本發(fā)明涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種退火系統(tǒng)。

背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體襯底表面及半導(dǎo)體元器件表面通常存在大量懸掛鍵，這些懸掛鍵的存在會極大地影響襯底進(jìn)而影響半導(dǎo)體器件的性能。在傳統(tǒng)的半導(dǎo)體制造工藝中，通常采用氫原子來中和這些懸掛鍵，以減少襯底表面及元器件表面的缺陷，提高半導(dǎo)體器件的性能。通常，采用以下方式完成這一步驟：將半導(dǎo)體襯底或者半導(dǎo)體元器件置于退火爐中，向退火爐中通入一定比例的氫氣和氮?dú)獾幕旌蠚猓⑼ㄟ^加熱方式使半導(dǎo)體襯底或者半導(dǎo)體元器件在一定溫度下保持一定時間，以完成氫原子中和懸掛鍵的步驟，通入氮?dú)獾哪康闹饕禽d氣的作用?，F(xiàn)有技術(shù)中，該步驟一般采用退火系統(tǒng)來完成，該系統(tǒng)包括退火爐、氫氣源、氮?dú)庠?、過濾器、閥門、流量計等。但是，氫氣為易燃易爆氣體，如果退火過程中與氮?dú)庠聪噙B的閥門無法打開，無法向退火爐中輸入氮?dú)猓蛘?，與氫氣源相連的流量計故障，導(dǎo)致氫氣源源不斷地輸入退火爐造成退火爐中的氫氣含量過高，都會造成很大的安全隱患。所以，該系統(tǒng)在退火過程中的危險性非常高。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：
有鑒于此，本發(fā)明的目的在于提供一種安全性較高的退火系統(tǒng)，以解決現(xiàn)有技術(shù)中退火系統(tǒng)在退火過程中的危險性高的問題。為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的一個實(shí)施例提供一種退火系統(tǒng)，包括混合氣體源與退火爐，所述混合氣體源通過第一爐外進(jìn)氣管與所述退火爐的后端相連，所述混合氣體源與所述第一爐外進(jìn)氣管之間設(shè)置有第一閥門；其中，所述退火爐包括爐體和爐蓋，所述爐體為圓柱體型結(jié)構(gòu)，所述爐蓋設(shè)置在所述退火爐的前端；所述混合氣體源用于向所述退火系統(tǒng)提供氮?dú)馀c氫氣的混合氣體，其中，所述混合氣體中氮?dú)馀c氫氣的比例在90%：10%~95%：5%之間。優(yōu)選地，所述系統(tǒng)還包括氮?dú)鈿怏w源，所述氮?dú)鈿怏w源通過第二爐外進(jìn)氣管與所述退火爐的后端相連；所述氮?dú)鈿怏w源與所述第二爐外進(jìn)氣管之間設(shè)置有第二閥門；其中，所述氮?dú)鈿怏w源用于向所述退火系統(tǒng)提供氮?dú)?。?yōu)選地，所述第一閥門與所述第一爐外進(jìn)氣管之間設(shè)置有第一流量計。優(yōu)選地，所述混合氣體源與所述第一閥門之間設(shè)置有第一過濾器。優(yōu)選地，所述第二閥門與所述第二爐外進(jìn)氣管之間設(shè)置有第二流量計。優(yōu)選地，所述氮?dú)鈿怏w源與所述第二閥門之間設(shè)置有第二過濾器。優(yōu)選地，所述第一閥門為氣動閥、電動閥或者電磁閥。優(yōu)選地，所述第二閥門為氣動閥、電動閥或者電磁閥。優(yōu)選地，所述爐蓋為非密封門。優(yōu)選地，所述混合氣體中氮?dú)馀c氫氣的比例為95%：5%。根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例提供的退火系統(tǒng)，采用用于向退火系統(tǒng)提供氮?dú)馀c氫氣的混合氣體的混合氣體源，在退火過程中，向退火爐中通入一定比例的氮?dú)馀c氫氣的混合氣體，避免了由于退火系統(tǒng)發(fā)生故障導(dǎo)致退火爐中氫氣含量過高的危險，與現(xiàn)有技術(shù)中的退火系統(tǒng)相比，能夠極大地提高退火系統(tǒng)的安全性。附圖說明為了更清楚地說明本發(fā)明實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖是本發(fā)明的一些實(shí)施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。