專利名稱：臂型搬運(yùn)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種以能夠旋轉(zhuǎn)的方式連接多個(gè)連桿而構(gòu)成的臂型搬運(yùn)裝置，特別是涉及一種使用于檢測(cè)搬運(yùn)對(duì)象物的保持狀態(tài)的功能適當(dāng)化的臂型搬運(yùn)裝置，還涉及一種使檢測(cè)如晶圓那樣的正圓形搬運(yùn)對(duì)象物的中心位置并校正位置偏移的功能適當(dāng)化的臂型搬
運(yùn)裝置。
背景技術(shù)：
公知有按照制造工序搬運(yùn)形成為較薄的圓盤狀的半導(dǎo)體晶圓等搬運(yùn)對(duì)象物的搬運(yùn)裝置。其中，也存在有如下的臂型搬運(yùn)裝置該臂型搬運(yùn)裝置借助關(guān)節(jié)部以能夠旋轉(zhuǎn)的方 式串聯(lián)連接多個(gè)連桿而構(gòu)成，通過(guò)旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)各關(guān)節(jié)部，而從以規(guī)定間距收容了搬運(yùn)對(duì)象物的收容殼體內(nèi)一張一張地取出搬運(yùn)對(duì)象物并進(jìn)行搬運(yùn)。在這樣的機(jī)械臂中，在前端的連桿即手端操作裝置(第I連桿)上設(shè)有用于保持搬運(yùn)對(duì)象物的保持部。作為用于保持搬運(yùn)對(duì)象物的方法，存在有利用真空吸附進(jìn)行保持的方法、利用機(jī)械卡盤夾持的方法，此外還有只是簡(jiǎn)單地載置的方法等各種方法，無(wú)論哪種方法均需要檢測(cè)手端操作裝置是否適當(dāng)?shù)乇３职徇\(yùn)對(duì)象物。作為上述用途的其中一個(gè)方法，在專利文獻(xiàn)I中公開(kāi)了在手端操作裝置上設(shè)置用于檢測(cè)有無(wú)搬運(yùn)對(duì)象物的光電傳感器、靜電傳感器等傳感器。并且，在將正圓形搬運(yùn)對(duì)象物向處理裝置搬運(yùn)時(shí)，在一般的搬運(yùn)系統(tǒng)中，為了校正正圓形搬運(yùn)對(duì)象物的位置偏移而適當(dāng)?shù)匕徇\(yùn)搬運(yùn)對(duì)象物，使用被稱為對(duì)準(zhǔn)器的裝置來(lái)進(jìn)行對(duì)位。進(jìn)行對(duì)位的方向是X方向及Y方向和對(duì)準(zhǔn)器的旋轉(zhuǎn)軸方向的0方向這3個(gè)方向。在專利文獻(xiàn)2中，作為對(duì)正圓形搬運(yùn)對(duì)象進(jìn)行對(duì)位的方法，公開(kāi)了檢測(cè)X方向及Y方向、9方向的偏移來(lái)進(jìn)行對(duì)位的方法。專利文獻(xiàn)I :日本特開(kāi)2002-270674號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2 :日本特開(kāi)平8-222611號(hào)公報(bào)但是，在上述那樣的臂型搬運(yùn)裝置中，為了使手端操作裝置能夠出入例如晶圓的收容間距較短的收容殼體內(nèi)部等較窄的空間，要求手端操作裝置盡可能地小型化，但是若采用如上所述地在手端操作裝置自身上設(shè)置傳感器的結(jié)構(gòu)，則在手端操作裝置上需要用于安裝傳感器的空間，手端操作裝置自身大型化。而且，在使手端操作裝置出入例如處理裝置內(nèi)部的高溫區(qū)域、低溫區(qū)域的情況下，傳感器與手端操作裝置一起出入高溫區(qū)域、低溫區(qū)域，有可能損傷傳感器。另一方面，作為避免上述不良情況的方法之一，考慮將手端操作裝置上的用于檢測(cè)有無(wú)搬運(yùn)對(duì)象物的傳感器安裝在除臂型搬運(yùn)裝置以外的其他裝置上，但是需要確保安裝傳感器的場(chǎng)所、每次檢測(cè)時(shí)需要將搬運(yùn)對(duì)象物搬運(yùn)到設(shè)在其他裝置上的傳感器的規(guī)定檢測(cè)位置，有損搬運(yùn)效率。而且，在采用專利文獻(xiàn)I所公開(kāi)的方法時(shí)，存在有如下這樣的問(wèn)題在搬運(yùn)中，只有在設(shè)于與臂型搬運(yùn)裝置不同的位置的對(duì)準(zhǔn)器上才能夠檢測(cè)正圓形搬運(yùn)對(duì)象物的中心位置，在搬運(yùn)正圓形搬運(yùn)對(duì)象物時(shí)，暫且將正圓形搬運(yùn)對(duì)象物搬運(yùn)到對(duì)準(zhǔn)器上，進(jìn)行對(duì)位后再取出該正圓形搬運(yùn)對(duì)象物將其搬運(yùn)到目標(biāo)位置，需要花費(fèi)向?qū)?zhǔn)器搬運(yùn)的時(shí)間和進(jìn)行對(duì)位的時(shí)間。另外，也存在有如下這樣的問(wèn)題包括專利文獻(xiàn)2的一般的對(duì)準(zhǔn)器在檢測(cè)各方向的位置偏移量后，利用分別設(shè)在X方向及Y方向、旋轉(zhuǎn)方向上的驅(qū)動(dòng)軸來(lái)校正檢測(cè)出的偏移，因此，相對(duì)于一個(gè)對(duì)準(zhǔn)器必需設(shè)置3個(gè)驅(qū)動(dòng)軸，花費(fèi)成本。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明就是著眼于這樣的問(wèn)題而做成的，其中 的一個(gè)目的在于提供一種不伴隨用于保持搬運(yùn)對(duì)象物的手端操作裝置的大型化、傳感器的損傷、搬運(yùn)效率的降低而能夠適當(dāng)?shù)貦z測(cè)搬運(yùn)對(duì)象物的保持狀態(tài)的臂型搬運(yùn)裝置。本發(fā)明的另一個(gè)目的在于提供一種能夠在短時(shí)間內(nèi)檢測(cè)正圓形搬運(yùn)對(duì)象物的中心位置、并且基于檢測(cè)出的正圓形搬運(yùn)對(duì)象物的中心位置來(lái)判定正圓形搬運(yùn)對(duì)象物的位置偏移的臂型搬運(yùn)裝置。