專利名稱：一種用于抬升襯底的頂桿組件的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及太陽(yáng)能電池制造設(shè)備領(lǐng)域，特別涉及一種晶片承載裝置的用于抬升襯底的頂桿組件。
背景技術(shù)：
在現(xiàn)代電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝，如集成電路(IC)制備、光伏(太陽(yáng)能)設(shè)備或太陽(yáng)能電池制備工藝中，大多采用薄膜鍍層技術(shù)在基片表面生長(zhǎng)不同薄膜層。所述薄膜鍍層技術(shù)包括采用物理氣相沉積、化學(xué)氣相沉積、物理化學(xué)氣相沉積等方法，從而在金屬材料或工件表面獲得的具有各種不同性能的薄膜層的工藝。參考圖1，薄膜鍍層工藝中，在一鍍層腔體100中，將溫度、壓力控制于一定條件下，待涂層的基片101放置在基片承載裝置102的基座103上，由所述基座103熱傳導(dǎo)實(shí)現(xiàn)基片101均勻加熱，并由基片101上方的氣噴涂裝置104放出反應(yīng)氣體，均勻地覆蓋在基片101的表面，從而在基片101表層沉積形成一層均勻的薄膜鍍層。就上述薄膜沉積技術(shù)，所述基片101上沉積的薄膜均勻性，直接關(guān)乎薄膜鍍層的品質(zhì)，而所述基座103上，基片101放置的平坦度直接關(guān)于基片各部分加熱的均勻度，其對(duì)于基片101上方的薄膜沉積影響甚大。因而在薄膜鍍層工藝裝置設(shè)計(jì)中，貫穿所述基座103上下表面各部分均勻地設(shè)置多個(gè)通孔，并在其中安裝多根結(jié)構(gòu)尺寸相同的貫穿所述基座103的頂桿105，所述各根頂桿105上端托住所述基片101，而下端由驅(qū)動(dòng)裝置106托住，從而實(shí)現(xiàn)所述基片101各部分平穩(wěn)地上下移動(dòng)，并平穩(wěn)地放置于所述基座103上。然而在薄膜鍍層實(shí)際操作工藝中，由于所述基座103上的通孔與所述頂桿105間存在間隙，使得頂桿105軸向移動(dòng)過(guò)程中其上下兩端的位置在通孔范圍內(nèi)會(huì)發(fā)生相對(duì)偏差，以致所述頂桿軸向位置發(fā)生傾斜，并由此使得所述各根頂桿105中間部分受到與所述基座103通孔周邊的摩擦力， 有時(shí)還會(huì)因所述基片101重力影響而不同程度受力。這種情況的出現(xiàn)不僅影響各頂桿105上下移動(dòng)同步性，使所述基片101水平方向出現(xiàn)傾斜，影響所述基片101上下移動(dòng)的順暢度，并最終影響所述基片101位于基座103上放置的平穩(wěn)度；更甚者所述頂桿105由中間受力點(diǎn)發(fā)生折斷的可能，從而導(dǎo)致薄膜鍍層工藝失敗。為此，公告號(hào)CN2482220Y的中國(guó)專利公開了一種晶片承載裝置，將頂桿設(shè)置成上下兩端粗，中間細(xì)的結(jié)構(gòu)，并將頂桿105的重心移動(dòng)到頂桿下端，從而確保頂桿自然下落，避免頂桿105出現(xiàn)中間受力情況。公開號(hào)US20110014396A1的美國(guó)專利申請(qǐng)，在所述頂桿105與所述基座103通孔的連結(jié)處采用特殊結(jié)構(gòu)設(shè)置200 (參考圖2所示)。在通孔中裝設(shè)頂桿105導(dǎo)向裝置210，包括導(dǎo)向裝置210的兩側(cè)開設(shè)的呈縱向的回路凹槽211，并在回路凹槽211中設(shè)置滾珠212。所述頂桿105插于所述導(dǎo)向裝置210中，而所述滾珠212位于所述頂桿105兩側(cè)，從而減小了頂桿105上下移動(dòng)時(shí)的摩擦力，并對(duì)所述頂桿105移動(dòng)起導(dǎo)向作用，確保所述多根頂桿105的正常移動(dòng)。同樣還如中國(guó)專利CN165533613B提供的基材支撐襯套，在頂桿的周側(cè)設(shè)置滾輪或是滾珠，從而對(duì)頂桿上下移動(dòng)起導(dǎo)向作用。上述專利文件公開的技術(shù)方案一定程度上緩解了頂桿105的上、下移動(dòng)過(guò)程中，由于頂桿偏折以及所述基座103與頂桿105間摩擦力而引起的頂桿105移動(dòng)障礙。然而上述三個(gè)專利文件公開的技術(shù)方案中，中國(guó)專利CN2482220Y依靠頂桿105重心的下移，無(wú)法根本克服頂桿105與基座103通孔間的摩擦力，以及頂桿105的偏向問(wèn)題。而美國(guó)專利申請(qǐng)US20110014396A1結(jié)構(gòu)復(fù)雜，制作難度高。不僅如此，由于薄膜鍍層過(guò)程中，長(zhǎng)時(shí)間的高壓、高溫反應(yīng)可能導(dǎo)致頂桿105徑向的局部變形，移動(dòng)中，即使基于上述中國(guó)專利CN165533613B以及美國(guó)專利申請(qǐng)US20110014396A1專利公開技術(shù)方案，頂桿105在上下移動(dòng)中，仍然會(huì)發(fā)生頂桿105軸向移動(dòng)中的偏差，甚至出現(xiàn)移動(dòng)擱置，影響頂桿的正常移動(dòng)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種頂桿用于抬升襯底的頂桿組件，其克服了薄膜鍍層工藝中，現(xiàn)有的晶片承載裝置的頂桿由于軸向移動(dòng)過(guò)程中發(fā)生偏斜、或是形變等原因而引起的不下落、偏折、甚至折斷等問(wèn)題，從而引導(dǎo)薄膜鍍層過(guò)程中，頂桿順暢、穩(wěn)定軸向移動(dòng)，由此提高薄膜鍍層質(zhì)量。本發(fā)明提供的一種頂桿用于抬升襯底的頂桿組件，所述頂桿組件包括頂桿以及用于引導(dǎo)所述頂桿作軸向移動(dòng)的導(dǎo)向裝置；所述導(dǎo)向裝置包括支架以及安裝在所述支架上的多個(gè)導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，所述多個(gè)導(dǎo)向機(jī)構(gòu)圍繞所述頂桿設(shè)置，限制所述頂桿的位置，所述導(dǎo)向裝置還包括調(diào)整機(jī)構(gòu)，所述調(diào)整機(jī)構(gòu)至少控制一個(gè)所述的導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，用于調(diào)整該導(dǎo)向機(jī)構(gòu)沿所述頂桿徑向與所述頂桿間的距離。可選地，所述支架包括沿所述頂桿軸向設(shè)置的穿通孔，所述頂桿至少部分設(shè)置在所述穿通孔中，所述多個(gè)導(dǎo)向機(jī)構(gòu)設(shè)置在所述穿通孔的孔壁上?？蛇x地，所述調(diào)整機(jī)構(gòu)控制的導(dǎo)向機(jī)構(gòu)至少包括一個(gè)滾輪；所述滾輪引導(dǎo)所述頂桿作軸向移動(dòng)?？蛇x地，所述調(diào)整機(jī)構(gòu)控制所述滾輪移動(dòng)，從而調(diào)整所述滾輪與其余導(dǎo)向機(jī)構(gòu)間的距離。 可選地，在所述支架上，設(shè)有貫穿所述孔壁的窗口 ；所述滾輪安裝在所述窗口中。可選地，所述調(diào)整機(jī)構(gòu)控制的導(dǎo)向機(jī)構(gòu)還包括一滾軸，所述滾輪安裝在所述滾軸上；且在所述支架上，位于所述窗口的兩側(cè)開設(shè)有用于放置所述滾輪的切除部?？