專利名稱：固體拍攝元件的制作方法
固體拍攝元件關(guān)聯(lián)申請的內(nèi)容本申請享受2011年9月16日申請的日本申請專利號2011-202814優(yōu)先權(quán)的利益，其日本申請專利的全部內(nèi)容在本申請被援用。技術(shù)區(qū)域本發(fā)明的實施方式涉及使像素的集成 度提高的CMOS傳感器類型的固體拍攝元件。
背景技術(shù)：
作為以前的CMOS傳感器類型的固體拍攝元件的單元結(jié)構(gòu)，熟知2像素I單元的構(gòu)成的類型。這是所謂共享像素類型，其中配置2個積蓄通過光電變換發(fā)生的電荷的光電二極管(以下簡稱ro)，由2個ro共享將從這些ro讀出的信號電荷轉(zhuǎn)換為電壓的輸出電路。作為代表例，具有專利文獻1、由本申請人提出的專利文獻2記載的結(jié)構(gòu)。2像素I單元類型的固體拍攝元件的構(gòu)成要素包括PD ;從ro傳送電荷的浮動結(jié)點(以下簡稱FJ);控制這個傳送的傳送柵晶體管(以下簡稱TG);檢測FJ的電位變化的輸出放大器晶體管(以下簡稱Amp);在向FJ傳送來自F1D的電荷之前用于將FJ的電位復位成恒定電位的復位晶體管(以下簡稱RS)的柵電極；兼任這個復位晶體管的復位電位及Amp的電源的復位漏電極(以下簡稱RD)。在Amp的源電極側(cè)有用于向外部輸出在FJ連接的柵電極的電位變化的輸出源電極(以下簡稱OS)在這樣的各自的H)具有電荷傳送用的TG，2個H)共享FJ，RS，Amp，RD。因此，為了在一個ro的周圍配置這些構(gòu)成要素，元素分離區(qū)域變多。通常，作為2像素I單元的晶體管的數(shù)目，有2個TG、I個RS、I個Amp，每I個ro需要2個晶體管。布線的數(shù)目，在縱方向配置2PD的2像素I單元結(jié)構(gòu)中，每2PD也成為2TG、1RS、1RD、1輸出布線(與OSL連接)。因此，每IB)需要I個TG布線(橫方向)、0.5個RS布線(橫方向)及RD布線(橫方向)、I個輸出布線(縱方向)。作為元件分離區(qū)域，通常的細微單元中存在ro和晶體管間的元件分離，所以在稱為淺溝道隔離(以下簡稱STI)的結(jié)構(gòu)中元件分離。這是在半導體基板挖掘淺溝槽(溝道)，通過在那里埋入氧化膜而分離的方法。為了防止因在半導體基板挖掘溝槽引入損壞，并由此帶來的圖像劣化(白劃痕)，提出在溝道的周圍設置雜質(zhì)區(qū)域，從而來自ro的耗盡層不到達這個損壞區(qū)域的各種辦法。即使這個雜質(zhì)區(qū)域的形成對畫質(zhì)改善有貢獻，但ro的有效的面積縮小，像素的細微化時，PD中可積蓄的電荷量(與簡稱為飽和電荷量)減少。另一方面，布線數(shù)目的增加導致ro取入的入射光的收集效率降低，在畫面周邊部也引起陰影劣化。同樣，這些與細微單元化一起導致畫質(zhì)劣化。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明要解決的問題是提供一種固體拍攝元件，即使在細微單元也沒有白劃痕劣化，防止飽和電荷量的劣化，并可抑制陰影劣化。
