專利名稱：基板處理裝置以及基板處理系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及基板處理裝置以及基板處理系統(tǒng)，特別涉及對分別具有多個副基板的多個基板中的每個基板進行指定的處理的基板處理裝置以及基板處理系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
以往，對分別具有多個副基板的多個基板中的每個基板進行焊料的印刷、電子元件的安裝等指定的處理的基板處理裝置為人所知。一般而言，在利用基板處理裝置對多個基板進行指定的處理時，有時對這些多個基板中的每個基板所具有的多個副基板中的每個副基板附有表示該副基板不良的不良標(biāo)記(損壞標(biāo)記)。在這種情況下，如上所述的以往的基板處理裝置對未附有不良標(biāo)記的副基 板進行指定的處理，另一方面，不對附有不良標(biāo)記的副基板進行指定的處理。在此，對于如上所述的以往的基板處理裝置，在對處理對象的基板進行指定的處理時，由于對處理對象的基板所具有的多個副基板中的所有副基板逐個確認是否具有不良標(biāo)記，所以需要對表示多個副基板中的每個副基板是否附有不良標(biāo)記的不良標(biāo)記信息進行確定。因此，存在對處理對象的基板進行指定的處理所需的合計時間增加的問題。因此，為了消除如上所述的問題，提出了一種即使不對處理對象的基板所具有的多個副基板中的所有副基板逐個確認是否具有不良標(biāo)記(損壞標(biāo)記)，也能夠確定多個副基板中的每個副基板的不良標(biāo)記信息(損壞標(biāo)記信息)的基板處理裝置(例如，參照專利文獻I)。在上述專利文獻I中，公開了一種使用元件安裝機(基板處理裝置)的電路基板的生產(chǎn)方法，該元件安裝機對分別具有多個圖案(副基板)的多個基板中的每個基板進行元件的安裝處理。在該電路基板的生產(chǎn)方法下，對多個基板中的每個基板附有用于區(qū)別這些多個基板中的每個基板的IC標(biāo)簽。另外，利用IC標(biāo)簽編與器將基板的各圖案的損壞標(biāo)記信息(不良標(biāo)記信息)寫入該IC標(biāo)簽。此外，該專利文獻I中記載的元件安裝機在對基板進行安裝元件的處理時，通過利用IC標(biāo)簽讀取器讀取處理對象的基板的IC標(biāo)簽，確定處理對象的基板的各圖案的損壞標(biāo)記信息。專利文獻I :日本專利公開公報特開2006-93349號可是，對于在上述專利文獻I中記載的元件安裝機(基板處理裝置)，存在為了確定處理對象的基板所具有的多個圖案(副基板)中的每個圖案的損壞標(biāo)記信息(不良標(biāo)記信息)，需要設(shè)置IC標(biāo)簽讀取器、IC標(biāo)簽編寫器等專用設(shè)備的問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是為了解決如上所述的課題而提出的，本發(fā)明的目的之一在于提供一種能夠抑制對處理對象的基板進行指定的處理所需的合計時間增加，并且不設(shè)置專用設(shè)備就能夠?qū)μ幚韺ο蟮幕逅哂械亩鄠€副基板中的每個副基板的不良標(biāo)記"[目息進行確定的基板處理裝置以及基板處理系統(tǒng)。
為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明所涉及的基板處理裝置對分別具有多個副基板的多個基板中的每個基板進行指定的處理，包括攝像部，對處理對象的基板所具有的多個副基板中的每個副基板進行拍攝；以及控制部，對攝像部的拍攝動作進行控制，其中，控制部基于表示是否在多個基板中的每個基板所具有的多個副基板中的每個副基板上附有不良標(biāo)記的不良標(biāo)記信息，通過控制多個副基板的拍攝順序以使攝像部按容易確定處理對象的基板是多個基板中的哪一個基板的順序?qū)μ幚韺ο蟮幕逅哂械亩鄠€副基板進行拍攝，由此來確定處理對象的基板是多個基板中的哪一個基板，并且確定所確定的處理對象的基板所具有的多個副基板的不良標(biāo)記信息。對于本發(fā)明所涉及的基板處理裝置，如上所述，設(shè)置控制部，該控制部基于表示是否對多個基板中的每個基板所具有的多個副基板中的每個副基板上附有不良標(biāo)記的不良標(biāo)記信息，控制多個副基板的拍攝順序 以使攝像部按容易確定處理對象的基板是多個基板中的哪一個基板的順序?qū)μ幚韺ο蟮幕逅哂械亩鄠€副基板進行拍攝。由此，因為處理對象的基板所具有的多個副基板的拍攝順序被設(shè)定為容易確定基板的順序，所以即使不使攝像部對所有多個副基板依次進行拍攝，僅通過拍攝多個副基板中的一部分副基板，也能夠確定處理對象的基板是多個基板中的哪一個基板，并且能夠確定所確定的處理對象的基板所具有的多個副基板中的每個副基板的不良標(biāo)記信息。此外，因為能夠利用控制部進行處理對象的基板的確定以及處理對象的基板所具有的多個副基板中的每個副基板的不良標(biāo)記信息的確定，所以無需另外設(shè)置進行處理對象的基板的確定以及副基板的不良標(biāo)記信息的確定的專用的設(shè)備。其結(jié)果是能夠抑制對處理對象的基板執(zhí)行指定的處理所需的合計時間增加，并且無需另外設(shè)置專用的設(shè)備就能夠確定處理對象的基板所具有的多個副基板中的每個副基板的不良標(biāo)記"[目息。根據(jù)所述的基板處理裝置，較為理想的是，控制部基于多個基板中的每個基板所具有的多個副基板的不良標(biāo)記信息中的、對應(yīng)的每個副基板的不良標(biāo)記信息組，通過控制多個副基板的拍攝順序以使攝像部按容易確定處理對象的基板是多個基板中的哪一個基板的順序?qū)μ幚韺ο蟮幕逅哂械亩鄠€副基板進行拍攝，由此來確定處理對象的基板是多個基板中的哪一個基板，并且確定所確定的處理對象的基板所具有的多個副基板的不良標(biāo)記信息。根據(jù)如上所述地構(gòu)成，通過比較由處理對象的基板的攝像部所拍攝的副基板的不良標(biāo)記信息與多個基板的對應(yīng)的副基板的不良標(biāo)記信息組，從而能夠容易確定處理對象的基板是多個基板中的哪一個基板。在這種情況下，較為理想的是，控制部在多個基板的對應(yīng)的每個副基板的不良標(biāo)記信息組中，在多個基板中的每個基板所具有的多個副基板中的對應(yīng)的所有副基板上均附有不良標(biāo)記的情況下、或者對應(yīng)的所有副基板均未附有不良標(biāo)記的情況下，控制所述攝像部的攝像動作，將處理對象的基板所具有的多個副基板中的對應(yīng)的副基板從攝像部的拍攝對象中排除。根據(jù)如上所述地構(gòu)成，在多個基板的對應(yīng)的每個副基板的不良標(biāo)記信息組中，通過從攝像部的拍攝對象中排除全部附有不良標(biāo)記的副基板以及全部未附有不良標(biāo)記的副基板，從而能夠減少作為攝像部的拍攝對象的副基板的數(shù)量，所以能夠以較少的拍攝次數(shù)確定處理對象的基板是多個基板中的哪一個基板。根據(jù)基于上述多個基板的對應(yīng)的每個副基板的不良標(biāo)記信息組控制多個副基板的拍攝順序的基板處理裝置，較為理想的是，控制部控制所述攝像部的拍攝動作，以使攝像部在多個基板的對應(yīng)的每個副基板的不良標(biāo)記信息組中，從在多個基板中的每個基板所具有的多個副基板中的對應(yīng)的副基板中的、同附有不良標(biāo)記的副基板的數(shù)量與未附有不良標(biāo)記的副基板的數(shù)量相差較大的副基板對應(yīng)的副基板開始依次對處理對象的基板所具有的多個副基板中的每個副基板進行拍攝。如上所述，在多個基板的對應(yīng)的每個副基板的不良標(biāo)記信息組中，若著眼于附有不良標(biāo)記的副基板的數(shù)量與未附有不良標(biāo)記的副基板的數(shù)量相差較大的副基板的不良標(biāo)記信息組，則能夠以更少的拍攝次數(shù)確定是否是處理對象的基板。
根據(jù)所述的基板處理裝置，較為理想的是，控制部在多個基板中存在處理對象的基板的多個候選項的情況下，優(yōu)先確定處理對象的基板的多個候選項中的、不良標(biāo)記信息最早的基板。在此，利用基板處理裝置進行指定的處理的多個基板以不良標(biāo)記信息早的順序成為基板處理裝置的處理對象的可能性高。在這種情況下，對于本發(fā)明，因為能夠從成為基板處理裝置的處理對象的可能性高的候選項中優(yōu)先確定，所以能夠以更高的效率確定處理對象的基板。在這種情況下，較為理想的是，控制部在由處理對象的基板的攝像部所拍攝的副基板的不良標(biāo)記"[目息同確定為處理對象的基板的候選項的基板的與處理對象的基板的攝像部所拍攝的副基板相對應(yīng)的副基板的不良標(biāo)記信息不一致的情況下，將確定為處理對象的基板的候選項的基板從處理對象的基板的候選項中排除。根據(jù)如上所述地構(gòu)成，通過從處理對象的基板的候選項中排除對應(yīng)的副基板的不良標(biāo)記信息與處理對象的基板不一致的基板，因為能夠縮小處理對象的基板的候選項的范圍，所以能夠更加容易地確定處理對象的基板。