專(zhuān)利名稱(chēng)：光半導(dǎo)體裝置及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及光半導(dǎo)體裝置及其制造方法。
背景技術(shù)：
在LED、半導(dǎo)體激光器、受光器件等光半導(dǎo)體裝置的制造エ序中，通常使用壓制鋼板來(lái)沖切導(dǎo)線(xiàn)框，然后在導(dǎo)線(xiàn)框上設(shè)置光半導(dǎo)體元件，接著進(jìn)行使用樹(shù)脂密封光半導(dǎo)體元件和上述導(dǎo)線(xiàn)框的一部分的エ序。在這種制造エ序中，在使用壓制鋼板來(lái)沖切導(dǎo)線(xiàn)框時(shí)，在起膜部中朝著沖切的方向產(chǎn)生飛邊，在使用樹(shù)脂來(lái)密封光半導(dǎo)體元件和上述導(dǎo)線(xiàn)框的一部分的エ序中，通過(guò)樹(shù)脂的表面張カ而在產(chǎn)生于沖切部的飛邊中傳遞而在導(dǎo)線(xiàn)框中隆起，在導(dǎo)線(xiàn)框中隆起的樹(shù)脂有時(shí)會(huì)產(chǎn)生妨礙與用于安裝到安裝基板上的焊料的濕潤(rùn)性的問(wèn)題。S卩，從樹(shù)脂注入エ序到樹(shù)脂硬化工序的時(shí)間根據(jù)批處理用的エ序、樹(shù)脂注入的定時(shí)而不同，從樹(shù)脂注入エ序到樹(shù)脂硬化工序的時(shí)間越長(zhǎng)，則樹(shù)脂越會(huì)由于其表面張カ而在產(chǎn)生于沖切部的飛邊中傳遞而在導(dǎo)線(xiàn)部隆起。若在這種狀態(tài)下進(jìn)行硬化，則會(huì)有損導(dǎo)線(xiàn)部的焊料濕潤(rùn)性。在專(zhuān)利文獻(xiàn)I、專(zhuān)利文獻(xiàn)2提出了防止這種樹(shù)脂隆起的技術(shù)。S卩，在專(zhuān)利文獻(xiàn)I中，在密封樹(shù)脂加熱硬化之前對(duì)導(dǎo)線(xiàn)框表面上的密封樹(shù)脂相鄰區(qū)域?qū)嵤╇x型劑的涂布，防止樹(shù)脂隆起。另外，在專(zhuān)利文獻(xiàn)2中，利用沖壓模具對(duì)在導(dǎo)線(xiàn)框的沖切加工時(shí)所產(chǎn)生的突起狀飛邊部分進(jìn)行追加加工，以將焊接區(qū)域作為對(duì)象使其變得平坦，而且對(duì)導(dǎo)線(xiàn)電極表面實(shí)施無(wú)光澤電鍍，從而防止樹(shù)脂的隆起。專(zhuān)利文獻(xiàn)I日本特開(kāi)昭63-086484號(hào)公報(bào)專(zhuān)利文獻(xiàn)2日本特開(kāi)2001-230453號(hào)公報(bào)然而在專(zhuān)利文獻(xiàn)I中，難以確認(rèn)是否始終穩(wěn)定地實(shí)施了均勻的涂布，依賴(lài)于作業(yè)者技能的部分較多，因而存在耗費(fèi)管理成本的問(wèn)題。另外，在專(zhuān)利文獻(xiàn)2中，除了通常的沖切模具之外，還需要具有復(fù)雜構(gòu)成的高精度的沖壓模具，存在初始費(fèi)用升高的問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供ー種能夠在不必耗費(fèi)大量成本和勞動(dòng)カ的情況下，防止導(dǎo)線(xiàn)部(導(dǎo)線(xiàn)框)中的樹(shù)脂的隆起的光半導(dǎo)體裝置及其制造方法。