專利名稱：除電裝置及方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及通過由電暈放電生成的離子化空氣將通過靜電而帶電的對象物除電的除電裝置及方法
背景技術(shù)：
在進行半導(dǎo)體基板等電子部件的制造及組裝時，如果使電子部件或用于對其進行處理的器件等帶靜電，則有時灰塵等異物附著于電子部件上，或因放電而將電子部件內(nèi)的電路破壞。為防止該情況，目前正在使用通過對由靜電帶電的對象物吹附離子化空氣而將對象物除電的稱作“靜電除電器”的除電裝置(參照專利文獻I 4)。為生成離子化空氣，通常利用直流或交流的電暈放電。通過電暈放電生成的離子化空氣通常通過壓縮空氣或風(fēng)扇朝向?qū)ο笪锎蹈健Ｗ鳛槔媒涣鞯碾姇灧烹姷某娧b置，如專利文獻3、4所示。這些文獻中公開有如下的技術(shù)防止由交流的電暈放電產(chǎn)生的離子的平衡失衡(disparity)，防止不能將被除電體(對象物)完全除電而帶電為負(fù)或正的電位。例如，專利文獻3的圖4中表示了在交流電暈放電電極與接地的板電極上的被除電體之間設(shè)有格子狀的柵電極的構(gòu)成。柵電極經(jīng)由ニ極管和電阻而接地。另外，專利文獻4中公開有根據(jù)帶電體(對象物)的帶電電位而可變地控制與放電電極對置的接地電極和接地電位之間的電阻值。專利文獻I JP特開2007-287368號公報專利文獻2 JP特開2006-196380號公報專利文獻3 JP特開昭52-30440號公報專利文獻4 JP特開平04-206378號公報在直流型的電暈放電型除電裝置中，輸送離子量的調(diào)整通常通過對放電電極施加的施加電壓進行。也就是說，對放電電極施加的施加電壓越高則輸送離子量越多。在此所述的“直流型”，不僅包含作為電源電壓使用恒定的正或負(fù)的電壓的情況，而且還包含使交流電壓向正側(cè)或負(fù)側(cè)移動、即對交流電壓賦予直流偏壓，從而使正或負(fù)的一方的離子占優(yōu)的情況。在此，例如使對象物帶正電。該情況下，對放電電極施加負(fù)的電壓。在除電開始時，帶正電的對象物和施加了負(fù)的電壓的放電電極的電位差大，能夠向?qū)ο笪镙斔痛罅康碾x子。但是，如果將對象物進行某程度的除電而使其電位變低，則對象物的周圍的電場弱，離子向?qū)ο笪镆苿拥磨珳p弱。如果離子移動的カ減弱，則除電耗費時間。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于，解決這種課題，提供能夠縮短除電所需的時間的除電裝置及方法。根據(jù)本發(fā)明第一方面，提供一種除電裝置，將帶電的對象物的靜電除去，其特征在于，具備放電電極，其通過放電而生成與對象物相反極性的離子化空氣，輔助電極，其具有使由放電電極生成的離子化空氣通過的孔，以及電場形成機構(gòu)，其在輔助電極和對象物之間的空間形成電場；在開始除電時，電場形成機構(gòu)使輔助電極產(chǎn)生與對象物相反極性的電位而產(chǎn)生電場，在對象物的電位的絕對值成為規(guī)定的值以下時，使輔助電極的電位比除電開始時小而減小電場。