此外，較為理想的是，所述控制部，對多個基板獲取數(shù)據(jù)集，該數(shù)據(jù)集包括唯一地識別所述基板的工件標(biāo)識符、針對每一個工件標(biāo)識符確定所述副基板的坐標(biāo)的塊地址、以及所述已確定的所述每個副基板的所述不良標(biāo)記信息；將所述數(shù)據(jù)集所包含的多個不良標(biāo)記信息按照該每個塊地址進行作為組的分組；針對所述每個組，選定能夠唯一地確定該數(shù)據(jù)集所包含的工件標(biāo)識符的不良標(biāo)記信息；以及讓所述攝像部對與所選定的不良標(biāo)記信息對應(yīng)的塊地址的副基板進行拍攝，對照該不良標(biāo)記信息與從所述數(shù)據(jù)集中確定的不良標(biāo)記信息，反復(fù)執(zhí)行所述選定和對照動作直到所拍攝的副基板的不良標(biāo)記信息與從數(shù)據(jù)集中確定的不良標(biāo)記信息一致為止，并從所述數(shù)據(jù)集中確定與作為處理對象的基板一致的工件標(biāo)識符。對于該方式，通過多個基板(工件標(biāo)識符)確定處理對象的基板，按照每個副基板的塊地址對多個不良標(biāo)記信息作為組進行分組，在組中從能夠唯一地確定的不良標(biāo)記信息開始依次對照副基板，因此，被分組為各組的不良標(biāo)記信息作為降低為了確定基板所必需的信息量的過濾器發(fā)揮作用，能夠高效率地從多個基板中確定處理對象的基板。此外，在這種情況下，較為理想的是，控制部在每次確定工件標(biāo)識符時，從數(shù)據(jù)集中排除所選定的工件標(biāo)識符所涉及的不良標(biāo)記信息并更新組。因此，在確定并對照不良標(biāo)記信息后，即使產(chǎn)生不一致，在選定作為下一個候選項的基板(工件標(biāo)識符)時，因為從各組的不良標(biāo)記信息中排除了不一致的基板(工件標(biāo)識符)所涉及的不良標(biāo)記信息，所以在各組中，存在能夠唯一地確定工件標(biāo)識符的不良標(biāo)記信息的概率增高。此外，較為理想的是，控制部在檢測出多個不良標(biāo)記信息的情況下，優(yōu)先選定該不良標(biāo)記信息中的、最早的不良標(biāo)記信息。對于該方式，因為能夠從成為基板處理裝置的處理對象的可能性高的候選項中優(yōu)先確定，所以能夠以更高的效率確定處理對象的基板。此外，本發(fā)明是一種基板處理系統(tǒng)，包括第I基板處理裝置，對分別具有多個副基板的多個基板中的每個基板進行指定的處理；第2基板處理裝置，對所述第I基板處理裝置處理過的多個所述基板中的每個基板進行后續(xù)的指定的處理；服務(wù)器，存儲表示是否在所述多個基板中的每個基板所具有的所述多個副基板中的每個副基板上附有不良標(biāo)記的不良標(biāo)記信息；通信單元，對所述不良標(biāo)記信息進行通信以便所述第I基板處理裝置和所述第2基板處理裝置能夠共享所述不良標(biāo)記信息；以及攝像部，對處理對象的所述基板所具有的所述多個副基板中的每個副基板進行拍攝，其中，所述第2基板處理裝置和所述服務(wù)器中的任一者基于所述不良標(biāo)記信息，通過控制所述多個副基板的拍攝順序以使所述攝像部按容易確定所述處理對象的基板是所述多個基板中的哪一個基板的順序?qū)λ鎏幚韺ο蟮幕逅哂械乃龆鄠€副基板進行拍攝，由此來確定所述處理對象的基板是所述多個基板中的哪一個基板，并且確定所確定的所述處理對象的基板所具有的所述多個副基板的所述不良標(biāo)記信息。對于該方式，因為處理對象的基板所具有的多個副基板的拍攝順序被設(shè)定為容易確定基板的順序，所以即使不使攝像部對所有多個副基板依次進行拍攝，僅通過拍攝多個副基板中的一部分副基板，也能夠確定處理對象的基板是多個基板中的哪一個基板，并且能夠確定所確定的處理對象的基板所具有的多個副基板中的每個副基板的不良標(biāo)記"[目息。此夕卜，因為能夠利用控制部進行處理對象的基板的確定以及處理對象的基板所具有的多個副基板中的每個副基板的不良標(biāo)記信息的確定，所以無需另外設(shè)置進行處理對象的基板的確定以及副基板的不良標(biāo)記信息的確定的專用的設(shè)備。其結(jié)果是能夠抑制對處理對象的基板執(zhí)行指定的處理所需的合計時間增加，并且無需另外設(shè)置專用的設(shè)備就能夠確定處理對象的基板所具有的多個副基板中的每個副基板的不良標(biāo)記信息。此外，從多個基板中確定基板的處理既可以是由第2基板處理裝置執(zhí)行的方式，或者也可以是由服務(wù)器執(zhí)行的方式。特別是在服務(wù)器中安裝存儲過程，服務(wù)器執(zhí)行從多個基板中確定基板的處理的情況下，無需執(zhí)行數(shù)據(jù)集的發(fā)送/接收，能夠減輕通信負荷并使處理高速化。根據(jù)較為理想的方式所涉及的基板處理系統(tǒng)，第I基板處理裝置，通過對作為處理對象的多個基板的各副基板進行拍攝，將預(yù)先附于各副基板的指定位置的不良標(biāo)記的識別結(jié)果創(chuàng)建為該每個基板的信息文件，并且向服務(wù)器發(fā)送創(chuàng)建的信息文件。如上所述，能夠利用服務(wù)器實現(xiàn)不良標(biāo)記信息的統(tǒng)一管理。


圖I是表示包括本發(fā)明的第一至第三實施方式的安裝機的基板處理系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)的圖。圖2是表示被搬入本發(fā)明的第一至第三實施方式的安裝機的多片拼接基板的一例的俯視圖。圖3是表示在連接于本發(fā)明的第一和第三實施方式的安裝機的服務(wù)器中所存儲的損壞標(biāo)記信息表的一例的圖表。圖4是表示本發(fā)明的第一至第三實施方式的安裝機的結(jié)構(gòu)的俯視圖。 圖5是表示本發(fā)明的第一至第三實施方式的安裝機的結(jié)構(gòu)的方框圖。圖6是用于說明本發(fā)明的第一實施方式的安裝機使用損壞標(biāo)記信息表來確定處理對象的多片拼接基板時的確定步驟的圖。
圖7是用于說明利用本發(fā)明的第一實施方式的安裝機進行元件的安裝時的控制器的控制動作的流程圖。圖8是用于說明在圖5所示的流程圖中執(zhí)行的基板的損壞標(biāo)記信息的確定處理的詳細內(nèi)容的流程圖。圖9是表示在連接于本發(fā)明的第二實施方式的安裝機的服務(wù)器中所存儲的損壞標(biāo)記信息表的一例的圖表。圖10是用于說明本發(fā)明的第二實施方式的安裝機使用損壞標(biāo)記信息表來確定處理對象的多片拼接基板時的確定順序的圖。圖11是用于說明利用本發(fā)明的第二實施方式的安裝機進行元件的安裝時的控制器的控制動作的流程圖。圖12是用于說明在圖11所示的流程圖中執(zhí)行的基板的損壞標(biāo)記信息的確定處理 的詳細內(nèi)容的流程圖。圖13是表示第一實施方式中的損壞標(biāo)記信息的存儲例的ER(EntityRelationship,實體聯(lián)系)圖。圖14是用于說明利用第一實施方式的變形例的安裝機進行元件的安裝時的控制器的控制動作的流程圖。圖15是用于說明在圖14所示的流程圖中執(zhí)行的基板的損壞標(biāo)記信息的確定處理的詳細內(nèi)容的流程圖。
具體實施例方式下面，基于

本發(fā)明的實施方式。(第一實施方式)首先，參照圖I至圖3，對包括本發(fā)明的第一實施方式的安裝機10的基板處理系統(tǒng)I的結(jié)構(gòu)進行說明。此外，安裝機10是本發(fā)明的“基板處理裝置”的一例。如圖I所示，基板處理系統(tǒng)I包括印刷機2、檢查機3和安裝機10。該基板處理系統(tǒng)I是對在基板搬送路徑4上搬送的多個印刷電路板(多片拼接基板50)中的每個印刷電路板進行元件(1C、晶體管、電容器和電阻等電子元件)的安裝的系統(tǒng)。在此，多片拼接基板50是指由形成有一種或多種的電子電路的兩個以上的印刷電路板(單片基板50a)的結(jié)合而構(gòu)成的印刷電路板。如上所述的多片拼接基板50作為單一的印刷電路板進行處理，之后，被分割成兩個以上的印刷電路板(單片基板50a)進行使用。對于第一實施方式，如圖2所不,在多片拼接基板50上劃分有9個塊,各塊構(gòu)成分別形成有相同的電子電路(未圖示)的單片基板50a。各單片基板50a利用由計算機針對每個多片拼接基板50能夠識別的塊地址(A1、A2、A3、B1、B2、B3、C1、C2和C3)，能夠確定每個多片拼接基板50上的各單片基板50a的坐標(biāo)。以下，為了便于說明，對在基板搬送路徑4上搬送分別具有這9個單片基板50a的5個多片拼接基板50的例子進行說明。另外，多片拼接基板50是本發(fā)明的“基板”的一例，并且單片基板50a是本發(fā)明的“副基板”的一例。如圖I所示，印刷機2是對在基板搬送路徑4上搬送的5個多片拼接基板50中的每個多片拼接基板50印刷(涂敷)與元件的安裝位置相對應(yīng)的指定的圖案的焊料，并且將印刷焊料后的多片拼接基板50向下游側(cè)的裝置(檢查機3)搬出的裝置。對于第一實施方式，印刷機2具有分別檢查多片拼接基板50所具有的各單片基板50a的各電子電路是否存在缺陷的功能。具體而言，印刷機2通過對多片拼接基板50所具有的各單片基板50a進行拍攝，識別是否在各單片基板50a的指定位置附有損壞標(biāo)記BM(參照圖2)。如上所述的損壞標(biāo)記BM由多片拼接基板50的生產(chǎn)者附加。例如，在圖2的多片拼接基板50的塊地址為A2、BI、B3和C2的塊上附有損壞標(biāo)記BM。另外，損壞標(biāo)記BM是本發(fā)明的“不良標(biāo)記”的一例。此外，印刷機2將對 上述5個多片拼接基板50的各單片基板50a的損壞標(biāo)記BM的識別結(jié)果創(chuàng)建為每個多片拼接基板50的信息文件，并且向連接于印刷機2的損壞標(biāo)記信息存儲服務(wù)器5發(fā)送創(chuàng)建的信息文件。