為了達(dá)成上述目的，本發(fā)明第一方面提供ー種光半導(dǎo)體裝置，其具有光半導(dǎo)體元件；用于設(shè)置該光半導(dǎo)體元件的導(dǎo)線(xiàn)框；覆蓋上述光半導(dǎo)體元件和上述導(dǎo)線(xiàn)框的上述光半導(dǎo)體元件設(shè)置側(cè)的端部的密封樹(shù)脂部，其特征在于，上述導(dǎo)線(xiàn)框在與上述密封樹(shù)脂部的底面相比位于上述光半導(dǎo)體元件設(shè)置側(cè)的相反側(cè)的區(qū)域具有飛邊反轉(zhuǎn)區(qū)域。 另外，本發(fā)明第二方面根據(jù)第一方面，其特征在干，上述光半導(dǎo)體裝置還具有罩部，該罩部包圍上述密封樹(shù)脂部，至少一部分與上述密封樹(shù)脂部的底面相比向上述光半導(dǎo)體元件設(shè)置側(cè)的相反側(cè)突出，上述飛邊反轉(zhuǎn)區(qū)域的上述光半導(dǎo)體元件設(shè)置側(cè)的端部與上述罩部的最低的底面相比設(shè)置于上述密封樹(shù)脂部側(cè)。另外，本發(fā)明第三方面提供ー種光半導(dǎo)體裝置的制造方法，其特征在于，具有第I沖切エ序，以至少殘留飛邊反轉(zhuǎn)用連接桿的方式，從ー個(gè)方向從壓制鋼板沖切出導(dǎo)線(xiàn)框；第2沖切エ序，對(duì)于進(jìn)行了第I沖切エ序后的上述導(dǎo)線(xiàn)框，從與上述第I沖切エ序相反的方向?qū)ι鲜鲲w邊反轉(zhuǎn)用連接桿進(jìn)行沖切，在上述導(dǎo)線(xiàn)框上設(shè)置飛邊反轉(zhuǎn)區(qū)域；在上述導(dǎo)線(xiàn)框的一個(gè)端部設(shè)置光半導(dǎo)體元件的エ序；以及以使得上述飛邊反轉(zhuǎn)區(qū)域露出的方式使用樹(shù)脂密封上述光半導(dǎo)體元件和上述導(dǎo)線(xiàn)框的ー個(gè)端部的エ序。根據(jù)本發(fā)明第一方面、第二方面所述發(fā)明，光半導(dǎo)體裝置具有光半導(dǎo)體元件；用于設(shè)置該光半導(dǎo)體元件的導(dǎo)線(xiàn)框；覆蓋上述光半導(dǎo)體元件和上述導(dǎo)線(xiàn)框的上述光半導(dǎo)體元件設(shè)置側(cè)的端部的密封樹(shù)脂部，上述導(dǎo)線(xiàn)框在與上述密封樹(shù)脂部的底面相比位于上述光半導(dǎo)體元件設(shè)置側(cè)的相反側(cè)的區(qū)域具有飛邊反轉(zhuǎn)區(qū)域，因此能夠在不必耗費(fèi)大量成本和勞動(dòng)力的情況下，防止導(dǎo)線(xiàn)部(導(dǎo)線(xiàn)框)中的樹(shù)脂的隆起。 另外，根據(jù)本發(fā)明第三方面，光半導(dǎo)體裝置的制造方法具有 第I沖切エ序，以至少殘留飛邊反轉(zhuǎn)用連接桿的方式，從ー個(gè)方向從壓制鋼板沖切出導(dǎo)線(xiàn)框；第2沖切エ序，對(duì)于進(jìn)行了第I沖切エ序后的上述導(dǎo)線(xiàn)框，從與上述第I沖切エ序相反的方向?qū)ι鲜鲲w邊反轉(zhuǎn)用連接桿進(jìn)行沖切，在上述導(dǎo)線(xiàn)框上設(shè)置飛邊反轉(zhuǎn)區(qū)域；在上述導(dǎo)線(xiàn)框的ー個(gè)端部設(shè)置光半導(dǎo)體元件的エ序；以及以使得上述飛邊反轉(zhuǎn)區(qū)域露出的方式使用樹(shù)脂密封上述光半導(dǎo)體元件和上述導(dǎo)線(xiàn)框的ー個(gè)端部的エ序，因此能夠在不必耗費(fèi)大量成本和勞動(dòng)カ的情況下，防止導(dǎo)線(xiàn)部(導(dǎo)線(xiàn)框)中的樹(shù)脂的隆起。