實施方式的固體拍攝裝置，其特征在于，是包括構(gòu)成基本單元的第I及第2單位單元的固體拍攝元件，第I及第2單位單元分別包括至少3個光電二極管，光電變換入射光并積蓄；傳送柵晶體管，與這些各光電二極管鄰接設置，用于讀出來自各光電二極管的信號電荷；浮動結(jié)點，經(jīng)由這個傳送柵晶體管從上述至少3個光電二極管取得信號電荷，產(chǎn)生電位變化；放大器晶體管，設置為檢測這個浮動結(jié)點的電位變化；和復位晶體管，設置為將上述浮動結(jié)點的電位復位成恒定電位；將上述第I及第2單位單元配置為鏡像對稱，這2個單位單元的復位漏極共用以構(gòu)成基本單元。其他實施方式的固體拍攝元件，其特征在于，上述固體拍攝元件包括構(gòu)成基本單元的第I及第2單位單元，第I及第2單位單元分別包括至少3個光電二極管，光電變換入射光并積蓄；傳送柵晶體管，與這些各光電二極管鄰接設置，用于讀出來自各光電二極管的信號電荷；浮動結(jié)點，經(jīng)由這個傳送柵晶體管從上述至少從3個光電二極管取得信號電荷， 產(chǎn)生電位變化；放大器晶體管，設置為檢測這個浮動結(jié)點的電位變化；和復位晶體管，設置為將上述浮動結(jié)點的電位復位成恒定電位，將上述浮動結(jié)點設為源電極，具有復位柵電極及形成規(guī)定恒定電位的電源部的復位漏電極；上述浮動結(jié)點及上述復位晶體管的復位漏電極分別以矩形狀的圖形形成，在形成上述浮動結(jié)點的矩形狀圖形的3邊使上述傳送柵晶體管的傳送柵電極鄰接，并且在與這個傳送柵電極的上述浮動結(jié)點相反側(cè)的邊分別配置各I個，共計3個光電二極管，在上述浮動結(jié)點的剩余一邊使上述復位晶體管的柵電極鄰接，在與這個柵電極的上述浮動結(jié)點相反側(cè)的邊配置上述矩形狀的復位漏電極，在這個矩形狀的復位漏電極的I邊使上述放大器晶體管的柵電極鄰接，并且在與這個柵電極的上述復位漏電極相反側(cè)配置上述放大器晶體管的輸出源電極，由包括上述浮動結(jié)點、復位晶體管及放大器晶體管的共同的輸出電路讀出上述3個光電二極管，并且共享上述復位晶體管的復位漏電極和上述放大器晶體管的漏電極，上述基本單元通過將上述第2單位單元180度旋轉(zhuǎn)，上述第I及第2單位單元成為鏡像對稱，并且，上述復位漏極以通過這些單位單元共用的方式構(gòu)成。根據(jù)上述構(gòu)成的固體拍攝元件，即使在細微單元也沒有白劃痕劣化，防止飽和電荷量的劣化，并可抑制陰影劣化。


圖1是構(gòu)成第I實施方式涉及的固體拍攝元件的6像素I單元用單位單元的等效電路圖。圖2是表示如圖1表示的6像素I單元用單位的圖形布局的平面圖。圖3是將如圖1表示的單位單元2塊組合的12像素I單元用單位單元的等效電路圖。圖4是將如圖3表示的12像素I單元用單位單元重復展開變成的固體拍攝元件的等效電路圖。圖5是與濾色器配置一起表示如圖4表示的固體拍攝元件的圖形布局的平面圖。圖6是向如圖4的等效電路圖附加顏色信息和讀出信息的等效電路。圖7是本發(fā)明的其他實施方式涉及的固體拍攝元件的等效電路圖。圖8是如圖7表示的固體拍攝元件的像素讀出定時圖表。
圖9是表示本發(fā)明的其他實施方式涉及的固體拍攝元件的圖形布局的平面圖。圖10是表示如圖9表示的固體拍攝元件的圖形布局適用的濾色器配置的平面圖。圖11是表示本發(fā)明的其他實施方式涉及的固體拍攝元件的圖形布局的平面圖。圖12是表示本發(fā)明的其他實施方式涉及的固體拍攝元件的圖形布局的平面圖。