本發(fā)明為了達(dá)成該目的，采取以下方法。S卩，本發(fā)明的第I技術(shù)方案的臂型搬運(yùn)裝置，其特征在于，該臂型搬運(yùn)裝置具有臂機(jī)構(gòu)，其借助關(guān)節(jié)部將多個(gè)連桿以在水平面內(nèi)能夠轉(zhuǎn)動(dòng)的方式相連接而構(gòu)成，該多個(gè)連桿包括用于保持搬運(yùn)對(duì)象物的第一連桿；傳感器，其安裝在構(gòu)成上述臂機(jī)構(gòu)的多個(gè)連桿中的、比上述第一連桿靠基端側(cè)的連桿上，用于檢測(cè)在與安裝位置相對(duì)應(yīng)地確定的檢測(cè)位置是否存在有上述搬運(yùn)對(duì)象物，上述傳感器的安裝位置設(shè)定為在向使上述第一連桿接近安裝有上述傳感器的連桿的方向轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)上述關(guān)節(jié)部的情況下，被正確地保持在上述第一連桿上的搬運(yùn)對(duì)象物能夠通過(guò)上述檢測(cè)位置而對(duì)該搬運(yùn)對(duì)象物進(jìn)行檢測(cè)。由于這樣地將傳感器的安裝位置設(shè)定為僅向使第一連桿接近安裝有傳感器的連桿的方向轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)關(guān)節(jié)部，就能使被正確地保持在第一連桿上的搬運(yùn)對(duì)象物通過(guò)檢測(cè)位置而對(duì)該搬運(yùn)對(duì)象物進(jìn)行檢測(cè)，因此，能夠檢測(cè)第一連桿是否保持搬運(yùn)對(duì)象物，不需要為了檢測(cè)有無(wú)搬運(yùn)對(duì)象物而將搬運(yùn)對(duì)象物搬運(yùn)到設(shè)在搬運(yùn)裝置以外的其他裝置上的規(guī)定檢測(cè)位置，能夠提高搬運(yùn)效率。而且，由于在比用于保持搬運(yùn)對(duì)象物的第一連桿靠基端側(cè)的連桿上安裝有傳感器，因此，與如以往那樣在第一連桿(手端操作裝置)上安裝傳感器的情況相t匕，能夠使第一連桿薄型化，也能夠應(yīng)對(duì)使第一連桿出入例如收容間距較短的收容殼體內(nèi)部等較窄的空間的要求。而且，由于在比用于保持搬運(yùn)對(duì)象物的第一連桿靠基端側(cè)的連桿上安裝有傳感器，因此，即使是在第一連桿出入例如處理裝置內(nèi)部的高溫區(qū)域、低溫區(qū)域的情況下，也能夠避免傳感器與第一連桿一起出入高溫區(qū)域、低溫區(qū)域，能避免傳感器損傷。為了不僅是檢測(cè)搬運(yùn)對(duì)象物W是否被保持還檢測(cè)搬運(yùn)對(duì)象物是否被以從規(guī)定位置偏移的狀態(tài)保持，優(yōu)選設(shè)置判定部，該判定部計(jì)測(cè)使上述搬運(yùn)對(duì)象物以規(guī)定速度移動(dòng)而從該搬運(yùn)對(duì)象物的一端到另一端通過(guò)上述檢測(cè)位置所需的時(shí)間，基于計(jì)測(cè)出的時(shí)間和該搬運(yùn)對(duì)象物被保持在上述第一連桿的規(guī)定位置上的規(guī)定時(shí)間之間的誤差，來(lái)判定上述搬運(yùn)對(duì)象物是否從上述規(guī)定位置偏移。本發(fā)明的第2技術(shù)方案的臂型搬運(yùn)裝置，其特征在于，該臂型搬運(yùn)裝置具有臂機(jī)構(gòu)，其以使用于保持正圓形搬運(yùn)對(duì)象物的連桿借助旋轉(zhuǎn)軸在水平面內(nèi)能夠轉(zhuǎn)動(dòng)的方式將該連桿安裝在基座構(gòu)件上；邊緣檢測(cè)部，其與上述旋轉(zhuǎn)軸一起安裝在上述基座構(gòu)件上，用于檢測(cè)正圓形搬運(yùn)對(duì)象物的邊緣是否位于與安裝位置相對(duì)應(yīng)地確定的檢測(cè)位置；旋轉(zhuǎn)角度檢測(cè)部，其用于檢測(cè)上述連桿相對(duì)于上述基座構(gòu)件的旋轉(zhuǎn)角度；中心位置計(jì)算部，其基于正圓形搬運(yùn)對(duì)象物的邊緣通過(guò)上述邊緣檢測(cè)部時(shí)由旋轉(zhuǎn)角度檢測(cè)部檢測(cè)出的對(duì)應(yīng)的旋轉(zhuǎn)角度，計(jì)算出正圓形搬運(yùn)對(duì)象物相對(duì)于上述連桿的中心位置。若如此構(gòu)成，則僅使保持有正圓形搬運(yùn)對(duì)象物的連桿通過(guò)基座構(gòu)件的邊緣檢測(cè)部，不需要逐一向與臂型搬運(yùn)裝置分開(kāi)設(shè)置的對(duì)準(zhǔn)器等搬運(yùn)來(lái)進(jìn)行搬運(yùn)對(duì)象物的對(duì)位，就能夠由旋轉(zhuǎn)角度檢測(cè)部與中心位置計(jì)算部計(jì)算出正圓形搬運(yùn)對(duì)象物的中心位置坐標(biāo)，因此，能夠大幅度地縮短搬運(yùn)及對(duì)位的時(shí)間，也能夠大幅度地降低成本。而且，為了判定正圓形搬運(yùn)對(duì)象物從原本應(yīng)位于的中心位置坐標(biāo)的位置偏移，優(yōu)選的是，該臂型搬運(yùn)裝置具有中心位置偏移判定部，該中心位置偏移判定部基于利用上述中心位置計(jì)算部計(jì)算出的中心位置來(lái)檢測(cè)正圓形搬運(yùn)對(duì)象物的位置偏移，該中心位置偏移判定部構(gòu)成為基于被預(yù)先賦予的基準(zhǔn)中心位置和上述中心位置計(jì)算部計(jì)算出的被載置在 連桿上的應(yīng)測(cè)定的正圓形搬運(yùn)對(duì)象物的實(shí)際中心位置，來(lái)判定從上述基準(zhǔn)中心位置到上述實(shí)際中心位置的中心位置偏移。