專(zhuān)利名稱(chēng)：冷卻裝置的運(yùn)轉(zhuǎn)方法以及檢查裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及ー種能夠進(jìn)行高溫檢查以及低溫檢查的檢查裝置，更詳細(xì)地說(shuō)涉及一種能夠節(jié)省使用于檢查裝置中的冷卻裝置的消耗能量的冷卻裝置的運(yùn)轉(zhuǎn)方法以及檢查裝置。
背景技術(shù)：
例如圖4所示，以往的檢查裝置具備加載室L，其用于輸送半導(dǎo)體晶圓W ;探針室P，其用于對(duì)從加載室L輸送的半導(dǎo)體晶圓W進(jìn)行電特性檢查；以及控制裝置(未圖示)，以往的檢查裝置構(gòu)成為在控制裝置的控制下，將半導(dǎo)體晶圓W從加載室L輸送到探針室P，在探針室P內(nèi)進(jìn)行半導(dǎo)體晶圓W的電特性檢查之后，使半導(dǎo)體晶圓W返回。如圖4所示，探針室P具備晶圓卡盤(pán)I，其載置半導(dǎo)體晶圓W并且能夠進(jìn)行溫度調(diào) 節(jié)；XY臺(tái)2，其使晶圓卡盤(pán)I在X、Y方向上移動(dòng)；探針卡3，其被配置于通過(guò)該XY臺(tái)2進(jìn)行移動(dòng)的晶圓卡盤(pán)I的上方；以及對(duì)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)4，其使探針卡3的多個(gè)探針3Α與晶圓卡盤(pán)I上的半導(dǎo)體晶圓W的多個(gè)電極焊盤(pán)正確地進(jìn)行位置對(duì)準(zhǔn)。另外，如圖4所示，在探針室P的頂板5上以可旋轉(zhuǎn)的方式配置有測(cè)試器的測(cè)試頭Τ，測(cè)試頭T與探針卡3通過(guò)性能板(未圖示)進(jìn)行電連接。并且，關(guān)于晶圓卡盤(pán)I上的半導(dǎo)體晶圓W，例如在低溫區(qū)域至高溫區(qū)域之間設(shè)定半導(dǎo)體晶圓W的檢查溫度，將測(cè)試器的信號(hào)通過(guò)測(cè)試頭T發(fā)送給探針3Α，對(duì)半導(dǎo)體晶圓W進(jìn)行低溫檢查或高溫檢查。在進(jìn)行半導(dǎo)體晶圓W的低溫檢查的情況下，如圖4所示，通常使用與晶圓卡盤(pán)I相連結(jié)的冷卻裝置6將制冷劑冷卻為規(guī)定的溫度，使該制冷劑在晶圓卡盤(pán)I內(nèi)的制冷劑通路中循環(huán)而將半導(dǎo)體晶圓W例如冷卻至負(fù)的數(shù)十?dāng)z氏度的低溫區(qū)域。本申請(qǐng)人在專(zhuān)利文獻(xiàn)I中提出了ー種冷卻加熱裝置，該冷卻加熱裝置能夠?qū)⒃诰A卡盤(pán)I中循環(huán)的制冷劑始終保持為固定的溫度。在該冷卻加熱裝置中，使用斯特林冷凍機(jī)的初級(jí)制冷劑對(duì)在晶圓卡盤(pán)中循環(huán)的次級(jí)制冷劑進(jìn)行冷卻和加熱來(lái)將次級(jí)制冷劑維持為規(guī)定的負(fù)區(qū)域的溫度，與目前的冷卻裝置相比冷卻回路較簡(jiǎn)単。另外，在專(zhuān)利文獻(xiàn)2中記載了使用于真空處理裝置中的冷卻裝置。在該冷卻裝置中，并非如專(zhuān)利文獻(xiàn)I的技術(shù)那樣使用次級(jí)制冷劑對(duì)冷卻對(duì)象物(真空室的噴淋板)進(jìn)行冷卻，而是使用初級(jí)制冷劑直接冷卻噴淋板。專(zhuān)利文獻(xiàn)I :日本特開(kāi)2006-060361號(hào)公報(bào)專(zhuān)利文獻(xiàn)2 日本特開(kāi)2006-308273號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