蛇x地，所述調(diào)整機(jī)構(gòu)包括一調(diào)整板和一定位裝置，所述調(diào)整板通過(guò)所述定位裝置設(shè)置于所述孔壁外表面；所述定位裝置調(diào)整所述調(diào)整板相對(duì)所述支架移動(dòng)，并帶動(dòng)所述滾軸移動(dòng)從而調(diào)整所述滾輪與所述頂桿間的距離?？蛇x地，所述滾軸的一端抵于所述調(diào)整板?？蛇x地，所述調(diào)整機(jī)構(gòu)還包括彈性定位裝置；所述調(diào)整機(jī)構(gòu)控制的導(dǎo)向機(jī)構(gòu)通過(guò)所述彈性定位裝置與所述支架連接?？蛇x地，所述彈性定位裝置包括彈簧片、彈簧墊或彈性材料層；所述彈簧片、彈簧墊或彈性材料層安裝于所述切除部?jī)?nèi)，且位于所述滾軸與支架的間隙之間?？蛇x地，所述調(diào)整機(jī)構(gòu)還包括彈性定位裝置；所述彈性定位裝置包括彈簧片、彈簧墊或彈性材料層；所述滾軸的另一端抵于所述支架，且所述滾軸與調(diào)整板之間設(shè)有所述彈性定位裝置?？蛇x地，所述彈性定位裝置包括一個(gè)安裝在所述支架上的軸承，所述軸承與所述支架間設(shè)有彈簧片、彈簧墊或彈性材料層；所述滾軸插于所述軸承內(nèi)，而所述軸承固定于所述切除部?jī)?nèi)?？蛇x地，所述滾軸的一端連接所述調(diào)整板?？蛇x地，所述調(diào)整板設(shè)有固定軸套或開設(shè)凹孔；所述滾軸一端裝于所述固定軸套或是凹孔中，從而與所述調(diào)整板連接。可選地，所述固定軸套或凹孔與所述滾軸相接觸的內(nèi)側(cè)表面設(shè)有凹槽，且所述凹槽內(nèi)裝有滾珠?？蛇x地，所述固定軸套或凹孔的內(nèi)徑大于所述滾軸的外徑，且在所述固定軸套或凹孔與滾軸之間設(shè)有復(fù)位裝置?？蛇x地，所述復(fù)位裝置為彈簧片、彈簧墊或彈性材料層?？蛇x地，所述導(dǎo)向機(jī)構(gòu)的滾軸一端設(shè)有一曲面凸塊；所述調(diào)整板上開設(shè)有與所述滾軸的曲面凸塊結(jié)構(gòu)相配的凸塊凹孔，所述滾軸的曲面凸塊裝于所述凸塊凹孔內(nèi)，與所述調(diào)整板連接?？蛇x地，所述調(diào)整機(jī)構(gòu)還包括一個(gè)固定在所述支架上的定位軸套；所述滾軸另一端插于所述定位軸套內(nèi)，且所述定位軸套內(nèi)徑大于所述滾軸直徑?？蛇x地，所述定位軸套內(nèi)側(cè)與所述滾軸之間設(shè)有彈性墊圈，從而調(diào)整所述滾軸移動(dòng)并使得所述滾輪貼合所述頂桿?？蛇x地，所述調(diào)整板的移動(dòng)方向垂直所述頂桿軸向且與所述滾軸的軸向成夾角。

可選地，所述調(diào)整板的移動(dòng)方向垂直所述頂桿軸向且垂直所述滾軸的軸向?？蛇x地，所述支架外表面開設(shè)一限位框，所述調(diào)整板設(shè)置在所述限位框中?？蛇x地，在所述限位框內(nèi)，所述調(diào)整板的移動(dòng)方向與所述滾軸的軸向垂直?？蛇x地，所述定位裝置包括調(diào)整螺釘，所述調(diào)整螺釘將所述調(diào)整板固定在所述支架上，通過(guò)調(diào)節(jié)所述調(diào)整螺釘?shù)乃删o，從而調(diào)節(jié)所述調(diào)整板與所述支架之間的移動(dòng)?？蛇x地，所述調(diào)整機(jī)構(gòu)還包括一塊固定于所述支架上的輔助調(diào)整板，所述輔助調(diào)整板位于所述滾軸的另一端；且所述滾軸的另一端抵于所述輔助調(diào)整板。可選地，所述輔助調(diào)整板與支架之間設(shè)有定位裝置，調(diào)整所述輔助調(diào)整板位于所述支架上的位置。可選地，所述支架還設(shè)有一個(gè)用于安裝所述輔助調(diào)整板的輔助限位框；所述定位裝置包括一調(diào)整螺釘；所述調(diào)整螺釘貫穿所述輔助調(diào)整板，將所述輔助調(diào)整板固定安裝在所述支架上，且調(diào)節(jié)所述輔助調(diào)整板與所述支架之間的移動(dòng)。可選地，除所述調(diào)整機(jī)構(gòu)控制的導(dǎo)向機(jī)構(gòu)外，其余的每個(gè)導(dǎo)向機(jī)構(gòu)均包括設(shè)于所述孔壁上的滾子。可選地，所述的多個(gè)導(dǎo)向機(jī)構(gòu)圍繞所述頂桿均勻分布?？蛇x地，所述多個(gè)導(dǎo)向機(jī)構(gòu)均包括一個(gè)滾輪，所述的多個(gè)滾輪夾持所述頂桿?？蛇x地，在所述支架上，在各個(gè)所述滾輪的對(duì)應(yīng)位置處設(shè)有與該滾輪結(jié)構(gòu)相匹配的窗口 ；所述窗口貫穿所述孔壁，所述的多個(gè)滾輪安裝在所述多個(gè)窗口中。可選地，所述的多個(gè)滾輪圍繞所述頂桿均勻分布?？蛇x地，所述多個(gè)導(dǎo)向機(jī)構(gòu)分為多組，且該多組導(dǎo)向機(jī)構(gòu)呈多層結(jié)構(gòu)分布?？蛇x地，每一組導(dǎo)向機(jī)構(gòu)至少包括三個(gè)所述導(dǎo)向機(jī)構(gòu)。
可選地，各個(gè)所述導(dǎo)向機(jī)構(gòu)均還包括滾軸，各個(gè)所述導(dǎo)向機(jī)構(gòu)的滾輪安裝在所述滾軸上；在所述支架上，位于各個(gè)所述窗口的兩側(cè)設(shè)有用于放置該窗口內(nèi)的滾輪所對(duì)應(yīng)的滾軸的切除部?？蛇x地，所述滾輪開設(shè)滾輪通孔，所述滾軸一端插于所述滾輪通孔內(nèi)；且在所述滾輪通孔的內(nèi)壁開設(shè)凹槽，且所述凹槽內(nèi)裝有滾珠?？蛇x地，所述滾輪開設(shè)滾輪通孔，所述滾軸的一端插于所述滾輪通孔內(nèi)，且所述滾軸的另一端直徑大于所述滾輪通孔的孔徑?？蛇x地，除所述調(diào)整機(jī)構(gòu)控制的導(dǎo)向機(jī)構(gòu)外，其余的導(dǎo)向機(jī)構(gòu)還包括一個(gè)固定于所述支架上的軸承；所述滾軸插于所述軸承內(nèi)。可選地，所述滾軸一端的直徑大于所述滾輪通孔的孔徑，而所述軸承位于所述滾軸的另一端，從而限定所述滾輪在滾軸上的安裝位置?？蛇x地，在所述軸承與所述滾軸相接觸的內(nèi)側(cè)表面設(shè)有凹槽，且所述凹槽內(nèi)裝有滾珠。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明具有以下優(yōu)點(diǎn):1.本發(fā)明通過(guò)在頂桿的周圍設(shè)置多個(gè)導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，從而在薄膜鍍層工藝中，引導(dǎo)頂桿的軸向移動(dòng)，從而克服頂桿發(fā)生偏移并導(dǎo)致其折斷等現(xiàn)象的發(fā)生。而且，所述調(diào)整機(jī)構(gòu)通過(guò)至少控制其中一個(gè)導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，調(diào)整該導(dǎo)向機(jī)構(gòu)沿所述頂桿的徑向與所述頂桿間的距離，從而調(diào)整各個(gè)導(dǎo)向機(jī)構(gòu)間的位置關(guān)系，以及各個(gè)導(dǎo)向組件形成的限制所述頂桿放置的空間。上述設(shè)計(jì)不僅使得本發(fā)明可適用于不同的粗細(xì)的頂桿。