參照圖13，損壞標(biāo)記信息存儲服務(wù)器5存儲有多片拼接基板表601以及與多片拼接基板表601相關(guān)聯(lián)的單片基板表602，作為積累印刷機2發(fā)送的信息文件的數(shù)據(jù)的基板處理信息。在此，“表”是指在數(shù)據(jù)庫系統(tǒng)中，以二維矩陣(行和列)保存數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)集合，在以下的說明中，將表的項目(字段)稱為列，將表的實現(xiàn)值(分配給列的實際的值)稱為行。此外，在圖中，(PK)表示主關(guān)鍵詞，(FK)表示外部關(guān)鍵詞。主關(guān)鍵詞具有在表內(nèi)對行進行唯一地識別的屬性。外部關(guān)鍵詞通過與主關(guān)鍵詞具有相同的值，用于參照具有該主關(guān)鍵詞的表的數(shù)據(jù)。而且，圖中的箭頭表示表間的關(guān)系(聯(lián)系)，表示位于箭頭的終點側(cè)的表中的外部關(guān)鍵詞參照位于箭頭的起點側(cè)的表中的主關(guān)鍵詞。此外，將在兩個表間的主關(guān)鍵詞與外部關(guān)鍵詞的對應(yīng)關(guān)系稱為基數(shù)(cardinality),箭頭表不起點為0或I、終點有多個基數(shù)的情況。多片拼接基板表601是將工件標(biāo)識符作為主關(guān)鍵詞，存儲已安裝標(biāo)志等多片拼接基板50的處理所需的項目的表。在該基板表601中，保存有由印刷機2發(fā)送的與在基板搬送路徑4上搬送的多片拼接基板50相關(guān)的信息。已安裝標(biāo)志是表示是否已安裝多片拼接基板50的布爾(Boolean)型的列。單片基板表602是相對于多片拼接基板表601以一對多的基數(shù)進行關(guān)聯(lián)的表，以工件標(biāo)識符為外部關(guān)鍵詞，以制造編號為主關(guān)鍵詞，具有包括{塊地址、損壞標(biāo)記信息、時間戳、拍攝排除標(biāo)志}的列。塊地址是保存在基板搬送路徑4上搬送的每個多片拼接基板50所具有的多個單片基板50a的塊地址的列。損壞標(biāo)記信息存儲有表示是否在各單片基板50a中的每個單片基板50a附有損壞標(biāo)記BM的OK (無損壞標(biāo)記)或NG (有損壞標(biāo)記)的信息(以下稱為損壞標(biāo)記信息)。時間戳中，作為損壞標(biāo)記信息的時間戳而存儲有識別各單片基板50a的損壞標(biāo)記BM的時刻。拍攝排除標(biāo)志是表示在后述的確定步驟中，不需要拍攝的單片基板的Boolean型的列。對于第一實施方式，基于印刷機2發(fā)送的信息文件,從上述基板處理信息中生成如圖3所示的損壞標(biāo)記信息表60。損壞標(biāo)記信息表60是對指定的多片拼接基板，利用損壞信息存儲服務(wù)器5，使圖13的各表601、602自然連接(Natural Join)而生成的數(shù)據(jù)集的一例。損壞標(biāo)記信息表60所包含的工件由以下方式?jīng)Q定，即例如通過以預(yù)先設(shè)定的個數(shù)以時間戳順序選擇多片拼接基板表601的已安裝標(biāo)志的值為假(False)的工件而決定。在此，如圖I所示，損壞標(biāo)記信息存儲服務(wù)器5不僅與印刷機2連接，還與安裝機10和檢查機3連接。S卩，損壞標(biāo)記信息表60經(jīng)由損壞標(biāo)記信息存儲服務(wù)器5在印刷機2、檢查機3和安裝機10之間被共享。另外，在以下的說明中，也將損壞標(biāo)記信息表60所包含的多片拼接基板稱為工件。在圖示的例子中，利用多片拼接基板表601的工件標(biāo)識符，例如能夠以工件I、工件2、工件3、工件4和工件5這樣的形式唯一地識別工件。參照圖1，檢查機3是檢查對從上游側(cè)的裝置(印刷機2)搬入的多片拼接基板50印刷的焊料的印刷狀態(tài)的裝置。該檢查機3在判斷為焊料正常地印刷在多片拼接基板50上的情況下，將該多片拼接基板50搬出到下游側(cè)的裝置(安裝機10)，另一方面，在判斷為焊料未正常地印刷在多片拼接基板50上的情況下，不將該多片拼接基板50搬出到安裝機 10。安裝機10是對在基板搬送路徑4上搬送的多個多片拼接基板50中的每個多片拼接基板50安裝元件的裝置。該安裝機10對從上游側(cè)的裝置(檢查機3)搬入的多片拼接基板50的各單片基板50a安裝元件，并且將安裝元件后的多片拼接基板50搬出到下游側(cè)的裝置(對元件進行焊接的回流焊裝置等(未圖示))。接著，參照圖4和圖5，對本發(fā)明的第一實施方式的安裝機10的具體結(jié)構(gòu)進行說明。如圖4所示，安裝機10包括基座11、基板搬送帶12、以及頭部單元13。在基座11上設(shè)有4個帶式元件供應(yīng)部14和2個元件識別攝像機15。4個帶式元件供應(yīng)部14中的2個帶式元件供應(yīng)部14設(shè)于基座11上的箭頭Yl方向側(cè)的端部。此外，其余的2個帶式元件供應(yīng)部14設(shè)于基座11上的箭頭Y2方向側(cè)的端部。此外，2個元件識別攝像機15在基座11上的箭頭Yl方向側(cè)和箭頭Y2方向側(cè)分別設(shè)置一個。在4個帶式元件供應(yīng)部14上，保持元件的多個帶式送料器16分別沿X方向排列設(shè)置。這些多個帶式送料器16分別經(jīng)由前端的元件取出部16a供應(yīng)元件。元件識別攝像機15被設(shè)置在基座11上的頭部單元13的下方的高度位置。此外，元件識別攝像機15的拍攝方向朝向上方。此外，元件識別攝像機15能夠從下表面?zhèn)扰臄z通過頭部單元13的后述的吸附頭13a吸附的元件?；灏崴蛶?2具有沿Y方向排列的一對傳送帶部12a，并且在基座11上沿X方向延伸設(shè)置。該基板搬送帶12構(gòu)成搬送5個多片拼接基板50的基板搬送路徑4(參照圖I)的一部分。具體而言，基板搬送帶12將從位于箭頭X2方向側(cè)(上游側(cè))的裝置(檢查機3)搬入的多片拼接基板50固定在指定的安裝作業(yè)位置，并且將安裝作業(yè)結(jié)束后的多片拼接基板50向位于箭頭Xl方向側(cè)(下游側(cè))的裝置(例如，對元件進行焊接的回流焊裝置等)搬出。頭部單元13在基座11的上方的指定的高度位置上，沿著沿X方向延伸的頭部單元支承部17在X方向上能夠移動。具體而言，頭部單元支承部17具有沿X方向延伸的滾珠絲杠17a、以及使?jié)L珠絲杠17a旋轉(zhuǎn)的伺服電動機17b (X軸電動機(參照圖5))。滾珠絲杠17a通過該伺服電動機17b旋轉(zhuǎn)，從而頭部單元13相對于頭部單元支承部17沿X方向移動。另外，頭部單元13具有螺合于滾珠絲杠17a的滾珠螺母(未圖示)。此外，頭部單元支承部17沿著一對導(dǎo)軌部18在Y方向上能夠移動，該一對導(dǎo)軌部18以跨越基板搬送帶12的方式設(shè)置于基座11上并沿Y方向延伸。具體而言，一對導(dǎo)軌部18具有沿Y方向延伸的一對滾珠絲杠18a、以及使一對滾珠絲杠18a旋轉(zhuǎn)的一對伺服電動機18b (Y軸電動機(參照圖5))。通過這些伺服電動機18b使一對滾珠絲杠18a同步旋轉(zhuǎn)，從而頭部單元支承部17相對于一對導(dǎo)軌部18在Y方向上移動。另外，頭部單元支承部17具有螺合于滾珠絲杠18a的滾珠螺母(未圖示)。由此，頭部單元13在多片拼接基板50(基板搬送帶12)的上方、帶式元件供應(yīng)部14的帶式送料器16 (元件取出部16a)的上方、以及元件識別攝像機15的上方的位置能夠水平移動。此外，在頭部單元13上設(shè)有在X方向上隔開指定的間隔排列設(shè)置的4個吸附頭13a。在各吸附頭13a上以向下方突出的方式安裝有用于在前端(下端)進行元件的吸附和搭載的吸嘴(未圖示)。此外，在各吸附頭13a上設(shè)有使吸嘴沿上下方向(Z方向)移動的伺服電動機(Z軸電動機(參照圖5))、使吸嘴以其軸為中心旋轉(zhuǎn)的伺服電動機(R軸電動機(參照圖5))等。通過這樣的結(jié)構(gòu)，頭部單元13能夠在基座11的上方沿XY方向移動，從而從帶式送料器16的元件取出部16a吸附元件，并且將吸附的元件安裝到基板搬送帶12上的處理對象的多片拼接基板50上。此外，在頭部單元13的箭頭Xl方向側(cè)的側(cè)部，設(shè)有能夠?qū)μ幚韺ο蟮亩嗥唇踊?0所具有的9個單片基板50a中的每個單片基板50a進行拍攝的基板識別攝像機13b。此外，基板識別攝像機13b的拍攝方向朝向下方。該基板識別攝像機13b在安裝元件時，從上表面?zhèn)葘Χ嗥唇踊?0所具有的各單片基板50a進行拍攝。此外，該基板識別攝像機13b的拍攝圖像在利用后述的控制器19進行是否在單片基板50a上附有損壞標(biāo)記BM的識別時使用。另外，基板識別攝像機13b是本發(fā)明的“攝像部”的一例。安裝機10的動作通過圖5所示的控制器19控制?？刂撇?9包括運算處理部19a、存儲部19b、電動機控制部19c、外部輸入輸出部19d、圖像處理部19e、以及通信部19f。此夕卜，控制器19具有由液晶顯示裝置等構(gòu)成的顯示單元19g。另外，控制器19是本發(fā)明的“控制部”的一例。運算處理部19a進行控制器19整體的控制。此外，存儲部19b存儲通過運算處理部19a等執(zhí)行的各種程序、經(jīng)由后述的通信部19f獲取的損壞標(biāo)記信息表60(參照圖3)等。