具體實施例方式用于實施發(fā)明的方式本發(fā)明的實施方式涉及的固體拍 攝元件是將6像素I單元設為一個塊，重復對其以方格狀配置的12像素I單元作為單位配置的CMOS傳感器。通過以多個ro共享輸出電路，減少ro鄰接的STI區(qū)域的長度，即使在細微單元也防止白劃痕劣化，也確保飽和電荷量，并減少IPD的布線個數(shù)，可防止陰影劣化。以下，關(guān)于本發(fā)明的實施方式涉及的固體拍攝元件，參照附圖詳細地說明。(第I實施方式)圖1是構(gòu)成第I實施方式涉及的固體拍攝元件的基本單元的等效電路圖。6個光電二極管 PD (PDlI，PD12, PD21, PD22, PD31, PD32)分成左右 2 邊，左側(cè)的 PDll，PD21, PD31經(jīng)由傳送柵晶體管TG11，TG21，TG31與浮動結(jié)點FJl連接。右側(cè)的PD12，PD22，PD32經(jīng)由TG12，TG22，TG32與FJ2連接。FJ1，F(xiàn)J2分別經(jīng)由復位晶體管RS1，RS2與共同的復位漏極端子RD從左右連接。從輸出放大器晶體管Amp的柵極Ampl，Amp2的上下與共同的漏極連接，這個共同的漏極由RD兼任。FJl，F(xiàn)J2分別與Ampl，Amp2的柵極連接，通過輸出源電極0S1，0S2向外部輸出FJ1，F(xiàn)J2的電位變化。0S1，0S2與分別在縱方向延伸的輸出信號線L0S1，L0S2連接。在LOSl，L0S2之前，盡管沒圖示出電路，但是具有負載MOS (L-MOS)。水平方向的同一線上的TG11，TG12與讀出線TGl連接，同樣水平方向的同一線上的TG21，TG22與讀出線TG2連接，水平方向的同一線上的TG31，TG32與讀出線TG3連接。圖1是以6像素共享I個RD的結(jié)構(gòu)，以下稱為6像素I單元結(jié)構(gòu)。圖2表示如圖1表示的基本單元的等效電路的布局。其特征在于，在FJl的4邊的內(nèi)3邊配置TGll，TG21，TG31，在其之前配置PDll，PD21，PD31。在FJl的剩余I邊鄰接配置RSl，在RSl的與FJl相對的漏極側(cè)配置RD。以這個RD為中心在水平方向使3像素I單元塊180度旋轉(zhuǎn)，再配置一個3像素I單元。即在RD的與RSl相對的位置配置RS2。在RS2的與RD相對的邊配置FJ2，在FJ2的4邊的內(nèi)3邊配置TG12，TG22，TG32，在其之前配置PD12，PD22，PD32。在另一方RD的上下2邊鄰接配置Amp晶體管的柵極Ampl，Amp2。Amp I,Amp2分別與FJ1，F(xiàn)J2連接(連接布線未圖示)。在Ampl，Amp2的源極側(cè)配置源電極0S1，0S2，與其連接的輸出信號線L0S1，L0S2(未圖示)在縱方向延伸。各TO和輸出電路的OS間的元件分離通過STI進行。另一方ro間的元件分離，通過用離子注入方法形成的雜質(zhì)區(qū)域(以下稱為通道阻擋器，簡稱CS)進行元件分離。在如圖2表示的6像素I單元的布局，考慮配置鄰接的單元時，與在正方格子狀配置相比，在斜方向使之移動配置時安穩(wěn)性變好。關(guān)于這個實用的配置結(jié)構(gòu)，用圖3說明等效電路。圖3是將圖1的6像素I單元作為一個塊，在斜方向使2個塊鄰接的等效電路。成為所謂12像素I單元的等效電路。在這里，與第I塊的PD31，PD32鄰接，在同樣水平線上配置第2塊的PD11，PD12。為了將第2塊的讀出線TG、輸出源電極OS分別與第I塊區(qū)別，用 TG1，，0S1，表示。