此外，本發(fā)明還可通過(guò)所述調(diào)整機(jī)構(gòu)控制該導(dǎo)向機(jī)構(gòu)與頂桿間保留的距離有效避免由于高溫等原因發(fā)生 的形變而導(dǎo)致的頂桿無(wú)法順暢下落等問(wèn)題，從而有效調(diào)整頂桿安裝的靈活度，并保證頂桿順暢地軸向移動(dòng)。2.可選方案中，多個(gè)導(dǎo)向機(jī)構(gòu)通過(guò)滾輪引導(dǎo)所述頂桿軸向移動(dòng)，可有效減小導(dǎo)向機(jī)構(gòu)對(duì)于頂桿引導(dǎo)過(guò)程中導(dǎo)向機(jī)構(gòu)與頂桿間的摩擦力，保證頂桿順暢移動(dòng)；而且所述的多個(gè)導(dǎo)向機(jī)構(gòu)多層結(jié)構(gòu)設(shè)置，以及圍繞頂桿均勻分布結(jié)構(gòu)，進(jìn)一步確保薄膜鍍層過(guò)程中，頂桿的軸向移動(dòng)。3.可選方案中，調(diào)整機(jī)構(gòu)的固定軸套或凹孔與滾軸之間的復(fù)位裝置可在薄膜鍍層工藝中，即使頂桿發(fā)生徑向的形變，也可進(jìn)一步調(diào)整導(dǎo)向機(jī)構(gòu)的滾輪與頂桿的位置，并保持滾輪與頂桿貼合，從而引導(dǎo)頂桿軸向移動(dòng)，避免頂桿軸向偏轉(zhuǎn)現(xiàn)象發(fā)生，確保薄膜鍍層工藝順利進(jìn)行。4.本發(fā)明頂桿用于抬升襯底的頂桿組件結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，制造方便；而且其可有效引導(dǎo)頂桿軸向移動(dòng)，避免頂桿偏折甚至斷裂等故障的發(fā)生，從而提高了設(shè)備的可靠性，減少零部件的更換，這些都間接減少了薄膜鍍層工藝的投入成本。


圖1是現(xiàn)有的薄膜鍍層裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是現(xiàn)有的頂桿與基座一種連接結(jié)構(gòu)不意圖；圖3是本發(fā)明用于抬升襯底的頂桿組件的實(shí)施例1的結(jié)構(gòu)示意圖；圖4是圖3中A-A向剖面結(jié)構(gòu)示意圖5是本發(fā)明用于抬升襯底的頂桿組件的調(diào)整板與支架的連接結(jié)構(gòu)示意圖；圖6是實(shí)施例1中調(diào)整機(jī)構(gòu)與其控制的導(dǎo)向機(jī)構(gòu)的一種連接結(jié)構(gòu)示意圖；圖7是實(shí)施例1中調(diào)整機(jī)構(gòu)與其控制的導(dǎo)向機(jī)構(gòu)的另一種連接結(jié)構(gòu)示意圖；圖8是本發(fā)明用于抬升襯底的頂桿組件的導(dǎo)向機(jī)構(gòu)的滾軸與滾輪的連接結(jié)構(gòu)示意圖；圖9是本發(fā)明用于抬升襯底的頂桿組件的導(dǎo)向機(jī)構(gòu)的滾軸與軸承的連接結(jié)構(gòu)示意圖；圖10是本發(fā)明用于抬升襯底的頂桿組件實(shí)施例2的結(jié)構(gòu)示意圖；圖11是圖10中輔助調(diào)整板與支架的結(jié)構(gòu)示意圖；圖12是本發(fā)明用于抬升襯底的頂桿組件實(shí)施例3的結(jié)構(gòu)示意圖；圖13是本發(fā)明用于抬升襯底的頂桿組件實(shí)施例4的結(jié)構(gòu)示意圖；圖14是本發(fā)明用于抬升襯底的頂桿組件實(shí)施例4中彈性定位裝置的一種實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)示意圖；圖15是本發(fā)明用于抬升襯底的頂桿組件實(shí)施例4中彈性定位裝置的另一種實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)示意圖；圖16是本發(fā)明用于抬升襯底的頂桿組件實(shí)施例5的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式針對(duì)現(xiàn)有的晶片承載裝置在薄膜鍍層工藝中，基座上用于放置頂桿通孔孔徑過(guò)大致使頂桿偏斜、或是由于高溫等原因致使的頂桿發(fā)生徑向形變而引起的頂桿不下落、偏折、甚至折斷等問(wèn)題。本發(fā)明提供了一種用于抬升襯底的頂桿組件。本發(fā)明通過(guò)在晶片承載裝置的基座的通孔中裝設(shè)頂桿的導(dǎo)向裝置，從而引導(dǎo)頂桿順暢地作軸向移動(dòng)。其中導(dǎo)向裝置中均勻圍繞所述頂桿設(shè)置的多個(gè)導(dǎo)向機(jī)構(gòu)不僅可引導(dǎo)所述頂桿順暢地軸向移動(dòng)，而且還可有效減小頂桿軸向移動(dòng)過(guò)程中所受到的摩擦力。而且，所述導(dǎo)向裝置還包括調(diào)整機(jī)構(gòu)，所述調(diào)整機(jī)構(gòu)通過(guò)至少控制其中一個(gè)導(dǎo)向機(jī)構(gòu)與頂桿間的距離，從而調(diào)整各個(gè)導(dǎo)向機(jī)構(gòu)間的位置關(guān)系及各個(gè)導(dǎo)向機(jī)構(gòu)間形成的放置頂桿的空間大小。本發(fā)明不僅可提高所述導(dǎo)向裝置的使用靈活性，適用于不同粗細(xì)的頂桿，而且還通過(guò)調(diào)整導(dǎo)向機(jī)構(gòu)與頂桿間的距離，從而緩解由于頂桿發(fā)生徑向形變而引起對(duì)頂桿軸向移動(dòng)發(fā)生的阻礙，確保所述頂桿順暢的軸向移動(dòng)。以此確?；诨戏胖酶鼮槠椒€(wěn)，確保薄膜鍍層工藝順利進(jìn)行與薄膜鍍層質(zhì)量。下面通過(guò)具體實(shí)施例進(jìn)一步詳細(xì)闡述本發(fā)明及其優(yōu)勢(shì)。但值得注意的是，以下幾個(gè)實(shí)施例只是作為本發(fā)明典型實(shí)例列舉，本發(fā)明的保護(hù)范圍并不局限于下述的實(shí)施例。實(shí)施例1參考圖3所示，本實(shí)施例提供的一種用于抬升襯底的頂桿組件，包括頂桿I以及引導(dǎo)所述頂桿I作軸向移動(dòng)的導(dǎo)向裝置2。所述導(dǎo)向裝置2包括支架3，所述支架3包括貫穿所述支架3上、下兩端面，沿所述頂桿I軸向設(shè)置的穿通孔31，所述頂桿I至少部分位于所述穿通孔31內(nèi)，從而作軸向移動(dòng)。所述支架3上裝有多個(gè)導(dǎo)向機(jī)構(gòu)4。所述多個(gè)導(dǎo)向機(jī)構(gòu)4設(shè)置于所述穿通孔31的孔壁上，且圍繞所述頂桿I均勻分布。圖3中，所述多個(gè)導(dǎo)向機(jī)構(gòu)4分為2組，呈雙層結(jié)構(gòu)分布(圖中只顯示2個(gè)所述導(dǎo)向機(jī)構(gòu)4，其余的未顯示)。其中，所述導(dǎo)向裝置2還包括調(diào)整機(jī)構(gòu)5，所述調(diào)整機(jī)構(gòu)5至少控制其中一個(gè)導(dǎo)向機(jī)構(gòu)4，從而沿所述頂桿I的徑向調(diào)整所述導(dǎo)向機(jī)構(gòu)4與頂桿I間的距離。由此調(diào)整各個(gè)導(dǎo)向機(jī)構(gòu)4之間形成的放置所述頂桿I的空間，使得本發(fā)明適用于粗細(xì)不同的頂桿。而且基于放置頂桿I空間的變化，也可以調(diào)整所述頂桿I的放置位置，并通過(guò)在頂桿I與各個(gè)所述導(dǎo)向機(jī)構(gòu)4之間的距離調(diào)整，避免頂桿I在軸向移動(dòng)過(guò)程中發(fā)生徑向形變而引起的移動(dòng)阻礙。