圖I表示本發(fā)明的光半導(dǎo)體裝置的一個(gè)構(gòu)成例的圖。圖2是表示圖I的光半導(dǎo)體裝置的制造エ序例的圖。圖3是表示圖I的光半導(dǎo)體裝置的制造エ序例的圖。圖4是表示圖I的光半導(dǎo)體裝置的制造エ序例的圖。圖5是表示圖I的光半導(dǎo)體裝置的制造エ序例的圖。圖6是表示圖I的光半導(dǎo)體裝置的制造エ序例的圖。圖7是表示圖I的光半導(dǎo)體裝置的制造エ序例的圖。圖8是表示本發(fā)明的光半導(dǎo)體裝置的其他構(gòu)成例的圖。圖9是表示圖8的光半導(dǎo)體裝置的制造エ序例的圖。圖10是表示圖8的光半導(dǎo)體裝置的制造エ序例的圖。圖11是表示圖8的光半導(dǎo)體裝置的制造エ序例的圖。圖12是表示圖8的光半導(dǎo)體裝置的制造エ序例的圖。圖13是表示圖8的光半導(dǎo)體裝置的制造エ序例的圖。圖14是表示圖8的光半導(dǎo)體裝置的制造エ序例的圖。圖15是表示圖8的光半導(dǎo)體裝置的制造エ序例的圖。圖16是表示插入導(dǎo)線(xiàn)框之前的罩部(樹(shù)脂殼體)的圖。
標(biāo)號(hào)說(shuō)明I光半導(dǎo)體元件；2導(dǎo)線(xiàn)框；3密封樹(shù)脂部；4飛邊反轉(zhuǎn)區(qū)域；6、7飛邊；9絲線(xiàn)；14飛邊反轉(zhuǎn)用連接桿；15姿勢(shì)保持用連接桿；21光半導(dǎo)體元件；22、32導(dǎo)線(xiàn)框；23密封樹(shù)脂部；24飛邊反轉(zhuǎn)區(qū)域；26、27飛邊；29絲線(xiàn)；34罩部(樹(shù)脂殼體);44飛邊反轉(zhuǎn)用連接桿；45姿勢(shì)保持用連接桿；10、40光半導(dǎo)體裝置。
具體實(shí)施例方式下面根據(jù)

本發(fā)明的實(shí)施方式。圖I (a)、(b)是表示本發(fā)明的光半導(dǎo)體裝置的一個(gè)構(gòu)成例的圖。并且圖I (a)是主視圖，圖1(b)是側(cè)視圖。參照?qǐng)D1(a)、(b)，該光半導(dǎo)體裝置10具有光半導(dǎo)體元件I、在任意一方設(shè)置有上述光半導(dǎo)體元件I的ー對(duì)導(dǎo)線(xiàn)框2、2、覆蓋上述光半導(dǎo)體元件I和上述ー對(duì)導(dǎo)線(xiàn)框2、2的上述光半導(dǎo)體元件設(shè)置側(cè)的端部的密封樹(shù)脂部3。
而且ー對(duì)導(dǎo)線(xiàn)框2、2在與密封樹(shù)脂部3的底面3a相比位于上述光半導(dǎo)體元件設(shè)置側(cè)的相反側(cè)的區(qū)域(即未被樹(shù)脂密封的區(qū)域)具有飛邊反轉(zhuǎn)區(qū)域4。導(dǎo)線(xiàn)框2、2分別在相対的面中的任意一方中具有飛邊，而另一面成為平坦面，而在飛邊反轉(zhuǎn)區(qū)域4中，具有飛邊的面和平坦面是與其他區(qū)域不同的面。并且在圖1(b)中，符號(hào)3b是密封樹(shù)脂部3的隆起部，符號(hào)6、7是飛邊，符號(hào)9是絲線(xiàn)。圖2 (a)、(b)、圖 3 (a)、(b)、圖 4 (a)、(b)、圖 5 (a)、(b)、圖 6 (a)、(b)、圖 7 (a)、(b)是表示圖1(a)、(b)的光半導(dǎo)體裝置的制造エ序例的圖。并且，圖2(a)、圖3(a)、圖4(a)、圖 5(a)、圖 6(a)、圖 7(a)是主視圖，圖 2 (b)、圖 3 (b)、圖 4 (b)、圖 5 (b)、圖 6 (b)、圖 7 (b)是側(cè)視圖。在制作圖1(a)、(b)的光半導(dǎo)體裝置時(shí)，首先如圖2(a)、(b)所示，以殘留姿勢(shì)保持用連接桿15和飛邊反轉(zhuǎn)用連接桿14的方式從壓制鋼板朝ー個(gè)方向(例如按壓紙面的方向)沖切出導(dǎo)線(xiàn)框2(第I沖切エ序)。如圖2(b)所示，通過(guò)該第I沖切エ序，殘留姿勢(shì)保持用連接桿15和飛邊反轉(zhuǎn)用連接桿14的部分，在導(dǎo)線(xiàn)框2中產(chǎn)生朝向ー個(gè)方向Dl的飛邊6。