此外，電動機控制部19c控制用于使頭部單元13動作的電動機(伺服電動機17b、伺服電動機18b、Z軸電動機和R軸電動機)的驅(qū)動。此外，外部輸入輸出部19d連接于設(shè)置在安裝機10內(nèi)的各種傳感器和止動器。此外，圖像處理部19e對利用基板識別攝像機13b、元件識別攝像機15拍攝的拍攝數(shù)據(jù)進行圖像處理。此外，通信部19f連接于存儲有損壞標(biāo)記信息表60的損壞標(biāo)記信息存儲服務(wù)器5。在此,對于第一實施方式,控制器19執(zhí)行從損壞標(biāo)記信息表60所包含的多個工件I至5中確定處理對象的多片拼接基板50的處理、以及從確定的工件中確定損壞標(biāo)記信息的處理。通常，在多個節(jié)點共享一個服務(wù)器的信息的系統(tǒng)中，建立兩段鎖系統(tǒng)(Two-PhaseLocking System)，確保數(shù)據(jù)的統(tǒng)一的完整性(所謂ACID特性)。因此，若參照損壞標(biāo)記信 息存儲服務(wù)器5的數(shù)據(jù)，則確定從上游工序搬送來的多片拼接基板50是多個多片拼接基板50中的哪一個基板在理論上是可能的。可是，在現(xiàn)實的系統(tǒng)中，在基板制造中途，并不是完全不存在生產(chǎn)線停止，確定的基板被排除，或在修復(fù)作業(yè)中基板的順序調(diào)換的情況。因此，對于上述的各實施方式，每當(dāng)搬送多片拼接基板50時，確定該多片拼接基板50是登錄在損壞標(biāo)記信息存儲服務(wù)器5中的多個多片拼接基板50中的哪一個基板，謀求作業(yè)的可靠性和效率性的兼顧。具體而言，控制器19按照每個塊地址對損壞標(biāo)記信息表60所包含的多個損壞標(biāo)記信息進行分組以作為損壞標(biāo)記信息組。接著，基于該損壞標(biāo)記信息組，選定能夠唯一地確定工件的損壞標(biāo)記信息，從處理對象的多片拼接基板50所具有的9個單片基板50a中選擇與選定的損壞標(biāo)記信息相對應(yīng)的單片基板50a，使基板識別攝像機13b對所選擇的該單片基板50a進行拍攝，并將拍攝結(jié)果與選定的損壞標(biāo)記信息進行對照。由此，控制器19確定處理對象的多片拼接基板50是損壞標(biāo)記信息表60所包含的5個多片拼接基板50 (工件)中的哪一個。在此，參照圖6，對使用損壞標(biāo)記信息表60確定處理對象的多片拼接基板50的具體的確定步驟進行說明。首先，如圖6的步驟(a)所示，著眼于損壞標(biāo)記信息表60的組中、損壞標(biāo)記信息全 部為OK或NG (0K或NG的數(shù)量為0)的組(塊地址A3的列)。在圖6的例子中，各工件的塊地址A3的列的損壞標(biāo)記信息均為0K。因此，即使使基板識別攝像機13b對處理對象的多片拼接基板50的塊地址A3進行拍攝，也無法確定處理對象的多片拼接基板50是工件I至5中的哪Iv工件。因而，在以后的確定步驟中，從基板識別攝像機13b的拍攝對象中排除塊地址A3。接著，如圖6的步驟(b)所示，著眼于損壞標(biāo)記信息表60的組中、損壞標(biāo)記信息為OK的數(shù)量與NG的數(shù)量相差最大的組(塊地址B3的列)。對于圖示的例子，在塊地址B3的列的損壞標(biāo)記信息中，僅工件5的損壞標(biāo)記信息為0K，其余的工件I至4的損壞標(biāo)記信息為NG，因此，只要處理對象的多片拼接基板50的塊地址B3的損壞標(biāo)記信息為0K，就能夠確定處理對象的多片拼接基板50是工件5。因此，選定工件5作為處理對象的多片拼接基板50的候選項。而且，為了確認處理對象的多片拼接基板50的塊地址B3的損壞標(biāo)記信息，使基板識別攝像機13b對處理對象的多片拼接基板50的塊地址B3進行拍攝。另外，在通過該步驟未確定處理對象的多片拼接基板50是工件5的情況(處理對象的多片拼接基板50的塊地址B3的損壞標(biāo)記信息為NG的情況)下，繼續(xù)進行處理對象的多片拼接基板50的確定，并且在以后的步驟中，為了不使工件5成為處理對象的多片拼接基板50的候選項，從處理對象的損壞標(biāo)記信息表60中排除工件5。而且，更新位于損壞標(biāo)記信息表60的下段的顯示OK和NG的數(shù)量的信息。接著，如圖6的步驟(C)所示，著眼于更新了顯示OK的數(shù)量和NG的數(shù)量的信息的狀態(tài)下的損壞標(biāo)記信息表60中的、OK或NG的數(shù)量為0的組(塊地址B3)。與上述同樣，即使使基板識別攝像機13b對處理對象的多片拼接基板50的塊地址B3進行拍攝，也無法確定處理對象的多片拼接基板50是工件I至5中的哪一個工件，因此，從基板識別攝像機13b的拍攝對象中排除塊地址B3。而且，與上述同樣，著眼于更新了顯示OK的數(shù)量和NG的數(shù)量的信息的狀態(tài)下的損壞標(biāo)記信息表60中的、OK的數(shù)量與NG的數(shù)量相差最大的組(塊地址Al和Cl的列)。對于在圖6中例示的損壞標(biāo)記信息表60，如步驟(C)所示，在排列于塊地址Al的列中的各工件的損壞標(biāo)記信息中，僅工件3的損壞標(biāo)記信息為NG，其余的工件1、2和4的損壞標(biāo)記信息為0K。此外，在排列于塊地址Cl的列中的各工件的損壞標(biāo)記信息中，僅工件2的損壞標(biāo)記信息為NG，其余的工件1、3和4的損壞標(biāo)記信息為0K。因而，若使基板識別攝像機13b對處理對象的多片拼接基板50的塊地址Al或Cl進行拍攝，則能夠確定處理對象的多片拼接基板50是否是工件3或工件2。S卩，選定工件2和工件3作為處理對象的多片拼接基板50的候選項。在此，一般而言，在基板搬送路徑4上搬送的5個多片拼接基板50從在上游側(cè)的裝置完成了處理的多片拼接基板50開始按順序向接下來的(下游側(cè)的)裝置搬送。具體而言，從利用印刷機2進行的損壞標(biāo)記BM的識別處理結(jié)束后的多片拼接基板50開始依次搬送。以下，為了便于說明，對5個多片拼接基板50(工件1、2、3、4和5)按照該順序利用印刷機2進行損壞標(biāo)記BM的識別處理的例子進行說明。在這種情況下，在處理對象的多片拼接基板50的候選項(工件)存在多個時，時間戳的時刻最早的損壞標(biāo)記信息所涉及的工件為處理對象的多片拼接基板50的可能性高。因而，如圖6的步驟(c)所示，在工件2和工件3被選定作為處理對象的多片拼接基板50的候選項的情況下，在確認時間戳的時刻最早的損壞標(biāo)記信息的工件2是否是處理對象的多片拼接基板50之后，進行是否是工件3的 確認的方法效率較高。因而，以下的方法是較佳的，即，使基板識別攝像機13b對處理對象的多片拼接基板50的塊地址Cl所涉及的單片基板50a進行拍攝，并確認處理對象的多片拼接基板50的塊地址Cl的損壞標(biāo)記信息是否是NG之后，使基板識別攝像機13b對處理對象的多片拼接基板50的塊地址Al所涉及的單片基板50a進行拍攝，并確認處理對象的多片拼接基板50的塊地址Al的損壞標(biāo)記信息是否是NG。另外，在處理對象的多片拼接基板50既不是工件2也不是工件3的情況(處理對象的多片拼接基板50的塊地址Cl的損壞標(biāo)記信息是0K，且塊地址Al的損壞標(biāo)記信息是OK的情況)下，與上述同樣，從處理對象的損壞標(biāo)記信息表60中排除工件2和工件3。而且，更新位于損壞標(biāo)記信息表60的下段的顯示OK和NG的數(shù)量的信息。接著，如圖6的步驟(d)所示，在更新了顯示OK的數(shù)量和NG的數(shù)量的信息的狀態(tài)下的損壞標(biāo)記信息表60中，與上述同樣，從基板識別攝像機13b的拍攝對象中排除OK或NG的數(shù)量是0的組(塊地址Al、BI、Cl和C3的列)。然后，著眼于OK的數(shù)量與NG的數(shù)量相差最大的組(塊地址A2、B2和C2的列)。另外，在這種情況下，在塊地址A2、B2和C2中的任一列中，OK的數(shù)量是I且NG的數(shù)量是I。因而，即使使基板識別攝像機13b對處理對象的多片拼接基板50的塊地址A2、B2和C2中的任一列所涉及的單片基板50a進行拍攝，也均能夠確定處理對象的多片拼接基板50是工件I或4中的哪一個。通過以上的步驟，確定處理對象的多片拼接基板50是工件I至5中的哪一個。這樣，即使不使基板識別攝像機13b對處理對象的多片拼接基板50所具有的全部9個單片基板50a進行拍攝，通過使基板識別攝像機13b對至多4個單片基板50a(在圖6所示的步驟中，4個塊地址B3、C1、A1、A2所涉及的單片基板50a)進行拍攝，就能夠確定處理對象的多片拼接基板50。另外，即使在步驟(d)的情況下，在確認時間戳的時刻最早的損壞標(biāo)記信息的工件2是否是處理對象的多片拼接基板50之后，進行是否是工件3的確認的方法的效率也較高。如上所述,對于第一實施方式,控制器19在損壞標(biāo)記信息表60的各組中存在對所有塊均附有損壞標(biāo)記BM的組(塊的損壞標(biāo)記信息全部為NG的組)、或?qū)λ袎K均未附有損壞標(biāo)記BM的組(塊的損壞標(biāo)記信息全部為OK的組)的情況下，通過更新圖13所示的單片基板表602的拍攝排除標(biāo)志的值，從而進行控制以從基板識別攝像機13b的拍攝對象中排除與該組的塊相對應(yīng)的單片基板50a。