_9] 發(fā)明要解決的問(wèn)題然而，在專(zhuān)利文獻(xiàn)I所記載的冷卻裝置中，不區(qū)分檢查裝置中的低溫檢查、高溫檢查而在檢查裝置運(yùn)轉(zhuǎn)的同時(shí)驅(qū)動(dòng)冷卻裝置，在進(jìn)行高溫檢查時(shí)也具備冷卻檢查，即在冷卻裝置中始終保持冷卻為規(guī)定的低溫的次級(jí)制冷劑，因此在進(jìn)行高溫檢查期間也存在由于冷卻裝置運(yùn)轉(zhuǎn)引起的能量消耗，對(duì)于節(jié)能來(lái)說(shuō)不理想。另ー方面，在專(zhuān)利文獻(xiàn)2的技術(shù)中，設(shè)置成僅用于冷卻真空室的噴淋板，并非檢查裝置那樣分開(kāi)使用高溫與低溫，因此不存在檢查裝置那樣的問(wèn)題。本發(fā)明是用于解決上述問(wèn)題而完成的，目的在于提供ー種能夠節(jié)省使用于檢查裝置中的冷卻裝置的消耗能量的冷卻裝置的運(yùn)轉(zhuǎn)方法以及檢查裝置。用于解決問(wèn)題的方案本發(fā)明的第一發(fā)明涉及ー種冷卻裝置的運(yùn)轉(zhuǎn)方法，用于當(dāng)在能夠通過(guò)冷卻裝置和加熱裝置進(jìn)行溫度調(diào)節(jié)的載置臺(tái)上載置被檢查體并在控制裝置的控制下對(duì)上述被檢查體進(jìn)行低溫檢查以及對(duì)上述被檢查體進(jìn)行高溫檢查時(shí)，在控制裝置的控制下控制對(duì)上述載置臺(tái)進(jìn)行冷卻的冷卻裝置，該冷卻裝置的運(yùn)轉(zhuǎn)方法的特征在于，在進(jìn)行上述低溫檢查時(shí)通過(guò)上述控制裝置使上述冷卻裝置連續(xù)地運(yùn)轉(zhuǎn)，在進(jìn)行上述高溫檢查時(shí)通過(guò)上述控制裝置使上述冷卻裝置至少與上述高溫檢查的開(kāi)始相應(yīng)地停止一次。
另外，本發(fā)明的第二發(fā)明涉及ー種冷卻裝置的運(yùn)轉(zhuǎn)方法，用于當(dāng)在能夠通過(guò)冷卻裝置和加熱裝置進(jìn)行溫度調(diào)節(jié)的載置臺(tái)上載置被檢查體并在控制裝置的控制下對(duì)上述被檢查體進(jìn)行低溫檢查以及對(duì)上述被檢查體進(jìn)行高溫檢查時(shí)，在設(shè)置于上述冷卻裝置中的專(zhuān)用控制裝置的控制下控制對(duì)上述載置臺(tái)進(jìn)行冷卻的冷卻裝置，該冷卻裝置的運(yùn)轉(zhuǎn)方法的特征在于，在進(jìn)行上述低溫檢查時(shí)通過(guò)上述專(zhuān)用控制裝置使上述冷卻裝置連續(xù)地運(yùn)轉(zhuǎn)，在進(jìn)行上述高溫檢查時(shí)通過(guò)上述專(zhuān)用控制裝置使上述冷卻裝置至少與上述高溫檢查的開(kāi)始相應(yīng)地停止一次。另外，本發(fā)明的第三發(fā)明所涉及的冷卻裝置的運(yùn)轉(zhuǎn)方法的特征在于，在上述第一發(fā)明或者第二發(fā)明所記載的發(fā)明中，在上述高溫檢查結(jié)束之前，使上述冷卻裝置間歇地運(yùn)轉(zhuǎn)和停止。另外，本發(fā)明的第四發(fā)明涉及一種檢查裝置，其具備載置臺(tái)，其載置被檢查體并能夠進(jìn)行溫度調(diào)節(jié)；加熱裝置，其加熱上述載置臺(tái)；冷卻裝置，其冷卻上述載置臺(tái)；以及控制裝置，其控制上述加熱裝置和上述冷卻裝置，該檢查裝置通過(guò)上述控制裝置對(duì)上述冷卻裝置和上述加熱裝置進(jìn)行控制來(lái)對(duì)上述被檢查體進(jìn)行低溫檢查和高溫檢查，該檢查裝置的特征在干，上述控制裝置進(jìn)行控制，使得在進(jìn)行上述高溫檢查時(shí)使上述冷卻裝置至少與上述高溫檢查的開(kāi)始相應(yīng)地停止一次。另外，本發(fā)明的第五發(fā)明涉及一種檢查裝置，其具備載置臺(tái)，其載置被檢查體并能夠進(jìn)行溫度調(diào)節(jié)；加熱裝置，其加熱上述載置臺(tái)；冷卻裝置，其冷卻上述載置臺(tái)；以及控制裝置，其控制上述加熱裝置和上述冷卻裝置，該檢查裝置通過(guò)上述控制裝置對(duì)上述冷卻裝置和上述加熱裝置進(jìn)行控制來(lái)對(duì)上述被檢查體進(jìn)行低溫檢查和高溫檢查，該檢查裝置的特征在干，在上述冷卻裝置中設(shè)置專(zhuān)用控制裝置，上述專(zhuān)用控制裝置進(jìn)行控制，使得在進(jìn)行上述高溫檢查時(shí)使上述冷卻裝置至少與上述高溫檢查的開(kāi)始相應(yīng)地停止一次。另外，本發(fā)明的第六發(fā)明所涉及的檢查裝置的特征在于，在上述第四發(fā)明或者第五發(fā)明所記載的發(fā)明中，在上述高溫檢查結(jié)束之前，使上述冷卻裝置間歇地運(yùn)轉(zhuǎn)和停止。發(fā)明的效果根據(jù)本發(fā)明，能夠提供ー種能夠節(jié)省使用于檢查裝置中的冷卻裝置的消耗能量的冷卻裝置的運(yùn)轉(zhuǎn)方法以及檢查裝置。