圖4表示重復配置圖3的12像素I單元的等效電路。在圖中，同一水平線上的H)用相同記號表示。例如PD11，PD12稱為PD1。圖3中，與第I塊的TO31，PD32鄰接，有第2塊的roll，PD12，但是圖4中在同一線上表示Η)3。因此，TG3和TG1’是同一讀出定時，用TG3表示，第2塊的TG2’，TG3’分別表示TG4，TG5。TG5是與第3塊的TGl相同的布線。依次成為第3塊的TG2，TG3相當?shù)牟季€為TG6，TG7，TG7與第4塊的TG1’相對應。如圖4表示的等效電路的特征在于，在斜方向鄰接的2個塊通常通過設置且輸出電路成為ON(導通)的方式將TG打開的構(gòu)成。為此，RS成為2個塊的RS共同復位的布線。圖3的輸出信號線0S1’，0S2’在圖4中，通過12像素I單元布局的成像用0S3，0S4表示。圖5表示圖4的12像素I單元的重復等效電路圖的布局。圖5還共同表示濾色器配置的一例。濾色器增加亮度成分比率高的Green(綠)像素的數(shù)量，構(gòu)成顏色信號的Red(紅)、Blue(藍)利用人眼的顏色分辨率低的事實，將數(shù)量收縮到Green的1/2。 對鄰接斜方向的2個塊的輸出電路中同時讀出的H)，在表示濾色器的顏色信息的R，G，B的文字的橫向，附加讀出信息I，2，3的數(shù)字表示。即鄰接的縱方向線的相同的數(shù)字的像素，通過如圖4所示的相同TG布線施加讀出信號，同時讀出。這個記載在以下的附圖也一樣。圖6表示向如圖5表示的布局相對應的圖4的等效電路圖的PD，附加上述表示的顏色信息和讀出信息的圖。其次，關(guān)于根據(jù)圖2 圖6說明的本實施方式涉及的像素元件的、在以前的像素元件中沒有的特征說明。本實施方式的像素元件的基本塊即如圖2表示的6像素I單元結(jié)構(gòu)，作為晶體管的數(shù)目，包括6個TG, 2個RS, 2個Amp,所謂6像素10晶體管結(jié)構(gòu)。因此,每I個像素(PD)有1. 67個晶體管。為了共享RD，每6像素有I個RD，RD的占有面積減少，所以每I單元的H)的專有面積比例增加。像素配置也具有特征，6像素中以圍繞輸出電路的方式配置像素。虛線表示鄰接PD的一部分，但是，與一個ro正交的3邊與其他的ro鄰接，剩余I邊的一部分與TG、其他的ro鄰接，用剩余的部分鄰接輸出電路。圖中，這個剩余I邊還分成以鈍角交叉的3邊，分別與PD，TG，輸出電路的OS的元件分離區(qū)域(STI)鄰接。因為這樣一個ro正交的3邊與鄰接的ro接觸，關(guān)于這些鄰接的ro間在離子注入方法形成的雜質(zhì)區(qū)域能進行元件分離。關(guān)于這點更加詳細地說明時，由于在輸出電路部周邊的電位影響信號電平，需要使元件分離強化，對其元件分離使用STI。然而，在ro間的元件分離中，由于以形成ro的電位阱的壁為目的形成，壁的高度略微變動，在通常的拍攝狀態(tài)下不影響光電變換、信號電荷的積蓄。在飽和狀態(tài)有過剩電荷向鄰接ro泄露的擔憂，但是由于控制在關(guān)閉狀態(tài)的TG電位(稍微打開)，過剩的電荷能向FJ流出，所以在緊鄰這個信號電荷的讀出之前打開RS，能在RD丟掉，能抑制畫質(zhì)劣化。其次，表示對ro與周圍的單元的分離不使用STi的好處。如背景技術(shù)的項目中說明那樣，作為STI的問題，通過白劃痕和飽和電荷量的權(quán)衡，細微化發(fā)展引起元件的特性大幅度劣化。