接著，如圖3(a)、(b)所示，對(duì)于經(jīng)過(guò)了第I沖切エ序后的圖2(a)、(b)的狀態(tài)的導(dǎo)線(xiàn)框2，從與上述第I沖切エ序相反的方向(例如紙面向根前處方向)對(duì)上述飛邊反轉(zhuǎn)用連接桿14進(jìn)行沖切，在導(dǎo)線(xiàn)框2中設(shè)置飛邊反轉(zhuǎn)區(qū)域4 (第2沖切エ序)。即，通過(guò)該第2沖切エ序，如圖3(b)所示，在對(duì)導(dǎo)線(xiàn)框2的飛邊反轉(zhuǎn)用連接桿14進(jìn)行了沖切的部分產(chǎn)生朝向與上述ー個(gè)方向Dl相反的方向D2的飛邊7,而產(chǎn)生了朝向與ー個(gè)方向Dl相反的方向D2的飛邊7的區(qū)域就是飛邊反轉(zhuǎn)區(qū)域4。此后，如圖4(a)、(b)所示，將光半導(dǎo)體元件I設(shè)置于ー對(duì)導(dǎo)線(xiàn)框2、2中的ー個(gè)導(dǎo)線(xiàn)框2的ー個(gè)端部。然后通過(guò)絲線(xiàn)9將ー對(duì)導(dǎo)線(xiàn)框2、2中的另ー個(gè)導(dǎo)線(xiàn)框2與光半導(dǎo)體元件I進(jìn)行焊接。接著如圖5(a)、(b)所示，以使飛邊反轉(zhuǎn)區(qū)域4露出的方式將光半導(dǎo)體元件I和導(dǎo)線(xiàn)框2、2中的一個(gè)端部浸入到填充有熔融的樹(shù)脂(例如環(huán)氧樹(shù)脂)3的模具11內(nèi)。另外，從飛邊反轉(zhuǎn)區(qū)域4位于光半導(dǎo)體元件I側(cè)的飛邊6的一部分浸泡在熔融的樹(shù)脂中，而一部分露出。此時(shí)，熔融的樹(shù)脂(例如環(huán)氧樹(shù)脂)3在從飛邊6的所浸泡的一部分露出的部分中傳遞而在導(dǎo)線(xiàn)框2、2中隆起(符號(hào)3b就是樹(shù)脂3的隆起部分)，樹(shù)脂3的隆起到達(dá)飛邊反轉(zhuǎn)區(qū)域4，由于飛邊6所存在的面成為平坦面，從而停止隆起。因此直接對(duì)樹(shù)脂進(jìn)行硬化，就能形成樹(shù)脂從底面3a僅隆起至到達(dá)飛邊反轉(zhuǎn)區(qū)域4之前的狀態(tài)。樹(shù)脂在導(dǎo)線(xiàn)框2、2的與飛邊6相対的面上也會(huì)略微隆起，然而由于其屬于平坦面，因而無(wú)法到達(dá)飛邊反轉(zhuǎn)區(qū)域4而停止。由此，如圖6(a)、(b)所示，能夠以樹(shù)脂3不會(huì)比飛邊反轉(zhuǎn)區(qū)域4先隆起的方式使用樹(shù)脂3對(duì)光半導(dǎo)體元件I和導(dǎo)線(xiàn)框2、2的ー個(gè)端部進(jìn)行密封。然后如圖7(a)、(b)所示，對(duì)姿勢(shì)保持用連接桿15進(jìn)行沖切，從而能夠制作出圖1(a)、(b)的光半導(dǎo)體裝置。在圖1(a)、(b)中，在導(dǎo)線(xiàn)框2、2中分別殘留有飛邊反轉(zhuǎn)用連接桿14和姿勢(shì)保持用連接桿15這2個(gè)部位的連接桿的沖切痕跡。在圖1(a)的主視圖中，導(dǎo)線(xiàn)框2、2的寬度比其他區(qū)域?qū)挼膮^(qū)域就是連接桿的沖切痕跡。由于飛邊反轉(zhuǎn)用連接桿14 比姿勢(shì)保持用連接桿15更靠近密封樹(shù)脂部3側(cè)，因此飛邊反轉(zhuǎn)區(qū)域4存在于密封樹(shù)脂部3側(cè)的連接桿沖切痕跡中。