圖I是表示本發(fā)明的檢查裝置的一個(gè)實(shí)施方式的框圖。圖2的(a) (C)分別是用于說(shuō)明對(duì)半導(dǎo)體晶圓進(jìn)行檢查時(shí)的冷卻裝置的運(yùn)轉(zhuǎn)方法的時(shí)序圖，(a)示出本發(fā)明的冷卻裝置的運(yùn)轉(zhuǎn)方法的一個(gè)實(shí)施方式，是表示在進(jìn)行高溫檢查時(shí)停止冷卻裝置而在開(kāi)始低溫檢查時(shí)運(yùn)轉(zhuǎn)冷卻裝置的情況的圖，(b)示出本發(fā)明的冷卻裝置的運(yùn)轉(zhuǎn)方法的其它實(shí)施方式，是表示在進(jìn)行高溫檢查時(shí)停止冷卻裝置而在直到開(kāi)始低溫檢查為止的期間內(nèi)使冷卻裝置間歇地反復(fù)運(yùn)轉(zhuǎn)和停止的情況的圖，(C)是表示以往的冷卻裝置的運(yùn)轉(zhuǎn)方法的圖。圖3是表示本發(fā)明的檢查裝置的其它實(shí)施方式的框圖。 圖4是表示以往的具備載置裝置的檢查裝置的主視圖。附圖標(biāo)記說(shuō)明10U0A :檢查裝置；11 :晶圓卡盤(pán)(載置臺(tái))；12 :溫度傳感器；13 :冷卻裝置；13F 專(zhuān)用控制裝置；14 :加熱裝置；15 :控制裝置；16 :繼電器開(kāi)關(guān);W:半導(dǎo)體晶圓(被檢查體)。
具體實(shí)施例方式下面，根據(jù)圖I 圖3示出的實(shí)施方式來(lái)說(shuō)明本發(fā)明。第一實(shí)施方式例如圖I所示，本實(shí)施方式的檢查裝置10具備載置臺(tái)(晶圓卡盤(pán))11，其載置半導(dǎo)體晶圓W并且能夠進(jìn)行溫度調(diào)節(jié)；溫度傳感器12，其檢測(cè)晶圓卡盤(pán)11的溫度；冷卻裝置13，其冷卻晶圓卡盤(pán)11 ;加熱裝置14，其加熱晶圓卡盤(pán)11 ;控制裝置15，其存儲(chǔ)有與低溫檢查有關(guān)的程序以及與高溫檢查有關(guān)的程序；以及繼電器開(kāi)關(guān)16，其在控制裝置15的控制下對(duì)冷卻裝置13進(jìn)行接通和斷開(kāi)控制，本實(shí)施方式的檢查裝置10構(gòu)成為根據(jù)存儲(chǔ)在控制裝置15中的低溫檢查程序和高溫檢查程序?qū)d置在晶圓卡盤(pán)11上的半導(dǎo)體晶圓W進(jìn)行低溫檢查和高溫檢查。此外，在本說(shuō)明書(shū)中，將在50°C以上的溫度條件下進(jìn)行半導(dǎo)體晶圓W的電特性檢查的情況定義為高溫檢查，將在低于50°C的溫度條件下進(jìn)行半導(dǎo)體晶圓W的電特性檢查的情況定義為低溫檢查。另外，檢查裝置10除了具備上述各設(shè)備以外，與以往的檢查裝置同樣地還具備探針卡、對(duì)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)等檢查所需的設(shè)備，檢查裝置10構(gòu)成為使探針卡的多個(gè)探針與晶圓卡盤(pán)11上的半導(dǎo)體晶圓W的多個(gè)電極焊盤(pán)進(jìn)行電接觸，來(lái)對(duì)半導(dǎo)體晶圓W進(jìn)行低溫檢查和高溫檢查。在對(duì)半導(dǎo)體晶圓W進(jìn)行電特性檢查時(shí)，在低溫檢查和高溫檢查中的任ー檢查中，都由于向形成于半導(dǎo)體晶圓W上的電路通電而半導(dǎo)體晶圓W發(fā)熱，因此由于其影響而晶圓卡盤(pán)11的溫度上升。溫度傳感器12在進(jìn)行檢查時(shí)檢測(cè)晶圓卡盤(pán)11的溫度，將檢測(cè)溫度作為檢測(cè)信號(hào)發(fā)送給控制裝置15?？