此外，控制器19進行如下的控制，在排列于損壞標(biāo)記信息表60的各列中的每個塊的OK或NG的信息組中，使基板識別攝像機13b從同附有損壞標(biāo)記BM的塊的數(shù)量(NG的數(shù)量)與未附有損壞標(biāo)記BM的塊的數(shù)量(0K的數(shù)量)相差較大的塊相對應(yīng)的單片基板50a開始按順序?qū)μ幚韺ο蟮亩嗥唇踊?0所具有的9個單片基板50a中的每個單片基板50a進行拍攝。由此，因為能夠從組中搜索能夠唯一地確定工件的損壞標(biāo)記信息，所以在對照工件與作為處理對象的多片拼接基板50時，僅通過拍攝與該損壞標(biāo)記信息相對應(yīng)的單片基板50a，就能夠判定工件與多片拼接基板50的異同。此外，控制器19在5個多片拼接基板50中存在多個處理對象的多片拼接基板50的候選項的情況下，優(yōu)先選定該多個候選項中的、損壞標(biāo)記信息最早的工件(時間戳的時刻最早的損壞標(biāo)記信息所涉及的工件)。此外，控制器19在由處理對象的多片拼接基板50的基板識別攝像機13b所拍攝的單片基板50a的損壞標(biāo)記信息與通過損壞標(biāo)記信息的選擇處理選擇的損壞標(biāo)記信息不一致的情況下，從處理對象的損壞標(biāo)記信息表60中排除作為處理對象的多片拼接基板50的候選項而選擇的多片拼接基板50。接著，控制器19在以上述的步驟確定了處理對象的多片拼接基板50的情況下，進行控制以確定所確定的處理對象的多片拼接基板50所具有的9個單片基板50a的損壞標(biāo)記信息。例如，控制器19在確定了處理對象的多片拼接基板50是如圖2所示的多片拼接基板50 (工件I)的情況下，將損壞標(biāo)記信息表60的與工件I相對應(yīng)的行的OK或NG的信息確定為處理對象的多片拼接基板50的損壞標(biāo)記信息。然后，控制器19進行如下控制，即，僅對處理對象的多片拼接基板50 (工件I)的損壞標(biāo)記信息為OK的塊(塊地址A1、A3、B2、Cl和C3)所涉及的單片基板50a，利用頭部單元13安裝元件，另一方面，不對損壞標(biāo)記信息為NG的塊(塊地址A2、BI、B3和C2)所涉及的單片基板50a安裝元件。接著，參照圖7和圖8，對利用本發(fā)明的第一實施方式的安裝機10進行元件的安裝時的控制器19的控制流程進行說明。首先，如圖7所示，在步驟SI中，判斷是否經(jīng)由基板搬送帶12從上游側(cè)搬入多片拼接基板50。在步驟SI中，反復(fù)執(zhí)行該判斷直到多片拼接基板50被搬入基板搬送帶12為止。然后，在多片拼接基板50被搬入基板搬送帶12的情況下，進入步驟S2。接著，在步驟S2中，執(zhí)行將搬入的多片拼接基板50固定于基板搬送帶12上的指定的安裝作業(yè)位置的處理，進入步驟S3。然后，在步驟S3中，執(zhí)行損壞標(biāo)記信息的確定處理(參照圖8)。在該步驟S3中，確定搬入的多片拼接基板50 (處理對象的多片拼接基板50)所具有的9個單片基板50a中的每個單片基板50a的損壞標(biāo)記信息。接著，在步驟S4中，基于在上述步驟S3中確定的損壞標(biāo)記信息，進行在處理對象的多片拼接基板50上安裝元件的處理。具體而言，對與被確定為處理對象的多片拼接基板50的損壞標(biāo)記信息是OK的塊相對應(yīng)的單片基板50a進行元件的安裝，另一方面，不對與被確定為NG的塊相對應(yīng)的單片基板50a進行元件的安裝。接著，在步驟S5中，執(zhí)行解除安裝元件后的多片拼接基板50被固定于基板搬送帶12上的指定的安裝作業(yè)位置的狀態(tài)的處理，進入步驟S6。然后，在步驟S6中，安裝作業(yè)結(jié)束后的多片拼接基板50經(jīng)由基板搬送帶12向下游側(cè)搬出，結(jié)束處理。接著，參照圖8，對在上述圖7的步驟S3中執(zhí)行的損壞標(biāo)記信息的確定處理的詳細內(nèi)容進行說明。首先，在步驟Sll中，執(zhí)行從損壞標(biāo)記信息存儲服務(wù)器5經(jīng)由通信部19f獲取損壞標(biāo)記信息表60 (參照圖3)的處理，該損壞標(biāo)記信息表60表示是否在基板搬送路徑4上搬送的5個多片拼接基板50中的每個多片拼接基板50所具有的9個單片基板50a中的每個單片基板50a附有損壞標(biāo)記BM (參照圖2)。另外，獲取的損壞標(biāo)記信息表60存儲在存儲部19b 中。接著，在步驟S12中，判斷損壞標(biāo)記信息表60的各損壞標(biāo)記信息是否全部是相同的圖案(全部是OK或全部是NG)。在該步驟S12中，在損壞標(biāo)記信息表60的各損壞標(biāo)記信息全部是相同的圖案的情況下，進入步驟S13。然后，在步驟S13中，進行將時間戳最早的損壞標(biāo)記信息所涉及的工件確定為處理對象的多片拼接基板50的處理，進入后述的步驟 S21。另外，在上述步驟S12中，在損壞標(biāo)記信息表60的損壞標(biāo)記信息具有不同的圖案的情況下，控制器19按照該損壞標(biāo)記信息表60的每一列對各損壞標(biāo)記信息進行分組，執(zhí)行以每一列作為組進行識別的處理、對作為導(dǎo)出屬性的OK的數(shù)量、NG的數(shù)量進行計數(shù)的處理之后，進入步驟S14。然后，在步驟S14中，判斷是否存在OK或NG的數(shù)量為0的組。在該步驟S14中，在判斷為在損壞標(biāo)記信息表60中存在OK或NG的數(shù)量為0的組的情況下，進入步驟S15。接著，在步驟S15中，在各組中存在損壞標(biāo)記信息全部為OK或NG的組的情況下，通過更新圖13所示的單片基板表602的拍攝排除標(biāo)志的值，從而進行從基板識別攝像機13b的拍攝對象中排除該組所涉及的單片基板50a的處理，進入步驟S16。此外，在上述步驟S14中，即使判斷為不存在損壞標(biāo)記信息全部為OK或NG的組的情況下，也進入步驟S16。在步驟S16中，在損壞標(biāo)記信息表60上的各組中，進行從OK的數(shù)量與NG的數(shù)量相差最大的組中選定能夠唯一地確定工件的損壞標(biāo)記信息的處理，進入步驟S17。接著，在步驟S17中，進行使基板識別攝像機13b對在處理對象的多片拼接基板50所具有的9個單片基板50a中、與在步驟S16中選定的損壞標(biāo)記信息相對應(yīng)的、作為處理對象的多片拼接基板50的單片基板50a進行拍攝的處理，進入步驟S18。另外，如圖6的步驟(c)所示，OK的數(shù)量與NG的數(shù)量之差在多個組中相同的情況下，換言之，存在多個具有能夠唯一地確定工件的損壞標(biāo)記信息的組的情況下，對與在能夠唯一地確定工件的多個損壞標(biāo)記信息中的、最早的損壞標(biāo)記信息(時間戳的時刻最早的損壞標(biāo)記信息)的塊相對應(yīng)的單片基板50a進行拍攝。接著，在步驟S18中，判斷在上述步驟S16中選定的損壞標(biāo)記信息與在上述步驟S17中由基板識別攝像機13b所拍攝的單片基板50a的損壞標(biāo)記信息是否一致。在步驟S18中，在上述步驟S16中選定的損壞標(biāo)記信息與在上述步驟S17中由基板識別攝像機13b所拍攝的單片基板50a的損壞標(biāo)記信息不一致的情況下，進入步驟S19。然后，在步驟S19中，進行從處理對象的損壞標(biāo)記信息表60中排除在上述步驟S18中被判定為不一致的損壞標(biāo)記信息所確定的工件的處理，返回上述步驟S12。另一方面，在步驟S18中，在上述步驟S16中選定的損壞標(biāo)記信息與在上述步驟S17中由基板識別攝像機13b所拍攝的單片基板50a的損壞標(biāo)記"[目息一致的情況下，進入步驟S20。然后，在步驟S20中，進行將在上述步驟S16中選定的損壞標(biāo)記信息所確定的工件確定為處理對象的多片拼接基板50的處理，進入步驟S21。接著，在步驟S21中，進行從損壞標(biāo)記信息表60中獲取在上述步驟S13或上述步驟S20中確定為處理對象的多片拼接基板50的工件的損壞標(biāo)記信息，并將獲取的損壞標(biāo)記信息確定為處理對象的多片拼接基板50的損壞標(biāo)記信息的處理，結(jié)束處理。如上所述地確定搬入到安裝機10的多片拼接基板50的損壞標(biāo)記信息。對于第一實施方式，如上所述地設(shè)置控制器19，該控制器19基于表示是否在5個多片拼接基板50 (工件I至5)中的每個多片拼接基板50所具有的9個單片基板50a中的每個單片基板50a附有損壞標(biāo)記BM的損壞 標(biāo)記信息(損壞標(biāo)記信息表60)，控制9個單片基板50a的拍攝順序以使基板識別攝像機13b按容易確定處理對象的多片拼接基板50是5個多片拼接基板50中的哪一個多片拼接基板50的順序，對處理對象的多片拼接基板50所具有的9個單片基板50a進行拍攝。由此，因為處理對象的多片拼接基板50所具有的9個單片基板50a的拍攝順序被設(shè)定為容易確定處理對象的多片拼接基板50的順序，所以即使不使基板識別攝像機13b對全部9個單片基板50a依次進行拍攝，僅通過對9個單片基板50a中的一部分進行拍攝，就能夠確定處理對象的多片拼接基板50是5個多片拼接基板50中的哪一個多片拼接基板50，并且能夠確定所確定的處理對象的多片拼接基板50所具有的9個單片基板50a中的每個單片基板50a的損壞標(biāo)記信息。此外，因為能夠利用控制器19進行處理對象的多片拼接基板50的確定以及處理對象的多片拼接基板50所具有的9個單片基板50a中的每個單片基板50a的損壞標(biāo)記信息的確定，所以無需另外設(shè)置進行處理對象的多片拼接基板50的確定以及單片基板50a的損壞標(biāo)記信息的確定的專用的設(shè)備。