本發(fā)明的第I技術(shù)方案由于如上地構(gòu)成，因此，僅向使第一連桿接近安裝有傳感器的連桿的方向轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)關(guān)節(jié)部，就能夠檢測(cè)是否保持搬運(yùn)對(duì)象物，能夠極力減少多余的動(dòng)作而提高搬運(yùn)效率。而且，由于在比用于保持搬運(yùn)對(duì)象物的第一連桿靠基端側(cè)的連桿上安裝傳感器，因此，無(wú)需傳感器的設(shè)置空間，能夠使第一連桿小型化，并且能夠避免傳感器與第一連桿一起出入高溫區(qū)域、低溫區(qū)域，能夠避免傳感器損傷。因而，能夠提供一種不伴隨這些不良情況而能夠適當(dāng)?shù)貦z測(cè)搬運(yùn)對(duì)象物的保持狀態(tài)的臂型搬運(yùn)裝置。采用以上說(shuō)明的本發(fā)明的第2技術(shù)方案，僅使正圓形搬運(yùn)對(duì)象物通過(guò)設(shè)在連桿基端部側(cè)的邊緣檢測(cè)部，即使不將正圓形搬運(yùn)對(duì)象物向?qū)?zhǔn)器等逐一搬運(yùn)來(lái)進(jìn)行正圓形搬運(yùn)對(duì)象物的對(duì)位，也能夠計(jì)算出正圓形搬運(yùn)對(duì)象物的中心位置坐標(biāo),因此,能夠大幅度地縮短搬運(yùn)及對(duì)位的時(shí)間，能夠大幅度地降低成本。


圖I是表示本發(fā)明的第I實(shí)施方式的臂型搬運(yùn)裝置的立體圖。圖2是表示本發(fā)明的第I實(shí)施方式的臂型搬運(yùn)裝置的動(dòng)作的立體圖。圖3是表示本發(fā)明的第I實(shí)施方式的臂型搬運(yùn)裝置的傳感器部分的放大立體圖。圖4是示意地表示本發(fā)明的第I實(shí)施方式的臂型搬運(yùn)裝置的動(dòng)作的俯視圖。圖5是比較地表示本發(fā)明的第I實(shí)施方式的將搬運(yùn)對(duì)象物保持在規(guī)定位置的狀態(tài)與從規(guī)定位置偏移地保持的狀態(tài)的示意圖。圖6是表示本發(fā)明的第2實(shí)施方式的臂型搬運(yùn)裝置的立體圖。圖7是表示本發(fā)明的第2實(shí)施方式的臂型搬運(yùn)裝置的動(dòng)作的立體圖。圖8是表示本發(fā)明的第2實(shí)施方式的臂型搬運(yùn)裝置的邊緣檢測(cè)部的放大立體圖。圖9是示意地表示本發(fā)明的第2實(shí)施方式的臂型搬運(yùn)裝置的動(dòng)作的俯視圖。圖10是表示通過(guò)邊緣結(jié)束時(shí)的正圓形搬運(yùn)對(duì)象物的邊緣與中心位置的關(guān)系的x-y坐標(biāo)圖。圖11是表示連桿轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)的正圓形搬運(yùn)對(duì)象物的動(dòng)作的示意圖。
圖12是用于說(shuō)明判定正圓形搬運(yùn)對(duì)象物的中心位置偏移的功能的說(shuō)明圖。
具體實(shí)施例方式以下，參照

本發(fā)明的第I實(shí)施方式。如圖I及圖4所示，本實(shí)施方式的臂型搬運(yùn)裝置具有臂機(jī)構(gòu)2，其借助關(guān)節(jié)部24、25、26將多個(gè)連桿21、22、23以在水平面內(nèi)能夠轉(zhuǎn)動(dòng)的方式相連接而構(gòu)成，該多個(gè)連桿21、22、23包括用于保持圓盤狀的半導(dǎo)體晶圓等搬運(yùn)對(duì)象物W的、也被稱為手端操作裝置的第ー連桿21 ;傳感器3，其用于檢測(cè)被保持在第一連桿21上的搬運(yùn)對(duì)象物W ;控制部4，其通過(guò)控制臂機(jī)構(gòu)2的各關(guān)節(jié)部24、25、26的轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)，將利用第一連桿21保持的搬運(yùn)對(duì)象物W搬運(yùn)到所期望的位置。如圖I及圖4所示，臂機(jī)構(gòu)2具有第一連桿21，其利用前端側(cè)保持搬運(yùn)對(duì)象物W ;第ニ連桿22，第一連桿21的基端部21b以在水平面內(nèi)能夠轉(zhuǎn)動(dòng)的方式連接于該第二連 桿22的前端部22a ;第三連桿23，第二連桿22的基端部22b以在水平面內(nèi)能夠轉(zhuǎn)動(dòng)的方式連接于該第三連桿23的前端部23a ;底座20，其以在水平面內(nèi)能夠轉(zhuǎn)動(dòng)的方式支承第三連桿23的基端部23b。在俯視時(shí)，第一連桿21形成為大致Y字狀且呈板狀，在上表面形成有與圓盤狀的搬運(yùn)對(duì)象物W的周緣相對(duì)應(yīng)的形狀的臺(tái)階部21c。臺(tái)階部21c是供搬運(yùn)對(duì)象物W放置的載置面，臺(tái)階部21c通過(guò)將內(nèi)周側(cè)形成得比外周側(cè)低，來(lái)發(fā)揮保持搬運(yùn)對(duì)象物的功能。第一連桿21的基端部21b與第二連桿22的前端部22a彼此以能繞沿鉛垂方向的旋轉(zhuǎn)軸Cl在水平面內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)的方式相連接而構(gòu)成第一關(guān)節(jié)部24。與此相同，第二連桿22的基端部22b與第三連桿23的前端部23a彼此也以能繞沿鉛垂方向的旋轉(zhuǎn)軸C2在水平面內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)的方式相連接而構(gòu)成第二關(guān)節(jié)部25，第三連桿23的基端部23b與底座20彼此也以能繞沿鉛垂方向的旋轉(zhuǎn)軸C3在水平面內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)的方式相連接而構(gòu)成第三關(guān)節(jié)部26。