值得注意的是，圖3所示的所述多個(gè)導(dǎo)向機(jī)構(gòu)4分為2組，且呈雙層結(jié)排布。而實(shí)際應(yīng)用中，所述多個(gè)導(dǎo)向機(jī)構(gòu)4可根據(jù)需要分為多組，而所述多組的導(dǎo)向機(jī)構(gòu)4可呈多層(大于2層)結(jié)構(gòu)排布，且優(yōu)選地，每一組中至少包括3個(gè)導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，從而更好地引導(dǎo)所述頂桿I沿軸向移動(dòng)。結(jié)合參考圖4，圖4為圖3中所述頂桿組件沿A-A向的截面結(jié)構(gòu)示意圖，圖中顯示了頂桿組件A-A向的截面的一組導(dǎo)向機(jī)構(gòu)4的結(jié)構(gòu)示意圖。其中該組導(dǎo)向機(jī)構(gòu)包括3個(gè)導(dǎo)向機(jī)構(gòu)4a、4b和6。其中，所述調(diào)整機(jī)構(gòu)5控制所述導(dǎo)向機(jī)構(gòu)6,并調(diào)整所述導(dǎo)向機(jī)構(gòu)6沿所述頂桿I的徑向與所述頂桿I間的距離。其中，所述導(dǎo)向機(jī)構(gòu)4a、4b和6分別包括一根滾軸41a、41b、和61以及安裝在各根所述滾軸上的滾輪42a、42b和62。所述的3個(gè)滾輪42a、42b和62均勻地圍繞所述頂桿1，夾持所述頂桿1，且3個(gè)所述滾輪42a、42b和62軸向與所述頂桿I軸向垂直從而引導(dǎo)所述頂桿I沿軸向移動(dòng)。當(dāng)所述頂桿I沿軸向移動(dòng)時(shí)，所述滾輪42a、42b和62表面與所述頂桿I相貼合,使所述頂桿I順著所述滾輪42a、42b和62的滾動(dòng)方向作軸向移動(dòng)，從而達(dá)到所述導(dǎo)向裝置2對(duì)于所述頂桿I軸向移動(dòng)的導(dǎo)向作用。如此，不僅減小了所述頂桿I移動(dòng)過(guò)程中的摩擦力，而且所述的3個(gè)滾輪42a、42b和62圍繞所述頂桿I均勻分布 ，即相鄰的導(dǎo)向機(jī)構(gòu)4a、4b和6的滾軸41a、41b和61之間的夾角呈120°設(shè)置，從而在所述頂桿I的周邊的三個(gè)方向引導(dǎo)所述頂桿I軸向移動(dòng)，確保了所述頂桿I沿軸向移動(dòng)的穩(wěn)定性，不會(huì)發(fā)生偏折。所述調(diào)整機(jī)構(gòu)5固定于所述支架3的外表面。其中，所述調(diào)整機(jī)構(gòu)5與所述導(dǎo)向機(jī)構(gòu)6連接，并調(diào)整所述導(dǎo)向機(jī)構(gòu)6的滾輪62沿所述頂桿I的徑向與所述頂桿I間的距離，從而調(diào)整各個(gè)所述導(dǎo)向機(jī)構(gòu)4a、4b和6的滾輪42a、42b和62之間的距離，擴(kuò)大或縮小位于同一層的所述3個(gè)導(dǎo)向機(jī)構(gòu)4a、4b和6的各個(gè)滾輪42a、42b和62之間距離，達(dá)到調(diào)整所述3個(gè)導(dǎo)向機(jī)構(gòu)4a、4b和6之間形成的放置所述頂桿I空間的目的。所述調(diào)整機(jī)構(gòu)5與其控制的導(dǎo)向機(jī)構(gòu)6的具體結(jié)構(gòu)參考圖4所示，所述調(diào)整機(jī)構(gòu)5包括一塊調(diào)整板51，所述支架3上設(shè)置用于放置所述調(diào)整板51的限位框32。所述調(diào)整板51在所述限位框32內(nèi)移動(dòng)，從而帶動(dòng)所述導(dǎo)向機(jī)構(gòu)6的滾輪62移動(dòng)，調(diào)整所述滾輪62與所述頂桿I間的距離。具體地,所述調(diào)整板51設(shè)有固定軸套52 ;所述導(dǎo)向機(jī)構(gòu)6的滾軸61—端裝于所述固定軸套52內(nèi)與所述調(diào)整板51連接。所述調(diào)整板51在所述限位框32中的移動(dòng)，從而帶動(dòng)所述滾軸61上的滾輪62相對(duì)于所述頂桿I作位移，調(diào)整所述滾輪62與所述頂桿I間的距離。而在所述支架3上，在所述滾輪62的對(duì)應(yīng)位置處設(shè)有窗口 621，所述滾輪62安裝在所述窗口 621內(nèi)。且所述窗口 621沿所述頂桿I徑向貫穿所述穿通孔31的孔壁，所述滾輪62在所述窗口沿所述頂桿I徑向移動(dòng)，從而調(diào)整與所述頂桿I間的距離。而位于所述窗口621的兩側(cè)，與所述滾軸61的對(duì)應(yīng)位置處設(shè)有用于放置所述滾軸61的切除部611。所述滾軸61在所述切除部611的范圍內(nèi)作相對(duì)移動(dòng)，從而帶動(dòng)所述滾輪62移動(dòng)。結(jié)合參考圖5，所述調(diào)整板51通過(guò)一個(gè)貫穿所述調(diào)整板51的調(diào)整螺釘81固定在所述支架3上。且所述調(diào)整螺釘81作為所述調(diào)整板51的定位裝置，通過(guò)擰緊或是疏松所述調(diào)整螺釘81從而調(diào)整所述調(diào)整板51在所述限位框32內(nèi)的位置移動(dòng)，并由所述調(diào)整板51帶動(dòng)所述滾輪62作所述滾輪62與所述頂桿I之間的距離調(diào)整。其中，所述調(diào)整板51在所述限位框32內(nèi)移動(dòng)中，所述調(diào)整板51的移動(dòng)方向與所述頂桿I的軸向垂直，且與所述滾軸61的軸向呈一定角度傾斜。其中，優(yōu)選地，所述調(diào)整板51的移動(dòng)方向垂直于所述滾軸61軸向，即使得所述調(diào)整板51的移動(dòng)方向B垂直于所述滾軸61的軸向C。這樣所述調(diào)整板51在所述限位框32內(nèi)的位移距離，即所述滾輪62相對(duì)于所述頂桿I的位移距離，使得所述調(diào)整板51對(duì)于所述滾輪62的調(diào)整更具效率。關(guān)于上述滾軸61與固定軸套52的連接設(shè)計(jì)，一種可選方案，參考圖6，所述固定軸套52內(nèi)設(shè)固定塊521，所述滾軸61插入所述固定軸套52的一端端面抵于所述固定塊521，且所述滾軸61同時(shí)可繞軸向位于所述固定軸套52內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)。而進(jìn)一步優(yōu)選地，為了便于所述滾軸61的轉(zhuǎn)動(dòng)，在所述固定軸套52與所述滾軸61相接觸的內(nèi)側(cè)表面設(shè)有凹槽522，且所述凹槽522內(nèi)裝有滾珠7，從而減小所述滾軸61在所述固定軸套52轉(zhuǎn)動(dòng)過(guò)程中的摩擦力，便于對(duì)所述頂桿I的引導(dǎo)。另一種可選方案，參考圖7,所述固定軸套52的內(nèi)徑大于所述滾軸61的外徑,且在所述固定軸套52與滾軸61之間設(shè)有復(fù)位裝置。具體的，所述復(fù)位裝置為一層彈性材料層