如上，在圖1(a)、(b)的光半導(dǎo)體裝置中，能夠在不必耗費(fèi)大量成本和勞動(dòng)カ的情況下，防止導(dǎo)線(xiàn)部(導(dǎo)線(xiàn)框)中的樹(shù)脂的隆起，由此就能夠防止在用于安裝到安裝基板上的焊接エ序中產(chǎn)生導(dǎo)線(xiàn)部(導(dǎo)線(xiàn)框)的焊接潤(rùn)濕不良的情況。另外，圖8(a)、(b)、(C)是表示本發(fā)明的光半導(dǎo)體裝置的其他構(gòu)成例的圖。并且圖8 (a)是主視圖，圖8(b)是側(cè)視圖，圖8(c)是俯視圖。參見(jiàn)圖8(a)、(b)、(c),該光半導(dǎo)體裝置40具有9個(gè)光半導(dǎo)體元件21、分別設(shè)置有9個(gè)光半導(dǎo)體元件21的導(dǎo)線(xiàn)框(9個(gè)導(dǎo)線(xiàn)框)22、與9個(gè)導(dǎo)線(xiàn)框22分別構(gòu)成一對(duì)導(dǎo)線(xiàn)框且通過(guò)絲線(xiàn)29與9個(gè)光半導(dǎo)體元件21進(jìn)行焊接的I個(gè)導(dǎo)線(xiàn)框32、覆蓋9個(gè)光半導(dǎo)體元件21和上述ー對(duì)導(dǎo)線(xiàn)框22、32的上述光半導(dǎo)體元件設(shè)置側(cè)的端部的密封樹(shù)脂部23。而且該光半導(dǎo)體裝置40還具有罩部(樹(shù)脂殼體)34，該罩部(樹(shù)脂殼體)34包圍密封樹(shù)脂部23，并且至少一部分與密封樹(shù)脂部23的底面23a相比向光半導(dǎo)體元件設(shè)置側(cè)的相反側(cè)突出。其中，罩部34設(shè)置有用于使來(lái)自各光半導(dǎo)體元件21的光分別射出的出射窗ロ作為開(kāi)ロ 35。另外，在圖8(a)、(b)、(c)的例子中，罩部34在兩側(cè)端部具有突起狀部分36。在該光半導(dǎo)體裝置40中，9個(gè)導(dǎo)線(xiàn)框22和I個(gè)導(dǎo)線(xiàn)框32在與密封樹(shù)脂部23的底面23a相比位于上述光半導(dǎo)體元件設(shè)置側(cè)的相反側(cè)的區(qū)域(即未被樹(shù)脂密封的區(qū)域)具有飛邊反轉(zhuǎn)區(qū)域24。導(dǎo)線(xiàn)框22、32分別在相対的面中的任意一方中具有飛邊，而另一個(gè)面為平坦面，在飛邊反轉(zhuǎn)區(qū)域24中，具有飛邊的面和平坦面是與其他區(qū)域不同的面。其中，飛邊反轉(zhuǎn)區(qū)域24與罩部34的最低的底面(在圖8(a)、(b)、(c)的例子中是罩部34的兩側(cè)端部的突起狀部分36的底面36a)相比設(shè)置于上述密封樹(shù)脂部23側(cè)。并且在圖8(a)、(b)中，符號(hào)23b是密封樹(shù)脂部23的隆起部，符號(hào)26、27是飛邊。圖9(a)、(b)、圖 10(a)、(b)、圖 ll(a)、(b)、圖 12(a)、(b)、圖 13(a)、(b)、圖 14(a)、(b)、圖15(a)、(b)是表示圖8(a)、(b)、(c)的光半導(dǎo)體裝置的制造エ序例的圖。并且，圖9 (a)、圖10 (a)、圖11 (a)、圖12 (a)、圖13(a)是俯視圖，圖14 (a)、圖15(a)是主視圖，圖9(b)、圖 10(b)、圖 11(b)、圖 12(b)、圖 13(b)分別是圖 9 (a)、圖 10 (a)、圖 11 (a)、圖 12(a)、圖13(a)的A-A線(xiàn)側(cè)視圖，圖14(b)、圖15(b)分別是圖14 (a)、圖15(a)的側(cè)視圖。在制作圖8(a)、(b)的光半導(dǎo)體裝置時(shí)，首先如圖9(a)、(b)所示，以殘留姿勢(shì)保持用連接桿45和飛邊反轉(zhuǎn)用連接桿44的方式從壓制鋼板朝ー個(gè)方向(例如按壓紙面的方向)沖切出導(dǎo)線(xiàn)框22、32(第I沖切エ序)。