專利名稱：超材料人工微結(jié)構(gòu)的制造方法和超材料天線罩及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及人工電磁超材料，更具體地說，涉及ー種超材料人工微結(jié)構(gòu)的制造方法和超材料天線罩及其制造方法。
背景技術(shù)：
超材料是ー種具有天然材料所不具備的超常物理性質(zhì)的人工復(fù)合結(jié)構(gòu)材料。當(dāng)前，人們在介質(zhì)基板上周期性地排列具有一定幾何形狀的人工微結(jié)構(gòu)來形成超材料。由于可以利用人工微結(jié)構(gòu)的幾何形狀和尺寸以及排布方式來改變超材料空間各點的介電常數(shù)和/或磁導(dǎo)率，使其產(chǎn)生預(yù)期的電磁響應(yīng)，以控制電磁波的傳播，從而，人們展望其應(yīng)有廣泛的應(yīng)用前景。但是，目前的エ藝只適用于在平整的介質(zhì)基板上附著人工微結(jié)構(gòu)，從而制得 超材料，還無法在具有如曲面等三維形狀表面的介質(zhì)基板上制得人工微結(jié)構(gòu)，而這也成為業(yè)界的一大技術(shù)難題。另外，天線罩作為ー種天線的保護部件，對其電磁性能要求較高，而利用傳統(tǒng)材料來制作的天線罩越來越無法滿足當(dāng)前的需求，促使人們開始探索新型材料來制造高透波性天線罩。超材料作為ー種特殊人工電磁材料，是用來制造高透波性天線罩的良好選擇，而天線罩表面大多呈三維形狀，同樣面臨如何在天線罩的這種三維形狀表面上附著超材料人工微結(jié)構(gòu)的技術(shù)難題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明要解決的技術(shù)問題在于，提供ー種在具有三維形狀的表面上制造超材料人エ微結(jié)構(gòu)的方法和具有三維形狀表面的超材料天線罩及其制造方法。本發(fā)明解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是ー種超材料人工微結(jié)構(gòu)的制造方法，其包括以下步驟a.制作一具有三維形狀表面的殼體。b.在所述殼體的三維形狀表面上覆蓋一具有激光反應(yīng)活性的濕膜。c.將所述殼體表面的三維形狀數(shù)據(jù)和欲制作的超材料人工微結(jié)構(gòu)的形狀、尺寸及在所述殼體的三維形狀表面上分布的數(shù)據(jù)輸入激光設(shè)備的電腦系統(tǒng)。d.所述激光設(shè)備的電腦系統(tǒng)根據(jù)這些數(shù)據(jù)控制激光對所述濕膜進行掃描，使所述濕膜的相應(yīng)位置曝光而固化。e.用溶劑除去經(jīng)曝光而固化的濕膜部分，從而在所述濕膜上形成多個與所述多個超材料人工微結(jié)構(gòu)相同的圖案，使所述殼體的三維形狀表面上對應(yīng)所述濕膜的圖案的位置露出來。f.在所述濕膜和所述殼體的三維形狀表面上對應(yīng)所述圖案的位置鍍上金屬層。g.剝離濕膜，使鍍于所示濕膜上的金屬層與濕膜一起除去，而鍍于所述殼體的三維形狀表面上對應(yīng)所述圖案的位置的金屬層保留下來，從而在所述殼體的三維形狀表面上制得超材料人工微結(jié)構(gòu)。優(yōu)選地，在所述步驟a中，所述殼體的三維形狀表面是ー粗糙面。優(yōu)選地，在所述步驟b中，所述濕膜是將液體光致抗蝕劑噴到所述殼體的三維形狀表面上并經(jīng)烘烤形成。優(yōu)選地，在所述步驟b中，所述濕膜是利用絲網(wǎng)印的方式將液體光致抗蝕劑涂覆于所述殼體的三維形狀表面上并經(jīng)烘烤形成。優(yōu)選地，所述液體光致抗蝕劑是以高感光性樹脂為基本成分合成。優(yōu)選地，在所述步驟f中，所述金屬層通過化學(xué)鍍或電鍍的方法形成。 