17中限定的多個管道25成流體連通。有利地，這將允許真空產(chǎn)生裝置27不依賴于座部尺寸。[0042]現(xiàn)參考圖1至圖3，在使用期間，部件7由操縱頭5保持在旋轉(zhuǎn)架3上；優(yōu)選地，部件被真空保持在操縱頭5上。操縱頭5延伸以將部件7輸送至位于旋轉(zhuǎn)架3的周邊處的處理站9。處理站9處理部件，并且操縱頭5延伸來從相應(yīng)的處理站9拾取部件7。一旦部件7已被拾取，則旋轉(zhuǎn)架3轉(zhuǎn)動一個重復(fù)，且操縱頭5延伸來將部件7輸送到下一個處理站9。[0043]當(dāng)部件7由旋轉(zhuǎn)架3上的操縱頭5保持時，限定了多個處理站9中的一個的對準(zhǔn)裝置13將部件7移入預(yù)定義的定向。對準(zhǔn)裝置13將部件7移入定向，使得當(dāng)部件7由操縱頭5輸送到在轉(zhuǎn)位工作臺15上的座部17時，該部件將獲得在座部上的定向，處理機(jī)19要求該定向以使處理機(jī)19能夠處理部件7。[0044]在部件7由操縱頭5輸送到轉(zhuǎn)位工作臺15上的座部17之前，與對準(zhǔn)裝置13成一體的檢測器29將運(yùn)行來檢查對準(zhǔn)裝置13成功地將部件7移入預(yù)定義的定向。[0045]在對準(zhǔn)裝置13已將部件對準(zhǔn)至預(yù)定義的定向后，旋轉(zhuǎn)架3再次轉(zhuǎn)位，以便現(xiàn)在保持了已對準(zhǔn)的部件7的操縱頭5被定位在轉(zhuǎn)位工作臺15上的座部17上方。操縱頭5延伸來將部件7輸送到平坦表面23上，平坦表面23限定了座部17的頂部25。由于部件7已經(jīng)由限定了前一處理站9的對準(zhǔn)裝置13對準(zhǔn)，故部件7將以預(yù)定義的定向來輸送到座部17的平坦表面23上，處理機(jī)19要求該預(yù)定義的定向來使處理機(jī)19能夠處理部件7。此外，由于座部17具有限定了座部17的頂部45的平坦表面23，該座部17的頂部45與部件7協(xié)作以支承部件7，故部件操縱組件I并不局限于操縱特定尺寸的部件7;實(shí)際上，因?yàn)槠教贡砻?3提供了可支承任何尺寸部件7的非限制平面，故部件操縱組件I可操縱各種不同尺寸的部件。[0046]為了輔助將部件輸送至轉(zhuǎn)位工作臺15的座部17，當(dāng)操縱頭5延伸來將部件7輸送到座部17的平坦表面23上時，真空產(chǎn)生裝置27可運(yùn)行以產(chǎn)生真空。由于座部17的平坦表面23經(jīng)由管道25與真空產(chǎn)生裝置27成流體連通，故真空力將施加至由操縱頭5保持接近平坦表面23的部件7。真空力將把部件7從操縱頭5拉向座部17的平坦表面23。同時，在操縱頭5處施加來將部件7保持在操縱頭5上的真空被關(guān)閉或減少，因此允許部件7被拉向座部17的平坦表面23。[0047]由真空產(chǎn)生裝置27產(chǎn)生的真空力將在部件7已被輸送到座部17的平坦表面23上之后繼續(xù)施加至部件7。這將確保部件7將維持預(yù)定義的定向，處理機(jī)19需要該預(yù)定義的定向以使處理機(jī)19能夠處理部件7。[0048]當(dāng)部件7正被輸送至轉(zhuǎn)位工作臺15時，已經(jīng)由處理機(jī)19中的每一個處理的另一部件7由旋轉(zhuǎn)架3上的下一個操縱頭5從轉(zhuǎn)位工作臺15拾取。[0049]轉(zhuǎn)位工作臺15隨后重復(fù)地轉(zhuǎn)動，以將部件7傳送到位于轉(zhuǎn)位工作臺15的周邊11處的處理機(jī)19中的每一個。當(dāng)轉(zhuǎn)位工作臺15轉(zhuǎn)動時，由真空產(chǎn)生裝置27產(chǎn)生的真空力將把部件7維持在預(yù)定義的定向上。因此，部件7將以使處理機(jī)19能夠?qū)嵤┎考?的處理所要求的定向來呈送至各個處理機(jī)19。[0050]在不脫離如所附權(quán)利要求中限定的本發(fā)明的范圍的情況下，對所描述的本發(fā)明的實(shí)施例的各種修改和變動對于本領(lǐng)域中的技術(shù)人員將是顯而易見的。盡管本發(fā)明已聯(lián)系具體優(yōu)選實(shí)施例來描述，應(yīng)當(dāng)理解的是如要求權(quán)利的本發(fā)明不應(yīng)不適當(dāng)?shù)叵抻诖祟惥唧w實(shí)施例?！