圖1是本發(fā)明實(shí)施例提供的退火系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是本發(fā)明實(shí)施例一提供的退火系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3是本發(fā)明實(shí)施例二提供的退火系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖4是本發(fā)明實(shí)施例三提供的退火系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。具體實(shí)施方式為使本發(fā)明實(shí)施例的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒景l(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。本發(fā)明實(shí)施例提供一種退火系統(tǒng)，如圖1所示，該退火系統(tǒng)包括混合氣體源101與退火爐102，其中，該混合氣體源101通過第一爐外進(jìn)氣管103與退火爐102的后端相連，混合氣體源101與第一爐外進(jìn)氣管103之間設(shè)置有第一閥門104；其中，退火爐102包括爐體和爐蓋，爐體為圓柱體型結(jié)構(gòu)，爐蓋設(shè)置在退火爐102的前端；混合氣體源101用于向退火系統(tǒng)提供氮?dú)馀c氫氣的混合氣體，其中，混合氣體中氮?dú)馀c氫氣的比例在90%：10%~95%：5%之間。具體地，氮?dú)馀c氫氣的比例可以是95%：5%或者90%：10%，以及其他比例，氮?dú)馀c氫氣的具體比例可以根據(jù)具體的生產(chǎn)工藝而定。根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例提供的退火系統(tǒng)，采用用于向退火系統(tǒng)提供氮?dú)馀c氫氣的混合氣體的混合氣體源，在退火過程中，向退火爐中通入一定比例的氮?dú)馀c氫氣的混合氣體，避免了由于退火系統(tǒng)發(fā)生故障導(dǎo)致退火爐中氫氣含量過高而造成的危險，與現(xiàn)有技術(shù)中的退火系統(tǒng)相比，能夠極大地提高退火系統(tǒng)的安全性。具體地，本發(fā)明實(shí)施例中的退火系統(tǒng)還可以包括其他部件，以進(jìn)一步提高退火系統(tǒng)的性能，下面以一些具體實(shí)例為例進(jìn)行說明。實(shí)施例一本發(fā)明實(shí)施例一提供一種退火系統(tǒng)，其結(jié)構(gòu)示意圖如圖2所示，該退火系統(tǒng)包括混合氣體源101與退火爐102，其中，該混合氣體源101通過第一爐外進(jìn)氣管103與退火爐102的后端相連，混合氣體源101與第一爐外進(jìn)氣管103之間設(shè)置有第一閥門104；具體地，第一閥門104可以是氣動閥、電動閥或者電磁閥，可以優(yōu)選采用氣動閥。本發(fā)明實(shí)施例一中的退火系統(tǒng)，退火爐102的爐蓋可以采用非密封門，由于向退火爐102中通入混合氣體，不會產(chǎn)生退火爐102中氫氣含量過高的危險，因此，即使采用非密封門，也不會有因退火爐102中氫氣含量過高而造成的危險。與現(xiàn)有技術(shù)中退火爐必須采用密封門相比，本發(fā)明實(shí)施例一采用非密封門能夠極大地節(jié)約生產(chǎn)成本。另外，本發(fā)明實(shí)施例一的退火系統(tǒng)中，可以在第一閥門104與第一爐外進(jìn)氣管103之間設(shè)置第一流量計105，第一流量計105可以用于監(jiān)測通入退火爐102中的混合氣體的瞬時流量或者累計流量，以方便控制退火爐102中混合氣體的含量；此外，本發(fā)明實(shí)施例一中，還可以在混合氣體源101與第一閥門104之間設(shè)置第一過濾器106，用于除去通入退火爐102中的混合氣體中的雜質(zhì)，以保證退火爐102中的混合氣體的純度。需要說明的是，本發(fā)明實(shí)施例一的退火系統(tǒng)還可以包括其他部件，例如設(shè)置在退火爐102前端附近的燃燒室，該燃燒室可以將退火過程結(jié)束后退火爐102內(nèi)剩余的氫氣燃燒掉，減少對空氣的污染。