如圖9(b)所示，通過(guò)該第I沖切エ序，殘留姿勢(shì)保持用連接桿45和飛邊反轉(zhuǎn)用連接桿44的部分，在導(dǎo)線(xiàn)框22、32中產(chǎn)生朝向ー個(gè)方向Dl的飛邊26。接著，如圖10(a)、(b)所示，對(duì)于經(jīng)過(guò)了第I沖切エ序的圖9(a)、(b)的狀態(tài)的導(dǎo)線(xiàn)框22、32，從與上述第I沖切エ序相反的方向(例如將紙面朝向跟前處的方向)對(duì)上述飛邊反轉(zhuǎn)用連接桿44進(jìn)行沖切，在導(dǎo)線(xiàn)框22、32中設(shè)置飛邊反轉(zhuǎn)區(qū)域24(第2沖切エ序)。即，通過(guò)該第2沖切エ序，如圖10(b)所示，在對(duì)導(dǎo)線(xiàn)框22、32的飛邊反轉(zhuǎn)用連接桿44進(jìn)行了沖切的部分產(chǎn)生朝向與上述ー個(gè)方向Dl相反的方向D2的飛邊27，而產(chǎn)生了朝向與ー個(gè)方向Dl相反的方向D2的飛邊27的區(qū)域就是飛邊反轉(zhuǎn)區(qū)域24。此后,如圖11(a)、(b)所不,將9個(gè)光半導(dǎo)體兀件21設(shè)置于一對(duì)導(dǎo)線(xiàn)框22、32中的ー個(gè)導(dǎo)線(xiàn)框22 (9個(gè)導(dǎo)線(xiàn)框22)的端部。然后通過(guò)絲線(xiàn)29將ー對(duì)導(dǎo)線(xiàn)框22、32中的另ー個(gè)導(dǎo)線(xiàn)框32 (I個(gè)導(dǎo)線(xiàn)框32)與光半導(dǎo)體元件21進(jìn)行焊接。 接著如圖12(a)、(b)所示，對(duì)姿勢(shì)保持用連接桿45進(jìn)行沖切。接下來(lái)，如圖13(a)、(b)所示，在折彎位置處將導(dǎo)線(xiàn)框22、32向箭頭M的方向折彎。折彎位置是與導(dǎo)線(xiàn)框22各自的飛邊反轉(zhuǎn)區(qū)域24相比接近光半導(dǎo)體元件21的設(shè)置位置的位置。接著，如圖14(a)、(b)所示，將導(dǎo)線(xiàn)框22、32的在圖13(a)、(b)以符號(hào)R所示的面(光半導(dǎo)體元件21和導(dǎo)線(xiàn)29的搭載面)插入罩部(樹(shù)脂殼體)34。并且，圖16 (a)、(b)示出了插入導(dǎo)線(xiàn)框22、32之前的罩部(樹(shù)脂殼體)34。其中，圖16(a)是主視圖，圖16(b)是俯視圖。圖16(a)所示的罩部(樹(shù)脂殼體)34是注入樹(shù)脂之前的狀態(tài)，在該罩部(樹(shù)脂殼體)34中，在罩部(樹(shù)脂殼體)34的表面(設(shè)有開(kāi)ロ 35的面)設(shè)置有在樹(shù)脂注入時(shí)用以防止樹(shù)脂泄漏的耐熱膜37。即，在后述的樹(shù)脂注入?yún)迹瑯?shù)脂還會(huì)進(jìn)入到罩部(樹(shù)脂殼體)34的開(kāi)ロ 35內(nèi)，因此若未設(shè)置耐熱膜37則會(huì)產(chǎn)生樹(shù)脂泄漏，而通過(guò)設(shè)置耐熱膜37，能防止樹(shù)脂泄漏。而且耐熱膜37將在樹(shù)脂硬化后被剝離。如上，當(dāng)將導(dǎo)線(xiàn)框22、32的圖13(a)、(b)中以符號(hào)R所示的面作為起始插入到罩部(樹(shù)脂殼體)34中后，如圖15(a)、(b)所示，將熔融后的樹(shù)脂(例如環(huán)氧樹(shù)脂)23注入至IJ罩部(樹(shù)脂殼體)34內(nèi)直到高度H處(符號(hào)23a為樹(shù)脂23的高度H的位置(即樹(shù)脂23的底面))。