電場形成機構(gòu)可以具有使輔助電極和接地電位之間的電阻值變化而使輔助電極的電位變化的電阻值可變機構(gòu)。電阻值可變機構(gòu)具有電阻器和開關(guān)，在除電開始時，該開關(guān)經(jīng)由電阻器而將輔助電極與接地電極連接，在除電結(jié)束時，該開關(guān)不經(jīng)由電阻器而將輔助電極與接地電位連接。作為輔助電極，可以使用至少一部分形成為網(wǎng)狀的電極?？梢跃邆錅y定對象物的電位的電位傳感器，并利用該電位傳感器檢測對象物的電位成為規(guī)定的值的時刻。另外，在由放電電極生成的離子化空氣所產(chǎn)生的對象物的電位的時間變化特性已知的情況下，也可以通過除電開始后的時間來判定對象物的電位成為規(guī)定的值的時刻。根據(jù)本發(fā)明第二方面，提供一種除電方法，由來自放電電極的放電生成與所帶電的對象物相反極性的離子化空氣，使用所生成的離子化空氣從對象物除去靜電，其特征在于，在放電電極和對象物之間配置具有使離子化空氣通過的孔的輔助電極，在開始除電時，使輔助電極產(chǎn)生與對象物相反極性的電位而產(chǎn)生電場，在對象物的電位的絕對值成為規(guī)定的值以下時，使輔助電極的電位比除電開始時小而減小電場。根據(jù)本發(fā)明，在直流型的電暈放電型除電裝置及方法中，能夠縮短除電所需的時間。


圖I是說明本發(fā)明的實施方式的除電裝置的構(gòu)成例的圖；圖2是表示輔助電極的構(gòu)成例的圖；圖3是表示除電裝置的除電性能的例子的圖；圖4是表示測定除電裝置的除電性能的評價裝置的構(gòu)成例的圖；圖5是說明用于縮短除電時間的原理的圖；圖6是說明輔助電極的極性為與對象物相反極性的理由的圖；圖7是表示相對于電阻器的值的除電性能的測定結(jié)果的圖；圖8表示說明空間電場控制處理的流程圖；圖9是說明空間電場控制下的除電性能的圖；圖10是說明放電電極的變形例的圖。符號說明T對象物10除電裝置11高壓電源12、12-1、12_2、31 放電電極13、32輔助電極14電位傳感器
15開關(guān)(電場形成機構(gòu)的一部分)16、33電阻器(電場形成機構(gòu)的一部分)17接地線(電場形成機構(gòu)的一部分)18控制裝置(電場形成機構(gòu)的一部分)21、22 金屬板23、24 絕緣體25高壓電源26表面電位計27顯示裝置
具體實施例方式下面，參照附圖對本發(fā)明的實施方式進行說明。[實施方式]圖I是說明本發(fā)明實施方式的除電裝置10的構(gòu)成例的圖。該除電裝置10是通過生成與由于靜電而帶電的對象物T相反極性的離子化空氣并將該離子化空氣向?qū)ο笪颰輸送，而將對象物T除電的直流型的電暈放電型除電裝置，構(gòu)成為具有高壓電源11、放電電極
12、輔助電極13、電位傳感器14、開關(guān)15、電阻器16、接地線17及控制裝置18。為進行電暈放電，需要與放電電極12對置的接地電極。作為這樣的接地電極，可以兼用輔助電極13，也可以與輔助電極13分體設(shè)置。例如，可以以包圍從放電電極12向輔助電極13的線的方式設(shè)置接地電極。另外，也可以使與輔助電極13分體設(shè)置的電極和輔助電極13均作為用于進行電暈放電的接地電極來進行動作。另外，構(gòu)成除電裝置10的這些各部被適當(dāng)配置在與使用該除電裝置10的狀況相對應(yīng)的規(guī)定位置上。高壓電源11將與對象物T的電位相反極性的直流電壓供給放電電極12。放電電極12在與上述的接地電極之間進行電暈放電，生成與對象物T相反極性的離子化空氣。所生成的離子化空氣由于具有與放電電極12相同的極性,所以與放電電極12排斥，向輔助電極13的方向移動。到達了輔助電極13附近的離子化空氣，一部分通過輔助電極13的孔向相反側(cè)移動，剰余的一部分被輔助電極13捕捉而作為電流流動。如后所述，因該電流而在輔助電極13上產(chǎn)生電位，利用在輔助電極13的電位和對象物T的電位之間形成的電場的力，離子化空氣被加速，到達對象物T。