特別地，那個情況影響了白劃痕，進行大規(guī)模的劃痕修正，所以在周邊電路需要負載，存在圖像變得不自然的問題。本實施方式中，元件分離可僅通過離子注入形成，對半導體基板的損壞由于熱處理(退火)能容易地恢復，損壞少的元件分離變成可能，所以白劃痕富余量大幅度提高。用分辨率限制的去掉圖形也能決定元件分離寬度。這能抑制ro的有效面積縮小，并且抑制ro的飽和電荷量的減少。作為本實施方式涉及的像素的其他特征，大致以ro的大小決定像素間距便于細微化。從FJl到Ampl的距離(從FJ2到Amp2的距離也同樣)在附近鄰接配置，所以能縮短布線長度，減少FJ寄生的電容，也能提高放大器增益。(第2實施方式)圖7是本發(fā)明的其他實施方式涉及的固體拍攝元件的等效電路圖，表示配置重復如圖6表示的12像素I單元的等效電路圖，與TG布線共享RS布線的電路圖。在經(jīng)由TG布線施加讀出脈沖信號從H)讀出信號電荷時，通過與隨后的輸出塊的RS共享相同脈沖，能兼任在來自隨后的塊的ro的信號電荷的讀出之前進行的FJ的復位操作。圖8表示如圖7表示的等效電路的讀出脈沖信號TG和復位脈沖信號RS的定時圖 表。在圖中，實線表示在TG的讀出定時，虛線表示在其讀出脈沖信號TG將隨后的線的FJ復位(RS)的定時。在實線，虛線上附加的R1，G1構(gòu)成的記號表示在虛線的定時將讀出R1，Gl像素的電路塊的FJ復位(RS)的定時，表示在實線的定時用其讀出脈沖信號從H)向FJ進行讀出。布局中，R1、B1在相同的線上同時出現(xiàn)，但是這用Rl代表表示。為了需要RS，在TG的讀出后施加余量的脈沖。在圖8下標明的4線表示在上述的讀出脈沖信號TG的定時向0S1，0S2，0S3, 0S4輸出的像素的顏色信息和讀出信息。這與在圖7的像素附加的相同。圖9是表示本發(fā)明的其他實施方式涉及的固體拍攝元件的圖形布局的平面圖，表示重復配置如圖5表示的12像素I單元的布局和水平掃描線的構(gòu)成。在像素配置中，R和B像素相同的掃描線上的像素數(shù)目是與G像素相同的掃描線上的像素的一半。這是為了在R和B像素線上具有輸出電路。根據(jù)圖9說明修正這個輸出電路部分的像素的遺漏的一例。即在輸出電路的上下鄰接的像素都是G像素，G3、G3及G2、G2，平均化處理他們構(gòu)成虛擬G(以下稱為Gr)，所以能統(tǒng)一水平掃描線上的像素數(shù)目。圖10表示用這個虛擬Gr埋入時的各像素的濾色器配置。該圖中虛線圍繞的矩形G是用上述方法構(gòu)成的虛擬Gr。在圖9的右下的部分，共同記載微鏡片的形狀的一例。其次，參照如圖9表示的實施方式從布線個數(shù)的觀點說明其特征。使用如圖7表示的讀出布線TG和復位布線RS的共同配置時，如圖9的右端所記述，在水平方向穿過的布線是TG1，TG2，TG3，RD的4個布線的重復。而且，TGI, TG2，TG3，RD的布線沒在圖9中明示，但是沿著H)間的間隙部進行布線。水平掃描線是1^上2，1^3上4的4個。在粗的虛線包圍的12像素I單元，穿過下端的2像素G2，G2的水平掃描線，與穿過上端的2像素Gl，Gl的水平掃描線LI相同的重復，也是4個重復。另一方面，在縱方向穿過的輸出信號線以L0S1，L0S2，L0S3, L0S4表示，也是4個重復。而且，關(guān)于L0S1，L0S2, L0S3, L0S4的布線沒在圖9中明示，但是沿著H)間的間隙部進行布線。