刂蒲b置15根據(jù)來(lái)自溫度傳感器12的檢測(cè)信號(hào)來(lái)控制冷卻裝置13或者加熱裝置14，將晶圓卡盤(pán)11保持為在低溫檢查和高溫檢查中分別要求的固定的溫度。然后，如圖I所示，冷卻裝置13具備冷凍機(jī)13A，其冷卻初級(jí)制冷劑；換熱器13C，其通過(guò)第一循環(huán)路徑13B與冷凍機(jī)13A相連結(jié)并且使初級(jí)制冷劑進(jìn)行循環(huán)；第二循環(huán)路徑13D，其對(duì)換熱器13C與形成于晶圓卡盤(pán)11內(nèi)的制冷劑通路IlA進(jìn)行連結(jié)并且使次級(jí)制冷劑進(jìn)行循環(huán)；以及泵13E，其被設(shè)置于第二循環(huán)路徑13D上，冷卻裝置13構(gòu)成為通過(guò)在控制裝置15的控制下進(jìn)行動(dòng)作的繼電器開(kāi)關(guān)16，在進(jìn)行低溫檢查時(shí)使冷凍機(jī)13A連續(xù)地運(yùn)轉(zhuǎn)來(lái)冷卻次級(jí)制冷劑使其保持規(guī)定的低溫(例如，_50°C )，在進(jìn)行高溫檢查時(shí)，使冷凍機(jī)13A至少與高溫檢查的開(kāi)始相應(yīng)地停止一次。此外，第一和第二循環(huán)路徑13B、13D均被實(shí)施了絕熱處理。另外，如圖I所示，加熱裝置14具備加熱器14A和電カ調(diào)節(jié)器14B，該加熱器14A被設(shè)置于晶圓卡盤(pán)11內(nèi)，該電カ調(diào)節(jié)器14B控制向加熱器14A施加的施加電力，加熱裝置14構(gòu)成為在控制裝置15的控制下根據(jù)溫度傳感器12的檢測(cè)信號(hào)來(lái)控制電力調(diào)節(jié)器14B，通過(guò)加熱器14A將晶圓卡盤(pán)11保持為規(guī)定的高溫。如同一圖所示，加熱器14A被配置在制冷劑通路IlA的上方。
在進(jìn)行低溫檢查時(shí)，控制裝置15將低溫檢查的開(kāi)始信號(hào)發(fā)送給冷卻裝置13的冷凍機(jī)13A和泵13E，使冷凍機(jī)13A和泵13E分別開(kāi)始運(yùn)轉(zhuǎn)，在進(jìn)行低溫檢查的期間，通過(guò)控制裝置15，冷卻裝置13連續(xù)地進(jìn)行運(yùn)轉(zhuǎn)，將次級(jí)制冷劑保持為規(guī)定的低溫(例如，-50°C )。即，當(dāng)冷卻裝置13啟動(dòng)吋，由冷凍機(jī)13A冷卻后的初級(jí)制冷劑通過(guò)第一循環(huán)路徑13B在換熱器13C的殼側(cè)循環(huán)。在初級(jí)制冷劑在換熱器13C中循環(huán)期間，通過(guò)泵13E使在換熱器13C的管側(cè)循環(huán)的次級(jí)制冷劑與初級(jí)制冷劑之間熱交換，來(lái)將次級(jí)制冷劑被冷卻到規(guī)定的溫度。冷卻到規(guī)定的溫度的次級(jí)制冷劑在晶圓卡盤(pán)11的制冷劑通路IlA內(nèi)循環(huán)期間將晶圓卡盤(pán)11冷卻至低溫檢查所要求的溫度。在進(jìn)行低溫檢查期間，控制裝置15根據(jù)來(lái)自溫度傳感器12的檢測(cè)信號(hào)控制泵13E來(lái)調(diào)節(jié)次級(jí)制冷劑的流量，將晶圓卡盤(pán)11冷卻至低溫檢查所要求的溫度并保持該溫度。另外，在進(jìn)行高溫檢查時(shí)，控制裝置15將開(kāi)始信號(hào)發(fā)送給加熱裝置14的電カ調(diào)節(jié)器14B來(lái)控制電力調(diào)節(jié)器14B。當(dāng)加熱裝置14動(dòng)作時(shí)，控制裝置15根據(jù)溫度傳感器12的檢測(cè)信號(hào)，通過(guò)電カ調(diào)節(jié)器14B來(lái)控制加熱器14A，將晶圓卡盤(pán)11加熱至高溫檢查所要求的溫度并保持該溫度。在進(jìn)行高溫檢查時(shí)，基本上不需要冷卻晶圓卡盤(pán)11，因此在控制裝置15的控制下僅使加熱裝置14進(jìn)行動(dòng)作，使冷卻裝置13至少在開(kāi)始高溫檢查時(shí)停止運(yùn)轉(zhuǎn)。