技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種外延結(jié)構(gòu)體的制備方法，其包括以下步驟：提供一基底，該基底具有一外延生長(zhǎng)面；處理所述外延生長(zhǎng)面，形成多個(gè)凹槽，從而形成一圖案化的表面；在所述圖案化的表面設(shè)置一石墨烯層，所述石墨烯層具有多個(gè)空隙；在所述基底設(shè)置有石墨烯層的外延生長(zhǎng)面生長(zhǎng)一外延層。

技術(shù)研發(fā)人員：魏洋;范守善
受保護(hù)的技術(shù)使用者：清華大學(xué);鴻富錦精密工業(yè)（深圳）有限公司
文檔號(hào)碼：201210122535
技術(shù)研發(fā)日：2012.04.25
技術(shù)公布日：2016.12.14