對這4個水平掃描線，水平方向的布線所謂4個，意味每一像素在水平方向有I個布線穿過。在縱方向也同樣，在4像素周期有4個輸出信號線穿過。這意味每一像素(PD)在垂直方向也有I個布線穿過。這樣，本申請中，在像素周圍，在水平垂直方向各有I個布線穿過。另一方面，以前的2像素I單元結(jié)構(gòu)的布線的個數(shù)，與本申請同樣，以復位布線RS和讀出布線TG共同為前提，水平方向是每2像素2TG，IRD,垂直方向是每I像素I個輸出布線。因此每I像素，在水平方向成為1. 5個布線，在縱方向成為I個輸出布線。在這個實施方式，布線個數(shù)的減少導致ro取入的入射光的收集效率提高，能抑制在畫面周邊部的陰影劣化。這隨著細微單元化，效果變得顯著。(第3實施方式)圖11是表示本發(fā)明的其他實施方式涉及的固體拍攝元件的圖形布局的平面圖。這個固體拍攝元件的圖形布局，是使如圖5表示的12像素I單元的重復塊旋轉(zhuǎn)90度配置的布局，在表示濾色器的顏色信息的R，G，B的文字的橫向，附加讀出信息1，2，3，1’，2’，3’的數(shù)字表示。來自像素的讀出采用從斜方向鄰接的輸出電路各2個地，以4像素單位(0S1，0S2, 0S3, 0S4)輸出的方式，作為讀出信息，除了以前的1，2，3之外，用1’，2’，3’附加。圖12是表示本發(fā)明的其他實施方式涉及的固體拍攝元件的圖形布局的平面圖。這個固體拍攝元件的圖形布局，是使如圖5表示的12像素I單元的重復塊旋轉(zhuǎn)45度配置的布局，在表示濾色器的顏色信息的R，G，B的文字的橫向，附加讀出信息1，2，3，1’，2’，3’的數(shù)字表示。來自像素的讀出采用從水平方向鄰接的輸出電路各2個地，以4像素單位(0S1， 0S2，0S3，0S4)輸出的方式，與圖11同樣，作為讀出信息，除了以前的1，2，3之外，用1’，2’，3’附加。說明了以上本發(fā)明的實施方式，但是，這些實施方式作為例子出示，不打算限定發(fā)明的范圍。例如，也可單純地在縱方向、橫方向以正方格子狀配置如圖2表示的6像素I單元，其間隙的空間能通過擴大ro實現(xiàn)充足的配置。這些新的實施方式，可以以其他的各種各樣的方式被實施，在不越出發(fā)明的宗旨的范圍，能進行種種的省略，調(diào)換，變更。特別地，濾色器的配置、其讀出的像素的組合可以進行各種各樣的變形。這些實施方式及其變形，包括在發(fā)明的范圍、要旨內(nèi)，并且包括在權(quán)利要求的范圍內(nèi)記載的發(fā)明及其均等的范圍。
權(quán)利要求
1.一種固體拍攝元件，其特征在于，上述固體拍攝元件包括構(gòu)成基本單元的第I及第2 單位單元，第I及第2單位單元分別包括至少3個光電二極管，光電變換入射光并積蓄；傳送柵晶體管，與這些各光電二極管相鄰設置，用于讀出來自各光電二極管的信號電荷；浮動結(jié)點，經(jīng)由該傳送柵晶體管從上述至少3個光電二極管取得信號電荷，產(chǎn)生電位變化；放大器晶體管，設置為檢測該浮動結(jié)點的電位變化；和復位晶體管，設置為用于將上述浮動結(jié)點的電位復位成恒定電位；將上述第I及第2單位單元配置為鏡像對稱，該2個單位單元的復位漏極共用以構(gòu)成基本單元。
2.如權(quán)利要求1所述的固體拍攝元件，其特征在于，多個上述基本單元以方格狀排列， 第I基本單元包括的上述第I基本單元內(nèi)的至少I個光電二極管與第2基本單元包括的上述第2基本單元內(nèi)的至少I個光電二極管相鄰配置，上述第2基本單元對上述第I基本單元在斜方向相鄰配置。