優(yōu)選地，所述制造方法還包括在所述殼體的三維形狀表面上涂覆保護層。ー種超材料天線罩的制造方法，其包括以下步驟SI.制作一具有三維形狀表面的天線罩罩體。S2.在所述天線罩罩體的三維形狀表面上覆蓋一具有激光反應(yīng)活性的濕膜。S3.將所述天線罩罩體表面的三維形狀數(shù)據(jù)和欲制作的超材料人工微結(jié)構(gòu)的形狀、尺寸及在所述天線罩罩體的三維形狀表面上分布的數(shù)據(jù)輸入激光設(shè)備的電腦系統(tǒng)。S4.所述激光設(shè)備的電腦系統(tǒng)根據(jù)這些數(shù)據(jù)控制激光對所述濕膜進行掃描，使所述濕膜的相應(yīng)位置曝光而固化。S5.用溶劑除去經(jīng)曝光而固化的濕膜部分，從而在所述濕膜上形成多個與欲制作的超材料人工微結(jié)構(gòu)相同的圖案，使所述天線罩罩體的三維形狀表面上對應(yīng)所述濕膜的圖案的位置露出來。S6.在所述濕膜和所述天線罩罩體的三維形狀表面上對應(yīng)所述圖案的位置鍍上金屬層。S7.剝離濕膜，使鍍于所示濕膜上的金屬層與濕膜一起除去，而鍍于所述天線罩罩體的三維形狀表面上對應(yīng)所述圖案的位置的金屬層保留下來，從而制得具有超材料人工微結(jié)構(gòu)的超材料天線罩。優(yōu)選地，所述制造方法還包括在所述天線罩罩體的表面上涂覆由聚氨脂、氟樹脂或氟碳樹脂制成的保護涂料。ー種超材料天線罩，其是利用以下方法制得的制作一具有三維形狀表面的天線罩罩體。在所述天線罩罩體的三維形狀表面上覆蓋一具有激光反應(yīng)活性的濕膜。將所述天線罩罩體表面的三維形狀數(shù)據(jù)和欲制作的超材料人工微結(jié)構(gòu)的形狀、尺寸及在所述天線罩罩體的三維形狀表面上分布的數(shù)據(jù)輸入激光設(shè)備的電腦系統(tǒng)。所述激光設(shè)備的電腦系統(tǒng)根據(jù)這些數(shù)據(jù)控制激光對所述濕膜進行掃描，使所述濕膜的相應(yīng)位置曝光而固化。用溶劑除去經(jīng)曝光而固化的濕膜部分，從而在所述濕膜上形成多個與欲制作的超材料人工微結(jié)構(gòu)相同的圖案，使所述天線罩罩體的三維形狀表面上對應(yīng)所述濕膜的圖案的位置露出來。在所述濕膜和所述天線罩罩體的三維形狀表面上對應(yīng)所述圖案的位置鍍上金屬層。剝離濕膜，使鍍于所示濕膜上的金屬層與濕膜一起除去，而鍍于所述天線罩罩體的三維形狀表面上對應(yīng)所述圖案的位置的金屬層保留下來，從而制得具有超材料人工微結(jié)構(gòu)的超材料天線罩。本發(fā)明超材料人工微結(jié)構(gòu)的制造方法和超材料天線罩及其制造方法具有以下有益效果利用激光加工技術(shù)實現(xiàn)了在三維形狀表面上附著超材料人工微結(jié)構(gòu)，而且由于加エ時無接觸，不會造成所述殼體/天線罩罩體表面變形，加工精確且效率高，適于大批量的エ業(yè)化生產(chǎn)。


下面將結(jié)合附圖及具體實施方式
對本發(fā)明作進ー步說明。圖I是本發(fā)明超材料人工微結(jié)構(gòu)的制造方法的較佳實施方式的流程圖；圖2是本發(fā)明超材料天線罩的制造方法的較佳實施方式的流程圖；圖3-圖7是利用圖2中的制造方法來制造一超材料天線罩時的示意圖。圖中各標(biāo)號對應(yīng)的名稱為10天線罩罩體、20濕膜、22曝光部分、24圖案、30金屬層、40超材料人工微結(jié)構(gòu)、50超材料天線罩、90天線