實(shí)施例二本發(fā)明實(shí)施例二提供一種退火系統(tǒng)，其結(jié)構(gòu)示意圖如圖2所示，該退火系統(tǒng)包括混合氣體源101與退火爐102，其中，該混合氣體源101通過第一爐外進(jìn)氣管103與退火爐102的后端相連，混合氣體源101與第一爐外進(jìn)氣管103之間設(shè)置有第一閥門104；另外，本發(fā)明實(shí)施例二提供的退火系統(tǒng)還可以包括氮?dú)鈿怏w源201，如圖3所示，氮?dú)鈿怏w源201通過第二爐外進(jìn)氣管202與退火爐102的后端相連，氮?dú)鈿怏w源201與爐外進(jìn)氣管202之間設(shè)置有第二閥門203；其中，氮?dú)鈿怏w源201用于向退火系統(tǒng)提供氮?dú)?。具體地，第一爐外進(jìn)氣管103與第二爐外進(jìn)氣管202可以采用相同材質(zhì)，也可以采用不同材質(zhì)。本發(fā)明實(shí)施例在退火系統(tǒng)中加入氮?dú)鈿怏w源，可以在退火過程中或者在退火過程結(jié)束后向退火爐通入純凈氮?dú)?。在退火過程中通入純凈氮?dú)饪梢赃M(jìn)一步調(diào)節(jié)退火爐中氮?dú)夂蜌錃庵g的比例，改善混合氣體源向退火爐提供的氮?dú)夂蜌錃庵g的比例無法調(diào)節(jié)的缺點(diǎn)；在退火過程結(jié)束后向退火爐中通入純凈氮?dú)?，可以用于除去退火爐中殘留的氫氣或者其他殘留氣體，保證退火爐的安全性。實(shí)施例三圖4示出了本發(fā)明實(shí)施例三提供的退火系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖，該退火系統(tǒng)包括混合氣體源101與退火爐102，其中，該混合氣體源101通過第一爐外進(jìn)氣管103與退火爐102的后端相連，混合氣體源101與第一爐外進(jìn)氣管103之間設(shè)置有第一閥門104；氮?dú)鈿怏w源201通過第二爐外進(jìn)氣管202與退火爐102的后端相連，氮?dú)鈿怏w源201與爐外進(jìn)氣管202之間設(shè)置有第二閥門203。另外，本發(fā)明實(shí)施例三的退火系統(tǒng)中，可以在第一閥門104與第一爐外進(jìn)氣管103之間設(shè)置第一流量計105，第一流量計105可以用于監(jiān)測通入退火爐102中的混合氣體的瞬時流量或者累計流量，以方便控制退火爐102中混合氣體的含量；此外，本發(fā)明實(shí)施例三中，還可以在混合氣體源101與第一閥門104之間設(shè)置第一過濾器106，用于除去通入退火爐102中的混合氣體中的雜質(zhì)，以保證退火爐102中的混合氣體的純度。類似地，可以在第二閥門203與第二爐外進(jìn)氣管202之間設(shè)置有第二流量計204，第二流量計204可以用于監(jiān)測通入退火爐102中的氮?dú)獾乃矔r流量或者累計流量；此外，本發(fā)明實(shí)施例三中，還可以在氮?dú)鈿怏w源201與第二閥門203之間設(shè)置有第二過濾器205，用于除去通入退火爐102中的氮?dú)庵械碾s質(zhì)，以保證退火爐102中的氣體的純度。具體地，第一流量計105和第二流量計204可以為相同結(jié)構(gòu)，也可以為不同結(jié)構(gòu)；第二閥門203可以為氣動閥、電動閥或者電磁閥，可以優(yōu)選為氣動閥；另外，第一閥門104與第二閥門203可以為相同結(jié)構(gòu)，也可以為不同結(jié)構(gòu)。另外，本發(fā)明實(shí)施例三中的退火系統(tǒng)還可以包括燃燒室，該燃燒室與退火爐相連，可以連接在退火爐的前端或者中間位置。在退火過程結(jié)束后，該燃燒室可以用于將退火爐中殘留的氫氣燃燒掉，進(jìn)一步避免一定含量的氫氣的存在造成的危險。此外，本發(fā)明實(shí)施例中的混合氣體源提供的氮?dú)馀c氫氣的比例可以為95%：5%。這樣可以滿足大多數(shù)半導(dǎo)體制造工藝的要求。以上所述僅是本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本發(fā)明原理的前提下，還可以做出若干改進(jìn)和潤飾，這些改進(jìn)和潤飾也應(yīng)視為本發(fā)明的保護(hù)范圍。