3.如權(quán)利要求1所述的固體拍攝元件，其特征在于，在上述基本單位單元，上述各光電二極管和上述放大器晶體管的輸出源電極間的元件分離通過淺溝槽隔離(STI)進行，上述各光電二極管間的元件分離通過用離子注入方法形成的雜質(zhì)區(qū)域進行。
4.如權(quán)利要求1所述的固體拍攝元件，其特征在于，上述各光電二極管上，形成選擇地投下特定的色光的濾色器。
5.如權(quán)利要求4所述的固體拍攝元件，其特征在于，對于因在形成上述基本單元的電路圖形包括的上述輸出電路圖形部分不存在光電二極管而失去的圖像信號，用相鄰的同色的光電二極管的圖像信息進行補充。
6.如權(quán)利要求2所述的固體拍攝元件，其特征在于，還包括傳送柵布線，與上述傳送柵晶體管的傳送柵電極共同連接，上述傳送柵晶體管用于讀出上述方格狀排列的單元排列中的各基本單元包括的同行排列的光電二極管積蓄的電荷；復位布線，與上述各基本單元包括的同行排列的復位晶體管的復位柵電極共同連接；輸出布線，與上述各基本單元包括的2個單位單元中的一方的單位單元包括的上述放大器晶體管的輸出源電極共同連接。
7.如權(quán)利要求2所述的固體拍攝元件，其特征在于，上述復位布線，對包括上述復位布線被共同連接的復位晶體管的同行排列的基本單元，也與相鄰的行排列的基本單元包括的復位晶體管的復位柵電極共同連接。
8.如權(quán)利要求2所述的固體拍攝元件，其特征在于，對包括上述復位布線被共同連接的復位晶體管的同行排列的基本單元，通過將上述復位晶體管的復位電極共同連接至與相鄰的行排列的基本單元包括的傳送柵晶體管共同連接的傳送柵布線，將傳送柵布線與上述復位布線共用。
9.如權(quán)利要求1所述的固體拍攝元件，其特征在于，使形成上述基本單元的電路圖形 90度旋轉(zhuǎn)，將其以方格狀配置。
10.如權(quán)利要求9所述的固體拍攝元件，其特征在于，對于因在形成上述基本單元的電路圖形包括的上述輸出電路圖形部分不存在光電二極管而失去的圖像信號，用相鄰的同色的光電二極管的圖像信息進行補充。
11.如權(quán)利要求1所述的固體拍攝元件，其特征在于，使形成上述基本單元的電路圖形 45度旋轉(zhuǎn)，將其以方格狀配置。
12.如權(quán)利要求11所述的固體拍攝元件，其特征在于，對于因在形成上述基本單元的電路圖形包括的上述輸出電路圖形部分不存在光電二極管而失去的圖像信號，用相鄰的同色的光電二極管的圖像信息進行補充。
13.一種固體拍攝元件，其特征在于，上述固體拍攝元件包括構(gòu)成基本單元的第I及第 2單位單元，第I及第2單位單元分別包括至少3個光電二極管，光電變換入射光并積蓄；傳送柵晶體管，與該等各光電二極管相鄰設置，用于讀出來自各光電二極管的信號電荷；浮動結(jié)點，經(jīng)由該傳送柵晶體管從上述至少從3個光電二極管取得信號電荷，產(chǎn)生電位變化；放大器晶體管，設置為檢測該浮動結(jié)點的電位變化；和復位晶體管，設置為用于將上述浮動結(jié)點的電位復位成恒定電位，將上述浮動結(jié)點設為源電極，具有復位柵電極及形成規(guī)定恒定電位的電源部的復位漏電極；上述浮動結(jié)點及上述復位晶體管的復位漏電極分別以矩形狀的圖形形成，在形成上