具體實施例方式如圖I至圖5所示，為本發(fā)明超材料人工微結(jié)構(gòu)的制造方法的一較佳實施方式。所述較佳實施方式包括以下步驟a.制作一具有三維形狀表面的殼體。b.在所述殼體的三維形狀表面上覆蓋一具有激光反應(yīng)活性的濕膜。 c.將所述殼體表面的三維形狀數(shù)據(jù)和欲制作的超材料人工微結(jié)構(gòu)的形狀、尺寸及在所述殼體的三維形狀表面上分布的數(shù)據(jù)輸入激光設(shè)備的電腦系統(tǒng)。d.所述激光設(shè)備的電腦系統(tǒng)根據(jù)這些數(shù)據(jù)控制激光對所述濕膜進行掃描，使所述濕膜的相應(yīng)位置曝光而固化。e.用溶劑除去經(jīng)曝光而固化的濕膜部分，從而在所述濕膜上形成多個與欲制作的超材料人工微結(jié)構(gòu)相同的圖案，使所述殼體的三維形狀表面上對應(yīng)所述濕膜的圖案的位置露出來。f.在所述濕膜和所述殼體的三維形狀表面上對應(yīng)所述圖案的位置鍍上金屬層。g.剝離濕膜，使鍍于所示濕膜上的金屬層與濕膜一起除去，而鍍于所述殼體的三維形狀表面上對應(yīng)所述圖案的位置的金屬層保留下來，從而在所述殼體的三維形狀表面上制得超材料人工微結(jié)構(gòu)。相比現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明超材料人工微結(jié)構(gòu)的制造方法利用激光立體成像加工技術(shù)，在具有激光反應(yīng)活性的濕膜上形成與欲制作的超材料人工微結(jié)構(gòu)相同的圖案，并通過在其上鍍上金屬層后剝離所述濕膜，從而在所述殼體的三維形狀表面上對應(yīng)這些圖案的位置留下超材料人工微結(jié)構(gòu)，不僅由于加工時無接觸，故不會造成所述殼體表面變形，加工精確且效率高。以下對所述較佳實施方式進行詳細說明在所述步驟a中，所述殼體由高分子材料或者陶瓷材料制成。所述殼體的三維形狀表面可根據(jù)實際需要而定，如拋物面形、雙曲面形、圓錐面形等。為了利于超材料人工微結(jié)構(gòu)的加工，所述殼體的三維形狀表面，是ー具有一定的粗糙度的粗糙面，但也要防止由于所述殼體的三維形狀表面太粗糙而造成的不良影響，如出現(xiàn)滲鍍現(xiàn)象等。通常，我們對所述殼體的三維形狀表面進行粗化處理，處理方法有手工、機械和化學(xué)。(I)手工處理時，手工打磨所述殼體的三維形狀表面，并用水沖洗即可。(2)機械的方法為使用磨料刷輥式刷板機和浮石粉刷板機來打磨所述殼體的三維形狀表面。磨料刷輥式刷板機是利用壓縮型或硬毛型的刷輥來打磨所述殼體的三維形狀表面，并讓所述殼體的三維形狀表面沿刷輥移動，以保持刷輥各個部分的磨損一致。而浮石粉刷板機是利用低壓噴砂的方法將浮石粉(火山巖粉末)噴到所述殼體的三維形狀表面，再以尼龍刷研磨。一般，使用浮石粉刷板機對所述殼體的三維形狀表面質(zhì)量較為理想，且實際中基于成本的考慮，用氧化鋁粉末來代替浮石粉。(3)化學(xué)方法是使用如過硫酸鹽型、硫酸-雙氧水型等粗化液來處理所述殼體的三維形狀表面。在所述步驟b中，所述濕膜既可以通過將液體光致抗蝕劑噴到所述殼體的三維形狀表面上、也可以通過刷子直接涂刷或絲網(wǎng)印的方法并經(jīng)烘烤形成。液體光致抗蝕劑包括高感光性樹脂、感光劑、色料、填料和少量溶剤，其抗三氯化鐵、酸性氯化銅、弱堿性蝕刻液及抗酸性鍍銅、氟硼酸鍍錫鉛、酸性鍍鎳、微氰酸性鍍金等溶液的化學(xué)鍍或電鍍。烘烤可利用烘道和烘箱來完成。用烘箱時，烘箱一定要帶有鼓風(fēng)和恒溫控制，以使所述濕膜的各部位溫度比較均勻。烘烤時間以烘箱達到設(shè)定溫度時開始計算。烘烤溫度和時間要適當(dāng)，若烘烤溫度過高或時間過長，則難于顯影和去除所述濕膜，而烘烤溫度過低或時間過短，對所述濕膜的干燥不夠會影響后續(xù)エ藝。在所述步驟c中，將制造所述殼體時所用的其表面的三維形狀數(shù)據(jù)輸入所述激光設(shè)備的電腦系統(tǒng)。