即，以使導(dǎo)線(xiàn)框22、32的飛邊反轉(zhuǎn)區(qū)域24露出的方式注入樹(shù)脂(例如環(huán)氧樹(shù)脂)23。另外，與飛邊反轉(zhuǎn)區(qū)域24相比位于光半導(dǎo)體元件21側(cè)的飛邊26的一部分浸入到熔融的樹(shù)脂中，一部分露出。此時(shí)，熔融的樹(shù)脂(例如環(huán)氧樹(shù)脂)23會(huì)在從飛邊26被浸泡的一部分露出的部分中傳遞而在導(dǎo)線(xiàn)框22、32中隆起(符號(hào)23b是樹(shù)脂23隆起的部分)，樹(shù)脂23的隆起將在到達(dá)飛邊反轉(zhuǎn)區(qū)域24時(shí)停止。樹(shù)脂在導(dǎo)線(xiàn)框22、23的飛邊26的相反側(cè)也會(huì)略微隆起，然而由于是平坦面因而不會(huì)到達(dá)飛邊反轉(zhuǎn)區(qū)域24就停止隆起。由此，能夠以樹(shù)脂23不會(huì)比飛邊反轉(zhuǎn)區(qū)域24先隆起的方式使用樹(shù)脂23對(duì)光半導(dǎo)體元件21和導(dǎo)線(xiàn)框22、32的一個(gè)端部進(jìn)行密封。這樣就能制作出圖8(a)、(b)、(c)的光半導(dǎo)體裝置。如上，在圖8 (a)、(b)、(c)的光半導(dǎo)體裝置40中，能夠在不必耗費(fèi)大量成本和勞動(dòng)力的情況下，防止樹(shù)脂在導(dǎo)線(xiàn)部(導(dǎo)線(xiàn)框)中的隆起，另外，在圖8(a)、(b)、(c)的光半導(dǎo)體裝置40中，飛邊反轉(zhuǎn)區(qū)域24的光半導(dǎo)體元件設(shè)置側(cè)的端部與罩部34的最低的底面(在圖8(a)、(b)、(c)的例子中為罩部34的兩側(cè)端部的突起狀部分36的底面36a)相比設(shè)置于密封樹(shù)脂部23側(cè)。在將本發(fā)明的光半導(dǎo)體裝置安裝于安裝基板上吋，罩部34的最低的底面與安裝基板接觸。用于將光半導(dǎo)體裝置固定于安裝基板的焊料設(shè)置于安裝基板的樹(shù)脂殼體34所處的面的相反側(cè)的面中的插入的導(dǎo)線(xiàn)框22、32突出的位置處。因而飛邊反轉(zhuǎn)區(qū)域24與罩部34的最低的底面相比設(shè)置于樹(shù)脂23側(cè)，從而飛邊反轉(zhuǎn)區(qū)域24能夠可靠地防止樹(shù)脂到達(dá)焊接部位。由于樹(shù)脂隆起停止的部位是半導(dǎo)體元件設(shè)置側(cè)的飛邊反轉(zhuǎn)區(qū)域23的端部，因此該端部只要與罩部34的最低的底面相比位于樹(shù)脂23側(cè)即可。飛邊反轉(zhuǎn)區(qū)域23的端部指的是在導(dǎo)線(xiàn)框22、32中飛邊反轉(zhuǎn)區(qū)域23與其他區(qū)域的邊界部分。另外，即使僅利用一個(gè)端部未能防止樹(shù)脂隆起，在飛邊反轉(zhuǎn)區(qū)域24中隆起的樹(shù)脂也會(huì)回繞到導(dǎo)線(xiàn)框22、32的相對(duì)的面而在飛邊27中傳遞，樹(shù)脂即使到達(dá)另ー個(gè)端部，由于該處為平坦面，因而也能在此處防止樹(shù)脂隆起。即，若飛邊反轉(zhuǎn)區(qū)域24的另ー個(gè)端部也與罩部34的最低的底面相比位于樹(shù)脂23側(cè)，則能雙重防止隆起。因而優(yōu)選飛邊反轉(zhuǎn)區(qū)域24整體與罩部34的最低的底面相比位于樹(shù)脂23側(cè)。并且在圖8(a)、(b)、(C)的例子中，在罩部34中，在未設(shè)有光半導(dǎo)體元件21的部位也設(shè)置了開(kāi)ロ 35，也可以在未設(shè)有光半導(dǎo)體元件21的部位不設(shè)置開(kāi)ロ 35。另外，在圖8(a)、(b)、(C)的例子中，在罩部34的兩側(cè)端部設(shè)置了突起狀部分36，突起狀部分36不限于罩部34的兩側(cè)端部，還能設(shè)置于任意部位?；蛘哌€可以使罩部34的整周成為與突起狀部分36相同的高度(此時(shí)罩部34的外周全都為突起狀部分)。本發(fā)明可用于使用了燈類(lèi)型的LED、半導(dǎo)體激光器、受光器件、帶樹(shù)脂殼體的器件等的導(dǎo)線(xiàn)框的裝置中。