8。在薄膜鍍層工藝中，由于高壓及高溫條件下，所述頂桿I存在包括徑向的局部變形的可能性，這樣在所述頂桿I軸向移動(dòng)過(guò)程中，頂桿I徑向尺寸便會(huì)出現(xiàn)些許的偏差?，F(xiàn)有技術(shù)中，由于頂桿I徑向尺寸偏差的出現(xiàn)，可能造成其軸向移動(dòng)的障礙，而本發(fā)明中，通過(guò)所述調(diào)整機(jī)構(gòu)5的設(shè)計(jì)，可控制所述滾輪62與所述頂桿I之間的距離，從而克服所述頂桿I徑向出現(xiàn)變形造成的頂桿I軸向移動(dòng)障礙。而通過(guò)所述彈性材料層8的設(shè)計(jì)，所述滾輪62可貼住所述頂桿I，即使所述頂桿I出現(xiàn)變形，也可通過(guò)所述彈性材料層8對(duì)所述滾輪62沿垂直于所述頂桿I的軸向作位置調(diào)整，從而克服頂桿I變形引起的軸向移動(dòng)的障礙。除此之外，所述彈性材料層8還可使所述滾輪62隨時(shí)保持貼住所述頂桿I，從而更好地弓I導(dǎo)所述頂桿I作軸向移動(dòng)。當(dāng)然所述·彈性材料層8也完全可由彈簧片、彈簧墊代替作為復(fù)位裝置。值得注意的是，本實(shí)施例中，所述調(diào)整機(jī)構(gòu)5的所述調(diào)整板51，采用固定軸套52的方式與所述滾軸61 —端連接。該固定軸套52完全可以在所述調(diào)整板51上開設(shè)與所述滾軸61結(jié)構(gòu)相匹配的凹孔代替。這些簡(jiǎn)單的改變均包括在本發(fā)明的保護(hù)范圍內(nèi)。本實(shí)施例中，參考圖4所示，除所述調(diào)整機(jī)構(gòu)5控制的導(dǎo)向機(jī)構(gòu)6之外，其余的兩個(gè)導(dǎo)向機(jī)構(gòu)4a和4b也分別包括滾輪42a、42b和滾軸41a、41b。而相對(duì)應(yīng)的，在所述支架3上，除了所述導(dǎo)向機(jī)構(gòu)6之外，在其余導(dǎo)向機(jī)構(gòu)4a和4b的滾輪42a和42b的對(duì)應(yīng)位置也均開設(shè)有用于安裝所述滾輪42a和42b的兩個(gè)窗口，以及在所述兩個(gè)窗口的兩側(cè)，于兩根所述滾軸41a和41b的對(duì)應(yīng)位置處均設(shè)有與該滾軸結(jié)構(gòu)相匹配，用于放置所述兩根滾軸41a和41b的切除部。所述導(dǎo)向機(jī)構(gòu)4a和4b的結(jié)構(gòu)相似，以導(dǎo)向機(jī)構(gòu)4a為例，所述支架3上，于所述滾輪42a對(duì)應(yīng)位置處設(shè)有用于放置所述滾輪42a的窗口 423，所述窗口 423貫穿所述穿通孔31孔壁。而在所述窗口 423的兩側(cè)設(shè)有與所述滾軸41a結(jié)構(gòu)相匹配，用于放置所述滾軸41a的切除部413。所述三個(gè)導(dǎo)向機(jī)構(gòu)4a、4b和6的滾軸與滾輪的連接結(jié)構(gòu)相似，以所述導(dǎo)向機(jī)構(gòu)4a為例。結(jié)合參考圖4所示，優(yōu)選地，所述滾輪42a開設(shè)了滾輪通孔422，而所述滾軸41a為兩段式。所述導(dǎo)向機(jī)構(gòu)4a的滾軸41a —段412直徑大于所述滾輪42a的滾輪通孔422的孔徑，而另一段411小于所述滾輪通孔422的孔徑。所述滾輪42a安裝于直徑較小的一段411上，且被設(shè)置在靠近兩段的交接處的位置。使用時(shí)，由所述滾軸41a直徑較小的一段411插入所述滾輪42a的滾輪通孔422中，而另一段412無(wú)法通過(guò)所述滾輪42a的滾輪通孔422，從而使得所述滾輪42a固定安裝在所述滾軸41a上。這樣的設(shè)計(jì)使得本發(fā)明制造安裝時(shí)更為方便、快捷。且優(yōu)先方案中，結(jié)合參考圖8，所述滾軸41a插于所述滾輪通孔422內(nèi)，而在所述滾輪通孔422的孔壁上開設(shè)凹槽421，且所述凹槽421內(nèi)裝有滾珠7。這樣利于減小所述滾輪42a繞所述滾軸41a轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)的摩擦力，便于所述頂桿I軸向移動(dòng)。可選方案中，未受所述調(diào)整機(jī)構(gòu)5控制的所述導(dǎo)向機(jī)構(gòu)4a和4b還包括固定在所述支架3上的軸承43。同樣以所述導(dǎo)向機(jī)構(gòu)4a為例，所述導(dǎo)向機(jī)構(gòu)4a的軸承43固定于所述切除部413內(nèi)，且所述滾軸41a直徑較小的一端插于所述軸承43內(nèi)，這樣便限定所述滾輪42a在滾軸41a上的安裝位置。所述滾軸41a可繞軸向轉(zhuǎn)動(dòng)，且所述滾輪42a同時(shí)可繞所述滾軸41a軸向轉(zhuǎn)動(dòng)。優(yōu)選方案中，結(jié)合參考圖9,在所述軸承43與所述滾軸41a相接觸的內(nèi)側(cè)表面開設(shè)凹槽431，且所述凹槽431內(nèi)裝有滾珠7。這樣有利于減小滾軸41a在所述軸承43中轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)的摩擦力，便于所述頂桿I軸向移動(dòng)。實(shí)施例2本實(shí)施例的技術(shù)方案與上述實(shí)施例1大致相同，其區(qū)別在于，參考圖10所示，所述調(diào)整機(jī)構(gòu)5還包括一 塊固定于所述支架3上的輔助調(diào)整板57。所述輔助調(diào)整板57位于所述導(dǎo)向機(jī)構(gòu)6的滾軸61的另一端，且所述滾軸61的另一端抵住所述輔助調(diào)整板57。當(dāng)所述調(diào)整板51對(duì)于所述滾輪62在所述支架3上的位置調(diào)整時(shí)，所述輔助調(diào)整板57與所述調(diào)整板51配合使用，用于輔助所述調(diào)整板51對(duì)所述滾軸61的位置調(diào)整，從而帶動(dòng)所述滾輪62相對(duì)于頂桿I作位置調(diào)整。在所述支架3上開設(shè)用于放置所述輔助調(diào)整板57的輔助限位框33。與實(shí)施例1中的所述調(diào)整板51和限位框32相似，所述輔助調(diào)整板57在所述輔助限位框33中移動(dòng)，從而作所述輔助調(diào)整板57位于所述支架3上的位置調(diào)整，而優(yōu)選地，所述輔助調(diào)整板57的移動(dòng)方向與所述滾軸61軸向垂直。從而便于輔助所述滾輪62相對(duì)于所述頂桿I的位置調(diào)整。結(jié)合參考圖11，與所述調(diào)整板51類似，所述輔助調(diào)整板57同樣通過(guò)一調(diào)整螺釘82作為所述輔助調(diào)整板57與所述支架3之間的定位裝置。所述調(diào)整螺釘82貫穿所述輔助調(diào)整板57，將所述輔助調(diào)整板57固定安裝在所述支架3上，且通過(guò)擰緊或是疏松所述調(diào)整螺釘82從而調(diào)整所述輔助調(diào)整板57位于所述輔助限位框33中的位置。從而實(shí)現(xiàn)所述輔助調(diào)整板57輔助所述輔助調(diào)整板51對(duì)于所述滾軸61位于所述支架3上的位置調(diào)整，并帶動(dòng)所述滾輪62作相對(duì)于所述頂桿I的位置調(diào)整。實(shí)施例3本實(shí)施例與實(shí)施例1方案大致相同，其區(qū)別在于，參考圖12所示，所述調(diào)整機(jī)構(gòu)5包括調(diào)整板51，所述調(diào)整板51固定于所述支架3上；所述調(diào)整機(jī)構(gòu)5控制的導(dǎo)向機(jī)構(gòu)6的滾軸61 —端設(shè)有一球形曲面凸塊9 ;所述調(diào)整板51上開設(shè)有與所述滾軸61的球形曲面凸塊9結(jié)構(gòu)相配的凸塊凹孔54，所述球形曲面凸塊9裝于所述凸塊凹孔54內(nèi)，實(shí)現(xiàn)滾軸61與調(diào)整機(jī)構(gòu)5連接。