專利名稱：一種led刻蝕機(jī)用托盤的加工工藝的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體設(shè)備中刻蝕技術(shù)和精密機(jī)械加工領(lǐng)域，特別涉及一種LED刻蝕機(jī)用托盤的加工工藝。
背景技術(shù)：
LED刻蝕機(jī)用托盤是LED刻蝕機(jī)核心部件之一，用來裝載藍(lán)寶石基片或者GaN外延片。是藍(lán)寶石基片從大氣環(huán)境傳輸進(jìn)入真空反應(yīng)室的載體，隨同藍(lán)寶石基片共同參與藍(lán)寶石基片的刻蝕反應(yīng)。在反應(yīng)的同時(shí)帶走藍(lán)寶石基片反應(yīng)時(shí)產(chǎn)生的大量的熱，同時(shí)負(fù)責(zé)將冷卻用He氣分配到每一個(gè)轉(zhuǎn)載的藍(lán)寶石基片上。并負(fù)責(zé)將下電極射頻源引入。通過此托盤可實(shí)現(xiàn)單機(jī)多片工作(單臺(tái)LED刻蝕機(jī)可通過托盤同時(shí)裝載20片以上藍(lán)寶石基片)?；谄涔ぷ髟砗褪褂靡鈭D，LED刻蝕機(jī)用托盤在設(shè)計(jì)上具有厚度薄、面積大的外形特征和嚴(yán)苛的平面度和平行度等形位公差的要求。這此因素的存在讓LED刻蝕機(jī)用托盤的加工難度大大增加。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供解決LED刻蝕機(jī)用托盤加工時(shí)平面度和平行度等形位公差難保證的問題的一種LED刻蝕機(jī)用托盤的加工工藝。

本發(fā)明的目的是以如下方式實(shí)現(xiàn)的:一種LED刻蝕機(jī)用托盤的加工工藝，包括以下步驟:
A、設(shè)計(jì)并加工真空夾具的底盤及相配套的吸附零件的吸盤，并加工出氣體流通的溝槽、用于定位的銷孔、固定吸盤的螺栓孔和用于連接真空泵的氣管接口 ；
B、機(jī)械加工LED刻蝕機(jī)用托盤工作面，在加工中心上加工出材料的一個(gè)面，保證其平面度達(dá)到要求，把加工出的材料一個(gè)面和加工中心的工作臺(tái)板用厚度均勻的雙面膠連接并固定，運(yùn)行程序加工出LED刻蝕機(jī)用托盤的工作面；
C、利用真空夾具加工LED刻蝕機(jī)用托盤安裝面，將真空夾具固定在加工中心工作臺(tái)板上，用通氣管將真空夾具與真空泵連接，用材料上的銷孔定位，開啟真空泵，利用空氣吸力吸附材料在真空夾具上，運(yùn)行程序加工材料安裝面所有特征；
D、對(duì)工件的表面進(jìn)行本色陽極氧化或硬質(zhì)陽極氧化處理。更進(jìn)一步的說，所述步驟A中，所述底盤上設(shè)有連接孔與真空泵用通氣管相通，吸附力通過通氣槽進(jìn)行分布，所述吸盤上的通氣孔通過底盤上的通氣槽與吸盤(2)上的吸附槽連接。更進(jìn)一步的說，所述步驟B中，所述托盤(3)的基準(zhǔn)面平面度為0.05，平行度為0.05。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn):在機(jī)械加工過程中因加工材料本身存在或加工過程中刀具的切削產(chǎn)生的應(yīng)力都工件成形和某些形位公差產(chǎn)生不可預(yù)測(cè)的影響。固定材料時(shí)使用厚度均勻的雙面膠粘貼的方法避免了通常情況下壓板固定零件產(chǎn)生壓力不均勻的缺點(diǎn)。并且通過雙面膠粘貼不完全固定的特點(diǎn)，可以允許工作在加工過程中自由變形，釋放刀具切削產(chǎn)生的應(yīng)力。同時(shí)真空夾具的使用有效維持工作的平面度并可以保證加工完成后工作上下兩表面的平行度。


為了使本發(fā)明的內(nèi)容更容易被清楚地理解，下面根據(jù)具體實(shí)施例并結(jié)合附圖，對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)的說明，其中
附圖是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
:
見附圖，一種LED刻蝕機(jī)用托盤的加工工藝，包括以下步驟:A、設(shè)計(jì)并加工真空夾具的底盤I及相配套的吸附零件的吸盤2，并加工出氣體流通的溝槽、用于定位的銷孔、固定吸盤的螺栓孔和用于連接真空泵的氣管接口 ； B、機(jī)械加工LED刻蝕機(jī)用托盤3工作面，在加工中心上加工出材料的一個(gè)面，保證其平面度達(dá)到要求，把加工出的材料一個(gè)面和加工中心的工作臺(tái)板用厚度均勻的雙面膠連接并固定，運(yùn)行程序加工出LED刻蝕機(jī)用托盤的工作面；C、利用真空夾具加工LED刻蝕機(jī)用托盤3安裝面，將真空夾具固定在加工中心工作臺(tái)板上，用通氣管將真空夾具與真空泵連接，用材料上的銷孔定位，開啟真空泵，利用空氣吸力吸附材料在真空夾具上，運(yùn)行程序加工材料安裝面所有特征；
D、對(duì)工件的表面進(jìn)行本色陽極氧化或硬質(zhì)陽極氧化處理。所述步驟A中，所述底盤上設(shè)有連接孔1-1與真空泵用通氣管相通，吸附力通過通氣槽1-2進(jìn)行分布，所述吸盤上的通氣孔2-1通過底盤上的通氣槽1-2與吸盤2上的吸附槽4連接。所述步驟B中，所述托盤3的基準(zhǔn)面平面度為0.05，平行度為0.05
以上所述的具體實(shí)施例，對(duì)本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和有益效果進(jìn)行了進(jìn)一步詳細(xì)說明，所應(yīng)理解的是，以上所述僅為本發(fā)明的具體實(shí)施例而已，并不用于限制本發(fā)明，凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所做的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種LED刻蝕機(jī)用托盤的加工工藝，包括以下步驟: A、設(shè)計(jì)并加工真空夾具的底盤(I)及相配套的吸附零件的吸盤(2)，并加工出氣體流通的溝槽、用于定位的銷孔、固定吸盤的螺栓孔和用于連接真空泵的氣管接口 ； B、機(jī)械加工LED刻蝕機(jī)用托盤(3)工作面，在加工中心上加工出材料的一個(gè)面，保證其平面度達(dá)到要求，把加工出的材料一個(gè)面和加工中心的工作臺(tái)板用厚度均勻的雙面膠連接并固定，運(yùn)行程序加工出LED刻蝕機(jī)用托盤的工作面； C、利用真空夾具加工LED刻蝕機(jī)用托盤(3)安裝面，將真空夾具固定在加工中心工作臺(tái)板上，用通氣管將真空夾具與真空泵連接，用材料上的銷孔定位，開啟真空泵，利用空氣吸力吸附材料在真空夾具上，運(yùn)行程序加工材料安裝面所有特征； D、對(duì)工件的表面進(jìn)行本色陽極氧化或硬質(zhì)陽極氧化處理。
2.根據(jù)權(quán)利要求1中所述的一種LED刻蝕機(jī)用托盤的加工工藝，其特征在于:所述步驟A中，所述底盤上設(shè)有連接孔(1-1)與真空泵用通氣管相通，吸附力通過通氣槽(1-2)進(jìn)行分布，所述吸盤上的通氣孔(2-1)通過底盤上的通氣槽(1-2)與吸盤(2)上的吸附槽(4)連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1中所述的一種LED刻蝕機(jī)用托盤的加工工藝，其特征在于:所述步驟B中，所述托盤(3)的基準(zhǔn)面平面度為0.05，平行度為0.05。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種LED刻蝕機(jī)用托盤的加工工藝，包括以下步驟A、設(shè)計(jì)并加工真空夾具的底盤(1)及相配套的吸附零件的吸盤(2)，并加工出氣體流通的溝槽、用于定位的銷孔、固定吸盤的螺栓孔和用于連接真空泵的氣管接口；B、機(jī)械加工LED刻蝕機(jī)用托盤(3)工作面，在加工中心上加工出材料的一個(gè)面，保證其平面度達(dá)到要求，把加工出的材料一個(gè)面和加工中心的工作臺(tái)板用厚度均勻的雙面膠連接并固定，運(yùn)行程序加工出LED刻蝕機(jī)用托盤的工作面。固定材料時(shí)使用厚度均勻的雙面膠粘貼的方法避免了通常情況下壓板固定零件產(chǎn)生壓力不均勻的缺點(diǎn)。
文檔編號(hào)H01L21/673GK103208445SQ20121001300
公開日2013年7月17日 申請(qǐng)日期2012年1月17日 優(yōu)先權(quán)日2012年1月17日
發(fā)明者游利 申請(qǐng)人:游利