這些關(guān)節(jié)部24、25、26中的每ー個(gè)關(guān)節(jié)部構(gòu)成為，被使用了電動(dòng)機(jī)等動(dòng)カ部M以獨(dú)立于其他關(guān)節(jié)部的方式驅(qū)動(dòng)而轉(zhuǎn)動(dòng)，能夠改變各連桿21、22、23的角度0 (參照?qǐng)D4)。如圖3所示，用于檢測(cè)搬運(yùn)對(duì)象物W的傳感器3是由發(fā)光元件30及受光元件31構(gòu)成的如光電傳感器等那樣用于檢測(cè)在與安裝位置相對(duì)應(yīng)的檢測(cè)位置Se是否存在檢測(cè)搬運(yùn)對(duì)象物W的機(jī)構(gòu)，該傳感器3根據(jù)在搬運(yùn)對(duì)象物W通過(guò)連結(jié)發(fā)光元件30及受光元件31的光的通路即檢測(cè)位置Se時(shí)、從發(fā)光元件30朝向受光元件31的光是否被遮擋來(lái)檢測(cè)搬運(yùn)對(duì)象物W。如圖I 圖4所示，該傳感器3安裝在構(gòu)成臂機(jī)構(gòu)2的多個(gè)連桿21、22、23中的、位于比第一連桿21靠基端側(cè)的第二連桿22的基端部22b上，如圖2及圖4所示，傳感器3的安裝位置設(shè)定為在向使第一連桿21接近安裝有傳感器3的第二連桿22的方向轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)第一關(guān)節(jié)部24的情況下，被正確地保持在第一連桿21上的搬運(yùn)對(duì)象物W能夠通過(guò)檢測(cè)位置Se而對(duì)該搬運(yùn)對(duì)象物W進(jìn)行檢測(cè)。而且，傳感器3的安裝位置設(shè)定為在轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)關(guān)節(jié)部24、25、26時(shí)，該傳感器3不與多個(gè)連桿21、22、23相干渉。即，傳感器3也可以說(shuō)是安裝在避開(kāi)了各連桿21、22、23的旋轉(zhuǎn)軌跡的位置。圖I、圖2所示的控制部4由具有CPU、存儲(chǔ)器及界面的普通的微型電子計(jì)算機(jī)單元構(gòu)成，在存儲(chǔ)器內(nèi)寫入搬運(yùn)控制例行程序等所需的程序，CPU通過(guò)適當(dāng)?shù)卣{(diào)用需要的程序并執(zhí)行該程序，來(lái)與周邊硬件設(shè)備協(xié)作，從而實(shí)現(xiàn)所期望的搬運(yùn)動(dòng)作、用于判定搬運(yùn)對(duì)象物W的保持狀態(tài)的判定部41。
利用該判定部41來(lái)執(zhí)行使用上述傳感器的狀態(tài)保持檢測(cè)處理。S卩，如圖4的(a)所示，在執(zhí)行僅將第一連桿21插入搬運(yùn)源的FOUP (Front Open Unified Pod)等收容殼體Ca中、利用第一連桿21保持半導(dǎo)體晶圓等搬運(yùn)對(duì)象物W、從收容殼體Ca取出搬運(yùn)對(duì)象物W的動(dòng)作的情況下，如圖2及圖4的(b)所示，向使第一連桿21接近安裝有傳感器3的第二連桿22的方向轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)第一關(guān)節(jié)部24，使被保持在第一連桿21上的搬運(yùn)對(duì)象物W移動(dòng)而通過(guò)檢測(cè)位置Se。在該情況下，根據(jù)第一連桿21相對(duì)于第二連桿22的角度0是在檢測(cè)位置Se保持有搬運(yùn)對(duì)象物W情況下的規(guī)定角度(例如180度，參照?qǐng)D4的(b))時(shí)的傳感器3的檢測(cè)結(jié)果，來(lái)判定搬運(yùn)對(duì)象物W的保持狀態(tài)。具體地說(shuō)，在利用傳感器3檢測(cè)出遮擋狀態(tài)的情況下，判定為保持有搬運(yùn)對(duì)象物W而轉(zhuǎn)到接下來(lái)的搬運(yùn)動(dòng)作，而在利用傳感器3檢測(cè)出透光狀態(tài)的情況下，判定為未保持有搬運(yùn)對(duì)象物W而轉(zhuǎn)到錯(cuò)誤處理。如以上所述，本實(shí)施方式的臂型搬運(yùn)裝置具有臂機(jī)構(gòu)2，其借助關(guān)節(jié)部24、25、26將多個(gè)連桿21、22、23以在水平面內(nèi)能夠轉(zhuǎn)動(dòng)的方式相連接而構(gòu)成，該多個(gè)連桿21、22、23、包括用于保持搬運(yùn)對(duì)象物W的第一連桿21 ;傳感器3，其安裝在構(gòu)成臂機(jī)構(gòu)2的多個(gè)連桿21、22、23中的、比第一連桿21靠基端側(cè)的連桿22上，用于檢測(cè)在與安裝位置相對(duì)應(yīng)地確定的檢測(cè)位置Se是否存在有搬運(yùn)對(duì)象物W，傳感器3的安裝位置設(shè)定為在向使第一連桿21接近安裝有傳感器3的連桿22的方向轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)關(guān)節(jié)部24的情況下，被正確地保持在第一連桿21上的搬運(yùn)對(duì)象物W能夠通過(guò)檢測(cè)位置Se而對(duì)該搬運(yùn)對(duì)象物W進(jìn)行檢測(cè)。由于這樣地將傳感器3的安裝位置設(shè)定為僅向使第一連桿21接近安裝有傳感器3的連桿22的方向轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)關(guān)節(jié)部24、被正確地保持在第一連桿21上的搬運(yùn)對(duì)象物W就能夠通過(guò)檢測(cè)位置Se而對(duì)該搬運(yùn)對(duì)象物W進(jìn)行檢測(cè)，因此，能夠檢測(cè)出第一連桿21是否保持搬運(yùn)對(duì)象物W，不需要為了檢測(cè)有無(wú)搬運(yùn)對(duì)象物而將搬運(yùn)對(duì)象物W搬運(yùn)到設(shè)在搬運(yùn)裝置以外的其他裝置上的規(guī)定檢測(cè)位置，能夠提高搬運(yùn)效率。而且，由于在比用于保持搬運(yùn)對(duì)象物W的第一連桿21靠基端側(cè)的連桿22上安裝有傳感器3，因此，與以往那樣在第一連桿21 (手端操作裝置)上安裝傳感器的情況相比，能夠使第一連桿薄型化，也能夠應(yīng)對(duì)使第一連桿出入例如收容間距較短的收容殼體內(nèi)部等較窄的空間的要求。而且，由于在比用于保持搬運(yùn)對(duì)象物W的第一連桿21靠基端側(cè)的連桿22上安裝有傳感器，因此，即使是在使第一連桿出入例如處理裝置內(nèi)部的高溫區(qū)域、低溫區(qū)域的情況下，也能夠避免傳感器與第一連桿一起出入高溫區(qū)域、低溫區(qū)域的情況，能避免傳感器損傷。以上，基于