述浮動結(jié)點的矩形狀圖形的3邊使上述傳送柵晶體管的傳送柵電極相鄰，并且在與該傳送柵電極的上述浮動結(jié)點相反側(cè)的邊分別配置各I個、共計3個光電二極管，在上述浮動結(jié)點的剩余一邊使上述復位晶體管的柵電極相鄰，在與該柵電極的上述浮動結(jié)點相反側(cè)的邊配置上述矩形狀的復位漏電極，在這個矩形狀的復位漏電極的I邊使上述放大器晶體管的柵電極相鄰，并且在與該柵電極的上述復位漏電極相反側(cè)配置上述放大器晶體管的輸出源電極，由包括上述浮動結(jié)點、復位晶體管及放大器晶體管的共同的輸出電路讀出上述3個光電二極管，并且共用上述復位晶體管的復位漏電極和上述放大器晶體管的漏電極，上述基本單元通過將上述第2單位單元180度旋轉(zhuǎn)，上述第I及第2單位單元成為鏡像對稱，并且， 上述復位漏電極通過由這些單位單元共用的方式構(gòu)成。
14.如權(quán)利要求13所述的固體拍攝元件，其特征在于，在上述基本單位單元，上述各光電二極管和上述放大器晶體管的輸出源電極間的元件分離通過淺溝槽隔離(STI)進行，上述各光電二極管間的元件分離通過用離子注入方法形成的雜質(zhì)區(qū)域進行。
15.如權(quán)利要求13所述的固體拍攝元件，其特征在于，上述各光電二極管上，形成選擇地投下特定的色光的濾色器。
16.如權(quán)利要求13所述的固體拍攝元件，其特征在于，多個上述基本單元以方格狀排列。
17.如權(quán)利要求16所述的固體拍攝元件，其特征在于，對于因在形成上述基本單元的電路圖形包括的上述輸出電路圖形部分不存在光電二極管而失去的圖像信號，用相鄰的同色的光電二極管的圖像信息進行補充。
18.如權(quán)利要求16所述的固體拍攝元件，其特征在于，還包括傳送柵布線，與上述傳送柵晶體管的傳送柵電極共同連接，上述傳送柵晶體管用于讀出上述方格狀排列的單元排列中的各基本單元包括的同行排列的光電二極管積蓄的電荷；復位布線，與上述各基本單元包括的同行排列的復位晶體管的復位柵電極共同連接；輸出布線，與上述各基本單元包括的2個單位單元中的一方的單位單元包括的上述放大器晶體管的輸出源電極共同連接。
19.如權(quán)利要求16所述的固體拍攝元件，其特征在于，上述復位布線，對包括上述復位布線被共同連接的復位晶體管的同行排列的基本單元，也與相鄰的行排列的基本單元包括的復位晶體管的復位柵電極共同連接。
20.如權(quán)利要求16所述的固體拍攝元件，其特征在于，對包括上述復位布線被共同連接的復位晶體管的同行排列的基本單元，通過將上述復位晶體管的復位電極共同連接至與相鄰的行排列的基本單元包括的傳送柵晶體管共同連接的傳送柵布線，將傳送柵布線與上述復位布線共用。
全文摘要
本實施方式涉及的固體拍攝元件，準備2個以3像素共享輸出電路的單位單元，使一方180度旋轉(zhuǎn)，共享復位漏極，得到配置后的6像素1單元，通過將其以正方格子狀或方格狀配置，極力減少像素和鄰接的輸出電路間的元件分離區(qū)域，并減少像素周圍的布線個數(shù)，盡管將單元細微化，得到對白劃痕、飽和電荷量提高富余量的固體拍攝元件。
文檔編號H01L27/146GK103002229SQ20121007076
公開日2013年3月27日 申請日期2012年3月16日 優(yōu)先權(quán)日2011年9月16日
發(fā)明者關(guān)根弘一 申請人:株式會社 東芝