這樣，在進(jìn)行高溫檢查時(shí)使冷卻裝置13的運(yùn)轉(zhuǎn)停止，因此能夠節(jié)省消耗電力。在進(jìn)行高溫檢查期間，通過(guò)在控制裝置15的控制下進(jìn)行動(dòng)作的繼電器開(kāi)關(guān)16來(lái)使冷卻裝置13至少與高溫檢查的開(kāi)始相應(yīng)地停止運(yùn)轉(zhuǎn)一次，在進(jìn)行下一次低溫檢查時(shí)再次開(kāi)始運(yùn)轉(zhuǎn)。另外，能夠?qū)⒗^電器開(kāi)關(guān)16設(shè)定為在進(jìn)行高溫檢查期間間歇地反復(fù)停止和運(yùn)轉(zhuǎn)。此時(shí)的運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)間、停止時(shí)間均能夠通過(guò)控制裝置15來(lái)適當(dāng)?shù)剡M(jìn)行設(shè)定。在冷卻裝置13通過(guò)繼電器開(kāi)關(guān)16間歇地反復(fù)停止和運(yùn)轉(zhuǎn)的情況下，優(yōu)選如后述那樣以每小時(shí)幾次以下的頻率反復(fù)進(jìn)行。當(dāng)冷卻裝置13頻繁地反復(fù)停止和運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，會(huì)加快冷卻裝置13的驅(qū)動(dòng)部件的損耗，因此不理想。接著，參照?qǐng)D2的(a) (C)說(shuō)明應(yīng)用于本實(shí)施方式的檢查裝置中的本發(fā)明的冷卻裝置的運(yùn)轉(zhuǎn)方法的實(shí)施方式。圖2的(a)是表示本發(fā)明的冷卻裝置的運(yùn)轉(zhuǎn)方法的一個(gè)實(shí)施方式的圖，是按照低溫檢查、高溫檢查、低溫檢查的順序?qū)Π雽?dǎo)體晶圓進(jìn)行電特性檢查的情況。首先，在進(jìn)行低溫檢查的情況下，根據(jù)控制裝置15的指令信號(hào)，同一圖所示那樣使冷卻裝置13連續(xù)地運(yùn)轉(zhuǎn)。此時(shí)，在由冷凍機(jī)13A冷卻后的初級(jí)制冷劑在換熱器13C中循環(huán)期間將次級(jí)制冷劑冷卻至規(guī)定的溫度(例如，-50°C )。次級(jí)制冷劑通過(guò)第二循環(huán)路徑13D在晶圓卡盤(pán)11的制冷劑通路IlA中循環(huán)，將晶圓卡盤(pán)11冷卻至半導(dǎo)體晶圓W的低溫檢查所要求的溫度(例如，-300C )，進(jìn)行半導(dǎo)體晶圓W的低溫檢查。在進(jìn)行低溫檢查期間，溫度傳感器12檢測(cè)晶圓卡盤(pán)11的溫度，控制裝置15根據(jù)來(lái)自溫度傳感器12的檢測(cè)信號(hào)來(lái)控制泵13E，將晶圓卡盤(pán)11的溫度保持為-30°C。在低溫檢查中，即使半導(dǎo)體晶圓W發(fā)熱而晶圓卡盤(pán)11的溫度上升，通過(guò)根據(jù)溫度傳感器12的檢測(cè)信號(hào)使依賴(lài)于泵13E的次級(jí)制冷劑的循環(huán)流量提高，也將晶圓卡盤(pán)11的溫度保持為固定。在低溫檢查時(shí)如上述那樣能夠?qū)⒕A卡盤(pán)11的溫度保持為固定，因此能夠穩(wěn)定地進(jìn)行半導(dǎo)體晶圓W的低溫檢查。另外，在檢查過(guò)程中根據(jù)控制裝置15的指令信號(hào)將半導(dǎo)體晶圓W的低溫檢查的溫度從-30°C切換為25°C并在該溫度條件下進(jìn)行低溫檢查的情況下，在冷卻裝置13中使依賴(lài)于泵13E的次級(jí)制冷劑的流量降低來(lái)將晶圓卡盤(pán)11的溫度保 持為25°C，在該溫度條件下進(jìn)行低溫檢查。在低溫檢查結(jié)束之后，當(dāng)根據(jù)控制裝置15的指令信號(hào)從低溫檢查切換為高溫檢查(例如，85°C )時(shí)，如圖2的(a)所示，通過(guò)根據(jù)來(lái)自控制裝置15的指令信號(hào)進(jìn)行動(dòng)作的繼電器開(kāi)關(guān)16，冷卻裝置13與高溫檢查的開(kāi)始相應(yīng)地停止運(yùn)轉(zhuǎn)，并且加熱裝置14在控制裝置15的控制下進(jìn)行動(dòng)作。