了本發(fā)明的實(shí)施方式，但應(yīng)該認(rèn)為具體的結(jié)構(gòu)并不限定于這些實(shí)施方式。本發(fā)明的范圍不僅是上述的實(shí)施方式的說(shuō)明，還包括權(quán)利要求所示的內(nèi)容、與權(quán)利要求同等的意思及權(quán)利要求范圍內(nèi)的所有的變更。例如，在本實(shí)施方式中，傳感器3安裝在第二連桿22上，但是只要是比第一連桿21靠基端側(cè)的連桿，并不限定于第二連桿，例如也可以安裝在第三連桿23上。在本實(shí)施方式中，臂機(jī)構(gòu)通過(guò)將三個(gè)連桿21 23以在水平面內(nèi)能夠轉(zhuǎn)動(dòng)的方式相連接而構(gòu)成，但是也可以通過(guò)將兩個(gè)或四個(gè)以上的連桿相連接而構(gòu)成。另外，在本實(shí)施方式中，構(gòu)成為檢測(cè)搬運(yùn)對(duì)象物W是否被保持在第一連桿21上，但是如圖5所示，也可以構(gòu)成為檢測(cè)搬運(yùn)對(duì)象物W是否被以從第一連桿21上的正確的規(guī)定位置P I偏移的狀態(tài)保持。即，設(shè)置判定部41，該判定部41計(jì)測(cè)在使搬運(yùn)對(duì)象物W以規(guī)定速度(例如速度V)移動(dòng)而從搬運(yùn)對(duì)象物W的一端egl到另一端eg2通過(guò)檢測(cè)位置Se所需的時(shí)間t，根據(jù)計(jì)測(cè)出的時(shí)間t與搬運(yùn)對(duì)象物W被保持在第一連桿21的規(guī)定位置Pl時(shí)的規(guī)定時(shí)間ts之間的誤差(I t-ts I)來(lái)判定搬運(yùn)對(duì)象物W是否從規(guī)定位置Pl偏移。具體地說(shuō)，判定部41預(yù)先設(shè)定在搬運(yùn)對(duì)象物W的中心P與規(guī)定位置pi —致(被保持在規(guī)定位置的狀態(tài))時(shí)、從搬運(yùn)對(duì)象物W的一端egl到另一端eg2通過(guò)檢測(cè)位置Se所需的規(guī)定時(shí)間ts,若計(jì)測(cè)出的時(shí)間t與規(guī)定時(shí)間ts之間的誤差(I t-ts I)在規(guī)定范圍內(nèi)(I t-ts I彡th，th表示規(guī)定閾值)，則判定為搬運(yùn)對(duì)象物W被保持在規(guī)定位置pl，另ー方面，若上述誤差(I t-ts I)不在規(guī)定范圍內(nèi)(I t-ts I > th)，則判定為搬運(yùn)對(duì)象物W被以從規(guī)定位置pl偏移的狀態(tài)保持。若如此構(gòu)成，則僅轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)關(guān)節(jié)部24而使搬運(yùn)對(duì)象物W以規(guī)定速度通過(guò)檢測(cè)位置Se,就能夠檢測(cè)出在第一連桿21上是否保持有搬運(yùn)對(duì)象物W，而且也能夠檢測(cè)出搬運(yùn)對(duì)象物W是否被以從第一連桿21上的規(guī)定位置pl偏移的狀態(tài)保持。另外，在作為搬運(yùn)對(duì)象物W的晶圓的周緣部(邊緣)存在有缺ロ(槽ロ)的情況下，使避開(kāi)該缺ロ(槽ロ)的部位通過(guò)檢測(cè)位置Se即可。而且，在本實(shí)施方式中，使用透過(guò)式的光電傳感器作為傳感器，但是也可以使用反 射式的光電傳感器作為傳感器。而且，上述的軌跡校正應(yīng)用于具有通過(guò)將多個(gè)連桿以能夠旋轉(zhuǎn)的方式串聯(lián)連接而構(gòu)成的臂機(jī)構(gòu)的搬運(yùn)裝置，但是也能夠應(yīng)用于使用了除此以外的臂機(jī)構(gòu)的搬運(yùn)裝置。例如，可舉出并聯(lián)連接多個(gè)連桿而成的并聯(lián)操縱裝置等搬運(yùn)裝置。此外，本實(shí)施方式是構(gòu)成為通過(guò)將晶圓等搬運(yùn)對(duì)象物W載置在第一連桿(手端操作裝置)上來(lái)保持搬運(yùn)對(duì)象物W，但是也可以構(gòu)成為利用真空吸附、機(jī)械卡盤等來(lái)保持搬運(yùn)對(duì)象物W。各部分的具體的結(jié)構(gòu)不是僅限定于上述的實(shí)施方式，在不脫離本發(fā)明的主旨的范圍內(nèi)，能夠進(jìn)行各種變形。以下，參照