而欲制作的超材料人工微結(jié)構(gòu)的形狀、尺寸及在所述殼體的三維形狀表面上分布的數(shù)據(jù)則根據(jù)具體的應(yīng)用需求，利用專業(yè)軟件設(shè)計而成。具體在設(shè)計所述超材料人工微結(jié)構(gòu)時，根據(jù)所述殼體的使用場合的電磁環(huán)境，通過電腦仿真軟件如CST等設(shè)計出所述超材料人工微結(jié)構(gòu)的幾何形狀、尺寸和排布方式，且所述超材料人工微結(jié)構(gòu)在所述殼體的三維形狀表面上的分布還需要依據(jù)所述殼體表面的三維形狀數(shù)據(jù)。一般，我們只設(shè)計ー個超材料人工微結(jié)構(gòu)的幾何形狀和尺寸，進而以其為樣本進行復(fù)制形成陣列排布的所述多個超材料人工微結(jié)構(gòu)。由此可見，所述多個超材料人工微結(jié)構(gòu)的幾何形狀和尺寸均是相同的。這樣可節(jié)約設(shè)計時間和提高設(shè)計效率。當(dāng)然，若不為此目的，所述多個超材料人工微結(jié)構(gòu)的幾何形狀和/或尺寸完全可以不相同。一般，所述超材料人工微結(jié)構(gòu)是由一定長度的線段形成的具有一定幾何形狀的平面或立體結(jié)構(gòu)。這樣，每個超材料人工微結(jié)構(gòu)及其所在的殼體表面部分稱作ー個超材料單元，每個超材料単元的幾何尺寸與穿過所述殼體的電磁波波長有夫，如其幾何尺寸為電磁波波長的十分之一。另外，我們也可利用掃描設(shè)備來獲得所述殼體表面的三維形狀數(shù)據(jù)，并通過電腦軟件的處理生成其三維圖像。 在所述步驟d中，一般，所述激光設(shè)備還包括用于放置所述殼體的工作平臺和固定有激光頭的運動執(zhí)行機構(gòu)。掃描曝光開始時，將所述殼體固定于所述工作平臺上，并設(shè)定基準(zhǔn)點，即可啟動所述運動執(zhí)行機構(gòu)帶著激光頭掃描所述濕膜，根據(jù)所述步驟C中的數(shù)據(jù)控制激光對所述濕膜的相應(yīng)位置(也即欲附著超材料人工微結(jié)構(gòu)的位置)進行曝光，而使所述濕膜的這些位置固化，且固化部位的大小由激光掃描的速度而定，激光移動速度快時固化的部位小，反之固化的部位大。在所述步驟e中，讓溫度為20 28°C的所述溶劑以I 2. 5kg/cm2的壓カ噴淋所述濕膜上經(jīng)曝光而固化的部位，噴淋時間為30± 10s，讓所述殼體的三維形狀表面上對應(yīng)位置露出來，而所述濕膜則在相應(yīng)位置形成多個與所述多個超材料人工微結(jié)構(gòu)相同的圖案，并進行水洗，壓カ為2. 5 3. Okg/cm2。另外，要注意掌握此步驟與所述步驟b之間的時間間隔，不宣過長，一般為不超過48小吋。在所述步驟f中，可使用化學(xué)鍍或電鍍的方法鍍上各種金屬層，并注意鍍各種金屬時對其エ藝的具體要求。如在電鍍銅時，其エ藝過程包括活化、鍍銅、防氧化處理、風(fēng)干，電鍍時用5%稀硫酸噴鍍15 30分鐘，防氧化處理就是在銅層表面形成一定厚度的保護 膜，使用M8或Cu56的處理劑。另外，電鍍所述金屬層時，要對所述殼體的表面進行干燥處理，風(fēng)干溫度為50 60°C、時間60± 10s，而采用烘箱時，其溫度為100°C、時間為I 2分鐘。在所述步驟g中，當(dāng)剝離所述濕膜后只留下所述多個超材料人工微結(jié)構(gòu)在所述殼體的三維形狀表面上，為了對其進行保護，可在所述殼體的三維形狀表面上涂覆保護層，所述保護層可根據(jù)實際情況而定。以下以利用本發(fā)明的制造方法來制造本發(fā)明的超材料天線罩50為例進行說明SI.制作一具有三維形狀表面的天線罩罩體10。S2.在所述天線罩罩體10的三維形狀表面上覆蓋一具有激光反應(yīng)活性的濕膜20。S3.