另ー方面，當(dāng)加熱裝置14動(dòng)作時(shí)，電カ調(diào)節(jié)器14B對(duì)加熱器14A施加電力，通過(guò)加熱器14A將晶圓卡盤(pán)11加熱至高溫檢查所要求的溫度即85°C。接收到溫度傳感器12的檢測(cè)信號(hào)的控制裝置15控制電力調(diào)節(jié)器14B，電カ調(diào)節(jié)器14B將晶圓卡盤(pán)11的溫度保持為85°C，進(jìn)行半導(dǎo)體晶圓W的高溫檢查。冷卻裝置13在開(kāi)始下ー個(gè)低溫檢查之前停止運(yùn)轉(zhuǎn)。如上所述，在圖2的(a)示出的運(yùn)轉(zhuǎn)方法中，在進(jìn)行高溫檢查期間，通過(guò)繼電器開(kāi)關(guān)16來(lái)停止冷卻裝置13的運(yùn)轉(zhuǎn)，因此能夠節(jié)省在此期間用于使冷卻裝置13運(yùn)轉(zhuǎn)的消耗能量。另外，由于使冷卻裝置13停止運(yùn)轉(zhuǎn)，因此能夠抑制使用于冷卻裝置13中的驅(qū)動(dòng)部件的損耗。在圖2的(a)示出的實(shí)施方式中，在進(jìn)行高溫檢查的整個(gè)期間冷卻裝置13停止，因此冷凍機(jī)13A、換熱器13C以及處于換熱器13C內(nèi)的次級(jí)制冷劑的溫度由于從外部進(jìn)入熱量而逐漸上升。因而，當(dāng)在進(jìn)行下ー個(gè)低溫檢查而冷卻裝置13開(kāi)始運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，直至將次級(jí)制冷劑的溫度冷卻至原來(lái)的溫度(_50°C)會(huì)花費(fèi)時(shí)間，在低溫檢查的開(kāi)始之前產(chǎn)生等待時(shí)間。在等待時(shí)間不成問(wèn)題的情況下，能夠采用本實(shí)施方式的冷卻裝置的運(yùn)轉(zhuǎn)方法。然而，有時(shí)根據(jù)檢查狀況而必須盡可能縮短等待時(shí)間。在這種情況下，代替圖2的(a)示出的冷卻裝置的運(yùn)轉(zhuǎn)方法，能夠采用圖2的(b)示出的冷卻裝置的運(yùn)轉(zhuǎn)方法。在圖2的(b)示出的實(shí)施方式中，除了進(jìn)行高溫檢查時(shí)的冷卻裝置13的運(yùn)轉(zhuǎn)方法不同以外，其余內(nèi)容與圖2的(a)示出的情況相同，因此說(shuō)明進(jìn)行高溫檢查時(shí)的冷卻裝置的運(yùn)轉(zhuǎn)方法。在本實(shí)施方式中，如圖2的(b)所示，當(dāng)從低溫檢查切換為高溫檢查時(shí)，冷卻裝置13在控制裝置15的控制下與高溫檢查的開(kāi)始相應(yīng)地停止運(yùn)轉(zhuǎn)。另外，在高溫檢查的持續(xù)過(guò)程中，通過(guò)處于控制裝置15的控制下的繼電器開(kāi)關(guān)16而使冷卻裝置13間歇地反復(fù)運(yùn)轉(zhuǎn)和停止。此時(shí)優(yōu)選為，設(shè)定繼電器開(kāi)關(guān)16的接通和斷開(kāi)的定時(shí)，使得例如冷卻裝置13以每小時(shí)幾次以下的頻率反復(fù)運(yùn)轉(zhuǎn)和停止。冷卻裝置13間歇地反復(fù)運(yùn)轉(zhuǎn)和停止，由此即使在冷卻裝置13的停止過(guò)程中換熱器13C內(nèi)部的次級(jí)制冷劑的溫度上升，也通過(guò)冷卻裝置13再次開(kāi)始運(yùn)轉(zhuǎn)而將溫度開(kāi)始上升的次級(jí)制冷劑冷卻，在短時(shí)間內(nèi)使次級(jí)制冷劑的溫度實(shí)質(zhì)上返回到原來(lái)的溫度，冷卻裝置13再次停止。通過(guò)繼電器開(kāi)關(guān)16來(lái)在高溫檢查結(jié)束之前反復(fù)進(jìn)行該動(dòng)作，從而能夠盡可能抑制次級(jí)制冷劑的溫度上升。