本發(fā)明的第2實(shí)施方式。另外，在以下的說(shuō)明中，對(duì)與上述的第I實(shí)施方式相應(yīng)或相同的部分，標(biāo)注相同的附圖標(biāo)記進(jìn)行說(shuō)明。本實(shí)施方式的臂型搬運(yùn)裝置是機(jī)械臂型的搬運(yùn)裝置，如圖6及圖9所示，該臂型搬運(yùn)裝置具有臂機(jī)構(gòu)2，其借助關(guān)節(jié)部24、25、26將多個(gè)連桿21、22、23以在水平面內(nèi)能夠轉(zhuǎn)動(dòng)的方式相連接而構(gòu)成，該多個(gè)連桿21、22、23包括用于保持圓盤狀的半導(dǎo)體晶圓等正圓形搬運(yùn)對(duì)象物W的、也被稱為手端操作裝置的第一連桿21 ;邊緣檢測(cè)部3，其用于檢測(cè)被保持在第一連桿21上的正圓形搬運(yùn)對(duì)象物W的邊緣；控制部4，其通過(guò)控制臂機(jī)構(gòu)2的各關(guān)節(jié)部24、25、26的轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)，將利用第一連桿21保持的正圓形搬運(yùn)對(duì)象物W搬運(yùn)到期望的位置。如圖6及圖9所示，臂機(jī)構(gòu)2具有第一連桿21，其利用前端側(cè)保持正圓形搬運(yùn)對(duì)象物W ;第ニ連桿22，第一連桿21的基端部21b以在水平面內(nèi)能夠轉(zhuǎn)動(dòng)的方式連接于該第ニ連桿22的前端部22a ;第三連桿23，第二連桿22的基端部22b以在水平面內(nèi)能夠轉(zhuǎn)動(dòng)的方式連接于該第三連桿23的前端部23a ;底座20，其以在水平面內(nèi)能夠轉(zhuǎn)動(dòng)的方式支承第三連桿23的基端部23b。在俯視時(shí)，第一連桿21形成為大致Y字狀且呈板狀，在上表面形成有與正圓形搬運(yùn)對(duì)象物W的周緣相對(duì)應(yīng)的形狀的臺(tái)階部21c。臺(tái)階部21c是供搬運(yùn)對(duì)象物W放置的載置面，臺(tái)階部21c通過(guò)將內(nèi)周側(cè)形成得比外周側(cè)低，來(lái)發(fā)揮保持搬運(yùn)對(duì)象物的功能。第一連桿21的基端部21b與第二連桿22的前端部22a彼此以能繞沿鉛垂方向的旋轉(zhuǎn)軸Cl在水平面內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)的方式相連接而構(gòu)成第一關(guān)節(jié)部24。與此相同，第二連桿22的基端部22b與第三連桿23的前端部23a彼此也以能繞沿鉛垂方向的旋轉(zhuǎn)軸C2在水平面內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)的方式相連接而構(gòu)成第二關(guān)節(jié)部25，第三連桿23的基端部23b與底座20也以能繞沿鉛垂方向的旋轉(zhuǎn)軸C3在水平面內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)的方式相連接而構(gòu)成第三關(guān)節(jié)部26。這些關(guān)節(jié)部24、25、26中的每個(gè)關(guān)節(jié)部構(gòu)成為，被使用了電動(dòng)機(jī)等動(dòng)カ部M以獨(dú)立于其他關(guān)節(jié)部的方式驅(qū)動(dòng)而轉(zhuǎn)動(dòng)，能夠改變各連桿21、22、23的角度0 (參照?qǐng)D9)。上述控制部4由具有CPU、存儲(chǔ)器及界面的普通的微型電子計(jì)算機(jī)單元構(gòu)成，存儲(chǔ)有用于將控制信號(hào)輸出到各電動(dòng)機(jī)的程序，CPU通過(guò)適當(dāng)?shù)刈x取該程序并執(zhí)行，將被保持在第一連桿21上的正圓形搬運(yùn)對(duì)象物W搬運(yùn)至目標(biāo)位置。
在這樣的控制中，若正圓形搬運(yùn)對(duì)象物W的中心位置從作為手端操作裝置的第一連桿21上的正確的位置偏移，則即使使第一連桿21的前端沿所需的軌跡移動(dòng)至目標(biāo)位置，也會(huì)產(chǎn)生正圓形搬運(yùn)對(duì)象物W無(wú)法被搬運(yùn)至目標(biāo)位置的情況。因此，本實(shí)施方式還設(shè)有邊緣檢測(cè)部3，其為了檢測(cè)正圓形搬運(yùn)對(duì)象物W的中心位置而檢測(cè)被保持在第一連桿21上的正圓形搬運(yùn)對(duì)象物W的邊緣；旋轉(zhuǎn)角度檢測(cè)部27，例如編碼器等，其用于檢測(cè)第一連桿21的旋轉(zhuǎn)角度；中心位置計(jì)算部41，其基于該檢測(cè)部3、27的檢測(cè)值計(jì)算出正圓形搬運(yùn)對(duì)象物W的中心位置；中心位置偏移判定部42，其基于利用上述中心位置計(jì)算部41所獲得的中心位置坐標(biāo)判定從應(yīng)該位于的中心位置的偏移。如圖8所示，用于檢測(cè)正圓形搬運(yùn)對(duì)象物W的邊緣的上述邊緣檢測(cè)部3是由發(fā)光元件30及受光元件31構(gòu)成的如光電傳感器那樣在與安裝位置相對(duì)應(yīng)的檢測(cè)位置Se檢測(cè)正圓形搬運(yùn)對(duì)象物W的邊緣的機(jī)構(gòu)，該邊緣檢測(cè)部3根據(jù)正圓形搬運(yùn)對(duì)象物W通過(guò)連結(jié)發(fā)光元件30及受光元件31的光的通路即檢測(cè)位置S e時(shí)、從發(fā)光元件30朝向受光元件31的光是否被遮擋來(lái)檢測(cè)正圓形搬運(yùn)對(duì)象物W的邊緣。如圖6 圖9所示，該邊緣檢測(cè)部3安裝在構(gòu)成上述臂機(jī)構(gòu)2的多個(gè)連桿21、22、23中的、比第一連桿21靠基端側(cè)的作為基座構(gòu)件的第二連桿22的基端部22b上，如圖7及圖9所示，邊緣檢測(cè)部3的安裝位置設(shè)定為在向使第一連桿21接近安裝有上述邊緣檢測(cè)部3的第二連桿22的方向轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)第一關(guān)節(jié)部24的情況下，被正確地保持在第一連桿21上的正圓形搬運(yùn)對(duì)象物W的邊緣能夠通過(guò)檢測(cè)位置Se而對(duì)該正圓形搬運(yùn)對(duì)象物W進(jìn)行檢測(cè)，將該數(shù)據(jù)作為信號(hào)SI輸出到控制部4。