其結(jié)果是能夠抑制對處理對象的多片拼接基板50執(zhí)行指定的處理所需的合計時間增加，并且能夠無需另外設(shè)置專用的設(shè)備就確定處理對象的多片拼接基板50所具有的9個單片基板50a中的每個單片基板50a的損壞標(biāo)記信息。此外,對于第一實施方式，如上所述地構(gòu)成控制器19,該控制器19基于5個多片拼接基板50中的每個多片拼接基板50所具有的9個單片基板50a的損壞標(biāo)記"[目息(損壞標(biāo)記信息表60)中的、對應(yīng)的每個單片基板50a的損壞標(biāo)記信息組(損壞標(biāo)記信息表60的排列于每個塊的列中的OK或NG的信息組)，控制9個單片基板50a的拍攝順序以使基板識別攝像機13b按容易確定處理對象的多片拼接基板50是5個多片拼接基板50中的哪一個基板的順序，對處理對象的多片拼接基板50所具有的9個副基板進行拍攝，由此進行控制以確定處理對象的多片拼接基板50是5個多片拼接基板50中的哪一個多片拼接基板50，并且確定所確定的處理對象的多片拼接基板50所具有的9個單片基板50a的損壞標(biāo)記信息。由此，通過比較由處理對象的多片拼接基板50的基板識別攝像機13b所拍攝的單片基板50a的損壞標(biāo)記信息與5個多片拼接基板50的對應(yīng)的單片基板50a的損壞標(biāo)記信息組，從而能夠容易地確定處理對象的多片拼接基板50是5個多片拼接基板50中的哪一個多片拼接基板50。此外，對于第一實施方式，如上所述地構(gòu)成控制器19，該控制器19進行如下控制，以使基板識別攝像機13b在5個多片拼接基板50的對應(yīng)的每個單片基板50a的損壞標(biāo)記信息組(損壞標(biāo)記信息表60)中，從5個多片拼接基板50中的每個多片拼接基板50所具有的9個單片基板50a中的對應(yīng)的單片基板50a中的、同附有損壞標(biāo)記BM的單片基板50a的數(shù)量與未附有損壞標(biāo)記BM的單片基板50a的數(shù)量相差較大的單片基板50a對應(yīng)的單片基板50a開始依次對處理對象的多片拼接基板50所具有的9個單片基板50a中的每個單片基板50a進行拍攝。由此，通過從基板識別攝像機13b的拍攝對象中排除在5個多片拼接基板50的對應(yīng)的每個單片基板50a的損壞標(biāo)記信息組中全部附有損壞標(biāo)記BM的單片基板50a以及全部未附有損壞標(biāo)記BM的單片基板50a，從而能夠減少作為基板識別攝像機13b的拍攝對象的單片基板50a的數(shù)量，因此，能夠以較少的拍攝次數(shù)確定處理對象的多片拼接基板50是5個多片拼接基板50中的哪一個多片拼接基板50。此外，對于第一實施方式，如上所述地構(gòu)成控制器19，該控制器19在5個多片拼接基板50的對應(yīng)的每個單片基板50a的損壞標(biāo)記信息組(損壞標(biāo)記信息表60)中，在5個多片拼接基板50中的每個多片拼接基板50所具有的9個單片基板50a中的對應(yīng)的所有單片基板50a均附有損壞標(biāo)記BM的情況下、或者對應(yīng)的所有單片基板50a均未附有損壞標(biāo)記BM的情況下，進行控制以從基板識別攝像機13b的拍攝對象中排除處理對象的多片拼接基板 50所具有的9個單片基板50a中的對應(yīng)的單片基板50a。由此，在5個多片拼接基板50的對應(yīng)的每個單片基板50a的損壞標(biāo)記信息組中，若著眼于附有損壞標(biāo)記BM的單片基板50a的數(shù)量與未附有損壞標(biāo)記的單片基板50a的數(shù)量相差較大的單片基板50a的損壞標(biāo)記信息組，則能夠以更少的拍攝次數(shù)確定是否是處理對象的多片拼接基板50。此外，對于第一實施方式，如上所述地構(gòu)成控制器19，在5個多片拼接基板50中存在多個處理對象的多片拼接基板50的候選項的情況下，優(yōu)先確定多個處理對象的多片拼接基板50的候選項中的、損壞標(biāo)記信息最早的多片拼接基板50 (作為對各單片基板50a的損壞標(biāo)記BM的識別結(jié)果，針對每個多片拼接基板50創(chuàng)建的信息文件的創(chuàng)建時刻最早的多片拼接基板50)。在此，利用安裝機10進行指定的處理的5個多片拼接基板50按照損壞標(biāo)記信息的時間戳(針對上述每個多片拼接基板50創(chuàng)建的信息文件的創(chuàng)建時刻)早的順序成為安裝機10的處理對象的可能性高。在這種情況下，對于第一實施方式，因為能夠從成為安裝機10的處理對象的可能性高的候選項(多片拼接基板50)中優(yōu)先確定，所以能夠以更高的效率確定處理對象的多片拼接基板50。此外，對于第一實施方式，如上所述地構(gòu)成控制器19，在由處理對象的多片拼接基板50的基板識別攝像機13b所拍攝的單片基板50a的損壞標(biāo)記信息同與確定為處理對象的單片基板50a的候選項的多片拼接基板50的與由處理對象的多片拼接基板50的基板識別攝像機13b所拍攝的單片基板50a相對應(yīng)的單片基板50a的損壞標(biāo)記信息不一致的情況下，從處理對象的損壞標(biāo)記信息表60中排除確定為處理對象的多片拼接基板50a的候選項的多片拼接基板50。由此，通過從處理對象的損壞標(biāo)記信息表60中排除對應(yīng)的單片基板50a的損壞標(biāo)記信息與處理對象的多片拼接基板50不一致的多片拼接基板50，從而能夠縮小處理對象的多片拼接基板50的候選項范圍，因此，能夠更容易地確定處理對象的多片拼接基板50。(第二實施方式)接著，參照圖I、圖2、圖4、圖5和圖9至圖12，對本發(fā)明的第二實施方式的安裝機20進行說明。對于第二實施方式，與在多片拼接基板50被搬入安裝機10之前的階段對9個單片基板50a全部進行損壞標(biāo)記BM的識別處理的上述第一實施方式不同，對在多片拼接基板50被搬入安裝機20之前的階段僅對9個單片基板50a中的6個單片基板50a進行損壞標(biāo)記BM的識別處理的例子進行說明。另外，安裝機20是本發(fā)明的“基板處理裝置”的一例。如圖I所示，對于第二實施方式，基板處理系統(tǒng)Ia包括印刷機2a、檢查機3和安裝機20。該印刷機2a識別在基板搬送路徑4上搬送的5個多片拼接基板50中的每個多片拼接基板50所具有的9個單片基板50a (塊地址Al至A3、BI至B3和Cl至C3(參照圖2))中的6個單片基板50a (例如，塊地址BI至B3和Cl至C3(參照圖2))的指定位置是否附有損壞標(biāo)記BM(參照圖2)。此外，印刷機2a將對上述5個多片拼接基板50的損壞標(biāo)記BM 的識別結(jié)果創(chuàng)建為每個多片拼接基板50的信息文件，并且向連接于印刷機2a的損壞標(biāo)記信息存儲服務(wù)器5發(fā)送創(chuàng)建的信息文件。具體而言，印刷機2a向損壞標(biāo)記信息存儲服務(wù)器5發(fā)送如圖9所不的損壞標(biāo)記信息表60a。此外，對于第二實施方式，安裝機20 (參照圖4)的控制器29 (參照圖5)與上述第一實施方式同樣，基于損壞標(biāo)記信息表60a，控制拍攝順序，以使基板識別攝像機13b按容易確定處理對象的多片拼接基板50是5個多片拼接基板50(工件I至5)中的哪一個多片拼接基板50的順序，對處理對象的多片拼接基板50所具有的各單片基板50a進行拍攝，由此確定處理對象的多片拼接基板50a是工件I至5中的哪一個。另外，控制器29是本發(fā)明的“控制部”的一例。此外，對于第二實施方式，控制器29在使用損壞標(biāo)記信息表60a確定了處理對象的多片拼接基板50的情況下，進行控制以確定所確定的處理對象的多片拼接基板50所具有的全部9個單片基板50a的損壞標(biāo)記信息。另外，如圖10所示，因為使用了第二實施方式的損壞標(biāo)記信息表60a的處理對象的多片拼接基板50的確定步驟與上述圖6所示的使用了第一實施方式的損壞標(biāo)記信息表60的處理對象的多片拼接基板50的確定步驟相同，所以省略說明。在此,對于第二實施方式,與上述第一實施方式不同，因為在多片拼接基板50被搬入安裝機20之前的階段不進行3個(塊地址Al至A3)單片基板50a的損壞標(biāo)記BM的識別處理，所以控制器29通過使基板識別攝像機13b對處理對象的多片拼接基板50的這3個單片基板50a進行拍攝，從而進行這3個單片基板50a的損壞標(biāo)記BM的識別處理。此外，控制器29通過組合如上所述使用基板識別攝像機13b確定的3個單片基板50a的損壞標(biāo)記信息以及使用損壞標(biāo)記信息表60a確定的其余的6個(塊地址BI至B3和Cl至C3)的單片基板50a的損壞標(biāo)記信息，從而進行控制以確定處理對象的多片拼接基板50所具有的全部9個單片基板50a的損壞標(biāo)記信息。即，對于第二實施方式，因為由印刷機2a(參照圖I)與安裝機20分擔(dān)進行I個多片拼接基板50所具有的全部單片基板50a的損壞標(biāo)記信息的確定，所以即使在多片拼接基板50所具有的全部單片基板50a的損壞標(biāo)記信息的確定花費時間的情況下，也能夠取得印刷機2a處理I個多片拼接基板50所需的合計時間與安裝機20處理I個多片拼接基板50所需的合計時間的平衡。另外，第二實施方式的其他結(jié)構(gòu)與上述第一實施方式相同。接著，參照圖11和圖12，對利用本發(fā)明的第二實施方式的安裝機20進行元件的安裝時的控制器29的控制流程進行說明。