所述導(dǎo)向機(jī)構(gòu)6還可包括定位軸套63，所述滾軸61的另一端，即與所述球形曲面凸塊9位置相對(duì)端，插于所述定位軸套63內(nèi)，且所述定位軸套63內(nèi)徑大于所述滾軸61直徑。由于所述定位軸套63內(nèi)徑大于所述滾軸61直徑，所述滾軸61可以所述球形曲面凸塊9為定點(diǎn)，調(diào)節(jié)所述滾軸61另一端在所述定位軸套63的內(nèi)徑范圍內(nèi)，垂直與所述頂桿I軸向移動(dòng)，從而調(diào)整所述滾輪62沿所述頂桿徑向E與所述頂桿I間的距離。從而調(diào)整所述3個(gè)導(dǎo)向機(jī)構(gòu)4a、4b和6的滾輪42a、42b和62間的距離，使得本發(fā)明適用于粗細(xì)不同的所述頂桿I?？蛇x方案中，在所述定位軸套63內(nèi)側(cè)設(shè)有彈性墊圈631，使得所述滾軸61與所述支架3連接更為牢固，但這樣的設(shè)計(jì)增加了所述滾軸61與所述定位軸套63之間的摩擦力，使得所述滾軸61在所述定位軸套63內(nèi)難以轉(zhuǎn)動(dòng)，而所述導(dǎo)向機(jī)構(gòu)6對(duì)于所述頂桿I的引導(dǎo)作用，依靠所述滾輪62相對(duì)于所述滾軸61間的滾動(dòng)完成。因而，結(jié)合參考圖8示，在滾輪62 (即圖6中的滾輪42a)的內(nèi)側(cè)表面開設(shè)凹槽(即圖中凹槽421)，凹槽內(nèi)裝有滾珠(即圖中滾珠7)，從而減小所述滾軸61與滾輪62間的摩擦力，使得所述頂桿I軸向移動(dòng)更順暢。而且，在薄膜鍍層工藝進(jìn)行中，即使所述頂桿I由于高溫高壓原因而發(fā)生局部變形，基于上述滾軸61相對(duì)于所述球形曲面凸塊9的另一端在所述定位軸套63的內(nèi)徑范圍內(nèi)，且垂直與所述頂桿I軸向移動(dòng)，從而實(shí)現(xiàn)所述滾輪62與所述頂桿I間的距離調(diào)整，確保所述頂桿I順暢地作軸向移動(dòng)。而且所述定位軸套63內(nèi)的彈性墊圈631也可作為所述導(dǎo)向機(jī)構(gòu)6發(fā)生相對(duì)位移后的復(fù)位裝置，從而確保所述滾輪62與所述頂桿I貼合，從而更好地引導(dǎo)所述頂桿I作軸向移動(dòng)。值得注意的是，本實(shí)施例中，所述的導(dǎo)向機(jī)構(gòu)6的滾軸61兩端直徑相同，其也完全可設(shè)置成如實(shí)施例1中所述的所述滾軸61式樣。S卩，所述滾軸61的一端直徑大于所述滾輪62的直徑，此時(shí)也只需將所述定位軸套63的內(nèi)徑作相對(duì)擴(kuò)大便可。實(shí)施例4本實(shí)施例技術(shù)方案大致與上述各實(shí)施例相同，其區(qū)別在于，在上述各個(gè)實(shí)施例中，所述導(dǎo)向機(jī)構(gòu)6的滾軸61的一端均與所述調(diào)整板51連接。而本實(shí)施例中，參考圖13所示，所述導(dǎo)向機(jī)構(gòu)6的滾軸61的一端抵于所述調(diào)整板51。通過(guò)所述調(diào)整板51位于所述限位框32范圍內(nèi)的移動(dòng)，從而調(diào)節(jié)所述導(dǎo)向機(jī)構(gòu)6的滾輪62與所述頂桿I間的距離。與上述各實(shí)施例相同，所述調(diào)整板51移動(dòng)方向與所述滾軸61的軸向呈一定夾角傾斜，優(yōu)選方案中，所述調(diào)整板51移動(dòng)方向垂直于所述滾軸61的軸向。而所述調(diào)整機(jī)構(gòu)5還包括彈性定位裝置，使得所述導(dǎo)向機(jī)構(gòu)6與所述支架3固定連接。其中實(shí)施方式具體包括:所述滾軸61位于所述切除部611內(nèi)，且所述滾軸61與所述切除部611內(nèi)壁之間設(shè)有彈簧墊53作為所述彈性定位裝置，實(shí)現(xiàn)所述導(dǎo)向機(jī)構(gòu)6與所述支架3連接，且所述調(diào)整板51通過(guò)調(diào)整所述滾軸61位于所述支架3上的位置從而調(diào)整所述滾輪62與其他兩個(gè)所述導(dǎo)向機(jī)構(gòu)4a和4b之間的位置關(guān)系。除了上述實(shí)施例方式外，參考圖14所示，所述滾軸61相對(duì)所述調(diào)整板51的另一端還可以抵于所述支架3，且在所述滾軸61與所述調(diào)整板51之間設(shè)置彈簧墊56作為彈性
定位裝置?；蛘撸瑓⒖紙D15所示，所述彈性定位裝置還可包括一個(gè)安裝在所述支架3上的軸承43。所述軸承43安裝在所述切除部611內(nèi)，且在所述軸承43與切除部611的內(nèi)壁之間設(shè)置彈簧墊55。所述 滾軸61的相對(duì)所述調(diào)整板51的另一端插于所述軸承43內(nèi)，這樣所述滾軸61同樣可以在所述軸承43內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)。通過(guò)所述調(diào)整板51在所述支架3上的移動(dòng)調(diào)整所述滾輪62與另兩個(gè)導(dǎo)向機(jī)構(gòu)4a和4b間的位置。而通過(guò)所述軸承43基于所述彈簧墊55作位于所述支架3上的位置調(diào)整，可進(jìn)一步增加所述滾輪62與其他的導(dǎo)向機(jī)構(gòu)4間的位置調(diào)整的靈活性。除此之外，頂桿I軸向移動(dòng)過(guò)程中，所述彈簧墊55也可作為復(fù)位裝置，當(dāng)所述頂桿I發(fā)生局部形變時(shí)，調(diào)節(jié)所述滾輪62垂直于所述頂桿I的軸向作相對(duì)位移，并保證所述滾輪62貼合所述頂桿I的表面，從而引導(dǎo)所述頂桿I穩(wěn)定地作軸向移動(dòng)。此時(shí)，優(yōu)選地，同樣結(jié)合參考圖9，在所述軸承43與所述滾軸61 (即圖中的41a)相接觸的內(nèi)側(cè)表面開設(shè)凹槽431，且所述凹槽431內(nèi)裝有滾珠7。這樣有利于減小所述滾輪62和滾軸61滾動(dòng)時(shí)的摩擦力，便于所述頂桿I軸向移動(dòng)。當(dāng)然作為所述彈性定位裝置的所述彈簧墊55完全可由彈簧片或彈性材料層等彈性裝置代替。在薄膜鍍層工藝中，所述調(diào)整機(jī)構(gòu)5基于所述彈性定位裝置設(shè)計(jì)，使得所述導(dǎo)向機(jī)構(gòu)6的滾輪62垂直于所述頂桿I的軸向，調(diào)整所述滾輪62與其他導(dǎo)向機(jī)構(gòu)間的距離，從而避免由于頂桿I發(fā)生偏折致使阻礙所述頂桿I軸向移動(dòng)。實(shí)施例5參考圖16所示，本實(shí)施例中，所述調(diào)整機(jī)構(gòu)5以及其控制的導(dǎo)向機(jī)構(gòu)6結(jié)構(gòu)可為上述任一中實(shí)施例，本實(shí)施例與上述實(shí)施例的區(qū)別在于，除所述調(diào)整機(jī)構(gòu)5控制的導(dǎo)向機(jī)構(gòu)6外，其余的導(dǎo)向機(jī)構(gòu)為滾子結(jié)構(gòu)，其包括開設(shè)于所述穿通孔31的孔壁上的凹槽34，以及安裝與所述凹槽34內(nèi)的滾子10。所述滾子10在所述凹槽34內(nèi)任意向轉(zhuǎn)動(dòng)。