將所述天線罩罩體表面的三維形狀數(shù)據(jù)和欲制作的超材料人工微結(jié)構(gòu)的形狀、尺寸及在所述天線罩罩體10的三維形狀表面上分布的數(shù)據(jù)輸入激光設(shè)備的電腦系統(tǒng)。所述超材料人工微結(jié)構(gòu)的幾何形狀和尺寸數(shù)據(jù)應(yīng)依據(jù)容納于所述天線罩罩體10內(nèi)的天線90的工作頻率而定。S4.所述激光設(shè)備的電腦系統(tǒng)根據(jù)這些數(shù)據(jù)控制激光對所述濕膜20進行掃描，使所述濕膜的相應(yīng)位置22曝光而固化。S5.用溶劑除去經(jīng)曝光而固化的濕膜部分22，從而在所述濕膜20上形成多個與欲制作的超材料人工微結(jié)構(gòu)相同的圖案24，使所述天線罩罩體10的三維形狀表面上對應(yīng)所述濕膜20的圖案24的位置露出來。S6.在所述濕膜20和所述天線罩罩體10的三維形狀表面上對應(yīng)所述圖案24的位
置鍍上金屬層30。S7.剝離濕膜20，使鍍于所示濕膜20上的金屬層與濕膜一起除去，而鍍于所述天線罩罩體10的三維形狀表面上對應(yīng)所述圖案的位置的金屬層保留下來，從而制得具有超材料人工微結(jié)構(gòu)40的超材料天線罩50。根據(jù)需要，在本發(fā)明的超材料天線罩50的表面上涂覆保護涂料，如聚氨脂、氟樹月旨、氟碳樹脂等，一般應(yīng)使用具有良好的透波性能、耐季候性、附著力強的材料制成。以上所述僅是本發(fā)明的若干具體實施方式
和/或?qū)嵤├?，不?yīng)當(dāng)構(gòu)成對本發(fā)明的限制。對于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本發(fā)明基本思想的前提下，還可 以做出若干改進和潤飾，如所述液體光致抗蝕劑也可是感光油墨，而這些改進和潤飾也應(yīng)視為本發(fā)明的保護范圍。
權(quán)利要求
1.ー種超材料人工微結(jié)構(gòu)的制造方法，其特征在于，所述制造方法包括以下步驟 a.制作一具有三維形狀表面的殼體； b.在所述殼體的三維形狀表面上覆蓋一具有激光反應(yīng)活性的濕膜； c.將所述殼體表面的三維形狀數(shù)據(jù)和欲制作的超材料人工微結(jié)構(gòu)的形狀、尺寸及在所述殼體的三維形狀表面上分布的數(shù)據(jù)輸入激光設(shè)備的電腦系統(tǒng)； d.所述激光設(shè)備的電腦系統(tǒng)根據(jù)這些數(shù)據(jù)控制激光對所述濕膜進行掃描，使所述濕膜的相應(yīng)位置曝光而固化； e.用溶劑除去經(jīng)曝光而固化的濕膜部分，從而在所述濕膜上形成多個與欲制作的超材料人工微結(jié)構(gòu)相同的圖案，使所述殼體的三維形狀表面上對應(yīng)所述濕膜的圖案的位置露出來； f.在所述濕膜和所述殼體的三維形狀表面上對應(yīng)所述圖案的位置鍍上金屬層； g.剝離濕膜，使鍍于所示濕膜上的金屬層與濕膜一起除去，而鍍于所述殼體的三維形狀表面上對應(yīng)所述圖案的位置的金屬層保留下來，從而在所述殼體的三維形狀表面上制得超材料人工微結(jié)構(gòu)。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的超材料人工微結(jié)構(gòu)的制造方法，其特征在于，在所述步驟a中，所述殼體的三維形狀表面是ー粗糙面。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的超材料人工微結(jié)構(gòu)的制造方法，其特征在于，在所述步驟b中，所述濕膜是將液體光致抗蝕劑噴到所述殼體的三維形狀表面上并經(jīng)烘烤形成。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的超材料人工微結(jié)構(gòu)的制造方法，其特征在于，在所述步驟b中，所述濕膜是利用絲網(wǎng)印的方式將液體光致抗蝕劑涂覆于所述殼體的三維形狀表面上并經(jīng)烘烤形成。