另外，利用第二實施方式的控制器29執(zhí)行的圖11的步驟S31、S32以及S34至S36的各處理分別與利用上述第一實施方式的控制器19執(zhí)行的圖6的步驟SI、S2和S4至S6的各處理相同，因此省略說明。以下，參照圖12，對在上述圖11的步驟S33中執(zhí)行的損壞標(biāo)記信息的確定處理的詳細內(nèi)容進行說明。另外，圖12的步驟S41至S50的處理(確定處理對象的多片拼接基板50的處理)與上述第一實施方式的圖7的步驟Sll至S20的處理的不同之處在于使用損壞標(biāo)記信息表60a(參照圖9)而不使用損壞標(biāo)記信息表60(參照圖2)，除此之外與上述圖7的步驟Sll至S20的處理相同，因此省略說明。 如圖12所示，在通過進行步驟S41至S50的處理確定了處理對象的多片拼接基板50的情況下，在步驟S51中，進行處理對象的多片拼接基板50所具有的9個單片基板50a中的、仍未確定損壞標(biāo)記信息的、塊地址為Al至A3的單片基板50a的損壞標(biāo)記BM的識別。具體而言，執(zhí)行使基板識別攝像機13b對與處理對象的多片拼接基板50的塊地址Al至A3相對應(yīng)的單片基板50a進行拍攝的處理。接著，在步驟S52中，利用在上述步驟S51中使用基板識別攝像機13b確定的處理對象的多片拼接基板50的塊地址Al至A3的損壞標(biāo)記信息以及使用損壞標(biāo)記信息表60a確定的其余的BI至B3和Cl至C3的損壞標(biāo)記信息，執(zhí)行確定處理對象的多片拼接基板50所具有的全部9個單片基板50a的損壞標(biāo)記信息的處理，結(jié)束處理。另外，第二實施方式的其他效果與上述第一實施方式相同。(第三實施方式)接著，參照圖I至圖5，對本發(fā)明的第三實施方式的基板處理系統(tǒng)Ib進行說明。對于該第三實施方式，與利用印刷機2對多片拼接基板50所具有的各單片基板50a進行損壞標(biāo)記BM的識別處理的上述第一實施方式不同，由多片拼接基板50的生產(chǎn)者對多片拼接基板50所具有的各單片基板50a進行損壞標(biāo)記BM的識別處理。如圖I所示，第三實施方式的基板處理系統(tǒng)Ib由印刷機2b、檢查機3和安裝機30構(gòu)成。另外，安裝機30是本發(fā)明的“基板處理裝置”的一例。對于該基板處理系統(tǒng)lb，在基板搬送路徑4上搬送的5個多片拼接基板50被搬入印刷機2b之前的階段，由多片拼接基板50的生產(chǎn)者對這5個多片拼接基板50的各單片基板50a施加損壞標(biāo)記BM(參照圖2)。另外，此時，對多片拼接基板50所具有的各單片基板50a的損壞標(biāo)記BM的識別處理也由多片拼接基板50的生產(chǎn)者進行。S卩，對于第三實施方式，多片拼接基板50的生產(chǎn)者在基板搬送路徑4上搬送的5個多片拼接基板50被搬入印刷機2b之前的階段，創(chuàng)建存儲這5個多片拼接基板50中的每個多片拼接基板50所具有的9個(塊地址Al至A3、B1至B3和Cl至C3(參照圖2))的單片基板50a中的每個單片基板50a的損壞標(biāo)記信息的損壞標(biāo)記信息表60b (參照圖3)，并且向損壞標(biāo)記信息存儲服務(wù)器5發(fā)送創(chuàng)建的損壞標(biāo)記信息表60b。第三實施方式的安裝機30 (參照圖4)的控制器39(參照圖5)基于由上述多片拼接基板50的生產(chǎn)者創(chuàng)建的損壞標(biāo)記信息表60b (參照圖3)，確定處理對象的多片拼接基板50是工件I至5中的哪一個。另外，控制器39是本發(fā)明的“控制部”的一例。另外，第三實施方式的其他結(jié)構(gòu)與上述第一實施方式相同。此外，使用了第三實施方式的損壞標(biāo)記信息表60b的處理對象的多片拼接基板50的確定步驟與上述圖6所示的使用了第一實施方式的損壞標(biāo)記信息表60的處理對象的多片拼接基板50的確定步驟相同。即，第三實施方式的安裝機30進行元件的安裝時的控制器39的控制動作與上述圖7和圖8所示的第一實施方式的安裝機10進行元件的安裝時的控制器19的控制動作相同，因此省略說明。另外，第三實施方式的效果與上述第一實施方式相同。另外，本次公開的實施方式應(yīng)被認為所有的點都只是例舉，而非限制。本發(fā)明的范圍不由上述的實施方式的說明而由技術(shù)方案的范圍所示，進一步含有與技術(shù)方案的范圍均等的意義及范圍內(nèi)的所有的變更。例如，在上述第一和第二實施方式中，示出了作為本發(fā)明的基板處理裝置的一例使用安裝機的例子，但本發(fā)明不限于此。對于本發(fā)明，也可以使用安裝機以外的基板處理裝置(印刷機、檢查機等)。此外，在上述第一至第三實施方式中，示出了在基板搬送路徑上搬送的多片拼接基板為5個的例子，但本發(fā)明不限于此。對于本發(fā)明，只要在基板搬送路徑上搬送的多片拼接基板為多個，既可以是2個以上且4個以下，也可以是6個以上。此外，在上述第一至第三實施方式中，示出了 I個多片拼接基板所具有的單片基板的數(shù)量為9個的例子，但本發(fā)明不限于此。對于本發(fā)明，只要I個多片拼接基板所具有的單片基板的數(shù)量為多個，既可以是2個以上且8個以下，也可以是10個以上。此外，在上述第一至第三實施方式中，示出了使用損壞標(biāo)記信息表確定處理對象的多片拼接基板的例子，但本發(fā)明不限于此。對于本發(fā)明，通過使基板識別攝像機按容易確定處理對象的多片拼接基板的順序?qū)纹暹M行拍攝從而確定處理對象的多片拼接基板即可，無需使用損壞標(biāo)記信息表。此外，在上述第一和第二實施方式中，示出了印刷機創(chuàng)建損壞標(biāo)記信息表的例子，在上述第三實施方式中，示出了多片拼接基板的生產(chǎn)者創(chuàng)建損壞標(biāo)記信息表的例子，但本發(fā)明不限于此。對于本發(fā)明，檢查機也可以創(chuàng)建損壞標(biāo)記信息表。此外，在上述第一和第二實施方式中，示出了經(jīng)由服務(wù)器獲取印刷機創(chuàng)建的損壞標(biāo)記信息表的例子，但本發(fā)明不限于此。對于本發(fā)明，也可以通過將安裝機與印刷機直接連接，不經(jīng)由服務(wù)器獲取印刷機創(chuàng)建的損壞標(biāo)記信息表。此外，對于上述第一至第三實施方式，示出了存在多個處理對象的多片拼接基板的候選項的情況下，按損壞標(biāo)記信息的時間戳(作為對各多片拼接基板的各單片基板的損壞標(biāo)記的識別結(jié)果，針對每個多片拼接基板創(chuàng)建的信息文件的創(chuàng)建時刻)早的順序進行處理對象的多片拼接基板的確定處理的例子，但本發(fā)明不限于此。對于本發(fā)明，也可以按上述以外的順序進行處理對象的多片拼接基板的確定處理。此外，在上述第二實施方式中，示出了多片拼接基板所具有的9個單片基板中的6個單片基板的損壞標(biāo)記的識別處理由印刷機進行，并且其余的3個單片基板的損壞標(biāo)記的識別處理由安裝機進行的例子，但本發(fā)明不限于此。對于本發(fā)明，也可以自由地設(shè)定由印刷 機進行損壞標(biāo)記的識別處理的單片基板的數(shù)量以及由安裝機進行損壞標(biāo)記的識別處理的單片基板的數(shù)量。此外，在上述的各實施方式中，是在損壞標(biāo)記信息的確定處理(步驟S3、S33)中，必定從損壞標(biāo)記信息表中選定某一個基板(工件標(biāo)識符)的例子，但是在損壞標(biāo)記信息的確定處理中，無需一定唯一地確定，在無法確定時也可以不確定。作為這樣的變形例，對圖14以下的結(jié)構(gòu)的進行說明。
參照圖14，對于該圖所示的變形例，在步驟S3與步驟S4之間插入有步驟S51、S52這點與圖7不同。在步驟S51中，在后述的損壞標(biāo)記信息的確定處理中，判定被施加的所有拍攝標(biāo)志的值，在該標(biāo)志的值為真(True)時，執(zhí)行步驟S52，對作為處理對象的多片拼接基板50的各單片基板50a進行拍攝,確定損壞標(biāo)記信息。即，在損壞標(biāo)記信息的確定處理中，在無法從損壞標(biāo)記信息表中確定作為處理對象的基板的信息的情況下，安裝機3自身通過拍攝確定損壞標(biāo)記信息。在執(zhí)行步驟S51的情況下，或在步驟S50中為否(NO)的情況下，與第一實施方式同樣執(zhí)行步驟S4至S6。接著，參照圖15，對在上述圖14的步驟S3中執(zhí)行的損壞標(biāo)記信息的確定處理的詳細內(nèi)容進行說明。另外，圖15的步驟Sll至S19的處理(確定處理對象的多片拼接基板50的處理)分別與上述圖7的步驟Sll至S19的處理相同，因此省略說明。此外，在步驟S18中，在上述步驟S16中選定的損壞標(biāo)記信息與在上述步驟S17中由基板識別攝像機13b所拍攝的單片基板50a的損壞標(biāo)記信息一致的情況下，執(zhí)行與上述圖7的步驟S20、S21相同的處理，因此省略說明。參照圖15，在本變形例所涉及的損壞標(biāo)記信息的確定處理中，在步驟S19的處理后，控制器19在步驟S301中判定未搜索的工件是否殘留在損壞標(biāo)記信息表60中。假設(shè)在未搜索的工件殘留在損壞標(biāo)記信息表60中的情況下，控制器19移至步驟S12，反復(fù)執(zhí)行步驟S12以下的處理。另一方面，在未搜索的工件未殘留在損壞標(biāo)記信息表60中的情況下，在步驟S302中，控制器19以對作為處理對象的所有多片拼接基板50的損壞標(biāo)記信息進行拍攝的方式，將設(shè)定在存儲部1%中的所有拍攝標(biāo)志設(shè)為真，并返回主例程。如上所述，在損壞標(biāo)記信息的確定處理中無法從損壞標(biāo)記信息表中確定作為處理對象的工件標(biāo)識符的情況下，只要通過安裝機自身確定損壞標(biāo)記信息即可，因此，與對所有的處理對象進行拍攝的情況相比，進一步提聞效率。而且，在各實施方式中，由安裝機的控制器執(zhí)行損壞標(biāo)記信息的確定處理，但是本發(fā)明不限于此，也可以采用以下結(jié)構(gòu)，即，將存儲過程(stored procedures)安裝在損壞標(biāo)記信息存儲服務(wù)器5中，由損壞標(biāo)記信息存儲服務(wù)器5執(zhí)行圖8、圖12、圖15中的工件的選定處理，安裝機僅接收選定結(jié)果，并與作為處理對象的多片拼接基板50進行對照。在這種情況下，因為無需發(fā)送/接收損壞標(biāo)記信息表本身，所以具有通信負荷減輕的優(yōu)點。此外，本發(fā)明的服務(wù)器不限定于物理的損壞標(biāo)記信息存儲服務(wù)器5，也可以是由連接于該損壞標(biāo)記信息存儲服務(wù)器5的印刷機、安裝機等構(gòu)成的分散系統(tǒng)。此外，勿庸置疑，能夠在本發(fā)明的技術(shù)方案的范圍內(nèi)進行各種變更。