輔助電極13具有使由放電電極12生成的離子化空氣通過的孔，在放電電極12和對象物T之間與對象物T相對配置。電位傳感器14測定對象物T的電位和極性。開關(guān)15根據(jù)控制裝置18的控制，將輔助電極13經(jīng)由電阻器16或接地線17而接地?？刂蒲b置18執(zhí)行使放電從放電電極12開始或停止的控制、或者后述的空間電場控制處理。電位傳感器14、開關(guān)15、電阻器16、接地線17及控制裝置18構(gòu)成形成輔助電極13和對象物T之間的空間的電場的電場形成機構(gòu)。在開始除電時，通過將輔助電極13經(jīng)由電阻器16而接地，使輔助電極13產(chǎn)生與對象物T相反極性的電位而在輔助電極13和對象物T之間產(chǎn)生電場。另外，在通過電位傳感器14測定的對象物T的電位的絕對值達到規(guī)定的、值以下時，通過將輔助電極13經(jīng)由接地線17而接地，使得輔助電極13的電位比除電開始時小，從而減小輔助電極13和對象物T之間的電場。[輔助電極13的構(gòu)成例]圖2是表示輔助電極13的構(gòu)成例的圖。作為輔助電極13，可以使用至少其一部分形成為網(wǎng)狀的電極。作為這樣的電極的例子，在圖2中表示了將線狀的導(dǎo)體進行編織的金屬絲網(wǎng)(圖2(A))、將板材機械加工成網(wǎng)眼(菱形)狀的膨脹合金(圖2(B))、以及將導(dǎo)體板進行了沖切加工的穿孔金屬板(圖2(C))。在圖2中表示了整體呈網(wǎng)狀的電極的例子，但是，這表示輔助電極13中的網(wǎng)狀的部分，而并不是指輔助電極13的整體為網(wǎng)狀。作為電極材料通常為金屬，但也可以使用導(dǎo)電性的樹脂等。通過將這種形成為網(wǎng)狀的電極作為輔助電極13的至少一部分而使用，能夠使離子化空氣通過，并且在與對象物T之間產(chǎn)生電場。[除電裝置的性能評價]在此，在對圖I所示的實施方式的除電裝置10的動作進行說明之前，對除電裝置的性能評價進行說明。通常，除電裝置的除電性能通過對象物的帶電電壓從+ 1000V至+100V或從-1000V至-100V的衰減時間(也稱作“除電時間”)和達到離子平衡而使對象物的帶電電位成為恒定的最終電位(將此時的電壓稱為“偏移電壓”)來表示。衰減時間越短且偏移電壓越接近0V,則作為除電裝置的性能越優(yōu)異。定義衰減時間的+100V或-100V這樣的值，為通常用途的簡單的指標(biāo)，根據(jù)用途有時要求快速除電至比其小的值。圖3是表示除電裝置的除電性能的例子的圖。在該情況下，衰減時間為Vt1，偏移電壓為Utl [V]。除電性能的測定例如通過圖4中表示其構(gòu)成例的被稱作CPM(Charged PlateMonitor、帶電平板監(jiān)測儀)的評價裝置來進行。該評價裝置具備平行的金屬板21、22、絕緣體23、24、高壓電源25、表面電位計26及顯示裝置27。金屬板21對對象物T進行模擬。金屬板21的至少與金屬板22相反側(cè)的面露出于外部，其以外的部分收納于未圖示的筐體內(nèi)。來自未圖示的除電裝置的離子化空氣與金屬板21的露出的面接觸。表面電位計26的傳感器部被配置于能夠測定金屬板21的表面電位的位置。金屬板21、22被圖4中作為絕緣體23、24而表示的ー個以上的絕緣體保持為平行。金屬板21、22使用150mmX150mm、電容20pF±2pF的金屬板。這些尺寸及電容是模擬了 8英寸晶片而得的數(shù)據(jù)。金屬板21在浮起的狀態(tài)下使用，金屬板22接地。在評價除電裝置的性能時，從高壓電源25向金屬板21和22之間施加正或負(fù)的1000V以上的電壓，使金屬板21帶電。