使用時(shí),根據(jù)所述頂桿I的具體尺寸，通過(guò)所述調(diào)整機(jī)構(gòu)5調(diào)整所述導(dǎo)向機(jī)構(gòu)6的滾輪62與各個(gè)所述滾子10間的距離，并可使所述各個(gè)滾子10以及所述滾輪62與所述頂桿I貼合，從而引導(dǎo)所述頂桿I軸向移動(dòng)。正如實(shí)施例1中所述的實(shí)際應(yīng)用中，所述多個(gè)導(dǎo)向機(jī)構(gòu)可根據(jù)需要分為多組，而所述多組的導(dǎo)向機(jī)構(gòu)呈多層結(jié)構(gòu)排布。其中，上述實(shí)施例中只是例舉了一組所述導(dǎo)向機(jī)構(gòu)中，設(shè)置一個(gè)所述調(diào)整機(jī)構(gòu)5控制一個(gè)導(dǎo)向機(jī)構(gòu)的實(shí)施例。而實(shí)際過(guò)程中，一組導(dǎo)向機(jī)構(gòu)中，可根據(jù)需要設(shè)置多個(gè)上述的調(diào)整機(jī)構(gòu)，從而調(diào)整多個(gè)導(dǎo)向機(jī)構(gòu)與頂桿之間的距離。除此之外，在實(shí)施例4或5中，在所述調(diào)整機(jī)構(gòu)5同樣可包括如實(shí)施例2中所述的輔助調(diào)整板57。用于進(jìn)一步加強(qiáng)所述調(diào)整機(jī)構(gòu)5對(duì)于所述導(dǎo)向機(jī)構(gòu)6的調(diào)整靈活性，該輔助調(diào)整板57的結(jié)構(gòu)與實(shí)施例2相似，在此不再贅述。這些簡(jiǎn)單的改造也都包括在本發(fā)明的保護(hù)范圍內(nèi)。雖然本發(fā)明已以較佳實(shí)施例披露如上，但本發(fā)明并非限定于此。任何本領(lǐng)域技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi) ，均可作各種更動(dòng)與修改，因此本發(fā)明的保護(hù)范圍應(yīng)當(dāng)以權(quán)利要求所限定的范圍為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
1.一種用于抬升襯底的頂桿組件，所述頂桿組件包括頂桿以及用于引導(dǎo)所述頂桿作軸向移動(dòng)的導(dǎo)向裝置；所述導(dǎo)向裝置包括支架以及安裝在所述支架上的多個(gè)導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，所述多個(gè)導(dǎo)向機(jī)構(gòu)圍繞所述頂桿設(shè)置，限制所述頂桿的位置，其特征在于， 所述導(dǎo)向裝置還包括調(diào)整機(jī)構(gòu)，所述調(diào)整機(jī)構(gòu)至少控制一個(gè)所述的導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，用于調(diào)整該導(dǎo)向機(jī)構(gòu)沿所述頂桿徑向與所述頂桿間的距離。
2.如權(quán)利要求1所述的用于抬升襯底的頂桿組件，其特征在于，所述支架包括沿所述頂桿軸向設(shè)置的穿通孔，所述頂桿至少部分設(shè)置在所述穿通孔中，所述多個(gè)導(dǎo)向機(jī)構(gòu)設(shè)置在所述穿通孔的孔壁上。
3.如權(quán)利要求2所述的用于抬升襯底的頂桿組件，其特征在于，所述調(diào)整機(jī)構(gòu)控制的導(dǎo)向機(jī)構(gòu)至少包括一個(gè)滾輪；所述滾輪弓I導(dǎo)所述頂桿作軸向移動(dòng)。
4.如權(quán)利要求3所述的用于抬升襯底的頂桿組件，其特征在于，所述調(diào)整機(jī)構(gòu)控制所述滾輪移動(dòng)，從而調(diào)整所述滾輪與其余導(dǎo)向機(jī)構(gòu)間的距離。
5.如權(quán)利要求4所述的用于抬升襯底的頂桿組件，其特征在于，在所述支架上，設(shè)有貫穿所述孔壁的窗口 ；所述滾輪安裝在所述窗口中。
6.如權(quán)利要求5所述的用于抬升襯底的頂桿組件，其特征在于，所述調(diào)整機(jī)構(gòu)控制的導(dǎo)向機(jī)構(gòu)還包括一滾軸，所述滾輪安裝在所述滾軸上；且在所述支架上，位于所述窗口的兩側(cè)開設(shè)有用于放置所述滾輪的切除部。
7.如權(quán)利要求6所述的用于抬升襯底的頂桿組件，其特征在于，所述調(diào)整機(jī)構(gòu)包括一調(diào)整板和一定位裝置，所述調(diào)整板通過(guò)所述定位裝置設(shè)置于所述孔壁外表面；所述定位裝置調(diào)整所述調(diào)整板相對(duì)所述支架移動(dòng)，并帶動(dòng)所述滾軸移動(dòng)從而調(diào)整所述滾輪與所述頂桿間的距離。
8.如權(quán)利要求7所述的 用于抬升襯底的頂桿組件，其特征在于，所述滾軸的一端抵于所述調(diào)整板。
9.如權(quán)利要求8所述的用于抬升襯底的頂桿組件，其特征在于，所述調(diào)整機(jī)構(gòu)還包括彈性定位裝置；所述調(diào)整機(jī)構(gòu)控制的導(dǎo)向機(jī)構(gòu)通過(guò)所述彈性定位裝置與所述支架連接。
10.如權(quán)利要求9所述的用于抬升襯底的頂桿組件，其特征在于，所述彈性定位裝置包括彈簧片、彈簧墊或彈性材料層；所述彈簧片、彈簧墊或彈性材料層安裝于所述切除部?jī)?nèi)，且位于所述滾軸與支架的間隙之間。
11.如權(quán)利要求8所述的用于抬升襯底的頂桿組件，其特征在于，所述調(diào)整機(jī)構(gòu)還包括彈性定位裝置；所述彈性定位裝置包括彈簧片、彈簧墊或彈性材料層；所述滾軸的另一端抵于所述支架，且所述滾軸與調(diào)整板之間設(shè)有所述彈性定位裝置。
12.如權(quán)利要求9所述的用于抬升襯底的頂桿組件，其特征在于，所述彈性定位裝置包括一個(gè)安裝在所述支架上的軸承，所述軸承與所述支架間設(shè)有彈簧片、彈簧墊或彈性材料層；所述滾軸插于所述軸承內(nèi)，而所述軸承固定于所述切除部?jī)?nèi)。
13.如權(quán)利要求7所述的用于抬升襯底的頂桿組件，其特征在于，所述滾軸的一端連接所述調(diào)整板。
14.如權(quán)利要求13所述的用于抬升襯底的頂桿組件，其特征在于，所述調(diào)整板設(shè)有固定軸套或開設(shè)凹孔；所述滾軸一端裝于所述固定軸套或是凹孔中，從而與所述調(diào)整板連接。
15.如權(quán)利要求14所述的用于抬升襯底的頂桿組件，其特征在于，所述固定軸套或凹孔與所述滾軸相接觸的內(nèi)側(cè)表面設(shè)有凹槽，且所述凹槽內(nèi)裝有滾珠。
16.如權(quán)利要求14所述的用于抬升襯底的頂桿組件，其特征在于，所述固定軸套或凹孔的內(nèi)徑大于所述滾軸的外徑，且在所述固定軸套或凹孔與滾軸之間設(shè)有復(fù)位裝置。
17.如權(quán)利要求16所述的用于抬升襯底的頂桿組件，其特征在于，所述復(fù)位裝置為彈簧片、彈簧墊或彈性材料層。
18.如權(quán)利要求13所述的用于抬升襯底的頂桿組件，其特征在于，所述導(dǎo)向機(jī)構(gòu)的滾軸一端設(shè)有一曲面凸塊；所述調(diào)整板上開設(shè)有與所述滾軸的曲面凸塊結(jié)構(gòu)相配的凸塊凹孔，所述滾軸的曲面凸塊裝于所述凸塊凹孔內(nèi)，與所述調(diào)整板連接。
19.如權(quán)利要求18所述的用于抬升襯底的頂桿組件，其特征在于，所述調(diào)整機(jī)構(gòu)還包括一個(gè)固定在所述支架上的定位軸套；所述滾軸另一端插于所述定位軸套內(nèi)，且所述定位軸套內(nèi)徑大于所述滾軸直徑。