權(quán)利要求
1.ー種基板處理裝置，其對分別具有多個副基板的多個基板中的每個基板進行指定的處理，其特征在于包括 攝像部，對處理對象的所述基板所具有的所述多個副基板中的每個副基板分別進行拍攝；以及 控制部，對所述攝像部的拍攝動作進行控制，其中， 所述控制部，基于表示是否在所述多個基板中的每個基板所具有的所述多個副基板中的每個副基板上附有不良標(biāo)記的不良標(biāo)記信息，通過控制所述多個副基板的拍攝順序以使所述攝像部按容易確定所述處理對象的基板是所述多個基板中的哪ー個基板的順序?qū)λ鎏幚韺ο蟮幕逅哂械乃龆鄠€副基板進行拍攝，來確定所述處理對象的基板是所述多個基板中的哪ー個基板，并確定所確定的所述處理對象的基板所具有的所述多個副基板的所述不良標(biāo)記信息。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的基板處理裝置，其特征在于 所述控制部，基于所述多個基板中的每個基板所具有的所述多個副基板的所述不良標(biāo)記信息中的、對應(yīng)的所述每個副基板的所述不良標(biāo)記信息組，通過控制所述多個副基板的拍攝順序以使所述攝像部按容易確定所述處理對象的基板是所述多個基板中的哪ー個基板的順序?qū)λ鎏幚韺ο蟮幕逅哂械乃龆鄠€副基板進行拍攝，來確定所述處理對象的基板是所述多個基板中的哪ー個基板，并確定所確定的所述處理對象的基板所具有的所述多個副基板的所述不良標(biāo)記信息。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板處理裝置，其特征在于 在所述多個基板的對應(yīng)的所述每個副基板的所述不良標(biāo)記信息組中，在所述多個基板中的每個基板所具有的所述多個副基板中的所述對應(yīng)的所有副基板上均附有不良標(biāo)記的情況下、或者所述對應(yīng)的所有副基板均未附有不良標(biāo)記的情況下，所述控制部，控制所述攝像部的拍攝動作，將所述處理對象的基板所具有的所述多個副基板中的所述對應(yīng)的副基板從所述攝像部的拍攝對象中排除。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的基板處理裝置，其特征在于 所述控制部，控制所述攝像部的拍攝動作，以使所述攝像部在所述多個基板的對應(yīng)的所述每個副基板的所述不良標(biāo)記信息組中，從在所述多個基板中的每個基板所具有的所述多個副基板中的所述對應(yīng)的副基板中的、同附有所述不良標(biāo)記的副基板的數(shù)量與未附有所述不良標(biāo)記的副基板的數(shù)量相差較大的副基板對應(yīng)的所述副基板開始，依次對所述處理對象的基板所具有的所述多個副基板中的每個副基板進行拍攝。
5.根據(jù)權(quán)利要求I至4中任一項所述的基板處理裝置，其特征在于 所述控制部，在所述多個基板中存在所述處理對象的基板的多個候選項的情況下，優(yōu)先確定所述處理對象的基板的多個候選項中的所述不良標(biāo)記信息最早的所述基板。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的基板處理裝置，其特征在干 所述控制部，在由所述處理對象的基板的所述攝像部所拍攝的副基板的所述不良標(biāo)記信息同確定為所述處理對象的基板的候選項的所述基板的與所述處理對象的基板的所述攝像部所拍攝的副基板相對應(yīng)的副基板的所述不良標(biāo)記信息不一致的情況下，將確定為所述處理對象的基板的候選項的所述基板從所述處理對象的基板的候選項中排除。
7.根據(jù)權(quán)利要求I至4中任一項所述的基板處理裝置，其特征在于所述控制部，對多個基板獲取數(shù)據(jù)集，該數(shù)據(jù)集包括唯一地識別所述基板的エ件標(biāo)識符、針對每ー個エ件標(biāo)識符確定所述副基板的坐標(biāo)的塊地址、以及所述已確定的所述每個副基板的所述不良標(biāo)記信息；將所述數(shù)據(jù)集所包含的多個不良標(biāo)記信息按照該每個塊地址進行作為組的分組； 針對所述姆個組，選定能夠唯一地確定該數(shù)據(jù)集所包含的エ件標(biāo)識符的不良標(biāo)記信息；以及 讓所述攝像部對與所選定的不良標(biāo)記信息對應(yīng)的塊地址的副基板進行拍攝，對照該不良標(biāo)記信息與從所述數(shù)據(jù)集中確定的不良標(biāo)記信息， 反復(fù)執(zhí)行所述選定和對照動作直到所拍攝的副基板的不良標(biāo)記信息與從數(shù)據(jù)集中確定的不良標(biāo)記信息一致為止，并從所述數(shù)據(jù)集中確定與作為處理對象的基板一致的エ件標(biāo)識符。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的基板處理裝置，其特征在干 所述控制部在每次確定所述エ件標(biāo)識符時，從所述數(shù)據(jù)集中排除所選定的所述エ件標(biāo)識符所涉及的不良標(biāo)記信息并更新所述組。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的基板處理裝置，其特征在于 所述控制部，在檢測出多個不良標(biāo)記信息的情況下，優(yōu)先選定該不良標(biāo)記信息中的最早的不良標(biāo)記信息。
10.一種基板處理系統(tǒng),其特征在于包括 第I基板處理裝置，對分別具有多個副基板的多個基板中的每個基板進行指定的處理； 第2基板處理裝置，對所述第I基板處理裝置處理過的多個所述基板中的每個基板進行后續(xù)的指定的處理； 服務(wù)器，存儲表示是否在所述多個基板中的每個基板所具有的所述多個副基板中的每個副基板上附有不良標(biāo)記的不良標(biāo)記信息； 通信単元，對所述不良標(biāo)記信息進行通信以便所述第I基板處理裝置和所述第2基板處理裝置能夠共享所述不良標(biāo)記信息；以及 攝像部，對處理對象的所述基板所具有的所述多個副基板中的每個副基板進行拍攝，其中， 所述第2基板處理裝置和所述服務(wù)器中的任一者，基于所述不良標(biāo)記信息，通過控制所述多個副基板的拍攝順序以使所述攝像部按容易確定所述處理對象的基板是所述多個基板中的哪ー個基板的順序?qū)λ鎏幚韺ο蟮幕逅哂械乃龆鄠€副基板進行拍攝，來確定所述處理對象的基板是所述多個基板中的哪ー個基板，并確定所確定的所述處理對象的基板所具有的所述多個副基板的所述不良標(biāo)記信息。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的基板處理系統(tǒng)，其特征在于 所述第I基板處理裝置，通過對作為處理對象的多個所述基板的各副基板進行拍攝，將預(yù)先附于各副基板的指定位置的不良標(biāo)記的識別結(jié)果創(chuàng)建為該每個基板的信息文件，并向所述服務(wù)器發(fā)送所創(chuàng)建的信息文件。
全文摘要
本發(fā)明提供一種基板處理裝置以及基板處理系統(tǒng)。該安裝機(10)(基板處理裝置)抑制對處理對象的基板執(zhí)行指定的處理所需的合計時間增加，并且無需設(shè)置專用的設(shè)備就確定處理對象的基板所具有的多個副基板中的每個副基板的不良標(biāo)記信息。該安裝機(10)包括基板識別攝像機(13b)和控制器(19)，控制器(19)基于表示是否對單片基板(50a)附有損壞標(biāo)記(BM)的損壞標(biāo)記信息，以使基板識別攝像機(13b)按容易確定處理對象的多片拼接基板(50)的順序?qū)纹?50a)進行拍攝的方式來控制拍攝順序，由此確定處理對象的多片拼接基板(50)，并且確定所確定的處理對象的多片拼接基板(50)的損壞標(biāo)記信息。
文檔編號H01L21/66GK102629562SQ20121000173
公開日2012年8月8日 申請日期2012年1月5日 優(yōu)先權(quán)日2011年2月2日
發(fā)明者小林寬, 西城洋志 申請人:雅馬哈發(fā)動機株式會社