之后，將金屬板21設(shè)為漂浮狀態(tài)，從除電裝置向金屬板21輸送相反極性的離子化空氣,將金屬板21除電。此時,金屬板21的電位由表面電位計26以非接觸方式進行測定。測定結(jié)果例如在顯示裝置27上作為時系列的圖表進行表示。圖3相當(dāng)于在顯示裝置27上顯示的測定結(jié)果的例子。[除電時間的縮短] 圖5是說明用于縮短除電時間的本發(fā)明的原理的圖。放電電極31通過電暈放電而生成離子化空氣。輔助電極32具有使由放電電極31生成的離子化空氣通過的孔，在放電電極31和對象物T之間與對象物T相對地配置。通過了孔的離子化空氣由輔助電極32與對象物T之間的電場輸送。
假設(shè)如圖5 (A)所示使對象物T帶電1000V且輔助電極32接地的情況、和如圖5⑶所示使對象物T帶電1000V且輔助電極32的電位達到與對象物T相反極性的-300V的情況。在設(shè)離子化空氣的流速為Vtl、移動度為U、電場為E的情況下，離子向?qū)ο笪颰的輸送速度V由下式表示。V = V0+ u E另ー方面，在對象物T和輔助電極32為間隔d的平行平板時，對象物T與輔助電極32之間的電場E和對象物T與輔助電極32之間的電壓V存在下式所示的關(guān)系。 V = Ed因此，使對象物T帶電1000V且使輔助電極32接地的情況下的電場E，為E =
1000/do另ー方面，輔助電極32的電位為-300V時的電場E為E = 1300/d。S卩，在放電電極31和對象物T之間設(shè)置輔助電極32，使輔助電極32的極性為與對象物T相反的極性，由此輔助電極32和對象物T的空間的電場増大，從而能夠加快離子向?qū)ο笪颰的輸送速度V。由于通過使輸送速度V加快而使得離子在更短的時間到達對象物T,因此,除電時間縮短。圖6是說明輔助電極32的極性成為與對象物T相反極性的理由的圖。在該例中，輔助電極32經(jīng)由電阻器33而接地。來自放電電極31的離子的一部分流向輔助電極32并經(jīng)由電阻器33流向接地電位。將該電流設(shè)為I。此時，在輔助電極32上產(chǎn)生成為V = RI的電壓。即，通過從放電電極31生成與對象物T相反極性的離子并將輔助電極32經(jīng)由電阻器33而接地，能夠?qū)⑤o助電極32的電位設(shè)為與對象物T相反的極性(與放電電極31同極性)。另外，生成的離子化空氣具有與放電電極31相同的極性，因此與放電電極31排斥。另外，離子化空氣彼此間也排斥。由于這些的斥力大，因此，即使輔助電極32如上述那樣成為與離子化空氣相同的極性，離子化空氣也朝向輔助電極32流動。未被輔助電極32捕捉而通過了孔的離子化空氣，受到來自輔助電極32和對象物T之間的電場的カ而到達對象物T。輔助電極32的電位也可以在輔助電極32上連接電源而設(shè)定。但是，另外需要用于此的電源，成本升高。通過將輔助電極32經(jīng)由電阻器33而接地，能夠在輔助電極32和對象物T之間以低成本產(chǎn)生電場。[將輔助電極經(jīng)由電阻而接地的情況下的評價]圖7是表示將圖6所示的電阻器33的值設(shè)為IGQ或100MQ的情況和不經(jīng)由電阻器33而接地的情況下的除電性能的測定結(jié)果的圖。曲線LI表示電阻器33的電阻值為IGQ的情況下的除電性能，曲線L2表示電阻器33的電阻值為100MQ的情況下的除電性能，曲線L3表示不經(jīng)由電阻器33而接地的情況(即，輔助電極32和接地電位之間的電阻值為約OQ的情況)下的除電性能。圖7所示的測定結(jié)果是通過圖4所示的評價裝置進行測定而得到的。