而且，上述邊緣檢測(cè)部3的安裝位置設(shè)定為在轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)關(guān)節(jié)部24、25、26時(shí)，該邊緣檢測(cè)部3不與多個(gè)連桿21、22、23相干渉。即，邊緣檢測(cè)部3也可以說(shuō)是安裝在避開(kāi)了各連桿21、22、23的旋轉(zhuǎn)軌跡的位置。另外，上述旋轉(zhuǎn)角度檢測(cè)部27附設(shè)于圖7中的軸電動(dòng)機(jī)28上，該軸電動(dòng)機(jī)28為了旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)用于保持正圓形搬運(yùn)對(duì)象物W的第一連桿21而設(shè)在位于基端側(cè)的第二連桿22的前端部22a上，該旋轉(zhuǎn)角度檢測(cè)部27用于檢測(cè)第一連桿21相對(duì)于第二連桿22的旋轉(zhuǎn)角度，如圖6左上的框圖所示，將該數(shù)據(jù)作為信號(hào)El輸出到控制部4。而且，上述中心位置計(jì)算部41通過(guò)使第一連桿21相對(duì)于第二連桿22旋轉(zhuǎn)而使正圓形搬運(yùn)對(duì)象物W通過(guò)邊緣檢測(cè)部3，由此來(lái)檢測(cè)正圓形搬運(yùn)對(duì)象物W的中心位置。該中心位置計(jì)算部41由寫入到控制部4的存儲(chǔ)器中的如下那樣的運(yùn)算程序構(gòu)成，通過(guò)利用控制部4執(zhí)行該運(yùn)算程序來(lái)發(fā)揮作為中心位置計(jì)算部41的功能。
該運(yùn)算包括邊緣位置存儲(chǔ)步驟，其從控制部4讀取通過(guò)兩次檢測(cè)邊緣所獲得的該邊緣坐標(biāo)和與其相對(duì)應(yīng)的第一連桿的旋轉(zhuǎn)角度；中心位置計(jì)算步驟，其基于這些信息計(jì)算出正圓形搬運(yùn)對(duì)象物W的中心位置坐標(biāo)，將所獲得的中心位置坐標(biāo)存儲(chǔ)到上述控制部4中。首先，從邊緣位置存儲(chǔ)步驟開(kāi)始說(shuō)明。在圖11中，使保持有正圓形搬運(yùn)對(duì)象物W的第一連桿21以旋轉(zhuǎn)軸C I為中心順時(shí)針(正圓形搬運(yùn)對(duì)象物W朝向邊緣檢測(cè)部3從左側(cè)向右側(cè)通過(guò))轉(zhuǎn)動(dòng)，使邊緣檢測(cè)部3的檢測(cè)位置Se位于7軸上。圖11的(a)是邊緣檢測(cè)部3處于接通(以下，稱為傳感器接通)時(shí)(邊緣檢測(cè)部3開(kāi)始檢測(cè)正圓形搬運(yùn)對(duì)象物W吋)，此時(shí)的第一連桿21相對(duì)于第二連桿22的旋轉(zhuǎn)角度為9 2，之后進(jìn)行補(bǔ)充說(shuō)明。
圖11的(b)是邊緣檢測(cè)部3處于傳感器斷開(kāi)時(shí)(傳感器檢測(cè)正圓形搬運(yùn)對(duì)象物W完成時(shí))，(x2，I2)是邊緣檢測(cè)部3開(kāi)始檢測(cè)正圓形搬運(yùn)對(duì)象物W時(shí)的邊緣上的點(diǎn)的移動(dòng)到達(dá)點(diǎn)的坐標(biāo)，(Xl，yi)是邊緣檢測(cè)部3檢測(cè)正圓形搬運(yùn)對(duì)象物W完成時(shí)的邊緣的坐標(biāo)。此時(shí)的第一連桿21相對(duì)于第二連桿22的旋轉(zhuǎn)角度為0lt)作為上述的補(bǔ)充說(shuō)明，第一連桿21相對(duì)于第二連桿22的上述旋轉(zhuǎn)角度指的是如圖9的(b)所示，將第一連桿21與第二連桿22借助兩連桿的關(guān)節(jié)部24配置成一條直線時(shí)設(shè)為9 =0度，此時(shí)的第一連桿21繞上述關(guān)節(jié)部24順時(shí)針旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)角度。但是，由于該角度是ー個(gè)設(shè)定例，因此并不限定于此，設(shè)為0 =0度的位置能夠任意選擇，也能夠?qū)⒛鏁r(shí)針旋轉(zhuǎn)設(shè)為旋轉(zhuǎn)角度的正方向。在此，圖11中的0 p 0 2被作為信號(hào)E I (參照?qǐng)D6)從附設(shè)于軸電動(dòng)機(jī)28上的旋轉(zhuǎn)角度檢測(cè)部27向控制部4輸出，該軸電動(dòng)機(jī)28設(shè)在第二連桿22的前端部22a上。這些信息被存儲(chǔ)在上述控制部4中，上述中心位置計(jì)算部41收集與通過(guò)兩次檢測(cè)邊緣所獲得的該兩個(gè)邊緣坐標(biāo)U1, Y1)、(x2, y2)相對(duì)應(yīng)的、第一連桿相對(duì)于第二連桿22的旋轉(zhuǎn)角度ら、02，使控制部4執(zhí)行用于實(shí)現(xiàn)被預(yù)先存儲(chǔ)的、用于中心位置計(jì)算的以下算法的程序。圖10是以x_y坐標(biāo)表不第2次檢測(cè)正圓形搬運(yùn)對(duì)象物W的邊緣完成時(shí)的正圓形搬運(yùn)對(duì)象物W的位置的圖，(Xl，yi)是邊緣檢測(cè)完成時(shí)的坐標(biāo)，與上述邊緣檢測(cè)部3的檢測(cè)位置Se—致。(x2，y2)是此時(shí)的開(kāi)始檢測(cè)的邊緣上的點(diǎn)的移動(dòng)到達(dá)點(diǎn)的坐標(biāo)，(a，b)是正圓形搬運(yùn)對(duì)象物W的中心位置坐標(biāo)。在此，原點(diǎn)0是圖6及圖7中所示的第一連桿21的旋轉(zhuǎn)軸Cl，將從第一連桿21的原點(diǎn)0到傳感器的檢測(cè)位置S e的距離設(shè)為R，將正圓形搬運(yùn)對(duì)象物W的半徑設(shè)為r。傳感器動(dòng)作中的第一連桿21相對(duì)于第二連桿22的旋轉(zhuǎn)角度量是0 = 0 r 0 2。0 i :傳感器斷開(kāi)時(shí)(邊緣檢測(cè)部3檢測(cè)正圓形搬運(yùn)對(duì)象物W完成時(shí))0 2 :傳感器接通時(shí)(邊緣檢測(cè)部3開(kāi)始檢測(cè)正圓形搬運(yùn)對(duì)象物W吋)，如圖10及圖11的(b)所示，在將邊緣檢測(cè)部3檢測(cè)正圓形搬運(yùn)對(duì)象物W完成時(shí)(傳感器斷開(kāi)時(shí))的正圓形搬運(yùn)對(duì)象物W的檢測(cè)位置坐標(biāo)設(shè)為(X1, Y1) = (0, R)時(shí)，以(x2, y2) = (Rsin 0 ,Rcos 9 )表不。由于表示正圓形搬運(yùn)對(duì)象物W的圓的式子是