因此，即使從高溫檢查切換為低溫檢查，也由于在切換時(shí)刻次級(jí)制冷劑的溫度上升少，而能夠在短時(shí)間內(nèi)使次級(jí)制冷劑返回到原來(lái)的溫度(例如，-50°C )，能夠縮短低溫檢查之前的等待時(shí)間，迅速地從高溫檢查過(guò)渡到低溫檢查，與圖2的(c)示出的以往運(yùn)轉(zhuǎn)方法那樣從檢查裝置運(yùn)轉(zhuǎn)開(kāi)始時(shí)刻起至結(jié)束時(shí)刻為止使冷卻裝置連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)而將次級(jí)制冷劑的溫度始終保持為低溫檢查所要求的溫度的情況相比，能夠在不遜色的時(shí)間內(nèi)從高溫檢查過(guò)渡到低溫檢查。在此，優(yōu)選在使冷卻裝置13間歇地運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)次級(jí)制冷劑在停止過(guò)程中從規(guī)定溫度起的溫度上升例如以10°C左右為標(biāo)準(zhǔn)。
如上所述，根據(jù)本實(shí)施方式，能夠節(jié)省冷卻裝置13的消耗能量，并且能夠迅速地從高溫檢查過(guò)渡到低溫檢查，能夠高效率地進(jìn)行檢查。第二實(shí)施方式在上述實(shí)施方式的檢查裝置10中，使用設(shè)置于檢查裝置10中的控制裝置15來(lái)控制冷卻裝置13。如圖3所示，在本實(shí)施方式的檢查裝置IOA中，冷卻裝置13具備專(zhuān)用的控制裝置(以下稱(chēng)為“專(zhuān)用控制裝置”)13F，關(guān)于冷卻裝置13的運(yùn)轉(zhuǎn)，基本上以專(zhuān)用控制裝置13F來(lái)代替控制裝置15。S卩，專(zhuān)用控制裝置13F與控制裝置15相連接，將晶圓卡盤(pán)11的設(shè)定溫度從控制裝置15發(fā)送給專(zhuān)用控制裝置13F。通過(guò)根據(jù)來(lái)自控制裝置15的晶圓卡盤(pán)11的設(shè)定溫度進(jìn)行動(dòng)作的專(zhuān)用控制裝置13F的動(dòng)作來(lái)使冷卻裝置13進(jìn)行低溫檢查時(shí)的運(yùn)轉(zhuǎn)或者高溫檢查時(shí)的運(yùn)轉(zhuǎn)。在低溫檢查時(shí)通過(guò)專(zhuān)用控制裝置13F和繼電器開(kāi)關(guān)16來(lái)使冷凍機(jī)13A進(jìn)行低溫檢查時(shí)的運(yùn)轉(zhuǎn)，將次級(jí)制冷劑的溫度保持為規(guī)定的低溫，并且控制裝置15根據(jù)溫度傳感器12的檢測(cè)信號(hào)對(duì)依賴(lài)于泵13E的次級(jí)制冷劑的循環(huán)流量進(jìn)行控制，將晶圓卡盤(pán)11保持為低溫檢查所要求的溫度。另外，在高溫檢查時(shí)通過(guò)專(zhuān)用控制裝置13F和繼電器開(kāi)關(guān)16來(lái)使冷卻裝置13進(jìn)行高溫檢查時(shí)的運(yùn)轉(zhuǎn)。在高溫檢查時(shí)，冷卻裝置13在專(zhuān)用控制裝置13F的控制下進(jìn)行圖2的(a)示出的運(yùn)轉(zhuǎn)或者圖2的(b)示出的運(yùn)轉(zhuǎn)。在本實(shí)施方式中也能夠期望與上述實(shí)施方式相同的作用效果。此外，本發(fā)明并不限定于上述各實(shí)施方式，只要不脫離本發(fā)明的宗_，能夠根據(jù)需要適當(dāng)?shù)刈兏鹘Y(jié)構(gòu)要素。
權(quán)利要求
1.ー種冷卻裝置的運(yùn)轉(zhuǎn)方法，用于當(dāng)在能夠通過(guò)冷卻裝置和加熱裝置進(jìn)行溫度調(diào)節(jié)的載置臺(tái)上載置被檢查體并在控制裝置的控制下對(duì)上述被檢查體進(jìn)行低溫檢查以及對(duì)上述被檢查體進(jìn)行高溫檢查時(shí)，在控制裝置的控制下控制對(duì)上述載置臺(tái)進(jìn)行冷卻的冷卻裝置，該冷卻裝置的運(yùn)轉(zhuǎn)方法的特征在干， 在進(jìn)行上述低溫檢查時(shí)通過(guò)上述控制裝置使上述冷卻裝置連續(xù)地運(yùn)轉(zhuǎn)，在進(jìn)行上述高溫檢查時(shí)通過(guò)上述控制裝置使上述冷卻裝置至少與上述高溫檢查的開(kāi)始相應(yīng)地停止一次。