對于經(jīng)由電阻器33而接地的情況，將圖4所示的評價裝置的金屬板21設(shè)定在相當(dāng)于圖6的例子所示的對象物T的位置，使金屬板21帶電為-1000V以上的負(fù)電壓，通過放電電極31產(chǎn)生正的離子化空氣。所產(chǎn)生的離子化空氣通過 輔助電極32和金屬板21之間的電場輸送。對于不經(jīng)由電阻器33而直接接地的情況(OQ的情況)，基本上與經(jīng)由電阻器33而接地的情況相同地測定，但輔助電極32經(jīng)由未圖示的接地線直接接地。在圖7中，縱軸表示金屬板21的電位，橫軸表不時間。根據(jù)圖7所示的測定結(jié)果可知，相比于將輔助電極32直接接地的情況下的(即，輔助電極32和接地電位之間的電阻值為約OQ的情況下的)除電時間，經(jīng)由100MQ或IGQ的電阻器33將輔助電極32接地的情況(曲線L1、L2)下的除電時間短。另外，在將電阻器33的電阻值設(shè)為IGQ的情況下，相比于將電阻器33的電阻值設(shè)為100MQ的情況，除電剛剛開始之后的除電的趨勢減緩。這認(rèn)為是由于輔助電極32的電壓變高，放電電極31上的離子的產(chǎn)生量減少。另ー方面，根據(jù)圖7所示的測定結(jié)果可知，在將輔助電極32經(jīng)由電阻器33而接地的情況下，相比于不經(jīng)由電阻器33而直接接地的情況，對象物T的偏移電壓成為相反極性。這是由于，在對象物T的電位達到大致OV后，也因電流I而在輔助電極32產(chǎn)生電位，通過基于其電位差的電場來將離子向?qū)ο笪颰輸送。在此，雖然由衰減時間定義的除電時間縮短，但之后對象物T帶電為相反極性，不能縮短實際至完成除電的時間。為解決該問題，圖I所示的除電裝置10在對象物T的電位高時，將輔助電極13的電位保持為高，増加所輸送的離子的量，使通過衰減時間定義的除電時間縮短，在對象物T的電位的絕對值成為某程度以下后，減小輔助電極13的電位，抑制所輸送的離子的量，進行減小偏移電壓的處理(將其稱作“空間電場控制處理”)。[除電裝置31的動作]圖8是說明除電裝置10的空間電場控制處理的流程圖。在對除電裝置10加入電源時，在步驟SI中，控制裝置18使電位傳感器14啟動，開始對象物T的電位的測定，取得其測定結(jié)果(對象物T的電位)。在此，對象物T的電位為1000V以上(正的值)。其次，在步驟S2中，控制裝置18將開關(guān)15連接于電阻器16側(cè)(在初期狀態(tài)下開關(guān)15連接于電阻器16側(cè)的情況下，維持其狀態(tài))，使輔助電極13經(jīng)由電阻器16而接地(在輔助電極13和接地電位之間連接電阻)。其次，在步驟S3中，控制裝置18啟動高壓電源11，調(diào)整其輸出電壓和極性。由此，高壓電源11將用于進行電暈放電的直流電壓以與對象物T的帶電電位相反的極性向放電電極12供給。放電電極12進行電暈放電，生成與對象物T相反極性(該例子的情況為負(fù))的尚子化空氣。與參照圖6說明的相同，在輔助電極13 (圖6中為輔助電極32)上產(chǎn)生與對象物T相反極性的電位，其中，該與對象物T相反極性的電位由從輔助電極13經(jīng)由電阻器16(圖6中為電阻器33)流向接地電位的電流值和電阻器16的電阻值之積表示。例如，到達輔助電極13的離子電流的90% 98%左右被輔助電極13捕捉并經(jīng)由電阻器16流向接地電位，離子電流的10% 2%通過輔助電極13的孔而向相反側(cè)移動并流向?qū)ο笪颰。另外，來自放電電極12的負(fù)離子產(chǎn)生的電流為-Iu A。