緳?quán)利要求】1.一種部件操縱組件，其包括:轉(zhuǎn)位工作臺，其包括:一個或多個座部，所述一個或多個座部中的每一個均構(gòu)造為與部件協(xié)作，以在所述轉(zhuǎn)位工作臺轉(zhuǎn)位時保持所述部件，其中所述一個或多個座部構(gòu)造為使得與座部協(xié)作的部件支承在所述座部上方，以便所述一個或多個座部能與各種尺寸的部件協(xié)作，以及對準(zhǔn)裝置，其能在部件與所述轉(zhuǎn)位工作臺上的座部協(xié)作之前運(yùn)行來將部件移入預(yù)定義的定向中。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的部件操縱組件，所述部件操縱組件包括旋轉(zhuǎn)架，一個或多個部件能保持在所述旋轉(zhuǎn)架上，且所述旋轉(zhuǎn)架能轉(zhuǎn)動以傳送所述一個或多個部件，且所述對準(zhǔn)部件構(gòu)造為使得其能在所述部件保持在所述旋轉(zhuǎn)架上時將部件移入所述預(yù)定義的定向中。3.根據(jù)權(quán)利要求1或權(quán)利要求2所述的部件操縱組件，其中，所述一個或多個座部中的每一個均包括限定在所述座部的頂部處的平坦表面，其中，所述平坦表面構(gòu)造為使得其能與部件協(xié)作來支承部件。4.根據(jù)前述權(quán)利要求中的任一項(xiàng)所述的部件操縱組件，其中，所述一個或多個座部各自包括能將真空力施加到與所述一個或多個座部協(xié)作的部件上的裝置，以將所述部件保持在所述一個或多個座部上。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的部件操縱組件，其中，能將真空力施加到部件上的裝置包括管道，所述管道構(gòu)造為與所述平坦的座部成流體連通，并能構(gòu)造為與真空產(chǎn)生裝置成流體連通。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的部件操縱組件，其中，所述管道與所述一個或多個座部中的每一個成一體。7.根據(jù)權(quán)利要求5或權(quán)利要求6所述的部件操縱組件，還包括真空產(chǎn)生裝置，所述真空產(chǎn)生裝置排列為與限定在所述一個或多個座部中的所述管道成流體連通。8.根據(jù)前述權(quán)利要求中的任一項(xiàng)所述的部件操縱組件，還包括檢測裝置，所述檢測裝置能運(yùn)行來檢測與座部協(xié)作的部件的定向。9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的部件操縱組件，其中，所述組件還包括位置校正裝置，所述位置校正裝置能運(yùn)行來使已變?yōu)閺念A(yù)定義的定向移位的部件移動，以使所述部件返回至所述預(yù)定義的定向。10.一種操縱部件的方法，其包括下列步驟:使用旋轉(zhuǎn)架來傳送部件；在所述部件保持在所述旋轉(zhuǎn)架上時使所述部件移入預(yù)定義的定向中；將所述部件轉(zhuǎn)移到轉(zhuǎn)位工作臺上，使得所述部件具有在所述轉(zhuǎn)位工作臺上的預(yù)定義的定向。11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的方法，其中，將所述部件轉(zhuǎn)移到轉(zhuǎn)位工作臺上的步驟包括將所述部件轉(zhuǎn)移到在所述轉(zhuǎn)位工作臺上的座部的頂部表面上的步驟。12.根據(jù)權(quán)利要求10或權(quán)利要求11所述的方法，還包括下列步驟:將真空力施加至所述部件，以使所述部件保持在所述轉(zhuǎn)位工作臺的座部上的所述預(yù)定義的定向中。13.根據(jù)權(quán)利要求10至權(quán)利要求12中的任一項(xiàng)所述的方法，還包括下列步驟:檢測部件在所述轉(zhuǎn)位工作臺的座部上的定向?！疚臋n編號】H01L21/687GK103959455SQ201180075329【公開日】2014年7月30日申請日期:2011年12月7日優(yōu)先權(quán)日:2011年12月7日【發(fā)明者】G.帕米薩諾,J.A.馬瑟朱諾德,P.德羅馬德,P.羅伊申請人:伊斯梅卡半導(dǎo)體控股公司