2.—種冷卻裝置的運(yùn)轉(zhuǎn)方法，用于當(dāng)在能夠通過(guò)冷卻裝置和加熱裝置進(jìn)行溫度調(diào)節(jié)的載置臺(tái)上載置被檢查體并在控制裝置的控制下對(duì)上述被檢查體進(jìn)行低溫檢查以及對(duì)上述被檢查體進(jìn)行高溫檢查時(shí)，在設(shè)置于上述冷卻裝置中的專(zhuān)用控制裝置的控制下控制對(duì)上述載置臺(tái)進(jìn)行冷卻的冷卻裝置，該冷卻裝置的運(yùn)轉(zhuǎn)方法的特征在干， 在進(jìn)行上述低溫檢查時(shí)通過(guò)上述專(zhuān)用控制裝置使上述冷卻裝置連續(xù)地運(yùn)轉(zhuǎn)，在進(jìn)行上述高溫檢查時(shí)通過(guò)上述專(zhuān)用控制裝置使上述冷卻裝置至少與上述高溫檢查的開(kāi)始相應(yīng)地停止一次。
3.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的冷卻裝置的運(yùn)轉(zhuǎn)方法，其特征在干， 在上述高溫檢查結(jié)束之前，使上述冷卻裝置間歇地運(yùn)轉(zhuǎn)和停止。
4.一種檢查裝置，其具備 載置臺(tái)，其載置被檢查體井能夠進(jìn)行溫度調(diào)節(jié)； 加熱裝置，其加熱上述載置臺(tái)； 冷卻裝置，其冷卻上述載置臺(tái)；以及 控制裝置，其控制上述加熱裝置和上述冷卻裝置， 該檢查裝置通過(guò)上述控制裝置對(duì)上述冷卻裝置和上述加熱裝置進(jìn)行控制來(lái)對(duì)上述被檢查體進(jìn)行低溫檢查和高溫檢查， 該檢查裝置的特征在干，上述控制裝置進(jìn)行控制，使得在進(jìn)行上述高溫檢查時(shí)使上述冷卻裝置至少與上述高溫檢查的開(kāi)始相應(yīng)地停止一次。
5.一種檢查裝置，其具備 載置臺(tái)，其載置被檢查體井能夠進(jìn)行溫度調(diào)節(jié)； 加熱裝置，其加熱上述載置臺(tái)； 冷卻裝置，其冷卻上述載置臺(tái)；以及 控制裝置，其控制上述加熱裝置和上述冷卻裝置， 該檢查裝置通過(guò)上述控制裝置對(duì)上述冷卻裝置和上述加熱裝置進(jìn)行控制來(lái)對(duì)上述被檢查體進(jìn)行低溫檢查和高溫檢查， 該檢查裝置的特征在于，在上述冷卻裝置中設(shè)置專(zhuān)用控制裝置，上述專(zhuān)用控制裝置進(jìn)行控制，使得在進(jìn)行上述高溫檢查時(shí)使上述冷卻裝置至少與上述高溫檢查的開(kāi)始相應(yīng)地停止一次。
6.根據(jù)權(quán)利要求4或5所述的檢查裝置，其特征在干， 在上述高溫檢查結(jié)束之前，使上述冷卻裝置間歇地運(yùn)轉(zhuǎn)和停止。
全文摘要
本發(fā)明提供一種能夠降低使用于檢查裝置中的冷卻裝置的消耗能量的冷卻裝置的運(yùn)轉(zhuǎn)方法以及檢查裝置。本發(fā)明的冷卻裝置的運(yùn)轉(zhuǎn)方法是以下方法在能夠通過(guò)冷卻裝置(13)和加熱裝置(14)進(jìn)行溫度調(diào)節(jié)的晶圓卡盤(pán)(11)上載置半導(dǎo)體晶圓(W)，在控制裝置(15)的控制下進(jìn)行半導(dǎo)體晶圓(W)的低溫檢查以及半導(dǎo)體晶圓(W)的高溫檢查時(shí)，在控制裝置(15)的控制下控制對(duì)晶圓卡盤(pán)(11)進(jìn)行冷卻的冷卻裝置，在進(jìn)行低溫檢查時(shí)通過(guò)控制裝置(15)使冷卻裝置(13)連續(xù)地運(yùn)轉(zhuǎn)，在進(jìn)行高溫檢查時(shí)，通過(guò)控制裝置(15)使冷卻裝置(13)至少與高溫檢查的開(kāi)始相應(yīng)地停止一次。
文檔編號(hào)H01L21/66GK102692938SQ201210066539
公開(kāi)日2012年9月26日 申請(qǐng)日期2012年3月14日 優(yōu)先權(quán)日2011年3月19日
發(fā)明者八田政隆 申請(qǐng)人:東京毅力科創(chuàng)株式會(huì)社