在該情況下，在電阻器16的電阻值為100MQ時，在輔助電極13上產(chǎn)生-90 -98V的電壓。這樣，在輔助電極13上產(chǎn)生與對象物T相反極性的規(guī)定的電位時，通過輔助電極13和對象物T的空間的電場的力，將所生成的離子化空氣向?qū)ο笪颰輸送，開始除電。當(dāng)這樣開始除電時，在步驟S4中，控制裝置18判定是否除去了對象物T所帶的靜電，重復(fù)該判定處理直到判定為除去。該判定處理，例如通過根據(jù)電位傳感器14的測定結(jié)果來判定對象物T的帶電電位是否達到OV或OV附近的規(guī)定的電壓而進行。在判定為除去了對象物T的靜電時，控制裝置18在步驟S5將開關(guān)15連接于接地線17側(cè)，將輔助電極13不經(jīng)由電阻器16而直接接地。之后，結(jié)束處理。如上進行空間電場控制處理。[實施方式的效果]圖9是說明上述的空間電場控制下的除電性能的圖。實線所示的曲線L 1、L2、L3與圖7所示的相同。虛線所示的曲線Lll表示基于空間電場控制處理已除電時的除電性能。 在該例子中，在時刻tn，將開關(guān)15從電阻器16切換為接地線17側(cè)。即，在開始除電時，使輔助電極13產(chǎn)生與對象物T相反極性的電位(步驟S2、S3)，使輔助電極13和對象物T之間產(chǎn)生大的電場。由此，離子以更快的輸送速度到達對象物T，因此能夠縮短衰減時間。另外，在對象物T的電位除電至規(guī)定的值、例如OV附近時(圖9的例子中為時刻tn)，將開關(guān)15連接于接地線17側(cè)，將輔助電極13不經(jīng)由電阻器16而直接接地(步驟S5)，將輔助電極13的電位設(shè)為0 (零)V。由此，能夠減小輔助電極13和對象物T之間的電場，抑制了向?qū)ο笪颰輸送的離子的量，從而能夠使離子平衡在OV附近穩(wěn)定。另外，為將由電暈放電生成的離子化空氣向?qū)ο笪颰吹附，在公知技術(shù)中使用由壓縮空氣或風(fēng)扇生成的風(fēng)。相對于此，在上述的實施方式中，設(shè)置輔助電極13并經(jīng)由電阻器16而接地，由此在輔助電極13和對象物T之間產(chǎn)生空間電場，因此，即使沒有壓縮空氣或風(fēng)扇也能夠產(chǎn)生離子流，能夠?qū)ο笪颰除電。[兩極性的離子產(chǎn)生]圖10是說明放電電極的變形例的圖。在上述的實施方式中，以放電電極為一個(放電電極12或31)的情況為例進行了說明，但如圖10所示，也可以使用極性相反的兩個放電電極12-1、12-2。即，放電電極12-1為用于僅產(chǎn)生正離子的電極，放電電極12-2為僅產(chǎn)生負(fù)離子的電極。電壓向放電電極12-1、12-2的施加既可以由不同的高壓電源進行，也可以切換與共用的高壓電源的連接來進行。另外，也可以同時向放電電極12-1、12-2施加相反極性的電壓。也能夠通過調(diào)整同時向放電電極12-1、12-2施加的電壓，來調(diào)整所產(chǎn)生的離子的平衡。[變形例]如上所述，配置于放電電極12和對象物T之間的輔助電極13通過開關(guān)15且經(jīng)由電阻器16而接地，或通過接地線17直接接地，但只要為能夠可變地設(shè)定輔助電極13和接地電位的電阻值的構(gòu)造，則可以是任意的結(jié)構(gòu)。例如，也可以使用可變電阻器來代替開關(guān)15、電阻器16。另外，也可以為將輔助電極13與電阻器16常時連接，開關(guān)15作為相對于電阻器16的迂回路而將輔助電極13和接地線17連接的構(gòu)成。