(x~a)2+(y-b)2 = r2因此
權(quán)利要求
1.一種臂型搬運(yùn)裝置，其特征在于， 該臂型搬運(yùn)裝置具有臂機(jī)構(gòu)，其借助關(guān)節(jié)部將多個(gè)連桿以在水平面內(nèi)能夠轉(zhuǎn)動(dòng)的方式相連接而構(gòu)成，該多個(gè)連桿包括用于保持搬運(yùn)對(duì)象物的第I連桿；傳感器，其安裝在構(gòu)成上述臂機(jī)構(gòu)的多個(gè)連桿中的、比上述第一連桿靠基端側(cè)的連桿上，用于檢測(cè)在與安裝位置相對(duì)應(yīng)地確定的檢測(cè)位置是否存在有上述搬運(yùn)對(duì)象物， 上述傳感器的安裝位置設(shè)定為在向使上述第一連桿接近安裝有上述傳感器的連桿的方向轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)上述關(guān)節(jié)部的情況下，被正確地保持在上述第一連桿上的搬運(yùn)對(duì)象物能夠通過(guò)上述檢測(cè)位置而對(duì)該搬運(yùn)對(duì)象物進(jìn)行檢測(cè)。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的臂型搬運(yùn)裝置，其特征在于， 該臂型搬運(yùn)裝置具有判定部，該判定部計(jì)測(cè)在使上述搬運(yùn)對(duì)象物以規(guī)定速度移動(dòng)而從該搬運(yùn)對(duì)象物的一端到另一端通過(guò)上述檢測(cè)位置所需的時(shí)間，根據(jù)計(jì)測(cè)出的時(shí)間與該搬運(yùn)對(duì)象物被保持在上述第一連桿的規(guī)定位置的規(guī)定時(shí)間之間的誤差，來(lái)判定上述搬運(yùn)對(duì)象物是否從上述規(guī)定位置偏移。
3.一種臂型搬運(yùn)裝置，其特征在于， 該臂型搬運(yùn)裝置具有臂機(jī)構(gòu)，其以使用于保持正圓形搬運(yùn)對(duì)象物的連桿借助旋轉(zhuǎn)軸在水平面內(nèi)能夠轉(zhuǎn)動(dòng)的方式將該連桿安裝在基座構(gòu)件上；邊緣檢測(cè)部，其與上述旋轉(zhuǎn)軸一起安裝在上述基座構(gòu)件上，用于檢測(cè)正圓形搬運(yùn)對(duì)象物的邊緣是否位于與安裝位置相對(duì)應(yīng)地確定的檢測(cè)位置；旋轉(zhuǎn)角度檢測(cè)部，其用于檢測(cè)上述連桿相對(duì)于上述基座構(gòu)件的旋轉(zhuǎn)角度；中心位置計(jì)算部，其基于在正圓形搬運(yùn)對(duì)象物的邊緣通過(guò)上述邊緣檢測(cè)部時(shí)由旋轉(zhuǎn)角度檢測(cè)部檢測(cè)出的對(duì)應(yīng)的旋轉(zhuǎn)角度，計(jì)算出正圓形搬運(yùn)對(duì)象物相對(duì)于上述連桿的中心位置。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的臂型搬運(yùn)裝置，其特征在于， 該臂型搬運(yùn)裝置具有基于利用上述中心位置計(jì)算部計(jì)算出的中心位置來(lái)檢測(cè)正圓形搬運(yùn)對(duì)象物的位置偏移的中心位置偏移判定部，該中心位置偏移判定部基于被預(yù)先賦予的基準(zhǔn)中心位置和上述中心位置計(jì)算部計(jì)算出的被載置在連桿上的應(yīng)測(cè)定的正圓形搬運(yùn)對(duì)象物的實(shí)際中心位置，來(lái)判定從上述基準(zhǔn)中心位置到上述實(shí)際中心位置的中心位置偏移。
全文摘要
本發(fā)明提供一種不伴隨用于保持搬運(yùn)對(duì)象物的手端操作裝置的大型化、傳感器的損傷、搬運(yùn)效率的降低而能夠適當(dāng)?shù)貦z測(cè)搬運(yùn)對(duì)象物的保持狀態(tài)的臂型搬運(yùn)裝置。其具有臂機(jī)構(gòu)，借助關(guān)節(jié)部將多個(gè)連桿以在水平面內(nèi)能轉(zhuǎn)動(dòng)的方式相連接而構(gòu)成，多個(gè)連桿包括保持搬運(yùn)對(duì)象物的第一連桿；傳感器，安裝在構(gòu)成臂機(jī)構(gòu)的多個(gè)連桿中的、比第一連桿靠基端側(cè)的連桿，檢測(cè)在與安裝位置相對(duì)應(yīng)地確定的檢測(cè)位置是否存在搬運(yùn)對(duì)象物，傳感器的安裝位置設(shè)定為在向使第一連桿接近安裝有傳感器的連桿的方向轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)關(guān)節(jié)部時(shí)，被正確地保持在第一連桿上的搬運(yùn)對(duì)象物能通過(guò)檢測(cè)位置而對(duì)該搬運(yùn)對(duì)象物進(jìn)行檢測(cè)。
文檔編號(hào)H01L21/67GK102738038SQ20121008895
公開(kāi)日2012年10月17日 申請(qǐng)日期2012年3月29日 優(yōu)先權(quán)日2011年3月31日
發(fā)明者三重野靖理, 佐伯亨, 占部雄士, 增井陽(yáng)二, 神垣敏雄 申請(qǐng)人:昕芙旎雅有限公司