20.如權(quán)利要求19的用于抬升襯底的頂桿組件，其特征在于，所述定位軸套內(nèi)側(cè)與所述滾軸之間設(shè)有彈性墊圈，從而調(diào)整所述滾軸移動(dòng)并使得所述滾輪貼合所述頂桿。
21.如權(quán)利要求7所述的用于抬升襯底的頂桿組件，其特征在于，所述調(diào)整板的移動(dòng)方向垂直所述頂桿軸向且與所述滾軸的軸向成夾角。
22.如權(quán)利要求21所述的用于抬升襯底的頂桿組件，其特征在于，所述調(diào)整板的移動(dòng)方向垂直所述頂桿軸向且垂直所述滾軸的軸向。
23.如權(quán)利要求21所述的用于抬升襯底的頂桿組件，其特征在于，所述支架外表面開設(shè)一限位框，所述調(diào)整板設(shè)置在所述限位框中。
24.如權(quán)利要求23所述的用于抬升襯底的頂桿組件，其特征在于，在所述限位框內(nèi)，所述調(diào)整板的移動(dòng)方向與所述滾軸的軸向垂直。
25.如權(quán)利要求7 24任一項(xiàng)所述的用于抬升襯底的頂桿組件，其特征在于，所述定位裝置包括調(diào)整螺釘，所述調(diào)整螺釘將所述調(diào)整板固定在所述支架上，通過(guò)調(diào)節(jié)所述調(diào)整螺釘?shù)乃删o，從而調(diào)節(jié)所述調(diào)整板與所述支架之間的移動(dòng)。
26.如權(quán)利要求7 10、12 18和21 24中任一項(xiàng)所述的用于抬升襯底的頂桿組件，其特征在于，所述調(diào)整機(jī)構(gòu)還包括一塊固定于所述支架上的輔助調(diào)整板，所述輔助調(diào)整板位于所述滾軸的另一端；且所述滾軸的另一端抵于所述輔助調(diào)整板。
27.如權(quán)利要求26所述的用于抬升襯底的頂桿組件，其特征在于，所述輔助調(diào)整板與支架之間設(shè)有定位裝置，調(diào)整所述輔助調(diào)整板位于所述支架上的位置。
28.如權(quán)利要求26所述的用于抬升襯底的頂桿組件，其特征在于，所述支架還設(shè)有一個(gè)用于安裝所述輔助調(diào)整板的輔助限位框；所述定位裝置包括一調(diào)整螺釘；所述調(diào)整螺釘貫穿所述輔助調(diào)整板，將所述輔助調(diào)整板固定安裝在所述支架上，且調(diào)節(jié)所述輔助調(diào)整板與所述支架之間的移動(dòng)。
29.如權(quán)利要求2所述的用于抬升襯底的頂桿組件，其特征在于，除所述調(diào)整機(jī)構(gòu)控制的導(dǎo)向機(jī)構(gòu)外，其余的每個(gè)導(dǎo)向機(jī)構(gòu)均包括設(shè)于所述孔壁上的滾子。
30.如權(quán)利要求29所述的用于抬升襯底的頂桿組件，其特征在于，所述的多個(gè)導(dǎo)向機(jī)構(gòu)圍繞所述頂桿均勻分布。
31.如權(quán)利要求2所述的用于抬升襯底的頂桿組件，其特征在于，所述多個(gè)導(dǎo)向機(jī)構(gòu)均包括一個(gè)滾輪，所述的多個(gè)滾輪夾持所述頂桿。
32.如權(quán)利要求31所述的用于抬升襯底的頂桿組件，其特征在于，在所述支架上，在各個(gè)所述滾輪的對(duì)應(yīng)位置處設(shè)有與該滾輪結(jié)構(gòu)相匹配的窗口 ；所述窗口貫穿所述孔壁，所述的多個(gè)滾輪安裝在所述多個(gè)窗口中。
33.如權(quán)利要求31所述的用于抬升襯底的頂桿組件，其特征在于，所述的多個(gè)滾輪圍繞所述頂桿均勻分布。
34.如權(quán)利要求2所述的用于抬升襯底的頂桿組件，其特征在于，所述多個(gè)導(dǎo)向機(jī)構(gòu)分為多組，且該多組導(dǎo)向機(jī)構(gòu)呈多層結(jié)構(gòu)分布。
35.如權(quán)利要求34所述的用于抬升襯底的頂桿組件，其特征在于，每一組導(dǎo)向機(jī)構(gòu)至少包括三個(gè)所述導(dǎo)向機(jī)構(gòu)。
36.如權(quán)利要求32所述的用于抬升襯底的頂桿組件，其特征在于，各個(gè)所述導(dǎo)向機(jī)構(gòu)均還包括滾軸，各個(gè)所述導(dǎo)向機(jī)構(gòu)的滾輪安裝在所述滾軸上；在所述支架上，位于各個(gè)所述窗口的兩側(cè)設(shè)有用于放置該窗口內(nèi)的滾輪所對(duì)應(yīng)的滾軸的切除部。
37.如權(quán)利要求36所述的用于抬升襯底的頂桿組件，其特征在于，所述滾輪開設(shè)滾輪通孔，所述滾軸一端插于所述滾輪通孔內(nèi)；且在所述滾輪通孔的內(nèi)壁開設(shè)凹槽，且所述凹槽內(nèi)裝有滾珠。
38.如權(quán)利要求36所述的用于抬升襯底的頂桿組件，其特征在于，所述滾輪開設(shè)滾輪通孔，所述滾軸的一端插于所述滾輪通孔內(nèi)，且所述滾軸的另一端直徑大于所述滾輪通孔的孔徑。
39.如權(quán)利要求37所 述的用于抬升襯底的頂桿組件，其特征在于，除所述調(diào)整機(jī)構(gòu)控制的導(dǎo)向機(jī)構(gòu)外，其余的導(dǎo)向機(jī)構(gòu)還包括一個(gè)固定于所述支架上的軸承；所述滾軸插于所述軸承內(nèi)。
40.如權(quán)利要求39所述的用于抬升襯底的頂桿組件，其特征在于，所述滾軸一端的直徑大于所述滾輪通孔的孔徑，而所述軸承位于所述滾軸的另一端，從而限定所述滾輪在滾軸上的安裝位置。
41.如權(quán)利要求12或39或40所述的用于抬升襯底的頂桿組件，其特征在于，在所述軸承與所述滾軸相接觸的內(nèi)側(cè)表面設(shè)有凹槽，且所述凹槽內(nèi)裝有滾珠。
全文摘要
一種用于抬升襯底的頂桿組件，所述頂桿組件包括頂桿以及用于引導(dǎo)所述頂桿作軸向移動(dòng)的導(dǎo)向裝置，所述導(dǎo)向裝置包括支架以及安裝在所述支架上的多個(gè)導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，所述多個(gè)導(dǎo)向機(jī)構(gòu)圍繞所述頂桿的設(shè)置，限制所述頂桿的位置；所述導(dǎo)向裝置還包括調(diào)整機(jī)構(gòu)，所述調(diào)整機(jī)構(gòu)至少控制一個(gè)所述的導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，用于調(diào)整該導(dǎo)向機(jī)構(gòu)沿所述頂桿徑向與所述頂桿間的距離。本發(fā)明通過(guò)在頂桿的周圍設(shè)置多個(gè)導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，從而引導(dǎo)頂桿軸向移動(dòng)，克服頂桿發(fā)生偏移并導(dǎo)致其折斷等現(xiàn)象的發(fā)生。而所述調(diào)整機(jī)構(gòu)設(shè)置不僅使得本發(fā)明可適用于不同的粗細(xì)的頂桿，而且還可通過(guò)所述調(diào)整機(jī)構(gòu)控制該導(dǎo)向機(jī)構(gòu)與頂桿間保留的距離有效避免因頂桿形變而導(dǎo)致的頂桿無(wú)法順暢下落等問(wèn)題。
文檔編號(hào)H01L31/18GK103247711SQ20121003293
公開日2013年8月14日 申請(qǐng)日期2012年2月14日 優(yōu)先權(quán)日2012年2月14日
發(fā)明者胡國(guó)申 申請(qǐng)人:理想能源設(shè)備(上海)有限公司