5.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的超材料人工微結(jié)構(gòu)的制造方法，其特征在于，所述液體光致抗蝕劑是以高感光性樹脂為基本成分合成。
6.根據(jù)權(quán)利要求I所述的超材料人工微結(jié)構(gòu)的制造方法，其特征在于，在所述步驟f中，所述金屬層通過化學(xué)鍍或電鍍的方法形成。
7.根據(jù)權(quán)利要求I所述的超材料人工微結(jié)構(gòu)的制造方法，其特征在于，所述制造方法還包括在所述殼體的三維形狀表面上涂覆保護層。
8.ー種超材料天線罩的制造方法，其特征在于，所述制造方法包括以下步驟 .51.制作一具有三維形狀表面的天線罩罩體； .52.在所述天線罩罩體的三維形狀表面上覆蓋一具有激光反應(yīng)活性的濕膜； . 53.將所述天線罩罩體表面的三維形狀數(shù)據(jù)和欲制作的超材料人工微結(jié)構(gòu)的形狀、尺寸.及在所述天線罩罩體的三維形狀表面上分布的數(shù)據(jù)輸入激光設(shè)備的電腦系統(tǒng)； .54.所述激光設(shè)備的電腦系統(tǒng)根據(jù)這些數(shù)據(jù)控制激光對所述濕膜進行掃描，使所述濕膜的相應(yīng)位置曝光而固化；. 55.用溶劑除去經(jīng)曝光而固化的濕膜部分，從而在所述濕膜上形成多個與欲制作的超材料人工微結(jié)構(gòu)相同的圖案，使所述天線罩罩體的三維形狀表面上對應(yīng)所述濕膜的圖案的位置露出來； .56.在所述濕膜和所述天線罩罩體的三維形狀表面上對應(yīng)所述圖案的位置鍍上金屬層；S7.剝離濕膜，使鍍于所示濕膜上的金屬層與濕膜一起除去，而鍍于所述天線罩罩體的三維形狀表面上對應(yīng)所述圖案的位置的金屬層保留下來，從而制得具有超材料人工微結(jié)構(gòu)的超材料天線罩。
9.根據(jù)權(quán)利要求9所述的超材料天線罩的制造方法，其特征在于，所述制造方法還包括在所述天線罩罩體的表面上涂覆由聚氨脂、氟樹脂或氟碳樹脂制成的保護涂料。
10.ー種超材料天線罩，其特征在于，所述超材料天線罩是利用權(quán)利要求8-9中任意一項所述的方法制得的。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種超材料人工微結(jié)構(gòu)的制造方法，其包括在一殼體的三維形狀表面上覆蓋一具有激光反應(yīng)活性的濕膜；將相關(guān)數(shù)據(jù)輸入激光設(shè)備的電腦系統(tǒng)；利用激光設(shè)備的電腦系統(tǒng)控制激光對所述濕膜進行曝光而固化；用溶劑除去經(jīng)曝光而固化的濕膜部分，以便在所述濕膜上形成多個與欲制作的超材料人工微結(jié)構(gòu)相同的圖案，讓所述殼體的三維形狀表面上對應(yīng)所述濕膜的圖案的位置露出來；在所述殼體的表面上鍍上金屬層；剝離濕膜，使鍍于所示濕膜上的金屬層與濕膜一起除去，而對應(yīng)所述圖案的位置的金屬層保留下來，從而在所述殼體的三維形狀表面上制得超材料人工微結(jié)構(gòu)，不僅對所述殼體的表面的影響小，而且加工效率高。本發(fā)明還提供了一種超材料天線罩及其制造方法。
文檔編號H01Q15/00GK102694269SQ201210107160
公開日2012年9月26日 申請日期2012年4月13日 優(yōu)先權(quán)日2012年4月13日
發(fā)明者劉若鵬, 方小偉, 趙治亞, 金晶 申請人:深圳光啟創(chuàng)新技術(shù)有限公司