權(quán)利要求
1.一種光半導(dǎo)體裝置，其具有光半導(dǎo)體元件；用于設(shè)置該光半導(dǎo)體元件的導(dǎo)線(xiàn)框；覆蓋上述光半導(dǎo)體元件和上述導(dǎo)線(xiàn)框的上述光半導(dǎo)體元件設(shè)置側(cè)的端部的密封樹(shù)脂部，其特征在于，上述導(dǎo)線(xiàn)框在與上述密封樹(shù)脂部的底面相比位于上述光半導(dǎo)體元件設(shè)置側(cè)的相反側(cè)的區(qū)域具有飛邊反轉(zhuǎn)區(qū)域。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的光半導(dǎo)體裝置，其特征在于，上述光半導(dǎo)體裝置還具有罩部，該罩部包圍上述密封樹(shù)脂部，至少一部分與上述密封樹(shù)脂部的底面相比向上述光半導(dǎo)體元件設(shè)置側(cè)的相反側(cè)突出，上述飛邊反轉(zhuǎn)區(qū)域的上述光半導(dǎo)體元件設(shè)置側(cè)的端部與上述罩部的最低的底面相比設(shè)置于上述密封樹(shù)脂部側(cè)。
3.一種光半導(dǎo)體裝置的制造方法，其特征在于，具有 第I沖切工序，以至少殘留飛邊反轉(zhuǎn)用連接桿的方式，從一個(gè)方向從壓制鋼板沖切出導(dǎo)線(xiàn)框； 第2沖切工序，對(duì)于進(jìn)行了第I沖切工序后的上述導(dǎo)線(xiàn)框，從與上述第I沖切工序相反的方向?qū)ι鲜鲲w邊反轉(zhuǎn)用連接桿進(jìn)行沖切，在上述導(dǎo)線(xiàn)框上設(shè)置飛邊反轉(zhuǎn)區(qū)域； 在上述導(dǎo)線(xiàn)框的一個(gè)端部設(shè)置光半導(dǎo)體元件的工序；以及 以使得上述飛邊反轉(zhuǎn)區(qū)域露出的方式使用樹(shù)脂密封上述光半導(dǎo)體元件和上述導(dǎo)線(xiàn)框的一個(gè)端部的工序。
全文摘要
本發(fā)明提供一種光半導(dǎo)體裝置及其制造方法。能夠在不必耗費(fèi)大量成本和勞動(dòng)力的情況下，防止樹(shù)脂在導(dǎo)線(xiàn)部(導(dǎo)線(xiàn)框)中的隆起。作為解決手段，光半導(dǎo)體裝置具有光半導(dǎo)體元件(1)、用于設(shè)置該光半導(dǎo)體元件(1)的導(dǎo)線(xiàn)框(2、2)、覆蓋上述光半導(dǎo)體元件(1)和上述導(dǎo)線(xiàn)框(2、2)的上述光半導(dǎo)體元件設(shè)置側(cè)的端部的密封樹(shù)脂部(3)，上述導(dǎo)線(xiàn)框(2、2)與上述密封樹(shù)脂部(3)的底面(3a)相比位于上述光半導(dǎo)體元件設(shè)置側(cè)的相反側(cè)的區(qū)域中具有飛邊反轉(zhuǎn)區(qū)域(4)。
文檔編號(hào)H01L23/495GK102683316SQ20121006231
公開(kāi)日2012年9月19日 申請(qǐng)日期2012年3月9日 優(yōu)先權(quán)日2011年3月9日
發(fā)明者大熊弘明, 大野泰弘 申請(qǐng)人:斯坦雷電氣株式會(huì)社