如果與電阻器16的電阻值相比小，則也可以在輔助電極13和開關(guān)15之間或接地線17上有電阻。另外，在以上的情況中，以高壓電源11為直流電源，但可以使用交流電源。在該情況下，可以調(diào)整放電電極12的電壓，移動為與對象物T的帶電電位相反極性的電壓，產(chǎn)生正或負(fù)離子。在以上的說明中，輔助電極13的電位的切換根據(jù)電位傳感器14的測定結(jié)果來進 行，但在已知基于由放電電極12生成的離子化空氣的對象物T的電位的時間變化特性的情況下，也可以通過開始除電后的時間來進行判定。
權(quán)利要求
1.一種除電裝置，將帶電的對象物的靜電除去，其特征在于，具備 放電電極，其通過放電而生成與所述對象物相反極性的離子化空氣， 輔助電極，其具有使所述離子化空氣通過的孔，以及 電場形成機構(gòu)，其在所述輔助電極和所述對象物之間的空間形成電場； 在開始除電時，所述電場形成機構(gòu)使所述輔助電極產(chǎn)生與所述對象物相反極性的電位而產(chǎn)生所述電場，在所述對象物的電位的絕對值成為規(guī)定的值以下時，使所述輔助電極的電位比除電開始時小而減小所述電場。
2.如權(quán)利要求I所述的除電裝置，其特征在干， 所述電場形成機構(gòu)具有電阻值可變機構(gòu)，該電阻值可變機構(gòu)使所述輔助電極和接地電位之間的電阻值變化而使所述輔助電極的電位變化。
3.如權(quán)利要求2所述的除電裝置，其特征在干， 所述電阻值可變機構(gòu)具有 電阻器，以及 開關(guān)，在除電開始時，該開關(guān)經(jīng)由所述電阻器而將所述輔助電極與接地電極連接，在除電結(jié)束時，該開關(guān)不經(jīng)由所述電阻器而將所述輔助電極與接地電位連接。
4.如權(quán)利要求I 3中任一項所述的除電裝置，其特征在干， 所述輔助電極為至少一部分形成為網(wǎng)狀的電極。
5.如權(quán)利要求I 4中任一項所述的除電裝置，其特征在干， 具備測定所述對象物的電位的電位傳感器，并利用該電位傳感器檢測所述對象物的電位成為規(guī)定的值的時刻。
6.一種除電方法，由來自放電電極的放電生成與所帶電的對象物相反極性的離子化空氣，使用所述離子化空氣從所述對象物除去靜電，其特征在干， 在所述放電電極和所述對象物之間配置輔助電極，該輔助電極具有使所述離子化空氣通過的孔， 在開始除電時，使所述輔助電極產(chǎn)生與所述對象物相反極性的電位而在所述輔助電極和所述對象物之間產(chǎn)生電場， 在所述對象物的電位的絕對值成為規(guī)定的值以下時，使所述輔助電極的電位比除電開始時小而減小所述電場。
全文摘要
本發(fā)明提供一種能夠縮短除電時間的除電裝置及方法；將帶電的對象物(T)的靜電除去的除電裝置，具備通過放電而生成與對象物(T)相反極性的離子化空氣的放電電極(12)，具有使離子化空氣通過的孔的輔助電極(13)，在輔助電極(13)和對象物(T)之間的空間形成電場的電場形成機構(gòu)(15、16、17、18)；在開始除電時，電場形成機構(gòu)使輔助電極(13)產(chǎn)生與對象物(T)相反極性的電位而產(chǎn)生電場，在對象物(T)的電位的絕對值成為規(guī)定的值以下時，使輔助電極(13)的電位比除電開始時小而減小電場。
文檔編號H01T23/00GK102646930SQ201210032288
公開日2012年8月22日 申請日期2012年2月14日 優(yōu)先權(quán)日2011年2月18日
發(fā)明者深田佳成 申請人:株式會社小金井